專利名稱：具有相等阻值電阻器的電阻器串的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有帶相等阻值電阻器的電阻器串的集成電路，特別是涉及一種具有這種電阻器串的數(shù)—模轉(zhuǎn)換器(DAC)。
DAC用于把一個(gè)數(shù)字編碼信號(hào)轉(zhuǎn)換為一個(gè)模擬信號(hào)，或者是與后續(xù)的近似的電路系統(tǒng)相結(jié)合，作為一個(gè)?！獢?shù)轉(zhuǎn)換器的部件。DAC把一個(gè)數(shù)字編碼信號(hào)轉(zhuǎn)換為一個(gè)對(duì)應(yīng)于該數(shù)字編碼信號(hào)的模擬信號(hào)，典型地為一個(gè)電壓。對(duì)于一個(gè)對(duì)應(yīng)于數(shù)字編碼信號(hào)的范圍的預(yù)置范圍，模擬信號(hào)可以取許多不同的值。
DAC可以使用一個(gè)包括由許多相等阻值的電阻器串聯(lián)的電阻器串。在電阻器串中相鄰的電阻器之間，以及在電阻器串和為電阻器串供電的電源之間的中間抽頭，連接于一個(gè)輸出結(jié)點(diǎn)和各中間抽頭之間的開(kāi)關(guān)，在接通時(shí)使相應(yīng)的中間抽頭與輸出結(jié)點(diǎn)導(dǎo)電聯(lián)接，當(dāng)關(guān)閉時(shí)使中間抽頭與輸出結(jié)點(diǎn)相互隔絕。
電阻器的形成精度影響到產(chǎn)生的模擬信號(hào)的精度?，F(xiàn)有DAC的不足是難以制造出每個(gè)電阻器有相等阻值的電阻器串，特別是在那種電阻器串的線路布置中包括一個(gè)或多個(gè)方向相反的應(yīng)用中。方向反轉(zhuǎn)是用來(lái)把電阻串限制于集成電路的一定面積中，這樣就能使集成電路單片有一個(gè)可以接受的縱橫尺寸比。電阻器制造中的不精確性將導(dǎo)致在DAC的輸出中產(chǎn)生不正確的模擬信號(hào)。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)說(shuō)明實(shí)施例，一個(gè)集成電路包括一個(gè)電阻器串，該電阻器串包括串聯(lián)在一起的提供電流通路的多個(gè)電阻器。每個(gè)電阻器包括第一和第二鄰接元件。第一和第二元件的結(jié)合處形成在電阻器串的線路布置中的線路布置的方向轉(zhuǎn)變結(jié)構(gòu)處。抽頭沿電阻器串以基本上相等的阻值間隔設(shè)置。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第一和第二元件可以是不同邊緣尺寸的方形。電阻器串可以在例如數(shù)—模轉(zhuǎn)換器一類的應(yīng)用中使用。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的數(shù)—模轉(zhuǎn)換器示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的電阻器串的線路布置圖；圖3是圖2中的一串電阻器和兩個(gè)鄰接的中間抽頭的放大視圖；圖4是圖2中所示的方向相反的電阻器，以及鄰接中間抽頭放大視圖；圖5是一個(gè)薄膜電阻器串的替代實(shí)施例的線路布置圖；圖6是一個(gè)薄膜電阻器串的替代實(shí)施例的線路布置圖。
圖1顯示了體現(xiàn)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的DAC 10的示意圖。DAC10包括一個(gè)連接在電源上的電阻器串。多個(gè)開(kāi)關(guān)把中間抽頭與一個(gè)共用輸出結(jié)點(diǎn)連接在一起。出現(xiàn)在輸出結(jié)點(diǎn)的模擬電壓的大小依賴于接通哪一個(gè)或幾個(gè)開(kāi)關(guān)。輸出可以由一個(gè)可能把輸出轉(zhuǎn)變?yōu)榱硪环N形式的輸出放大器放大。根據(jù)本發(fā)明的電阻器串適于在單片式集成電路的制造中使用。
