一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用新型頂針工裝結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種新型頂針工裝結(jié)構(gòu)，具體的說是一種采用分體式頂針支板調(diào)整結(jié)構(gòu)，通過調(diào)整連接分體式工裝的三個調(diào)整螺栓的高度，調(diào)節(jié)頂針支板水平的平整程度。屬于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前電子產(chǎn)品已經(jīng)是人們?nèi)粘Ｉ畹谋貍湮锲?，其需求量的增加帶動半?dǎo)體設(shè)備快速發(fā)展，頂針支板是半導(dǎo)體設(shè)備中，硅片傳入反應(yīng)腔的關(guān)鍵部件，能夠直接影響硅片傳入及傳出的速度。頂針支板要求高度水平，傳片時必須保證頂針支板上表面支起的三個頂針在同一高度，因此在安裝頂針支板時需要對頂針支板上表面進(jìn)行水平調(diào)整?，F(xiàn)有的頂針支板調(diào)平機(jī)構(gòu)為整體式，只能依靠調(diào)整機(jī)構(gòu)自身安裝基準(zhǔn)面的加工精度來提高頂針支板的水平程度，這種頂針支板調(diào)整結(jié)構(gòu)基準(zhǔn)面的加工難度大，并且一旦加工成型，頂針支板的水平程度基本確定，無法進(jìn)行調(diào)整，很難保證頂針支板的上表面的水平，同時無法保證三個頂針升起后在同一高度，影響硅片的傳送。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型以解決上述問題為目的，主要解決目前無法直接調(diào)節(jié)頂針支板水平程度的技術(shù)問題，提供一種頂針支板水平調(diào)整工裝，降低頂針支板調(diào)整機(jī)構(gòu)的加工難度，簡化頂針支板水平調(diào)整流程，提高頂針支板上表面水平調(diào)節(jié)的精度及水平調(diào)整速率。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用下述技術(shù)方案:一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用新型頂針工裝結(jié)構(gòu)，包括:定位銷(1)、支桿(2)、調(diào)整螺母(3)、調(diào)整螺栓(4)及支座(5)。所述支座(5)固定在滑塊上，可以帶動頂針支板調(diào)整工裝在基座上滑動，支座(5)上設(shè)有三個以120°均布的螺紋孔，用于與調(diào)整螺栓配合調(diào)整頂針支板的水平。
[0005]所述調(diào)整螺栓⑷采用細(xì)牙螺紋，旋轉(zhuǎn)螺栓⑷調(diào)整支桿(2)與支座(5)的相對位置，調(diào)整頂針支板上表面的水平度，調(diào)整螺栓旋轉(zhuǎn)一圈，可調(diào)整一個螺距的高度。在支桿
(2)與支座(5)連接的位置安裝墊片，在墊片的上方安裝調(diào)整螺母(3)，調(diào)整螺母(3)能夠確保頂針支板在工作過程中始終保持水平狀態(tài)。所述定位銷(1)主要用來確定頂針支板的安裝方向，便于頂針支板的安裝。調(diào)節(jié)調(diào)整螺栓(4)，當(dāng)頂針支板支起的三個頂針相對于加熱盤平面的高度相同時，頂針支板處于水平狀態(tài)，緊固調(diào)整螺母(3)，固定頂針支板調(diào)整工裝的支桿(2)與支座(5)的相對位置，完成頂針支板的水平調(diào)節(jié)。
[0006]采用上述工裝的調(diào)整水平方法，該方法是通過調(diào)節(jié)三個調(diào)整螺栓連接支座與支桿的相對位置，由三點調(diào)節(jié)確定一個水平面，完成支桿上頂針支板水平的調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)到頂針支板支撐的三個頂針高于加熱盤的距離相等，此時頂針支板的上表面水平。
