機(jī)臺(tái)上采集圖像鏡頭的使用壽命或者鏡頭在Z方向上的偏移兩個(gè)因素的影響，采集到的圖像與預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像相比有略微的散焦，從而導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)失敗率變高，掃描的晶圓片數(shù)變少。針對(duì)上述問題，本發(fā)明提出了一種改進(jìn)方法。
[0036]首先，在進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)前，先建立用于儲(chǔ)存參考圖像的數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫包括每個(gè)參考圖像的寫入時(shí)間、ID、被用于預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像的次數(shù)及時(shí)間等信息。所述參考圖像來源于缺陷掃描機(jī)臺(tái)用于對(duì)準(zhǔn)比對(duì)的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像或某一時(shí)刻采集的檢測(cè)晶圓圖像，并隨時(shí)可根據(jù)需要更新寫入新的圖像信息。在檢測(cè)前將參考圖像數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)導(dǎo)入所述掃描機(jī)臺(tái)，以便后續(xù)進(jìn)行比對(duì)使用。
[0037]下面結(jié)合流程圖對(duì)本發(fā)明提出的缺陷掃描機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的改進(jìn)方法做進(jìn)一步的說明。
[0038]首先，執(zhí)行步驟300，采集預(yù)檢測(cè)晶圓的圖像，與建立工藝配方時(shí)預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像進(jìn)行比對(duì)。
[0039]通過缺陷掃描機(jī)臺(tái)的圖像采集裝置來進(jìn)行對(duì)預(yù)檢測(cè)晶圓圖像的采集。所述圖像采集裝置主要包括光學(xué)鏡頭、攝像機(jī)和采集卡等部分。采集到預(yù)檢測(cè)晶圓的圖像后，與建立工藝配方時(shí)的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像進(jìn)行比對(duì)。
[0040]如果采集的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像匹配，則進(jìn)行步驟320，對(duì)準(zhǔn)成功。缺陷掃描機(jī)臺(tái)順利進(jìn)入接下來的缺陷掃描過程。
[0041]若預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像不匹配，則執(zhí)行步驟310，與數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行逐一比對(duì)。由于參考圖像來源于預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像或某一時(shí)刻采集的晶圓圖像，因此其更準(zhǔn)確可靠，能夠作為對(duì)準(zhǔn)比對(duì)的依據(jù)。作為一個(gè)實(shí)例，比對(duì)順序以被匹配次數(shù)最多的參考圖像優(yōu)先，若被匹配次數(shù)相同，以匹配時(shí)間最近的參考圖像優(yōu)先。參考圖像被匹配次數(shù)越多也就表明該圖像越能反映缺陷掃描機(jī)臺(tái)上的鏡頭經(jīng)常處于的狀態(tài)，而如果被匹配次數(shù)相同，以匹配時(shí)間最近的參考圖像優(yōu)先，這主要因?yàn)槠ヅ鋾r(shí)間越近，其與現(xiàn)有缺陷掃描機(jī)臺(tái)上的鏡頭狀態(tài)就越接近，其圖像也就越有可能與預(yù)檢測(cè)晶圓的圖像匹配。以上述比對(duì)順序進(jìn)行比對(duì)，可提高比對(duì)的速度、效率和準(zhǔn)確率，降低對(duì)準(zhǔn)失敗率。
[0042]若執(zhí)行步驟310過程中，在所述數(shù)據(jù)庫中找到匹配的參考圖像，則執(zhí)行步驟311，對(duì)準(zhǔn)成功，并記錄所述數(shù)據(jù)庫中該參考圖像的ID。進(jìn)一步，執(zhí)行步驟313，將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行比對(duì)時(shí)，若連續(xù)3次以上與所述數(shù)據(jù)庫中同一參考圖像ID相匹配，則將該參考圖像寫入為該工藝配方的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像。值得一提的是，在此并不對(duì)連續(xù)匹配次數(shù)做具體限制，為了降低對(duì)準(zhǔn)失敗率，可選地，連續(xù)匹配次數(shù)為3次時(shí)，即可則將該參考圖像寫入為該工藝配方的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像。在此將參考圖像寫入為預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像是因?yàn)樵谌毕輶呙铏C(jī)臺(tái)的持續(xù)使用過程中，機(jī)臺(tái)上采集圖像鏡頭的使用時(shí)間不斷增加越來越接近其使用壽命或者鏡頭在Z方向上的發(fā)生偏移，導(dǎo)致采集到的圖像與預(yù)設(shè)定的對(duì)比圖像相比有略微的散焦，而造成不能匹配的情況出現(xiàn)，若連續(xù)三次以上與參考圖像匹配成功，則間接反映缺陷掃描機(jī)臺(tái)上鏡頭狀態(tài)可能發(fā)生了變化，原預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像不能再適用于現(xiàn)有機(jī)臺(tái)的狀態(tài)，而參考圖像在此能適用。
[0043]進(jìn)一步，執(zhí)行步驟315，若3個(gè)不同工藝配方的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像被所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像替換，警示給相關(guān)人員。作為一個(gè)實(shí)例，警示給相關(guān)人員的警示信息包含工藝配方名稱，替換時(shí)間和圖像ID。
[0044]若在執(zhí)行步驟310過程中，在所述數(shù)據(jù)庫中未找到與所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像相匹配的圖像，則執(zhí)行步驟312，將采集的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像寫入所述數(shù)據(jù)庫，并標(biāo)記其ID，及寫入時(shí)間，然后執(zhí)行步驟314，警示操作人員進(jìn)行人工對(duì)準(zhǔn)。將采集的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像寫入數(shù)據(jù)庫，目的是更新數(shù)據(jù)庫中參考圖像數(shù)量，使數(shù)據(jù)庫中的圖像信息能更全面的反映采集圖像鏡頭在某狀態(tài)時(shí)可能采集到的圖像，以便在以后進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，若出現(xiàn)與寫入數(shù)據(jù)庫中的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像相匹配的圖像時(shí)，不需再進(jìn)行人工對(duì)準(zhǔn)，即可對(duì)準(zhǔn)成功，省時(shí)省力。