電阻器串12是由一系列的電阻器構(gòu)成。電阻器的數(shù)量標(biāo)明為n，這個(gè)數(shù)目是由使用者決定的。電阻器用符號(hào)R1至Rn表示。包括電阻器串的電阻器的阻值是根據(jù)使用決定的。從R1至Rn每個(gè)電阻器的電阻值是由本領(lǐng)域?qū)I(yè)人員根據(jù)各種參數(shù)選擇的，例如，根據(jù)消耗的功率，電阻器串兩端的電位，以及電阻器串中電阻器的數(shù)目等。
在一個(gè)實(shí)施例中，電阻器串是一個(gè)連續(xù)的薄膜金屬通路8，它具有每一金屬方形的薄層阻值。典型的薄層阻值是0.04歐姆/方的范圍。典型的電阻器串是一個(gè)在硅集成電路上的鋁的薄膜金屬電阻網(wǎng)絡(luò)。抽頭以基本上相等的阻值間隔從金屬通路上伸出。在圖1的實(shí)施例中，所示的電阻器串12連接在兩個(gè)參考電位值V1和V2之間。電阻器串12由電源4提供能源，它可以是電壓或電流源。對(duì)于單端型工作，V1實(shí)際上可以是供電電壓，V2可以是接地電位。形狀M1至Mn+1連接在相應(yīng)的中間抽頭T1至Tn+1和輸出結(jié)點(diǎn)14之間。說(shuō)明例中，開(kāi)關(guān)是MOS晶體管。開(kāi)關(guān)晶體管M1至Mn+1是由轉(zhuǎn)換晶體管選擇和驅(qū)動(dòng)電路2控制的，這是已知的技術(shù)。由于晶體管M1至Mn+1的開(kāi)關(guān)形成的瞬態(tài)電容充電電流可以做到零，或做到電路的穩(wěn)定。
DAC10包括電阻器串12中的大量電阻器。電阻器串電路布置可以包括一個(gè)方向反轉(zhuǎn)，或在某些情況下包括許多方向反轉(zhuǎn)，這就增加了保持電阻器串中所有電阻器阻值一致的困難。在理想的情況下，電阻器串的兩端要形成電壓梯度，而在電阻器串中每個(gè)電阻器兩端的分電壓應(yīng)是基本上相同的。因?yàn)橥ㄟ^(guò)電阻器串的電流與通過(guò)電阻串中所有電阻器的電流是一樣的，每個(gè)電阻器兩端的分電壓是基本一樣的，因此每個(gè)電阻器的阻值必然與其它電阻器的阻值相同。沿電阻器串12以基本相等的阻值間隔設(shè)置抽頭，T1至Tn+1，最好是不在電流通路的位置上。在這種方式中，中間抽頭的存在不影響電流通過(guò)電阻器串。
圖2顯示了一個(gè)包括在通路8中一個(gè)方向反轉(zhuǎn)的電阻器串12典型部分的實(shí)施例。在構(gòu)造電阻器R1至Rn時(shí)，使每個(gè)電阻器的幾何構(gòu)造與其它電阻器相同。每個(gè)電阻器的幾何形狀包括至少一個(gè)較短的導(dǎo)電材料元件和一個(gè)較長(zhǎng)的導(dǎo)電材料元件。每個(gè)電阻包括至少一個(gè)導(dǎo)致通路改變方向的幾何構(gòu)造。
圖3中放大顯示的電阻R3是通路8中的非方向反轉(zhuǎn)電阻器的典型。每個(gè)這樣的電阻器具有相同的面積，至少一個(gè)具有導(dǎo)致通路改變方向的構(gòu)造，并具有相同的阻值。在本實(shí)施例中，導(dǎo)致通路改變方向的構(gòu)造是一個(gè)使通路方向改變90°的拐角。每個(gè)非方向反轉(zhuǎn)電阻器包括由一個(gè)較長(zhǎng)的導(dǎo)電材料連接的兩個(gè)較短的導(dǎo)電材料元件30和32。每個(gè)電阻器包括至少一個(gè)拐角36或38。那些在通路8中的不是方向反轉(zhuǎn)電阻器的電阻器包括兩個(gè)拐角36和38，各拐角分別位于較短元件30和32與較長(zhǎng)元件34的交界處。在通路8中的不是反轉(zhuǎn)電阻器的電阻器所具有的拐角處，較短的第一和第二元件30和32從較長(zhǎng)元件34以相反的方向伸展。在這種結(jié)構(gòu)中，通過(guò)電阻器串12的電流在每個(gè)這樣的電阻器中具有相同的阻值和電流流通特性。
在中間抽頭處，導(dǎo)電線路(未示出)通過(guò)連接件或轉(zhuǎn)接件42與電阻器串互聯(lián)，導(dǎo)電線路是在集成電路中的電阻器中的上面一層或下面一層上，并通過(guò)轉(zhuǎn)接件42與中間抽頭連接。轉(zhuǎn)接件42和導(dǎo)電線路是用來(lái)讀出每個(gè)中間抽頭處的電壓的。轉(zhuǎn)接件42位于電阻器串12中的一個(gè)電阻器的第一較短元件30和一個(gè)鄰接電阻器的第二較短元件32的交界處。轉(zhuǎn)接件42位于一個(gè)電阻器的第一較短元件30和一個(gè)鄰接電阻器的第二較短元件32的組合結(jié)構(gòu)中，處于電流通路之外，因此遠(yuǎn)離拐角36和38。在這種方式中，在電阻器串12中流過(guò)一個(gè)電阻器的較長(zhǎng)元件34，繞過(guò)拐角38進(jìn)入第二較短元件32，再進(jìn)入一個(gè)鄰接電阻器的第一較短元件30，繞過(guò)拐角36進(jìn)入該鄰接電阻器的較長(zhǎng)元件34的電流并不因?yàn)檗D(zhuǎn)接件42的存在而改變。
