本發(fā)明涉及晶圓檢測(cè)，具體是指一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、為提升晶圓的蒸鍍精度，需要將蒸鍍材料蒸鍍?cè)诰A玻璃載臺(tái)的底面，完成蒸鍍后的晶圓在進(jìn)入下一道生產(chǎn)工序前，需要通過(guò)相應(yīng)的探針卡以對(duì)其進(jìn)行點(diǎn)亮檢測(cè)。由于蒸鍍材料蒸鍍于晶圓玻璃載臺(tái)的底面，因此，其檢測(cè)過(guò)程中，需要通過(guò)相應(yīng)的晶圓固定工裝以對(duì)其進(jìn)行面朝下的固定，使其與位于底側(cè)的探針卡形成配合，以完成其點(diǎn)亮檢測(cè)。

2、現(xiàn)有的晶圓固定工裝大多采用吸附方式以對(duì)工件進(jìn)行吸附固定，單純的通過(guò)吸附方式以將晶圓工件吸附固定在工件吸盤(pán)的底側(cè)，其在檢查過(guò)程中，存在掉片的風(fēng)險(xiǎn)。為此，部分廠家開(kāi)始于工件吸盤(pán)的底側(cè)進(jìn)行夾持機(jī)構(gòu)設(shè)置，由于夾持過(guò)程中，不僅需要控制夾持機(jī)構(gòu)的裝夾與松開(kāi)，且需要控制夾持機(jī)構(gòu)上下與晶圓工件周緣形成接觸，導(dǎo)致整體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的空間占用極為龐大，致使現(xiàn)有的晶圓固定工裝根本無(wú)法進(jìn)行相應(yīng)的夾持機(jī)構(gòu)（防掉片機(jī)構(gòu)）設(shè)置，很是麻煩。

3、因此，設(shè)計(jì)一款能夠在低空間占用的前提下實(shí)現(xiàn)防掉片機(jī)構(gòu)的設(shè)置，從而有效確保對(duì)晶圓工件的面朝下吸附固定的穩(wěn)固性的晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測(cè)設(shè)備是本發(fā)明的研究目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明在于提供了一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測(cè)設(shè)備，該晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測(cè)設(shè)備能夠有效解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問(wèn)題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案是：

3、一種晶圓固定工裝，包括：

4、工件吸盤(pán)，所述工件吸盤(pán)的下表面設(shè)置有相應(yīng)的吸附孔，所述吸附孔通過(guò)相應(yīng)的抽真空接頭連接到外部抽真空泵，所述工件吸盤(pán)的上表面通過(guò)相應(yīng)的銜接套筒連接到相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出軸上，所述銜接套筒的兩側(cè)分別設(shè)置有相應(yīng)的連通孔；

5、防掉片機(jī)構(gòu)，包含固接于所述銜接套筒內(nèi)側(cè)的工件吸盤(pán)上的倒t形安裝座，所述倒t形安裝座的一側(cè)可升降安裝有相應(yīng)的t形移動(dòng)座，所述t形移動(dòng)座的上表面固接有相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)座板，所述驅(qū)動(dòng)座板靠近倒t形安裝座的一側(cè)向下翻折設(shè)置、并固接有一組中部設(shè)置有讓位孔的對(duì)接板，所述對(duì)接板未連接于所述驅(qū)動(dòng)座板的一側(cè)固接有一相應(yīng)的導(dǎo)軌安裝板，所述導(dǎo)軌安裝板的兩側(cè)分別可移動(dòng)安裝有相應(yīng)的絲桿座，所述絲桿座分別向外固接有相應(yīng)的夾緊驅(qū)動(dòng)板，所述夾緊驅(qū)動(dòng)板的端部分別延伸至所述工件吸盤(pán)的外側(cè)、并向下固接有相應(yīng)的防掉片夾緊板；一組所述對(duì)接板之間的驅(qū)動(dòng)座板上固定安裝有一相應(yīng)的雙軸電機(jī)，所述雙軸電機(jī)的輸出軸端固接有一組旋向相反的驅(qū)動(dòng)絲桿，所述驅(qū)動(dòng)絲桿貫穿延伸至所述讓位孔的外側(cè)，所述絲桿座分別傳動(dòng)連接到對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)絲桿上；所述倒t形安裝座背離所述雙軸電機(jī)的一端固接有一用于驅(qū)動(dòng)所述t形移動(dòng)座的電動(dòng)缸。

