本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工，尤其涉及夾持座機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體吸附組件及半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，半導(dǎo)體需要經(jīng)過多個(gè)不同的工藝加工過程，通常使用機(jī)械手完成晶圓在各個(gè)反應(yīng)腔室之間的轉(zhuǎn)運(yùn)工作。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手常使用伯努利吸盤來吸附晶圓，伯努利吸盤的底面設(shè)置有多個(gè)吸附孔，吸附孔吹出高速氣體，使吸盤與晶圓之間的壓強(qiáng)減小，形成晶圓上方的壓強(qiáng)小于晶圓下方的壓強(qiáng)，以此產(chǎn)生吸力，使晶圓被吸盤吸附；在吸附過程中，晶圓擋腳對(duì)晶圓進(jìn)行抵接限位，避免晶圓滑移。由于伯努利吸盤的到達(dá)范圍有限，對(duì)于一些尺寸較大的反應(yīng)腔室，則需要通過延長(zhǎng)臂擴(kuò)大伯努利吸盤可吸取晶圓的區(qū)域。伯努利吸盤、晶圓擋腳與延長(zhǎng)臂之間的連接可靠性會(huì)影響伯努利吸盤的氣路密封性以及延長(zhǎng)臂的位置精確性，氣路密封性會(huì)影響吸附孔的氣流穩(wěn)定性，進(jìn)而會(huì)對(duì)努利吸盤吸取晶圓的位置穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供夾持座機(jī)構(gòu)，能夠解決現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手的延長(zhǎng)臂與伯努利吸盤、晶圓擋腳之間的連接可靠性不足，進(jìn)而對(duì)努利吸盤吸取晶圓的位置穩(wěn)定性產(chǎn)生影響的問題。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型一方面采用以下技術(shù)方案：

3、提供夾持座機(jī)構(gòu)，用于安裝吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)，所述夾持座機(jī)構(gòu)能夠同時(shí)可拆卸連接于吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)，所述夾持座機(jī)構(gòu)開設(shè)有夾持座氣道，所述夾持座氣道的一端能夠連通延伸臂機(jī)構(gòu)的延伸臂氣道，另一端能夠連通吸盤機(jī)構(gòu)的吸盤氣道。

4、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持座機(jī)構(gòu)包括夾持座和安裝座，所述夾持座用于夾持吸盤機(jī)構(gòu)，所述安裝座用于夾持阻擋臂，所述安裝座可拆卸于所述夾持座。

5、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述安裝座包括第一連接座和第二連接座，所述第一連接座和所述第二連接座圍設(shè)連接以形成安裝槽，阻擋臂夾設(shè)于所述安裝槽內(nèi)。

6、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持座上開設(shè)有第一避讓槽，所述夾持座機(jī)構(gòu)還包括第一緊固件，所述第一緊固件貫穿所述第一避讓槽的底部以連接所述夾持座和所述安裝座。

7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持座包括可拆卸連接的第一夾持板和第二夾持板，所述第一夾持板和所述第二夾持板之間形成具有開口的夾持槽，吸盤機(jī)構(gòu)能夠經(jīng)由所述開口夾設(shè)于所述夾持槽內(nèi)，所述夾持槽連通所述夾持座氣道遠(yuǎn)離所述延伸臂氣道的另一端；吸盤機(jī)構(gòu)開設(shè)有連通所述吸盤氣道的吸盤進(jìn)氣口，所述吸盤進(jìn)氣口能夠位于所述夾持槽內(nèi)。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持槽設(shè)置于所述第二夾持板，所述夾持座氣道設(shè)置于所述第一夾持板，所述第一夾持板還開設(shè)有連通所述夾持座氣道的容氣腔，所述容氣腔連通所述夾持槽，所述容氣腔用于容置過濾件。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一夾持板包括上板本體和密封蓋板，所述容氣腔貫穿設(shè)置于所述上板本體，所述密封蓋板可拆卸連接于所述上板本體以封閉所述容氣腔的一端，以使所述容氣腔的另一端連通所述夾持槽；和/或，

10、所述夾持座機(jī)構(gòu)還具有第三緊固件，所述第三緊固件穿過延伸臂機(jī)構(gòu)的一端并連接于所述夾持座，以使延伸臂氣道的出氣端連通所述容氣腔。

11、本實(shí)用新型的第二個(gè)目的在于提供半導(dǎo)體吸附組件，其具有的夾持座機(jī)構(gòu)能夠提高吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)之間的連接可靠性，便于組裝為一體，保證吸盤機(jī)構(gòu)的氣流穩(wěn)定性。