[0007]支座安裝在滑塊上，可以帶動頂針支板調(diào)整工裝及頂針支板沿基座滑動，支座是整個調(diào)整工裝的安裝基準(zhǔn)，奠定盲調(diào)的基準(zhǔn)。支座上有三個以120°均布的螺紋孔，保證調(diào)整螺栓調(diào)整的頂針支板表面的三點能夠均勻分布，調(diào)節(jié)這三個點的高低，達(dá)到調(diào)整頂針支板表面水平的目的。
[0008]進(jìn)一步地，調(diào)節(jié)螺栓連接支座與支桿，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓能夠改變支座與支桿的相對位置，調(diào)節(jié)三個螺栓，微調(diào)支座與支桿的間距，直至支桿上的頂針支板達(dá)到水平狀態(tài)。當(dāng)頂針支板支撐的三個頂針距加熱盤表面的高度相等時，頂針支板的上表面處于水平。
[0009]進(jìn)一步地，調(diào)整螺母與墊片安裝在調(diào)整螺栓的上方，緊固調(diào)整螺栓，固定由調(diào)整螺栓確定的支座與支桿的相對位置關(guān)系，確保整個頂針支板調(diào)整工裝及頂針支板在基座上滑動的過程中，頂針支板的上表面保持水平。
[0010]本實用新型的有益效果及特點在于:結(jié)構(gòu)合理，操作方法簡便?？勺杂煽刂祈斸樦О迳媳砻娴乃匠潭?，提高硅片傳送的速度和質(zhì)量，頂針支板的水平使得硅片下落更加穩(wěn)定，能有效避免硅片與加熱盤發(fā)生磕碰，并且硅片隨頂針下落的位置更加穩(wěn)定?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【附圖說明】
[0011]圖1是頂針支板調(diào)整工裝結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是頂針支板調(diào)整工裝結(jié)構(gòu)剖面圖。
[0013]圖3是頂針支板調(diào)節(jié)工裝安裝示意圖。
[0014]圖中:1.定位銷；2.支桿；3.調(diào)整螺母；4.調(diào)整螺栓；5.支座；6.加熱盤；7.頂針；8.頂針支板；9.頂針支板調(diào)整工裝基座；10.加熱盤基座；11.水冷塊；12.托架。
[0015]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
【具體實施方式】
[0016]實施例
[0017]參照圖1-3，一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用新型頂針工裝結(jié)構(gòu)，包括:定位銷1、支桿2、調(diào)整螺母3、調(diào)整螺栓4及支座5。所述支座5固定在滑塊上，帶動頂針支板調(diào)整工裝在基座9上滑動。所述支座5上設(shè)有三個以120°均布的螺紋孔，用于與調(diào)整螺栓配合調(diào)整頂針支板8的水平。所述調(diào)整螺栓4采用細(xì)牙螺紋，旋轉(zhuǎn)螺栓4調(diào)整支桿2與支座5的相對高度，調(diào)節(jié)頂針支板8上表面的水平度，調(diào)整螺栓4旋轉(zhuǎn)一圈，可調(diào)整一個螺距的高度。在支桿2與支座5連接的位置安裝墊片，在墊片的上方安裝調(diào)整螺母3，調(diào)整螺母3能夠確保頂針支板8在工作過程中始終保持水平狀態(tài)。所述定位銷1主要用來確定頂針支板8的安裝方向，便于頂針支板8的安裝。調(diào)節(jié)調(diào)整螺栓4，當(dāng)頂針支板8支起的三個頂針7相對于加熱盤6平面的高度相同時，頂針支板8處于水平狀態(tài)，緊固調(diào)整螺母3，固定頂針支板調(diào)整工裝的支桿2與支座5的相對高度，完成頂針支板的水平調(diào)節(jié)。
[0018]從圖3中可以看出，加熱盤6為三個頂針7高度的測量基準(zhǔn)，也是頂針支板8達(dá)到水平狀態(tài)的衡量基準(zhǔn)。加熱盤6由水冷塊11和托架12支撐，可以在加熱盤基座10上滑動，在安裝加熱盤6時對其上表面進(jìn)行調(diào)平，以保證頂針支板調(diào)整工裝的基準(zhǔn)水平。
[0019]采用上述工裝的調(diào)整水平方法，該方法是通過調(diào)節(jié)三個調(diào)整螺栓連接支座與支桿的相對位置，由三點調(diào)節(jié)確定一個水平面，完成支桿上頂針支板水平的調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)到頂針支板支撐的三個頂針高于加熱盤的距離相等，此時頂針支板的上表面水平。