6、所述導(dǎo)軌安裝板的兩側(cè)分別設(shè)置有相應(yīng)的導(dǎo)軌，所述絲桿座呈l形設(shè)置、且其一側(cè)通過(guò)相應(yīng)的滑塊限位滑動(dòng)安裝到所述導(dǎo)軌上。

7、所述絲桿座未連接于安裝于所述導(dǎo)軌的一側(cè)固接有一相應(yīng)的導(dǎo)套，通過(guò)所述導(dǎo)套與所述驅(qū)動(dòng)絲桿配合將所述絲桿座傳動(dòng)連接到所述驅(qū)動(dòng)絲桿上。

8、所述夾緊驅(qū)動(dòng)板的端部分別向下固接有相應(yīng)的定位塊，所述定位塊的底端分別向內(nèi)固接有所述防掉片夾緊板。

9、所述防掉片夾緊板包含連接于所述定位塊的夾緊板本體，所述夾緊板本體未連接于所述定位塊的一端一體化成型設(shè)置有相應(yīng)的弧形銜接臂，所述弧形銜接臂的兩端部分別一體化成型向內(nèi)設(shè)置有相應(yīng)的卡齒。

10、所述防掉片夾緊板采用彈性鋼板制成，防掉片夾緊板的卡齒卡緊到工件的周緣處時(shí)，所述夾緊板本體、弧形銜接臂被向下壓緊。

11、所述銜接套筒的外側(cè)固接有定位用相機(jī)。

12、一種晶圓檢測(cè)設(shè)備，包含機(jī)箱、探針卡固定工裝、以及上述所述的晶圓固定工裝，所述機(jī)箱的上部設(shè)置有xy軸二維移動(dòng)平臺(tái)，所述晶圓固定工裝的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)固接安裝于所述xy軸二維移動(dòng)平臺(tái)上，所述機(jī)箱的下部設(shè)置有xyz軸三維移動(dòng)平臺(tái)，所述探針卡固定工裝包含固定安裝于所述xyz軸三維移動(dòng)平臺(tái)上的探針卡安裝平臺(tái)，所述探針卡安裝平臺(tái)的中部設(shè)置有探針卡安裝槽，所述探針卡安裝槽兩側(cè)的探針卡安裝平臺(tái)上分別可移動(dòng)設(shè)置有相應(yīng)的探針卡夾緊塊，所述探針卡夾緊塊由相應(yīng)的氣動(dòng)夾爪進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；所述探針卡安裝平臺(tái)的底側(cè)設(shè)置有一用于對(duì)工件的點(diǎn)亮狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的工業(yè)相機(jī)。

13、所述機(jī)箱的外側(cè)設(shè)置有一探針卡安裝腔，所述探針卡安裝腔內(nèi)可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有一由相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的探針卡安裝盤(pán)，探針卡安裝腔與機(jī)箱的銜接處可啟閉安裝有一由相應(yīng)的伸縮氣缸進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的隔離門(mén)。

14、所述機(jī)箱上固接有一用于將探針卡安裝盤(pán)上的探針卡抓取至所述探針卡安裝平臺(tái)上的機(jī)械手。

15、本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：

16、1）本發(fā)明在工件吸盤(pán)的基礎(chǔ)上，增設(shè)有結(jié)構(gòu)緊湊、運(yùn)行穩(wěn)定的防掉片機(jī)構(gòu)，其包含倒t形安裝座，倒t形安裝座的一側(cè)可升降安裝有t形移動(dòng)座，t形移動(dòng)座的上表面固接有驅(qū)動(dòng)座板，將驅(qū)動(dòng)座板靠近倒t形安裝座的一側(cè)向下翻折設(shè)置、并固接有一組中部設(shè)置有讓位孔的對(duì)接板，對(duì)接板未連接于驅(qū)動(dòng)座板的一側(cè)固接有導(dǎo)軌安裝板，導(dǎo)軌安裝板的兩側(cè)分別可移動(dòng)安裝有絲桿座，絲桿座分別向外固接有夾緊驅(qū)動(dòng)板，夾緊驅(qū)動(dòng)板的端部向下固接有防掉片夾緊板。