圖4顯示了從圖2中放大的通路8中方向反轉(zhuǎn)電阻器。通路8中的方向反轉(zhuǎn)電阻器DR1和DR2成比例的大一些，以便保持與通路8中的不是方向反轉(zhuǎn)電阻器的電阻器相同的阻值。較長(zhǎng)元件134的寬度150大于較長(zhǎng)元件34的寬度50(圖3)。從拐角136到線段148的較長(zhǎng)元件134的長(zhǎng)度大于從接近拐角36的邊緣46到接近拐角38的邊緣46的較長(zhǎng)元件34(圖3)的相應(yīng)的長(zhǎng)度。較長(zhǎng)元件134的長(zhǎng)度和寬度按比例地大于較長(zhǎng)元件34的相應(yīng)的長(zhǎng)度和寬度，使得較長(zhǎng)元件134的阻值與較長(zhǎng)元件34的阻值基本相同。每個(gè)通路8的方向反轉(zhuǎn)電阻器包括一個(gè)拐角136。在本實(shí)施例中的拐角136使得通路8的方向發(fā)生反轉(zhuǎn)。較短元件130可以寬于較短元件30(圖3)以便容納較長(zhǎng)元件134的寬度150。一個(gè)轉(zhuǎn)接件142位于方向反轉(zhuǎn)電阻器DR1和DR2之間的通路8的金屬延伸部，處于電流通路之外。
圖5顯示了薄膜電阻器串112的另一實(shí)施例的電路布置圖。電阻器串利用幾個(gè)方向反轉(zhuǎn)在電路布置圖中每行向前和向后地變換方向一左一右地蛇形排列。每個(gè)電阻器是以相同的幾何構(gòu)造構(gòu)成的。每個(gè)電阻器包括兩個(gè)用長(zhǎng)元件相互連接的短元件。每個(gè)電阻器還包括使通路8改變方向的構(gòu)造，該構(gòu)造使通路8從第一方向，例如沿元件230，改變到與第一方向基本垂直的第二方向，例如沿元件234。然后通路8再次改變方向以便從與第一方向基本平行的第三方向中通過(guò)，例如沿元件232。在本實(shí)施例中是利用兩個(gè)拐角完成這種方向改變的。在這種方式中，由于每個(gè)電阻器中的通路8的相同幾何構(gòu)造，電流通過(guò)電阻器112時(shí)在每個(gè)電阻器中的阻值相等。
電阻器串112中的每個(gè)電阻器是由通過(guò)一個(gè)導(dǎo)電材料的較長(zhǎng)元件234相互連接的兩個(gè)導(dǎo)電材料的較短元件230和232構(gòu)成的。每個(gè)電阻器包括兩個(gè)拐角236和238，每個(gè)拐角分別位于較短元件230和232與較長(zhǎng)元件234的交接處。大多數(shù)電阻器具有的拐角是在較短元件230和232從較長(zhǎng)元件234以相反的方向伸出的位置，而在方向反轉(zhuǎn)位置的電阻DR具有的拐角是在從較長(zhǎng)元件234從相同的方向伸出的較短元件230和232的位置。通路8中的延伸部分240從每個(gè)中間抽頭T1至Tn+1延伸到最近的一個(gè)開(kāi)關(guān)裝置，例如一個(gè)晶體管的終端。延伸部分240中的轉(zhuǎn)接件242把每個(gè)金屬延伸部分連接到一個(gè)晶體管上，晶體管可以形成于電阻器串112的上面或下面的層中。
圖6顯示另一個(gè)實(shí)施例的電路布置圖。在本實(shí)施例中，電阻器串212前后往復(fù)蛇形排列于電路布置圖中，并且包括幾個(gè)方向反轉(zhuǎn)，每個(gè)電阻器是由相同的幾何構(gòu)造構(gòu)成的，并且包括至少一個(gè)導(dǎo)致通路改變方向的構(gòu)造，例如一個(gè)拐角。每個(gè)電阻器具有可以被拓?fù)鋵W(xué)地減少為一系列的鄰接的方形的形狀。
如果不考慮方形邊緣的長(zhǎng)度，厚度均勻的金屬，每方薄層電阻值是恒定的。用這種金屬的多個(gè)方形構(gòu)成電阻器將制成相同阻值的電阻器，即使是每個(gè)電阻器的幾何形狀不同，甚至是金屬的方形的尺寸可能不同。
