經(jīng)由連接支架33相互連接的一對放電管41形成的空間。
[0028]氣體循環(huán)系統(tǒng)3具備渦輪鼓風(fēng)機(jī)35，其在連接支架33的附近具有吸入部。如圖中的箭頭所示，通過渦輪鼓風(fēng)機(jī)35使激光氣體在氣體容器31的內(nèi)部空間311以及放電空間32循環(huán)。在渦輪鼓風(fēng)機(jī)35的上游側(cè)(吸入部側(cè))以及下游側(cè)(吐出部側(cè))分別配置有用于冷卻激光氣體的熱交換器34。
[0029]氣體循環(huán)系統(tǒng)3還具備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)36和氣體壓力控制系統(tǒng)37。冷卻水循環(huán)系統(tǒng)36具有使用于冷卻熱交換器34以及氣體容器31的冷卻水循環(huán)的功能。氣體壓力控制系統(tǒng)37具有如下的功能，即通過從外部向氣體容器31內(nèi)導(dǎo)入激光氣體，或者從氣體容器31向外部排出激光氣體，來控制激光氣體的壓力。通過CNC2或其他控制裝置(未圖示)來控制冷卻水循環(huán)系統(tǒng)36以及氣體壓力控制系統(tǒng)37。
[0030]諧振器4具備:一對放電管41、相對激光氣體的流動配置在一個放電管41的上游側(cè)的部分反射鏡即后鏡(rear mirror)44以及配置在另一個放電管41的上游側(cè)的部分反射鏡即輸出鏡45。放電管41具備主電極42，當(dāng)從電源部5向主電極42施加了預(yù)定的電壓時，在放電空間32中發(fā)生放電。此外，在每個放電管41的上游設(shè)置有輔助經(jīng)由主電極42的放電的輔助電極43，當(dāng)氣體激光振蕩器1運(yùn)轉(zhuǎn)時，與主電極42 —起接受來自電源部5的電力供給。
[0031]當(dāng)在放電空間32中發(fā)生放電時，激發(fā)激光氣體而產(chǎn)生光。產(chǎn)生的光一邊在后鏡44與輸出鏡45之間重復(fù)反射，一邊通過受激發(fā)射而被放大。被充分放大后的激光的一部分通過輸出鏡45后向外部排出。例如執(zhí)行激光加工時使用激光。在輸出鏡45的輸出側(cè)設(shè)置有機(jī)械閘門46，可以根據(jù)需要對激光進(jìn)行切斷。此外，諧振器4還具備用于檢測激光輸出的功率傳感器47。將功率傳感器47的檢測值輸入到接口部6的監(jiān)視部62中。
[0032]電源部5具有根據(jù)從輸出指令部61輸入的電源輸出指令，向各個放電管41供給高頻電力的功能。電源部5具備電源單元51和匹配單元53。在圖示的實(shí)施方式中，針對一對放電管41分別設(shè)置有電源單元51以及匹配單元53，但這些結(jié)構(gòu)以及作用效果相互相同，因此僅對一方的電源單元51以及匹配單元53進(jìn)行說明。
[0033]電源單元51輸出與從接口部6的輸出指令部61輸入的電源輸出指令對應(yīng)的DC電流。輸出指令部61根據(jù)來自CNC2的控制信號生成電源輸出指令。將從電源單元51輸出的DC電流轉(zhuǎn)換成高頻電力后，輸入到匹配單元53中。匹配單元53整合電源部5側(cè)的輸出阻抗與放電負(fù)載側(cè)的輸入阻抗，來向放電管41施加與電源輸出指令對應(yīng)的電壓(以下，稱為“放電管電壓”)。
[0034]電源單元51具備用于檢測由電源單元51輸出的DC電流的電流檢測部52。此外，匹配單元53具備用于檢測放電管電壓的電壓檢測部54。向接口部6的監(jiān)視部62分別輸入電流檢測部52以及電壓檢測部54的檢測值。
[0035]圖2是氣體激光振蕩器1的功能框圖。如圖所示，CNC2具備放電開始判定部21、重試處理部22、密閉性判定部23以及存儲部24。CNC2具有包括CPU、ROM、RAM等的硬件結(jié)構(gòu)。以下，為了簡單只對1個放電管41進(jìn)行說明，但如果是本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，可以容易地認(rèn)識到對具備任意數(shù)量的放電管的氣體激光振蕩器也可以應(yīng)用同樣的概念。
