本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，更詳細(xì)地，涉及可利用短距離無線通信來更有效地管理和監(jiān)控半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器的系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、通常，光刻工藝包括使預(yù)先進(jìn)行了一系列半導(dǎo)體制造工藝的晶圓位于涂敷裝置的旋轉(zhuǎn)卡盤(spin?chuck)上來涂敷(coating)光刻膠(photoresist)的工藝。

2、其中，光刻膠包括樹脂(resin)、作為通過光活性化的光敏劑的抑制劑(inhibitor)以及液相(liquid?state)的溶劑(solvent)。

3、而且，在收容在由玻璃瓶制成的容器的狀態(tài)下，光刻膠可通過結(jié)合在容器蓋的光刻膠供給管(鐵氟龍管)供給到光刻膠供給管線，用光刻膠供給管線供給的光刻膠可經(jīng)由多個(gè)閥門和中間罐來供給到涂敷裝置。

4、并且，在光刻法工藝中，為了將準(zhǔn)確量的光刻膠填充到容器而需確認(rèn)光刻膠的濃度、污染以及其他質(zhì)量要求，在容器內(nèi)填充光刻膠之后，將收容有光刻膠的容器與設(shè)置于半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)的藥液供給裝置相連接。

5、但是，在設(shè)置這種容器的過程中，也會(huì)發(fā)生如下的情況，因工作人員的失誤而混用蓋并錯(cuò)誤安裝在另一容器，或容器并未準(zhǔn)確放置在正確位置。

6、在此情況下，當(dāng)然，隨著在相應(yīng)設(shè)備中執(zhí)行的整體工藝的中斷，將會(huì)發(fā)生非常大的損失，也可能發(fā)生因并未適當(dāng)供給藥液而需要廢棄預(yù)先制造的產(chǎn)品的情況。

7、因此，需要一種方法來解決這些問題。

8、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

9、專利文獻(xiàn)

10、專利文獻(xiàn)0001：韓國(guó)公開專利第10-2014-0047636號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出，本發(fā)明的目的在于，掌握用于儲(chǔ)存在半導(dǎo)體工藝中使用的藥液的藥液儲(chǔ)存容器的移動(dòng)路徑，并且防止噴嘴的混用，另一方面，隨著自動(dòng)判斷藥液儲(chǔ)存容器的保質(zhì)期、廢棄與否，可以有效地執(zhí)行半導(dǎo)體工藝管理。

2、本發(fā)明的問題并不局限于以上提及的問題，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可通過以下的記載明確理解未提及的其他問題。

3、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)包括：藥液供給組件，將收容在藥液儲(chǔ)存容器的藥液供給到執(zhí)行半導(dǎo)體工藝的區(qū)域，生成與上述藥液儲(chǔ)存容器相關(guān)的多個(gè)信息，上述藥液儲(chǔ)存容器收容有用于半導(dǎo)體工藝的藥液；以及監(jiān)控管理部，接收在上述藥液供給組件所生成的多個(gè)信息來判斷上述藥液供給組件的操作情況，上述藥液供給組件包括：噴嘴安裝單元，以能夠拆卸的方式設(shè)置于上述藥液儲(chǔ)存容器，包括噴嘴識(shí)別標(biāo)簽，上述噴嘴識(shí)別標(biāo)簽儲(chǔ)存有相應(yīng)藥液儲(chǔ)存容器的噴嘴相關(guān)信息；容器放置單元，以能夠使上述藥液儲(chǔ)存容器放置于內(nèi)側(cè)的方式設(shè)置，獲取容器放置信息及容器相關(guān)信息，上述容器放置信息表示上述藥液儲(chǔ)存容器的放置與否，上述容器相關(guān)信息從預(yù)先安裝在上述藥液儲(chǔ)存容器的容器識(shí)別標(biāo)簽通過短距離無線通信獲??；以及噴嘴信息獲取單元，通過短距離無線通信從上述噴嘴識(shí)別標(biāo)簽獲取上述噴嘴相關(guān)信息并將其傳輸?shù)缴鲜鋈萜鞣胖脝卧獋?cè)。

4、在此情況下，上述噴嘴安裝單元包括：第一噴嘴安裝部，圍繞上述藥液儲(chǔ)存容器的至少一部分周圍，形成有上述噴嘴識(shí)別標(biāo)簽；以及第二噴嘴安裝部，以圍繞上述藥液儲(chǔ)存容器的剩余周圍的形態(tài)結(jié)合在上述第一噴嘴安裝部。

5、而且，上述容器放置單元可包括：容器支架，在內(nèi)部形成有放置上述藥液儲(chǔ)存容器的放置空間；以及通信板，形成于上述容器支架，根據(jù)識(shí)別上述藥液儲(chǔ)存容器是否位于上述放置空間內(nèi)來生成容器放置信息，獲取上述容器相關(guān)信息及上述噴嘴相關(guān)信息并將其傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部。

6、并且，上述噴嘴信息獲取單元可包括：識(shí)別天線，識(shí)別上述噴嘴識(shí)別標(biāo)簽并獲取上述噴嘴相關(guān)信息，將上述噴嘴相關(guān)信息傳輸?shù)缴鲜鋈萜鞣胖脝卧獋?cè)；以及固定支架，用于固定上述識(shí)別天線。

7、另一方面，上述藥液供給組件還可以包括安裝框架，在上述安裝框架中，多個(gè)上述噴嘴信息獲取單元及多個(gè)上述容器放置單元彼此1:1匹配，上述藥液供給組件能夠引入多個(gè)藥液儲(chǔ)存容器。