圖6中每個(gè)電阻器R1至Rn+1是由相同的元件402，404，406和408以各種排列方式構(gòu)成的。在本實(shí)施例中，元件是方形，每個(gè)電阻器是由四個(gè)方形構(gòu)成的。也是在本實(shí)施例中，元件404，406和408的邊緣尺寸是相同的。本發(fā)明并不受此限制。雖然電阻器串212中的每個(gè)電阻器被說(shuō)成是由獨(dú)立的元件構(gòu)成的，但應(yīng)當(dāng)懂得電阻器形成了一個(gè)連續(xù)的通路。
當(dāng)一個(gè)具有較大邊長(zhǎng)的方形鄰接于一個(gè)較短邊長(zhǎng)的方形時(shí)，通路的方向就發(fā)生了改變，或是說(shuō)形成了拐角。每個(gè)電阻器R1至Rn+1包括至少一個(gè)這樣的通路方向改變或拐角。
延伸部分340從電阻串212的中間位置伸出，為例如晶體管一類的開(kāi)關(guān)裝置的終端提供抽頭。轉(zhuǎn)接件342把每個(gè)延伸部分與一個(gè)晶體管連接在一起，晶體管可以形成于集成電路中電阻器212的上面或下面的層中。
本發(fā)明對(duì)于在數(shù)—模和?！獢?shù)轉(zhuǎn)換器中使用了集成電路的通信系統(tǒng)和設(shè)備是特別有用的。這種通信系統(tǒng)和設(shè)備具有能夠把數(shù)字編碼信號(hào)準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)變?yōu)橄鄳?yīng)的模擬信號(hào)，或把模擬信號(hào)準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)變?yōu)橄鄳?yīng)的數(shù)字編碼信號(hào)的優(yōu)點(diǎn)。
雖然本發(fā)明的實(shí)施例被描述為包括一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，例如一個(gè)拐角，但通路方向改變不一定非得90°。為達(dá)到同樣的通路方向改變，在每個(gè)電阻器中可以需要兩個(gè)或更多的這種構(gòu)造。此外，盡管實(shí)施例說(shuō)明電阻器是由直線型元件構(gòu)成的，但元件也可以采用其它的形狀，例如曲線型的。實(shí)施例的電阻器被說(shuō)成是由鋁這類金屬制造的。本發(fā)明并不受其限制。電阻器可以按預(yù)定的集成電路制造水平制造。電阻器串可以由摻雜或不摻雜的多晶硅這類電阻材料、鋁或鎢一類的金屬、或是例如覆蓋著鋁或鎢一類金屬的多晶硅，或覆蓋著氮化物的多晶硅疊層組合材料制造?？梢韵瘸练e覆蓋層，然后制成需要的圖形。
權(quán)利要求
1.一種集成電路，包括一個(gè)電阻材料的通路電阻器串，該電阻器串包括多個(gè)串聯(lián)在一起為電流提供了通路的電阻器(R1至Rn)，其特征在于電阻器串具有至少一個(gè)通路方向反轉(zhuǎn)，每個(gè)所述電阻器(R1至Rn)具有一個(gè)第一元件(例如，30或32；230或232；402)和一個(gè)第二元件(例如，34；134；234；404)，第一和第二元件是鄰接的并且在其結(jié)合處形成一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，電阻器串(例如12；112；212)在基本相等的間隔上有抽頭(T1至Tn+1)，因此電阻器串(例如，12；112；212)中的每個(gè)電阻器(R1至Rn)包括一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，利用在至少一個(gè)電阻器中的通路方向改變構(gòu)造使方向反轉(zhuǎn)。
2.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于第一元件包括一個(gè)較短元件(例如，30或32；130；230或232)，第二元件(例如34；134；234)包括一個(gè)較長(zhǎng)元件，較短元件(例如，30或32)鄰接于較長(zhǎng)元件(例如，34)的第一端。