[0020]支座安裝在滑塊上，可以帶動頂針支板調(diào)整工裝及頂針支板沿基座滑動，支座是整個調(diào)整工裝的安裝基準(zhǔn)，奠定盲調(diào)的基準(zhǔn)。支座上有三個以120°均布的螺紋孔，保證調(diào)整螺栓調(diào)整的頂針支板表面的三點能夠均勻分布，調(diào)節(jié)這三個點的高低，達(dá)到調(diào)整頂針支板表面水平的目的。
[0021]進(jìn)一步地，調(diào)節(jié)螺栓連接支座與支桿，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓能夠改變支座與支桿的相對位置，調(diào)節(jié)三個螺栓，微調(diào)支座與支桿的間距，直至支桿上的頂針支板達(dá)到水平狀態(tài)。當(dāng)頂針支板支撐的三個頂針距加熱盤表面的高度相等時，頂針支板的上表面處于水平。
[0022]進(jìn)一步地，調(diào)整螺母與墊片安裝在調(diào)整螺栓的上方，緊固調(diào)整螺栓，固定由調(diào)整螺栓確定的支座與支桿的相對位置關(guān)系，確保整個頂針支板調(diào)整工裝及頂針支板在基座上滑動的過程中，頂針支板的上表面保持水平。
[0023]本實用新型通過旋轉(zhuǎn)三個調(diào)整螺栓，調(diào)節(jié)支桿與支座的相對高度，可調(diào)節(jié)頂針支板上表面的水平度，當(dāng)頂針支板支撐的三個頂針距加熱盤表面的高度相同時，頂針支板上表面處于水平狀態(tài)，擰緊調(diào)整螺母保證頂針支板沿Z向移動中始終保持水平。
【主權(quán)項】
1.一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用新型頂針工裝結(jié)構(gòu)，其特征在于:它包括定位銷、支桿、調(diào)整螺母、調(diào)整螺栓及支座，所述支座固定在滑塊上，帶動頂針支板調(diào)整工裝在基座上滑動，支座上設(shè)有三個以120°均布的螺紋孔，該螺紋孔與調(diào)整螺栓配合調(diào)整頂針支板的水平。2.如權(quán)利要求1所述的頂針工裝結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述調(diào)整螺栓采用細(xì)牙螺紋，旋轉(zhuǎn)螺栓調(diào)整支桿與支座的相對位置，調(diào)整頂針支板上表面的水平度，調(diào)整螺栓旋轉(zhuǎn)一圈，調(diào)整一個螺距的高度，在支桿與支座連接的位置安裝墊片，在墊片的上方安裝調(diào)整螺母。
【專利摘要】一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用新型頂針工裝結(jié)構(gòu)，主要解決頂針支板上表面水平調(diào)整問題。其工裝結(jié)構(gòu)包括：定位銷、支桿、調(diào)整螺母、調(diào)整螺栓及支座。所述定位銷主要用來確定頂針支板的安裝方向，便于頂針支板的安裝。所述支座固定在滑塊上，帶動頂針支板調(diào)整工裝在基座上滑動，支座上設(shè)有三個120°均布的螺紋孔。所述調(diào)整螺栓采用細(xì)牙螺紋，旋轉(zhuǎn)螺栓調(diào)整支桿與支座的相對高度，調(diào)整螺栓旋轉(zhuǎn)一圈，可調(diào)整一個螺距的高度，調(diào)節(jié)調(diào)整螺栓，當(dāng)頂針支板支起的三個頂針相對于加熱盤平面的高度相同時，頂針支板處于水平狀態(tài)，緊固調(diào)整螺母，固定頂針支板調(diào)整工裝的支桿與支座的相對高度，完成頂針支板的水平調(diào)節(jié)。其結(jié)構(gòu)合理，操作方法簡便，有效提高頂針支板上表面水平調(diào)整的效率。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號】CN205081108
【申請?zhí)枴緾N201520808076
【發(fā)明人】柴智
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月13日