[0036]當(dāng)使氣體激光振蕩器1從等待狀態(tài)恢復(fù)時，放電開始判定部21判定是否在放電管41中開始了放電。在一實(shí)施方式中，當(dāng)使電源輸出指令以階梯狀增大時，放電開始判定部21根據(jù)由電壓檢測部54檢測出的放電管電壓的變化量是否超過了預(yù)定的閾值來判定放電開始。
[0037]在執(zhí)行氣體激光振蕩器1的恢復(fù)動作時，若從電源單元51輸出的DC電流超過了預(yù)定的閾值，則重試處理部22暫時使電源輸出指令下降后，重新執(zhí)行使電源輸出指令以階梯狀增加的工序(重試處理)。具體而言，在一實(shí)施方式中，當(dāng)電流檢測部52的檢測值超過了預(yù)定的閾值時，重試處理部22執(zhí)行重試處理。
[0038]密閉性判定部23根據(jù)放電開始時間來判定氣體容器31的密閉性是否下降。在一實(shí)施方式中，放電開始時間是從向放電管41施加放電管電壓到在放電管41開始放電為止所需要的時間。例如通過放電開始判定部21來判定是否開始了放電。
[0039]存儲部24根據(jù)需要對各種信息進(jìn)行存儲。例如，存儲部24存儲密閉性判定部23判定氣體容器31的密閉性下降的次數(shù)。此外，在一實(shí)施方式中，存儲部24也可以存儲重試次數(shù)。存儲部24通過非易失性存儲器來存儲各種信息，以便即使切斷了向氣體激光振蕩器1供給的電力也能夠保持存儲信息?；蛘撸鎯Σ?4也可以通過與氣體激光振蕩器1的電源不同的電源，與可動作的外部存儲裝置協(xié)作地存儲信息。
[0040]顯示裝置7是具有IXD等公知結(jié)構(gòu)的顯示裝置，并根據(jù)需要顯示各種信息。顯示裝置7例如是顯示CNC2的控制程序或參數(shù)等的一般的顯示裝置。在一實(shí)施方式中，顯示裝置7例如也可以顯示密閉性判定部23判定氣體容器31的密閉性下降的次數(shù)。此外，在一實(shí)施方式中，顯示裝置7也可以顯示存儲在CNC2中的放電開始時間。
[0041]圖3是說明在一實(shí)施方式的氣體激光振蕩器1中，判定氣體容器31的密閉性的密閉性判定功能的圖。在本實(shí)施方式中，當(dāng)氣體激光振蕩器1從等待狀態(tài)恢復(fù)時，執(zhí)行密閉性的判定。因此，圖3的流程圖表示氣體激光振蕩器1從等待狀態(tài)恢復(fù)時的工序的流程。
[0042]通過向CNC2輸入預(yù)定的控制信號來開始從等待狀態(tài)的恢復(fù)動作。另外，“等待狀態(tài)”表示來自輸出指令部61的電源輸出指令為零，且在放電管41中沒有發(fā)生放電的狀態(tài)。當(dāng)開始恢復(fù)動作時，在步驟S301中將重試次數(shù)Μ設(shè)定為零。此外，啟動用于測量放電開始時間的定時器。
[0043]在步驟S302中，輸出指令部61在預(yù)定的時間Δ t內(nèi)輸出電源輸出指令C1 (0)。此夕卜，將步進(jìn)(step)次數(shù)N設(shè)定為零。
[0044]在步驟S303中，電流檢測部52根據(jù)電源輸出指令C1 (0)檢測從電源單元51輸出的DC電流1(0)，并且電壓檢測部54檢測向放電管41施加的放電管電壓V(0)。將DC電流I (0)以及放電管電壓V(0)輸入到監(jiān)視部62中，并且存儲在CNC2的存儲部24中。
[0045]在步驟S304中，向步進(jìn)次數(shù)N代入N+1后，在步驟S305中，輸出指令部61在預(yù)定的時間At內(nèi)輸出向之前的電源輸出指令Cl (N — 1)相加AC1而得到的電源輸出指令C1(N)。這樣，在本實(shí)施方式中，輸出指令部61在每個預(yù)定的周期(At)使電源輸出指令以階梯狀僅增加AC1。
[0046]在步驟S306中，電流檢測部52以及電壓檢測部54檢測與電源輸出指令Cl (N)對應(yīng)的DC電流I (N)以及放電管電壓V(N)。將這些DC電流I (N)以及放電管電壓V(N)輸入到監(jiān)視部62中，并且存儲在CNC2的存儲部24中。
[0047]在步驟S307中，CNC2的放電開始判定部21判斷是否在放電管41中開始了放電。根據(jù)當(dāng)前的放電管電壓V(N)與之前的放電管電壓V(N — 1)之間