3.一種如權(quán)利要求2所述的集成電路，其特征在于電阻器串(例如，12)中至少一個(gè)電阻器(R1至Rn)具有一個(gè)第二較短元件(例如，32或30)，所述至少一個(gè)電阻器的第二較短元件(例如，32或30)與較長(zhǎng)元件(例如，34)的第二端連接在一起，并與之形成一個(gè)第二方向改變構(gòu)造，因此電阻器串中至少有一個(gè)電阻器在電流通路中包括一個(gè)第二通路方向改變構(gòu)造。
4.一種如權(quán)利要求3所述的集成電路，其特征在于至少一個(gè)電阻器具有第一(例如，30或32)和第二(例如，32或30)較短元件以相反的方向從較長(zhǎng)元件(例如，34)向處延伸這樣的方向改變構(gòu)造。
5.一種如權(quán)利要求3所述的集成電路，其特征在于至少一個(gè)電阻器(DR)具有第一(例如，230或232)和第二(例如，232或230)較短元件以相同的方向從較長(zhǎng)元件(例如，34)向外延伸這樣的方向改變構(gòu)造。
6.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于第一元件(例如，402)包括一個(gè)具有帶有第一邊緣尺寸的邊緣的方形，和第二元件(例如，404)包括一個(gè)具有帶有第二邊緣尺寸的邊緣的方形，第一和第二邊緣尺寸是不相同的，第一和第二元件(例如，402，404)是鄰接的，并且在它們的結(jié)合處形成一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，因此電阻器串中的每個(gè)電阻包括一個(gè)在電流通路中的通路方向改變構(gòu)造，利用在至少一個(gè)電阻器中的通路方向改變構(gòu)造形成通路方向反轉(zhuǎn)。
7.一種如權(quán)利要求6所述的集成電路，其特征在于一第三元件(例如，406)，所述第三元件(例如，406)包括一個(gè)具有帶有第三邊緣尺寸的邊緣的方形，所述第三元件(例如，406)的邊緣與所述第一(例如，402)或第二(例如，404)元件之一的邊緣相鄰接。
8.一種如權(quán)利要求6所述的集成電路，其特征在于一個(gè)第四元件(例如，408)，所述第四元件(例如，408)包括一個(gè)具有一個(gè)邊緣尺寸的方形，所述第四元件(例如，408)的一個(gè)邊緣與所述第一(例如，402)，第二(例如，404)或第三(例如，406)的元件之一的一個(gè)邊緣相鄰接，所述第四元件(例如，408)的邊緣尺寸與所述第二(例如，404)和第三(例如，406)的邊緣尺寸相同。
9.一種包括一個(gè)數(shù)—模轉(zhuǎn)換器(例如，10)的集成電路，其包括多個(gè)提供電流通路的電阻器串(例如，12，112，212)，該電阻器串具有中間抽頭(T1至Tn+1)和多個(gè)電阻器(R1至Rn)，開(kāi)關(guān)晶體管(M1至Mn+1)，開(kāi)關(guān)晶體管連接于一個(gè)相應(yīng)的中間抽頭(T1至Tn+1)和一個(gè)輸出結(jié)點(diǎn)(例如，14)之間，以及一個(gè)連接于每個(gè)晶體管(M1至Mn+1)的端點(diǎn)的選擇電路(例如，2)用于選擇性地把晶體管轉(zhuǎn)換到一個(gè)預(yù)定的狀態(tài)，選擇電路(例如，2)能夠把至少一個(gè)開(kāi)關(guān)晶體管轉(zhuǎn)換到預(yù)定的狀態(tài)以便在輸出結(jié)點(diǎn)(例如，14)處產(chǎn)生一個(gè)模擬輸出，其特征在于電阻器串具有至少一個(gè)通路方向反轉(zhuǎn)，每個(gè)電阻器具有一個(gè)第一元件(例如，30或32； 230或232；402)和一個(gè)第二元件(例如，34；134；234；404)，第一元件與第二元件鄰接，并與之在電流通路中形成一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，因此電阻器串中的每個(gè)電阻器包括一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，利用至少一個(gè)電阻器中的通路方向改變構(gòu)造形成至少一個(gè)通路方向反轉(zhuǎn)。
10.一種如權(quán)利要求9所述的集成電路，其特征在于開(kāi)關(guān)晶體管(M1至Mn+1)的數(shù)量與中間抽頭(T1至Tn+)的數(shù)量相同。