[0045]綜上所述，本發(fā)明建立的優(yōu)化缺陷掃描機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)流程，可根據(jù)工藝配方在應(yīng)用中的不同表現(xiàn)，重新定義預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像或者更新數(shù)據(jù)庫中的參考圖像，參考圖像的不斷更新有利于校正由于掃描機(jī)臺(tái)上鏡頭狀態(tài)隨時(shí)間的變化而造成的散焦問題導(dǎo)致的對(duì)準(zhǔn)失敗問題，降低對(duì)準(zhǔn)失敗率，有效監(jiān)控機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的性能，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良率。
[0046]本發(fā)明已經(jīng)通過上述實(shí)施例進(jìn)行了說明，但應(yīng)當(dāng)理解的是，上述實(shí)施例只是用于舉例和說明的目的，而非意在將本發(fā)明限制于所描述的實(shí)施例范圍內(nèi)。此外本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍以內(nèi)。本發(fā)明的保護(hù)范圍由附屬的權(quán)利要求書及其等效范圍所界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種缺陷掃描機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的改進(jìn)方法，所述方法包括: 建立用于儲(chǔ)存參考圖像的數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫包括每個(gè)所述參考圖像的寫入時(shí)間、ID、被用于預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像的次數(shù)及時(shí)間； 將采集的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與建立工藝配方時(shí)的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像進(jìn)行逐一比對(duì)，若不匹配，則與所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行比對(duì)； 在所述數(shù)據(jù)庫中找到匹配的參考圖像時(shí)，則對(duì)準(zhǔn)成功，并記錄所述數(shù)據(jù)庫中該參考圖像的ID ； 若在所述數(shù)據(jù)庫中未找到與所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像相匹配的圖像，則將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像寫入所述數(shù)據(jù)庫，并標(biāo)記其ID，及寫入時(shí)間，然后警示操作人員進(jìn)行人工對(duì)準(zhǔn)。2.如權(quán)利要求1所述的改進(jìn)方法，其特征在于，將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與所述預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像進(jìn)行比對(duì)時(shí)，若匹配，則對(duì)準(zhǔn)成功。3.如權(quán)利要求1所述的改進(jìn)方法，其特征在于，將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行比對(duì)時(shí)，所述比對(duì)的順序以被匹配次數(shù)最多的參考圖像優(yōu)先。4.如權(quán)利要求3所述的改進(jìn)方法，其特征在于，當(dāng)所述被匹配次數(shù)相同時(shí)，所述比對(duì)的順序以匹配時(shí)間最近的參考圖像優(yōu)先。5.如權(quán)利要求1所述的改進(jìn)方法，其特征在于，將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行比對(duì)時(shí)，若連續(xù)3次以上與所述數(shù)據(jù)庫中同一參考圖像ID相匹配，則將該參考圖像寫入為該工藝配方的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像。6.如權(quán)利要求5所述的改進(jìn)方法，其特征在于，若3個(gè)不同工藝配方的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像被所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像替換，警示給相關(guān)人員。7.如權(quán)利要求6所述的改進(jìn)方法，其特征在于，所述警示給相關(guān)人員的警示信息包含工藝配方名稱，替換時(shí)間和圖像ID。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種缺陷掃描機(jī)臺(tái)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的改進(jìn)方法，所述方法包括：建立用于儲(chǔ)存參考圖像的數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫包括每個(gè)所述參考圖像的寫入時(shí)間、ID、被用于預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像的次數(shù)及時(shí)間；將采集的預(yù)檢測(cè)晶圓圖像與建立工藝配方時(shí)的預(yù)設(shè)定對(duì)比圖像進(jìn)行逐一比對(duì)，若不匹配，則與所述數(shù)據(jù)庫中的參考圖像進(jìn)行比對(duì)；在所述數(shù)據(jù)庫中找到匹配的參考圖像時(shí)，則對(duì)準(zhǔn)成功，并記錄所述數(shù)據(jù)庫中該參考圖像的ID；若在所述數(shù)據(jù)庫中未找到與所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像相匹配的圖像，則將所述預(yù)檢測(cè)晶圓圖像寫入所述數(shù)據(jù)庫，并標(biāo)記其ID，及寫入時(shí)間，然后警示操作人員進(jìn)行人工對(duì)準(zhǔn)。根據(jù)本發(fā)明提出的改進(jìn)方法，可降低對(duì)準(zhǔn)失敗率，提高生產(chǎn)效率。
【IPC分類】H01L21/68, H01L21/66
【公開號(hào)】CN105097578
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410186904
【發(fā)明人】黃沙, 董麗艷, 張玨, 陳思安
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2014年5月5日