【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示面板和顯示裝置。
背景技術(shù):
通常,顯示裝置包括顯示面板和背光模組,其中顯示面板用于顯示畫(huà)面,但顯示面板本身不能發(fā)光,需要靠背光模組為其提供光線(xiàn)。
顯示面板包括陣列基板、彩膜基板和位于陣列基板和彩膜基板之間的液晶層,其中,陣列基板朝向背光模組設(shè)置,陣列基板上設(shè)置有多個(gè)薄膜晶體管,薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)對(duì)光照敏感,現(xiàn)有技術(shù)中有源層的的朝向背光模組的一側(cè)設(shè)置有遮光層,用以遮擋由背光模組射向薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)的光線(xiàn)。
本申請(qǐng)的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),當(dāng)背光模組照射至陣列基板上的光線(xiàn)較強(qiáng)時(shí),現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層對(duì)光線(xiàn)的遮擋效果不好,穿過(guò)遮光層照射至薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)上的光線(xiàn)仍然較強(qiáng),使得薄膜晶體管的光漏流嚴(yán)重,進(jìn)而導(dǎo)致顯示面板出現(xiàn)串?dāng)_和殘影等不良。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
有鑒于此,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種陣列基板及其制作方法、顯示面板和顯示裝置,用以解決現(xiàn)有技術(shù)中因薄膜晶體管中的有源層的溝道區(qū)光照嚴(yán)重,而造成薄膜晶體管的光漏流嚴(yán)重的技術(shù)問(wèn)題。
第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種陣列基板,所述陣列基板包括襯底基板,以及沿遠(yuǎn)離所述襯底基板方向依次設(shè)置的輔助遮光層、絕緣層、主遮光層和緩沖層,所述緩沖層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)設(shè)置有多條沿第一方向延伸的柵線(xiàn)和多條沿第二方向延伸的數(shù)據(jù)線(xiàn),多條所述柵線(xiàn)和多條所述數(shù)據(jù)線(xiàn)限定出多個(gè)像素區(qū)域,所述像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有薄膜晶體管;
其中,所述輔助遮光層包括多個(gè)第一輔助遮光部,所述主遮光層包括多個(gè)主遮光部,所述薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在所述陣列基板上的正投影,位于所述主遮光部在所述陣列基板上的正投影內(nèi),且所述薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在所述陣列基板上的正投影,位于所述第一輔助遮光部在所述陣列基板上的正投影內(nèi)。
第二方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯示面板,所述顯示面板包括以上任一項(xiàng)所述的陣列基板。
第三方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯示裝置,所述顯示裝置包括以上所述的顯示面板。
第四方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種陣列基板的制作方法,所述陣列基板的制作方法包括:
提供一襯底基板;
在所述襯底基板上形成輔助遮光層,所述輔助遮光層包括多個(gè)第一輔助遮光部;
在形成了所述輔助遮光層的所述襯底基板上,形成絕緣層;
在形成了所述絕緣層的所述襯底基板上,形成主遮光層,所述主遮光層包括多個(gè)主遮光部;
在形成了所述主遮光層的所述襯底基板上,形成緩沖層;
在形成了所述緩沖層的所述襯底基板上,形成多條沿第一方向延伸的柵線(xiàn)和多條沿第二方向延伸的數(shù)據(jù)線(xiàn),多條所述柵線(xiàn)和多條所述數(shù)據(jù)線(xiàn)限定出多個(gè)像素區(qū)域;
在所述像素區(qū)域內(nèi)形成薄膜晶體管,所述薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在所述陣列基板上的正投影,位于所述主遮光部在所述陣列基板上的正投影內(nèi),且所述薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在所述陣列基板上的正投影,位于所述第一輔助遮光部在所述陣列基板上的正投影內(nèi)。