11.一種如權(quán)利要求9所述的集成電路，其特征在于第一元件(例如，30或32；130；230或232)包括一個(gè)較短元件，第二元件(例如，34，134；234)包括一個(gè)較長(zhǎng)元件，較短元件與較長(zhǎng)元件的第一端相鄰接。
12.一種如權(quán)利要求11所述的集成電路，其特征在于電阻器串中的至少一個(gè)電阻器具有一個(gè)第二較短元件(例如，32或30；232或230)，所述至少一個(gè)電阻器的第二較短元件與較長(zhǎng)元件(例如，34；234)的第二端相連接并與之形成一個(gè)第二方向改變構(gòu)造，因此電阻器串中的至少一個(gè)電阻器包括一個(gè)在電流通路中的第二通路方向改變構(gòu)造。
13.一種如權(quán)利要求12所述的集成電路，其特征在于至少一個(gè)電阻具有第一(例如，30或32；230或232)和第二(例如，32或30；232或230)較短元件以相反的方向從較長(zhǎng)元件(例如，34；234)向外延伸這樣的方向改變構(gòu)造。
14.一種如權(quán)利要求12所述的集成電路，其特征在于至少一個(gè)電阻器(DR)具有第一(例如，230或232)和第二(例如，232或230)較短元件以相同的方向從較長(zhǎng)元件(例如，234)向外延伸這樣的方向改變構(gòu)造。
15.一種如權(quán)利要求9所述的集成電路，其特征在于第一元件(例如，402)包括一個(gè)具有帶有第一邊緣尺寸的邊緣的方形，和第二元件(例如，404)包括一個(gè)具有帶有第二邊緣尺寸的邊緣的方形，第一和第二邊緣尺寸是不相同的，第一和第二元件(例如，402，404)是鄰接的，并且在它們的結(jié)合處形成一個(gè)通路方向改變構(gòu)造，因此電阻器串中的每個(gè)電阻器包括一個(gè)在電流通路中的通路方向改變構(gòu)造，利用在至少一個(gè)電阻器中的通路方向改變構(gòu)造形成通路方向反轉(zhuǎn)。
16.一種如權(quán)利要求15所述的集成電路，其特征在于一個(gè)第三元件(例如，406)，所述第三元件(例如，406)包括一個(gè)具有帶有第三邊緣尺寸的邊緣的方形，所述第三元件(例如，406)的邊緣與所述第一(例如，402)或第二(例如，404)元件之一的邊緣相鄰接。
17.一種如權(quán)利要求15所述的集成電路，其特征在于一個(gè)第四元件(例如，408)，所述第四元件(例如，408)包括一個(gè)具有一個(gè)邊緣尺寸的方形，所述第四元件(例如，408)的一個(gè)邊緣與所述第一(例如，402)，第二(例如，404)或第三(例如，406)元件之一的一個(gè)邊緣相鄰接，所述第四元件(例如，408)的邊緣尺寸與所述第二(例如，404)和第三(例如，406)的邊緣尺寸相同。
18.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于電阻材料包括金屬。
19.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于電阻材料包括摻雜的多晶硅。
20.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于電阻材料包括未摻雜的多晶硅。
21.一種如權(quán)利要求1所述的集成電路，其特征在于電阻材料包括疊層的材料組合。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種包括一個(gè)金屬通路電阻器串的集成電路，電阻器串由一系列的電阻器組成，其中每個(gè)電阻器包括至少一個(gè)通路方向改變構(gòu)造。每個(gè)電阻器包括第一和第二鄰接元件。第一和第二元件的結(jié)構(gòu)在電阻器串的通路中形成一個(gè)類似拐角的方向改變構(gòu)造。抽頭沿電阻器串以基本相等的阻值間隔布置。第一和第二元件可以是不同邊緣尺寸的方形。電阻器串可以用于像數(shù)——模轉(zhuǎn)換器這類的應(yīng)用中。
文檔編號(hào)H01C3/00GK1131820SQ9512028
公開(kāi)日1996年9月25日 申請(qǐng)日期1995年10月20日 優(yōu)先權(quán)日1994年10月21日
發(fā)明者理查德·約瑟夫·邁克帕蘭, 塔亞姆庫(kù)蘭格拉·拉馬斯瓦米·威斯瓦納坦 申請(qǐng)人:美國(guó)電報(bào)電話公司