拆裝裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種拆裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在生產(chǎn)顯示屏的過(guò)程中，多數(shù)用到蝕刻的方式來(lái)對(duì)面板進(jìn)行處理。蝕刻分為干法蝕刻、濕法蝕刻等，其中，干法蝕刻是將特定氣體置于低壓狀態(tài)下施以電壓，將其激發(fā)成電漿，對(duì)特定膜層加以化學(xué)性腐蝕或離子轟擊，達(dá)到去除膜層的一種蝕刻方式。
[0003]利用干法蝕刻生產(chǎn)顯示屏的設(shè)備稱為干法刻蝕設(shè)備，其中，起到絕緣作用的陶瓷材料在使用一段時(shí)間后需要進(jìn)行周期性的保養(yǎng)，實(shí)際操作過(guò)程為將陶瓷材料拆卸下來(lái)進(jìn)行清洗，清洗過(guò)后再安裝回干法刻蝕設(shè)備中。
[0004]由于陶瓷具有易碎的性質(zhì)，在拆裝的時(shí)候難以控制力度，容易導(dǎo)致受力不均衡而使其損壞，給生產(chǎn)帶來(lái)影響，導(dǎo)致生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)成本高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種拆裝裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中拆裝部件的時(shí)候難以控制力度，容易損壞部件，導(dǎo)致生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)成本高的問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型提供一種拆裝裝置，包括:襯板、液壓裝置和螺絲；
[0007]所述液壓裝置的數(shù)目至少為兩個(gè)，且所述液壓裝置均勻設(shè)置在所述襯板的第一表面；
[0008]所述襯板上設(shè)置第一螺孔，所述螺絲穿過(guò)所述第一螺孔，并將與所述襯板的第二表面貼合的待拆裝部件固定于所述襯板上；
[0009]所述液壓裝置包括可伸縮于所述液壓裝置并用于支撐所述襯板的伸縮桿。
[0010]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中還包括緩沖墊，
[0011 ]所述緩沖墊設(shè)置在所述襯板的第二表面與所述待拆裝部件之間。
[0012]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中，所述緩沖墊上與所述第一螺孔對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有第二螺孔。
[0013]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中，所述緩沖墊為橡膠墊或者泡沫墊。
[0014]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中，還包括按鈕，
[0015]所述按鈕設(shè)置在所述襯板的第一表面。
[0016]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中，還包括:掛鉤，
[0017]所述掛鉤固定設(shè)置在所述襯板的第一表面。
[0018]進(jìn)一步地，上述拆裝裝置中，所述掛鉤的數(shù)目至少為一個(gè)。
[0019]本實(shí)用新型拆裝裝置，包括使用襯板、液壓裝置和螺絲，其中，液壓裝置的數(shù)目為偶數(shù)，且液壓裝置對(duì)稱設(shè)置在襯板的第一表面，襯板上設(shè)置第一螺孔，螺絲可穿過(guò)第一螺孔，并將與襯板的第二表面貼合的待拆裝部件與襯板固定，每個(gè)液壓裝置中包括可伸縮于所述液壓裝置并用于支撐襯板的伸縮桿，伸縮桿伸出液壓裝置至襯板的第二表面，以使襯板升高，從而使待拆裝部件從其連接的設(shè)備上脫離。本實(shí)用新型解決現(xiàn)有技術(shù)在拆裝部件的時(shí)候難以控制力度，容易損壞待拆裝部件的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了快速完整的拆裝部件的效果，提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0020]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0021 ]圖1為本實(shí)用新型拆裝裝置的第一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型拆裝裝置的第二結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型拆裝裝置的第三結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為本實(shí)用新型拆裝裝置的第四結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5為本實(shí)用新型拆裝裝置的第五結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]附圖標(biāo)記:
[0027]I 一襯板
[0028]2—液壓裝置
[0029]3—螺絲
[0030]4 一待拆裝板狀部件
[0031]5—緩沖墊
[0032]6—按鈕
[0033]7—掛鉤
[0034]11一第一表面
[0035]12—第二表面
[0036]丨3一第一螺孔
[0037]21—伸縮桿
[0038]51—第二螺孔
【具體實(shí)施方式】
[0039]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0040]圖1為本實(shí)用新型拆裝裝置的第一結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型拆裝裝置的第二結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1和圖2所示，本實(shí)施例的拆裝裝置可以包括:襯板1、液壓裝置2、螺絲3。
[0041]如圖1所示，所述液壓裝置2的數(shù)目至少為兩個(gè)，優(yōu)選為偶數(shù)個(gè)，且所述液壓裝置2均勻設(shè)置在所述襯板I的第一表面11。
[0042]具體地，所述待拆裝部件優(yōu)選為待拆裝板狀部件4，襯板I可以分為第一表面11和第二表面12，第一表面11為襯板I遠(yuǎn)離待拆裝板狀部件4的表面，第二表面12為襯板I靠近待拆裝板狀部件4的表面。
[0043]優(yōu)選的，液壓裝置2可以利用液壓缸實(shí)現(xiàn)。
[0044]可以理解的是，為了保證襯板I在升降過(guò)程中保持水平上升和水平下降，液壓裝置2需要均勻分布，液壓裝置2的數(shù)目至少為兩個(gè)。
[0045]例如，液壓裝置2的數(shù)目為兩個(gè)，且需要對(duì)稱設(shè)置。
[0046]或者，又例如，液壓裝置2的數(shù)目也可以為三個(gè)，并設(shè)置成三角型。
[0047]或者，又例如，如圖2所示，優(yōu)選使用四個(gè)液壓裝置2，這四個(gè)液壓裝置2分布在襯板I的四個(gè)角上。
[0048]例如，襯板I可以是長(zhǎng)方形，或者，也可以是正方形，或者，還可以是圓形。
[0049]如圖1所示，所述襯板I上設(shè)置第一螺孔13，所述螺絲3可穿過(guò)所述第一螺孔13，并將與所述襯板I的第二表面12貼合的待拆裝板狀部件4固定于所述襯板I上。
[0050]具體地，第一螺孔13可以是通孔，也可以是螺紋孔，第一螺孔13在襯板I的位置與待拆裝板狀部件4上的孔的位置相對(duì)應(yīng)，第一螺孔13的數(shù)量與待拆裝板狀部件4上的孔的數(shù)量相等。當(dāng)需要將待拆裝板狀部件4從其所在的設(shè)備上拆卸下來(lái)時(shí)，將螺絲3穿過(guò)第一螺孔13，將待拆裝板狀部件4與襯板I固定住，使得待拆裝板狀部件4與第二表面12貼合后，通過(guò)控制液壓裝置2使得待拆裝板狀部件4與設(shè)備分離。
[0051]如圖1所示，每個(gè)所述液壓裝置2中包括一個(gè)伸縮桿21。所述伸縮桿21可伸縮于所述液壓裝置2并用于支撐襯板I，所述伸縮桿21可以伸出所述液壓裝置2至所述襯板I的第二表面12，以使所述襯板I升高，或者，所述伸縮桿21也可以縮回所述液壓裝置2內(nèi)，以使所述襯板I降低。