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種陣列基板及其制作方法、顯示面板和顯示裝置,其中,陣列基板的襯底基板上依次設(shè)置的輔助遮光層、絕緣層、主遮光層和緩沖層,輔助遮光層包括多個(gè)第一輔助遮光部,主遮光層包括多個(gè)主遮光部,由于薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在陣列基板上的正投影,位于主遮光部在陣列基板上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在陣列基板上的正投影,位于第一輔助遮光部在陣列基板上的正投影內(nèi),上述主遮光部相當(dāng)于現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層,從而使得在本發(fā)明實(shí)施例中從背光模組照射向薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)的光線(xiàn)不僅會(huì)受到主遮光部的遮擋,還會(huì)受到第一輔助遮光部的遮擋,因此,與現(xiàn)有技術(shù)相比,有效減小了照射至薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而可以降低薄膜晶體管的光漏流,進(jìn)而改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良。
【附圖說(shuō)明】
為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
圖1是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖一;
圖2是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖二;
圖3是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖三;
圖4是本發(fā)明實(shí)施例所提供的圖1、圖2和圖3沿a-a’方向的截面示意圖;
圖5是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖四;
圖6是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖五;
圖7是本發(fā)明實(shí)施例所提供的圖1和圖2沿b-b’方向的截面示意圖;
圖8是本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)的反射率對(duì)比圖;
圖9是本發(fā)明實(shí)施例所提供的顯示面板的截面示意圖;
圖10是本發(fā)明實(shí)施例所提供的彩膜基板的俯視圖;
圖11是本發(fā)明實(shí)施例所提供的方案一、方案二與現(xiàn)有技術(shù)的色偏對(duì)比圖;
圖12是本發(fā)明實(shí)施例所提供的顯示裝置的俯視圖;
圖13是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的制作方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
為了更好的理解本發(fā)明的技術(shù)方案,下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
應(yīng)當(dāng)明確,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種陣列基板,如圖1、圖2、圖3和圖4所示,圖1~圖3是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖一~三,需要說(shuō)明的是,圖1~圖3所示為同一陣列基板,為清楚地示出陣列基板1包括的柵線(xiàn)60、數(shù)據(jù)線(xiàn)70、主遮光層40和輔助遮光層20各自與薄膜晶體管80之間的相對(duì)位置關(guān)系,上述圖1中僅示出柵線(xiàn)60、數(shù)據(jù)線(xiàn)70和薄膜晶體管80,圖2中僅示出輔助遮光層20和薄膜晶體管80,圖3中僅示出主遮光層40和薄膜晶體管80,圖4是本發(fā)明實(shí)施例所提供的圖1、圖2和圖3沿a-a’方向的截面示意圖,陣列基板1包括襯底基板10,以及沿遠(yuǎn)離襯底基板10方向依次設(shè)置的輔助遮光層20、絕緣層30、主遮光層40和緩沖層50,緩沖層50遠(yuǎn)離襯底基板10的一側(cè)設(shè)置有多條沿第一方向x延伸的柵線(xiàn)60和多條沿第二方向y延伸的數(shù)據(jù)線(xiàn)70,多條柵線(xiàn)60和多條數(shù)據(jù)線(xiàn)70限定出多個(gè)像素區(qū)域,像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有薄膜晶體管80。
其中,如圖2、圖3和圖4所示,輔助遮光層20包括多個(gè)第一輔助遮光部21,主遮光層40包括多個(gè)主遮光部41,薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影位于主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影位于第一輔助遮光部21在陣列基板1上的正投影內(nèi)。其中,所述多個(gè)主遮光部41沿著第一方向x延伸,并沿著第二方向y排布。在本實(shí)施例中,主遮光部41為主遮光層40中的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)。