17、如此，即可在低空間占用的前提下，于對(duì)接板的外側(cè)進(jìn)行防掉片夾緊板的可移動(dòng)安裝，然后再于一組對(duì)接板之間進(jìn)行雙軸電機(jī)安裝，以將一組防掉片夾緊板、防掉片夾緊板驅(qū)動(dòng)用雙軸電機(jī)分布設(shè)置在倒t形安裝座的一側(cè)；最后，再于倒t形安裝座背離雙軸電機(jī)的一端進(jìn)行升降驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)缸安裝。以在低空間占用的前提下實(shí)現(xiàn)防掉片機(jī)構(gòu)的設(shè)置，從而有效確保對(duì)晶圓工件的面朝下吸附固定的穩(wěn)固性。

18、2）本發(fā)明的導(dǎo)軌安裝板兩側(cè)分別設(shè)置有相應(yīng)的導(dǎo)軌，絲桿座呈l形設(shè)置、且其一側(cè)通過(guò)相應(yīng)的滑塊限位滑動(dòng)安裝到導(dǎo)軌上，絲桿座未連接于安裝于導(dǎo)軌的一側(cè)固接有一相應(yīng)的導(dǎo)套，通過(guò)導(dǎo)套與驅(qū)動(dòng)絲桿配合將絲桿座傳動(dòng)連接到驅(qū)動(dòng)絲桿上。通過(guò)呈l形設(shè)置的絲桿座、以及導(dǎo)套的介入，以進(jìn)一步在結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易、緊湊的前提下，實(shí)現(xiàn)對(duì)夾緊驅(qū)動(dòng)板的穩(wěn)固驅(qū)動(dòng)安裝，從而有效提升本發(fā)明的實(shí)用效果。

19、3）本發(fā)明的防掉片夾緊板包含連接于定位塊的夾緊板本體，夾緊板本體未連接于定位塊的一端一體化成型設(shè)置有相應(yīng)的弧形銜接臂，弧形銜接臂的兩端部分別一體化成型向內(nèi)設(shè)置有相應(yīng)的卡齒；防掉片夾緊板采用彈性鋼板制成，防掉片夾緊板的卡齒卡緊到工件的周緣處時(shí)，夾緊板本體、弧形銜接臂被向下壓緊。以在低接觸面的條件下，有效通過(guò)微小的彈性形變實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓工件的防掉片夾緊，以進(jìn)一步在低空間占用的前提下，提升對(duì)晶圓工件的固定效果。

20、4）本發(fā)明的晶圓檢測(cè)設(shè)備的機(jī)箱的外側(cè)設(shè)置有探針卡安裝腔，探針卡安裝腔內(nèi)可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有探針卡安裝盤(pán)，機(jī)箱上固接有用于將探針卡安裝盤(pán)上的探針卡抓取至探針卡安裝平臺(tái)上的機(jī)械手。在檢測(cè)過(guò)程中，一旦出現(xiàn)探針卡損壞時(shí)，可及時(shí)通過(guò)機(jī)械手以對(duì)探針卡進(jìn)行更換，以確保設(shè)備能夠持續(xù)有效進(jìn)行檢測(cè)使用。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓固定工裝，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述導(dǎo)軌安裝板（505）的兩側(cè)分別設(shè)置有相應(yīng)的導(dǎo)軌（7），所述絲桿座（506）呈l形設(shè)置、且其一側(cè)通過(guò)相應(yīng)的滑塊（8）限位滑動(dòng)安裝到所述導(dǎo)軌（7）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述絲桿座（506）未連接于安裝于所述導(dǎo)軌（7）的一側(cè)固接有一相應(yīng)的導(dǎo)套（9），通過(guò)所述導(dǎo)套（9）與所述驅(qū)動(dòng)絲桿（5010）配合將所述絲桿座（506）傳動(dòng)連接到所述驅(qū)動(dòng)絲桿（5010）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述夾緊驅(qū)動(dòng)板（507）的端部分別向下固接有相應(yīng)的定位塊（10），所述定位塊（10）的底端分別向內(nèi)固接有所述防掉片夾緊板（508）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述防掉片夾緊板（508）包含連接于所述定位塊的夾緊板本體（5081），所述夾緊板本體（5081）未連接于所述定位塊（10）的一端一體化成型設(shè)置有相應(yīng)的弧形銜接臂（5082），所述弧形銜接臂（5082）的兩端部分別一體化成型向內(nèi)設(shè)置有相應(yīng)的卡齒（5083）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述防掉片夾緊板（508）采用彈性鋼板制成，防掉片夾緊板（508）的卡齒（5083）卡緊到工件的周緣處時(shí)，所述夾緊板本體（5081）、弧形銜接臂（5082）被向下壓緊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓固定工裝，其特征在于，所述銜接套筒（3）的外側(cè)固接有定位用相機(jī)（11）。