12、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型第二方面采用以下技術(shù)方案：

13、提供半導(dǎo)體吸附組件，包括如上述的夾持座機(jī)構(gòu)，所述半導(dǎo)體吸附組件還包括吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)，所述吸盤機(jī)構(gòu)上開設(shè)有吸盤氣道，所述吸盤機(jī)構(gòu)用于吸附晶圓，所述阻擋臂用于阻擋所述晶圓，所述吸盤機(jī)構(gòu)、所述延伸臂機(jī)構(gòu)和所述阻擋臂均可拆卸連接于所述夾持座機(jī)構(gòu)，且所述阻擋臂環(huán)繞所述吸盤機(jī)構(gòu)延伸設(shè)置，所述延伸臂機(jī)構(gòu)開設(shè)有連通外部氣源的延伸臂氣道，所述夾持座機(jī)構(gòu)的夾持座氣道一端連通所述延伸臂氣道。

14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋臂具有連接所述夾持座機(jī)構(gòu)的安裝部，所述安裝部和所述夾持座機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有緩沖件。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述安裝部的表面設(shè)置有防滑凸起；和/或，

16、所述阻擋臂還包括阻擋部和延伸部，所述阻擋部環(huán)繞所述吸盤機(jī)構(gòu)以阻擋所述晶圓，所述延伸部的兩端分別連接所述阻擋部和所述安裝部，所述延伸部呈l型且所述安裝部垂直連接于所述延伸部的末端以形成u型結(jié)構(gòu)；和/或，

17、所述半導(dǎo)體吸附組件具有兩個(gè)所述阻擋臂，兩個(gè)所述阻擋臂對(duì)稱設(shè)置于所述吸盤機(jī)構(gòu)的兩側(cè)；和/或，

18、所述半導(dǎo)體吸附組件還包括第三緊固件，所述第三緊固件穿過所述延伸臂機(jī)構(gòu)以可拆卸連接于所述夾持座機(jī)構(gòu)；和/或，

19、所述緩沖件為橡膠墊，所述橡膠墊嵌設(shè)于所述夾持座機(jī)構(gòu)的安裝槽內(nèi)或者包裹于所述安裝部上。

20、本實(shí)用新型的第三個(gè)目的在于提供半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，其具有的半導(dǎo)體吸附組件可以提高吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)之間的連接可靠性，保證吸盤機(jī)構(gòu)的氣流穩(wěn)定性，提升半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)晶圓的位置精度。

21、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型第三方面采用以下技術(shù)方案：

22、提供半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，包括如上述的半導(dǎo)體吸附組件，半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備還包括機(jī)械手，所述機(jī)械手可拆卸連接于所述半導(dǎo)體吸附組件。

23、本實(shí)用新型的有益效果：

24、本實(shí)用新型所提供的夾持座機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體吸附組件和半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，夾持座機(jī)構(gòu)用于可拆卸連接半導(dǎo)體吸附組件具有的延伸臂機(jī)構(gòu)、吸盤機(jī)構(gòu)和阻擋臂，便于組裝為整體。通過夾持座機(jī)構(gòu)作為安裝基準(zhǔn)，使吸盤機(jī)構(gòu)、延伸臂機(jī)構(gòu)和阻擋臂安裝為一體，保證吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)之間的連接可靠性。阻擋臂環(huán)繞吸盤機(jī)構(gòu)延伸設(shè)置，通過夾持座機(jī)構(gòu)保證阻擋臂與吸盤機(jī)構(gòu)的相對(duì)位置固定，阻擋臂的限位能夠?qū)A在吸盤機(jī)構(gòu)上的位置進(jìn)行精確的位置調(diào)整、限制，從而保證晶圓在吸盤機(jī)構(gòu)上位置的唯一性。通過夾持座作為氣路的中間轉(zhuǎn)接件，實(shí)現(xiàn)吸盤機(jī)構(gòu)的吸盤氣道和延伸臂機(jī)構(gòu)的延伸臂氣道之間的連通，保證氣路連通的可靠性和密封性，進(jìn)而保證吸盤氣道的氣流穩(wěn)定性，避免不穩(wěn)定的氣流對(duì)晶圓的位置精度產(chǎn)生影響，提升晶圓在吸盤機(jī)構(gòu)上的位置精度。

25、半導(dǎo)體吸附組件包括上述的半導(dǎo)體吸附組件，通過夾持座機(jī)構(gòu)保證吸盤機(jī)構(gòu)、延伸臂機(jī)構(gòu)和阻擋臂之間的連接可靠性以及相對(duì)位置穩(wěn)定性。而且，夾持座作為氣路的中間轉(zhuǎn)接件，保證吸盤機(jī)構(gòu)的吸盤氣道和延伸臂氣道之間的氣路連通可靠性和密封性，避免吸盤機(jī)構(gòu)不穩(wěn)定的氣流對(duì)晶圓的位置精度產(chǎn)生影響，提升半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備的組裝便利性，以及搬運(yùn)晶圓的位置精度。