需要補(bǔ)充的是,薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)指的是有源層81中與柵極重疊的部分,有源層81的其他部分用于與薄膜晶體管的源極和漏極電連接,在柵極上施加有薄膜晶體管80的導(dǎo)通電壓時(shí),溝道區(qū)中載流子可發(fā)生定向移動(dòng),溝道區(qū)處于導(dǎo)電狀態(tài),薄膜晶體管80的源極和漏極之間導(dǎo)通,薄膜晶體管80處于導(dǎo)通狀態(tài),在柵極上未施加薄膜晶體管80的導(dǎo)通電壓時(shí),溝道區(qū)處于不導(dǎo)電狀態(tài),薄膜晶體管80的源極和漏極之間不導(dǎo)通,薄膜晶體管80處于截止?fàn)顟B(tài)。
示例性地,如圖1~圖4所示,薄膜晶體管80包括有源層81、柵極82、源極83和漏極84,可選地,本發(fā)明實(shí)施例中的有源層81為u型,其與柵線(xiàn)60具有兩處交疊,且與數(shù)據(jù)線(xiàn)70具有交疊,有源層81與柵線(xiàn)60的交疊部分作為其溝道區(qū),有源層81未與柵線(xiàn)60交疊的區(qū)域在制作時(shí)需要進(jìn)行摻雜,用以降低該區(qū)域的電阻,改善有源層81與源極83和漏極84之間的電連接性能。柵線(xiàn)60與有源層81交疊的部分直接作為柵極82,數(shù)據(jù)線(xiàn)70的與有源層81交疊的部分直接作為源極83。如此設(shè)置,可以使得薄膜晶體管80具有雙溝道,有助于降低薄膜晶體管80的漏電流。
本發(fā)明實(shí)施例中的主遮光層40相當(dāng)于現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層,從而使得在本發(fā)明實(shí)施例中從背光模組照射向薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)不僅會(huì)受到主遮光層40的遮擋,還會(huì)受到第一輔助遮光部21的遮擋,因此,與現(xiàn)有技術(shù)相比,有效減小了照射至薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而可以降低薄膜晶體管80的光漏流,進(jìn)而改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良。
當(dāng)然現(xiàn)有技術(shù)中也存在一些提高遮光層遮光效果的方式,例如,將遮光層加厚(例如,遮光層的厚度為150nm),本申請(qǐng)的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),當(dāng)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的材質(zhì)為多晶硅時(shí),有源層81的溝道區(qū)對(duì)光照更敏感,若直接將現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層加厚,雖然可以改善遮光層的遮光效果,減小薄膜晶體管的光漏流,但是,由于遮光層的材質(zhì)一般為鉬(mo)或者鋁(al)等,具有良好的導(dǎo)熱性,在遮光層的厚度加大后,會(huì)在將非晶硅轉(zhuǎn)化為多晶硅的激光晶化制程中,導(dǎo)致溫度不夠,晶化不完全。
而采用本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案,上述主遮光層40包括主遮光部41相當(dāng)于現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層,其厚度較小,在將非晶硅轉(zhuǎn)化為多晶硅的激光晶化制程中,不會(huì)導(dǎo)走過(guò)多的熱量,保證了溫度,可以有效提高非晶硅的晶化程度,而且緩沖層50的厚度也無(wú)需增加,不會(huì)影響薄膜晶體管80與其他結(jié)構(gòu)之間的耦合電容,有利于維持薄膜晶體管80的電性能。
由以上所述可知,主遮光部41的厚度越小,其對(duì)非晶硅轉(zhuǎn)化為多晶硅的激光晶化過(guò)程影響越小,因此,本發(fā)明實(shí)施例中選擇主遮光層40的厚度小于輔助遮光層20的厚度,從而可以在保證主遮光層40和輔助遮光層20的遮光效果的同時(shí),避免對(duì)非晶硅轉(zhuǎn)化為多晶硅的激光晶化過(guò)程影響過(guò)大??蛇x地,本發(fā)明實(shí)施例中的主遮光層40的厚度為30nm~60nm,例如35nm。可選地,輔助遮光層20的厚度為90nm~120nm,例如115nm??蛇x地,緩沖層50的材質(zhì)為氧化硅,厚度為200nm~400nm。
另外,可選地,輔助遮光層20的材質(zhì)為鋁或者鉬;絕緣層30的材質(zhì)為氮化硅;絕緣層30的厚度為200nm~300nm。本發(fā)明實(shí)施例中主遮光層40的材質(zhì)也可以為鋁或者鉬。其中,輔助遮光層20的材質(zhì)與主遮光層40的材質(zhì)可以相同,也可以不同,本發(fā)明實(shí)施例不進(jìn)行限定,例如,主遮光層40的材質(zhì)為鉬,輔助遮光層20的材質(zhì)為鋁。
由之前所述可知,本發(fā)明實(shí)施例中薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影位于第一輔助遮光部21在陣列基板1上的正投影內(nèi),在滿(mǎn)足上述投影關(guān)系的情況下,輔助遮光層20包括的第一輔助遮光部21,以及主遮光層40包括的主遮光部41的具體結(jié)構(gòu)可以有多種,下面本發(fā)明實(shí)施例舉例進(jìn)行描述。