8.一種晶圓檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包含機(jī)箱（12）、探針卡固定工裝（13）、以及權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的晶圓固定工裝，所述機(jī)箱（12）的上部設(shè)置有xy軸二維移動(dòng)平臺(tái)（14），所述晶圓固定工裝的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)（4）固接安裝于所述xy軸二維移動(dòng)平臺(tái)（14）上，所述機(jī)箱（12）的下部設(shè)置有xyz軸三維移動(dòng)平臺(tái)（15），所述探針卡固定工裝（13）包含固定安裝于所述xyz軸三維移動(dòng)平臺(tái)（15）上的探針卡安裝平臺(tái)（1301），所述探針卡安裝平臺(tái)（1301）的中部設(shè)置有探針卡安裝槽，所述探針卡安裝槽兩側(cè)的探針卡安裝平臺(tái)（1301）上分別可移動(dòng)設(shè)置有相應(yīng)的探針卡夾緊塊（1302），所述探針卡夾緊塊（1302）由相應(yīng)的氣動(dòng)夾爪進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；所述探針卡安裝平臺(tái)（1301）的底側(cè)設(shè)置有一用于對(duì)工件的點(diǎn)亮狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的工業(yè)相機(jī)（16）。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)箱（12）的外側(cè)設(shè)置有一探針卡安裝腔（17），所述探針卡安裝腔（17）內(nèi)可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有一由相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的探針卡安裝盤(pán)（18），探針卡安裝腔（17）與機(jī)箱（12）的銜接處可啟閉安裝有一由相應(yīng)的伸縮氣缸（19）進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的隔離門(mén)（20）。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種晶圓檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)箱（12）上固接有一用于將探針卡安裝盤(pán)（18）上的探針卡抓取至所述探針卡安裝平臺(tái)（1301）上的機(jī)械手（21）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測(cè)設(shè)備，所述晶圓固定工裝包括：工件吸盤(pán)，工件吸盤(pán)的上表面通過(guò)銜接套筒連接到旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出軸上；防掉片機(jī)構(gòu)，包含可升降安裝于倒T形安裝座上的T形移動(dòng)座，T形移動(dòng)座的上表面固接有驅(qū)動(dòng)座板，驅(qū)動(dòng)座板靠近倒T形安裝座的一側(cè)向下翻折設(shè)置、并固接有一組對(duì)接板，對(duì)接板上通過(guò)導(dǎo)軌安裝板可移動(dòng)安裝有絲桿座，絲桿座分別向外固接有夾緊驅(qū)動(dòng)板，夾緊驅(qū)動(dòng)板的端部向下固接有防掉片夾緊板；驅(qū)動(dòng)座板上通過(guò)雙軸電機(jī)固接有一組旋向相反的驅(qū)動(dòng)絲桿，驅(qū)動(dòng)絲桿貫穿延伸至讓位孔的外側(cè)。本發(fā)明在低空間占用的前提下實(shí)現(xiàn)防掉片機(jī)構(gòu)的設(shè)置，有效確保對(duì)晶圓工件的面朝下吸附固定的穩(wěn)固性。

技術(shù)研發(fā)人員：范智昆,連真,王世銳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廈門(mén)特儀科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9