技術(shù)特征：

1.夾持座機(jī)構(gòu)，用于安裝吸盤機(jī)構(gòu)(1)、阻擋臂(2)和延伸臂機(jī)構(gòu)(4)，其特征在于，所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)能夠同時(shí)可拆卸連接于吸盤機(jī)構(gòu)(1)、阻擋臂(2)和延伸臂機(jī)構(gòu)(4)，所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)開設(shè)有夾持座氣道(315)，所述夾持座氣道(315)的一端能夠連通延伸臂機(jī)構(gòu)(4)的延伸臂氣道(41)，另一端能夠連通吸盤機(jī)構(gòu)(1)的吸盤氣道(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)包括夾持座(31)和安裝座(32)，所述夾持座(31)用于夾持吸盤機(jī)構(gòu)(1)，所述安裝座(32)用于夾持阻擋臂(2)，所述安裝座(32)可拆卸于所述夾持座(31)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝座(32)包括第一連接座(321)和第二連接座(322)，所述第一連接座(321)和所述第二連接座(322)圍設(shè)連接以形成安裝槽(323)，阻擋臂(2)夾設(shè)于所述安裝槽(323)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持座(31)上開設(shè)有第一避讓槽(311)，所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)還包括第一緊固件(33)，所述第一緊固件(33)貫穿所述第一避讓槽(311)的底部以連接所述夾持座(31)和所述安裝座(32)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持座(31)包括可拆卸連接的第一夾持板(312)和第二夾持板(313)，所述第一夾持板(312)和所述第二夾持板(313)之間形成具有開口的夾持槽(314)，吸盤機(jī)構(gòu)(1)能夠經(jīng)由所述開口夾設(shè)于所述夾持槽(314)內(nèi)，所述夾持槽(314)連通所述夾持座氣道(315)遠(yuǎn)離所述延伸臂氣道(41)的另一端；吸盤機(jī)構(gòu)(1)開設(shè)有連通所述吸盤氣道(11)的吸盤進(jìn)氣口(13)，所述吸盤進(jìn)氣口(13)能夠位于所述夾持槽(314)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾持槽(314)設(shè)置于所述第二夾持板(313)，所述夾持座氣道(315)設(shè)置于所述第一夾持板(312)，所述第一夾持板(312)還開設(shè)有連通所述夾持座氣道(315)的容氣腔(3121)，所述容氣腔(3121)連通所述夾持槽(314)，所述容氣腔(3121)用于容置過濾件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的夾持座機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一夾持板(312)包括上板本體(3122)和密封蓋板(3123)，所述容氣腔(3121)貫穿設(shè)置于所述上板本體(3122)，所述密封蓋板(3123)可拆卸連接于所述上板本體(3122)以封閉所述容氣腔(3121)的一端，以使所述容氣腔(3121)的另一端連通所述夾持槽(314)；和/或，

8.半導(dǎo)體吸附組件，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的夾持座機(jī)構(gòu)，所述半導(dǎo)體吸附組件還包括吸盤機(jī)構(gòu)(1)、阻擋臂(2)和延伸臂機(jī)構(gòu)(4)，所述吸盤機(jī)構(gòu)(1)上開設(shè)有吸盤氣道(11)，所述吸盤機(jī)構(gòu)(1)用于吸附晶圓，所述阻擋臂(2)用于阻擋所述晶圓，所述吸盤機(jī)構(gòu)(1)、所述延伸臂機(jī)構(gòu)(4)和所述阻擋臂(2)均可拆卸連接于所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)，且所述阻擋臂(2)環(huán)繞所述吸盤機(jī)構(gòu)(1)延伸設(shè)置，所述延伸臂機(jī)構(gòu)(4)開設(shè)有連通外部氣源的延伸臂氣道(41)，所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)的夾持座氣道(315)一端連通所述延伸臂氣道(41)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體吸附組件，其特征在于，所述阻擋臂(2)具有連接所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)的安裝部(21)，所述安裝部(21)和所述夾持座機(jī)構(gòu)(3)之間設(shè)置有緩沖件(22)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體吸附組件，其特征在于，所述安裝部(21)的表面設(shè)置有防滑凸起；和/或，

11.半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求8-10任一項(xiàng)所述半導(dǎo)體吸附組件，所述半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備還包括機(jī)械手，所述機(jī)械手可拆卸連接于所述半導(dǎo)體吸附組件。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了夾持座機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體吸附組件及半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備，夾持座機(jī)構(gòu)用于可拆卸連接半導(dǎo)體吸附組件的吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)，夾持座機(jī)構(gòu)開設(shè)有夾持座氣道，夾持座氣道的一端連通延伸臂氣道，另一端連通吸盤機(jī)構(gòu)的吸盤氣道。本技術(shù)的夾持座機(jī)構(gòu)能夠提高吸盤機(jī)構(gòu)、阻擋臂和延伸臂機(jī)構(gòu)之間的連接可靠性，以保證吸盤機(jī)構(gòu)的氣流穩(wěn)定性，半導(dǎo)體吸附組件具有上述的夾持座機(jī)構(gòu)，便于組裝為一體；半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備具有上述的半導(dǎo)體吸附組件，便于組裝，且搬運(yùn)晶圓的位置精度較高。

技術(shù)研發(fā)人員：曹建偉,朱凌鋒,郭麗兵,壽康力,陶夢(mèng)竹,羅通,汪志杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江求是創(chuàng)芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240521
技術(shù)公布日：2025/1/9