可選地,如圖2和圖5所示,圖5是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖四,第一輔助遮光部21為沿第一方向x延伸的條狀結(jié)構(gòu)。其中,如圖2所示,第一輔助遮光部21為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第一輔助遮光部21的長(zhǎng)度與其延伸方向上設(shè)置的所有的薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)相對(duì)應(yīng),此時(shí),其延伸方向上的所有薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影均位于該第一輔助遮光部21在陣列基板1上的正投影內(nèi),該第一輔助遮光部21用于遮擋沿其延伸方向上設(shè)置的所有薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)。如圖5所示,第一輔助遮光部21為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第一輔助遮光部21的長(zhǎng)度僅與一個(gè)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)相對(duì)應(yīng),此時(shí),一個(gè)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于其對(duì)應(yīng)的一個(gè)第一輔助遮光部21在陣列基板1上的正投影內(nèi),該第一輔助遮光部21僅用于遮擋該薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)。
可選地,如圖3和圖6所示,圖6是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的俯視圖五,主遮光部41為沿第一方向x延伸的條狀結(jié)構(gòu)。其中,如圖3所示,主遮光部41為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)主遮光部41的長(zhǎng)度與其延伸方向上設(shè)置的所有的薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)相對(duì)應(yīng),此時(shí),其延伸方向上的所有薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,均位于該主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),該主遮光部41用于遮擋沿其延伸方向上設(shè)置的所有薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)。如圖6所示,主遮光部41為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)主遮光部41的長(zhǎng)度僅與一個(gè)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)相對(duì)應(yīng),此時(shí),一個(gè)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于其對(duì)應(yīng)的一個(gè)主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),該主遮光部41僅用于遮擋該薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)。
此外,如圖2和圖5所示,本發(fā)明實(shí)施例中的輔助遮光層20還包括多個(gè)第二輔助遮光部22,第二輔助遮光部22為沿第二方向y延伸的條狀結(jié)構(gòu)。如圖7所示,圖7是本發(fā)明實(shí)施例所提供的圖1和圖2沿b-b’方向的截面示意圖,第二輔助遮光部22可以遮擋從斜向射向陣列基板1的光線(xiàn),不僅可以進(jìn)一步減小照射至薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而進(jìn)一步降低薄膜晶體管80的光漏流,進(jìn)一步改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良,還可以改善顯示面板的視角和色偏現(xiàn)象。其中,斜向指的是不與陣列基板1所在平面垂直的方向。
其中,如圖2所示,第二輔助遮光部22為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第二輔助遮光部22的長(zhǎng)度與其延伸方向上設(shè)置的所有像素區(qū)域的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng),或者,如圖5所示,第二輔助遮光部22為條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第二輔助遮光部22的長(zhǎng)度僅與一個(gè)像素區(qū)域在其延伸方向上的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)。
可選地,如圖7所示,圖7是本發(fā)明實(shí)施例所提供的圖1和圖2沿b-b’方向的截面示意圖,圖7中箭頭指示的是射向陣列基板1的光線(xiàn),數(shù)據(jù)線(xiàn)70在陣列基板1上的正投影位于第二輔助遮光部22在陣列基板1上的正投影內(nèi),從而使得在垂直于陣列基板1的方向上,第二輔助遮光部22和數(shù)據(jù)線(xiàn)70的遮光面積較小,使得第二輔助遮光層22的設(shè)計(jì)對(duì)顯示面板的穿透率的影響最小。