8、并且，本發(fā)明還可以包括網(wǎng)關(guān)，上述網(wǎng)關(guān)對(duì)從多個(gè)上述噴嘴信息獲取單元及多個(gè)上述容器放置單元獲取的上述容器放置信息、上述容器相關(guān)信息以及上述噴嘴相關(guān)信息進(jìn)行區(qū)分并單獨(dú)傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部，對(duì)通過上述監(jiān)控管理部生成的無線通信主機(jī)協(xié)議信息進(jìn)行區(qū)分并單獨(dú)傳輸?shù)蕉鄠€(gè)上述噴嘴信息獲取單元及多個(gè)上述容器放置單元。

9、與此同時(shí)，本發(fā)明還可以包括自主檢測(cè)終端，上述自主檢測(cè)終端接收上述容器放置信息，監(jiān)控上述藥液儲(chǔ)存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程的現(xiàn)狀及錯(cuò)誤發(fā)生情況。

10、在此情況下，上述自主檢測(cè)終端可包括警報(bào)部，上述警報(bào)部接收上述容器放置信息，以在上述藥液儲(chǔ)存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程中生成警報(bào)。

11、并且，本發(fā)明還可以包括發(fā)聲裝置，當(dāng)上述監(jiān)控管理部對(duì)上述藥液供給組件判斷為發(fā)生預(yù)設(shè)的錯(cuò)誤情況時(shí)，上述發(fā)聲裝置通過上述監(jiān)控管理部的控制指令再生聲音并發(fā)出警報(bào)。

12、用于解決上述問題的本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)具有如下的優(yōu)點(diǎn)，隨著監(jiān)控管理部接收并使用從安裝于藥液儲(chǔ)存容器的噴嘴安裝單元及放置藥液儲(chǔ)存容器的容器放置單元分別生成并通過短距離無線通信匯集的噴嘴相關(guān)信息、容器放置信息以及容器相關(guān)信息，可以有效地執(zhí)行半導(dǎo)體工藝管理。

13、尤其，在本發(fā)明中，監(jiān)控管理部可掌握藥液儲(chǔ)存容器的移動(dòng)路徑，并防止噴嘴蓋的混用，另一方面，隨著自動(dòng)判斷藥液儲(chǔ)存容器的保質(zhì)期、廢棄與否，根本上消除工藝失敗原因，在工藝操作過程中大幅度降低整體費(fèi)用并提高生產(chǎn)性。

14、本發(fā)明的效果并不局限于以上提及的效果，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可通過發(fā)明要求保護(hù)范圍的記載明確理解未提及的其他效果。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述噴嘴安裝單元包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述容器放置單元包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述噴嘴信息獲取單元包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括網(wǎng)關(guān)，上述網(wǎng)關(guān)對(duì)從多個(gè)上述噴嘴信息獲取單元及多個(gè)上述容器放置單元獲取的上述容器放置信息、上述容器相關(guān)信息以及上述噴嘴相關(guān)信息進(jìn)行區(qū)分并單獨(dú)傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部，對(duì)通過上述監(jiān)控管理部生成的無線通信主機(jī)協(xié)議信息進(jìn)行區(qū)分并單獨(dú)傳輸?shù)蕉鄠€(gè)上述噴嘴信息獲取單元及多個(gè)上述容器放置單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括自主檢測(cè)終端，上述自主檢測(cè)終端接收上述容器放置信息，監(jiān)控上述藥液儲(chǔ)存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程的現(xiàn)狀及錯(cuò)誤發(fā)生情況。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述自主檢測(cè)終端包括警報(bào)部，上述警報(bào)部接收上述容器放置信息，以在上述藥液儲(chǔ)存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程中生成警報(bào)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括發(fā)聲裝置，當(dāng)上述監(jiān)控管理部對(duì)上述藥液供給組件判斷為發(fā)生預(yù)設(shè)的錯(cuò)誤情況時(shí)，上述發(fā)聲裝置通過上述監(jiān)控管理部的控制指令再生聲音并發(fā)出警報(bào)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導(dǎo)體工藝用藥液儲(chǔ)存容器管理系統(tǒng)包括：藥液供給組件，將收容在藥液儲(chǔ)存容器的藥液供給到執(zhí)行半導(dǎo)體工藝的區(qū)域，生成與藥液儲(chǔ)存容器相關(guān)的多個(gè)信息，藥液儲(chǔ)存容器收容有用于半導(dǎo)體工藝的藥液；以及監(jiān)控管理部，接收在藥液供給組件所生成的多個(gè)信息來判斷藥液供給組件的操作情況，藥液供給組件包括：噴嘴安裝單元，以能夠拆卸的方式設(shè)置于藥液儲(chǔ)存容器，包括儲(chǔ)存有相應(yīng)藥液儲(chǔ)存容器的噴嘴相關(guān)信息的噴嘴識(shí)別標(biāo)簽；容器放置單元，以能夠使藥液儲(chǔ)存容器放置于內(nèi)側(cè)的方式設(shè)置，獲取容器放置信息及容器相關(guān)信息；以及噴嘴信息獲取單元，通過短距離無線通信從噴嘴識(shí)別標(biāo)簽獲取噴嘴相關(guān)信息并將其傳輸?shù)饺萜鞣胖脝卧獋?cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：洪淳錫,文淳石,金權(quán)洙,張世炫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：半導(dǎo)體科技全球有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6