可選地,如圖1和圖2所示,第二輔助遮光部22與數(shù)據(jù)線(xiàn)70一一對(duì)應(yīng),從而使得在第一方向x上,每個(gè)薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的兩側(cè)均設(shè)置有第二輔助遮光部22,進(jìn)而可以進(jìn)一步減小照射至薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而進(jìn)一步降低薄膜晶體管80的光漏流,進(jìn)一步改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良。
其中,如圖2所示,輔助遮光層20包括多個(gè)第一輔助遮光部21和多個(gè)第二輔助遮光部22,且第一輔助遮光部21為沿第一方向x延伸的條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第一輔助遮光部21的長(zhǎng)度與其延伸方向上設(shè)置的所有的薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)相對(duì)應(yīng),第二輔助遮光部22為沿第二方向y延伸的條狀結(jié)構(gòu),每個(gè)第二輔助遮光部22的長(zhǎng)度與其延伸方向上設(shè)置的所有像素區(qū)域的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng),且第二輔助遮光部22與數(shù)據(jù)線(xiàn)70一一對(duì)應(yīng)時(shí),整個(gè)輔助遮光層20呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),均勻分布在整個(gè)陣列基板1上,從而可以使得輔助遮光層20上的溫度分布均勻,不會(huì)造成局部溫度過(guò)高,進(jìn)而可以避免因局部溫度過(guò)高對(duì)薄膜晶體管80的器件穩(wěn)定性的影響,而且還可以具有較好的遮光效果。
為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更直觀地了解本發(fā)明實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比在遮光方面的優(yōu)勢(shì),下面本發(fā)明實(shí)施例對(duì)輔助遮光層20具有如圖2所示的結(jié)構(gòu)的方案(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為本方案),與現(xiàn)有技術(shù)中僅設(shè)置遮光層的技術(shù)方案(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為現(xiàn)有技術(shù))的遮光效果進(jìn)行對(duì)比,其中,現(xiàn)有技術(shù)中遮光層的厚度為35nm,材質(zhì)為鉬,本發(fā)明實(shí)施例中主遮光層40的厚度為35nm,材質(zhì)為鉬,第一輔助遮光層20的厚度為115nm,材質(zhì)為鋁。如圖8所示,圖8是本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)的反射率對(duì)比圖,其中,橫坐標(biāo)表示波長(zhǎng),圖8中用wavelength表示,縱坐標(biāo)表示反射率,圖8中用reflectance表示,針對(duì)波長(zhǎng)范圍為400nm~700nm的可見(jiàn)光,本方案的遮光效果均遠(yuǎn)大于現(xiàn)有技術(shù)的遮光效果,例如,在波長(zhǎng)為400nm時(shí),本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案可反射約92%的光線(xiàn),而現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案僅能反射約55%的光線(xiàn)。
此外,本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯示面板,如圖9所示,圖9是本發(fā)明實(shí)施例所提供的顯示面板的截面示意圖,本發(fā)明實(shí)施例中的顯示面板包括以上任一項(xiàng)所述的陣列基板1。具體地,如圖9所示,上述顯示面板還包括與陣列基板1相對(duì)設(shè)置的彩膜基板2,以及位于陣列基板1和彩膜基板2之間的液晶層3。其中,如圖10所示,圖10是本發(fā)明實(shí)施例所提供的彩膜基板的俯視圖,彩膜基板2上設(shè)置有黑矩陣201和色阻202,黑矩陣201與陣列基板1上的柵線(xiàn)60、數(shù)據(jù)線(xiàn)70和薄膜晶體管80相對(duì)應(yīng),用于遮擋柵線(xiàn)60、數(shù)據(jù)線(xiàn)70和薄膜晶體管80。具體地,如圖10所示,黑矩陣201包括沿第一方向x延伸的第一黑矩陣201a,以及沿第二方向y延伸的第二黑矩陣201b,色阻202包括不同顏色的色阻202,例如色阻202包括紅色色阻202a、綠色色阻202b和藍(lán)色色阻202c,紅色色阻202a、綠色色阻202b和藍(lán)色色阻202c在第一方向x上交替設(shè)置。
如圖2和圖5所示,當(dāng)陣列基板1上的輔助遮光層20還包括多個(gè)第二輔助遮光部22,第二輔助遮光部22為沿第二方向y延伸的條狀結(jié)構(gòu)時(shí),第二輔助遮光部22可以遮擋從斜向射向陣列基板1的光線(xiàn),不僅可以進(jìn)一步減小照射至薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而進(jìn)一步降低薄膜晶體管80的光漏流,進(jìn)一步改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良,還可以改善顯示面板的視角和色偏現(xiàn)象。此時(shí),若只需保證本發(fā)明實(shí)施例中的顯示面板的視角及色偏與現(xiàn)有技術(shù)相同,則顯示面板中的彩膜基板2上的第二黑矩陣21b的寬度可以適當(dāng)減小,進(jìn)而可以提升顯示面板的穿透率。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需求選擇改善色偏和視角的方案,或者,提升顯示面板的穿透率的方案,此處不進(jìn)行限定。
為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員更直觀地了解本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案在遮光方面以及提升顯示面板的穿透率方面的優(yōu)勢(shì),下面本發(fā)明實(shí)施例對(duì)輔助遮光層20具有如圖2所示的結(jié)構(gòu),第二黑矩陣201b具有不同的寬度時(shí)的兩個(gè)方案(以下分別簡(jiǎn)稱(chēng)為方案一和方案二),與現(xiàn)有技術(shù)中僅設(shè)置遮光層的技術(shù)方案(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為現(xiàn)有技術(shù))進(jìn)行對(duì)比。其中,現(xiàn)有技術(shù)中遮光層的厚度為35nm,材質(zhì)為鉬,沿第二方向y延伸的黑矩陣的寬度為5.5μm;方案一中主遮光層40的厚度為35nm,材質(zhì)為鉬,輔助遮光層20的厚度為115nm,材質(zhì)為鋁,第二黑矩陣201b的寬度為5.5μm;方案二中主遮光層40的厚度為35nm,材質(zhì)為鉬,輔助遮光層20的厚度為115nm,材質(zhì)為鋁,第二黑矩陣201b的寬度為5.0μm。如圖11所示,圖11是本發(fā)明實(shí)施例所提供的方案一、方案二與現(xiàn)有技術(shù)的色偏對(duì)比圖,方案一與現(xiàn)有技術(shù)相比,較大視角(例如,視角大于或等于40°)對(duì)應(yīng)的色偏有明顯改善,二者的顯示面板的穿透率相同,均為5.15%,方案二與現(xiàn)有技術(shù)相比,雖然各視角對(duì)應(yīng)的色偏無(wú)改善,但由于第二黑矩陣201b的寬度從5.5μm降低到5.0μm,因此,顯示面板的穿透率提升至5.28%,漲幅約為2.5%。其中,圖11中色偏用△u’v’表示,△u’v’越大,代表色偏越差。
此外,本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯示裝置,如圖12所示,圖12是本發(fā)明實(shí)施例所提供的顯示裝置的俯視圖,顯示裝置包括以上所述的顯示面板600。本發(fā)明實(shí)施例提供的顯示裝置可以是例如智能手機(jī)、可穿戴式智能手表、智能眼鏡、平板電腦、電視機(jī)、顯示器、筆記本電腦、數(shù)碼相框、導(dǎo)航儀、車(chē)載顯示器、電子書(shū)等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。
顯示裝置還包括位于靠近顯示面板600包括的陣列基板1設(shè)置的背光模組,背光模組為顯示面板提供光線(xiàn)。
可選地,本發(fā)明實(shí)施例中的顯示裝置為抬頭顯示器,該抬頭顯示器應(yīng)用于汽車(chē)中,該抬頭顯示器可以將顯示畫(huà)面投射至汽車(chē)的擋風(fēng)玻璃上,從而使得駕駛員抬頭即可觀看到顯示畫(huà)面,安全性更高。但由于擋風(fēng)玻璃在顯示畫(huà)面的同時(shí),能夠透射外界光線(xiàn),從而使得抬頭顯示器包括的背光模組的亮度需要很高(例如,高達(dá)百萬(wàn)nit級(jí)別)才會(huì)使顯示畫(huà)面清楚。因此,顯示裝置為抬頭顯示器時(shí),與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案的優(yōu)勢(shì)更明顯。
此外,本發(fā)明實(shí)施例提供一種陣列基板的制作方法,該陣列基板的制作方法包括:
提供一襯底基板。
在襯底基板上形成輔助遮光層,輔助遮光層包括多個(gè)第一輔助遮光部。可選地,在襯底基板上形成的輔助遮光層還包括多個(gè)第二輔助遮光部。其中,第一輔助遮光部和第二輔助遮光部的具體結(jié)構(gòu)以及輔助遮光層的材質(zhì)和厚度均可參見(jiàn)之前對(duì)陣列基板的相關(guān)描述,此處不再進(jìn)行贅述。
在形成了輔助遮光層的襯底基板上,形成絕緣層。
在形成了絕緣層的襯底基板上,形成主遮光層,主遮光層包括多個(gè)主遮光部。其中,主遮光部的具體結(jié)構(gòu)以及主遮光層的材質(zhì)和厚度均可參見(jiàn)之前對(duì)陣列基板1的相關(guān)描述,此處不再進(jìn)行贅述。
在形成了主遮光層的襯底基板上,形成緩沖層。
在形成了緩沖層的襯底基板上,形成多條沿第一方向延伸的柵線(xiàn)和多條沿第二方向延伸的數(shù)據(jù)線(xiàn),多條柵線(xiàn)和多條數(shù)據(jù)線(xiàn)限定出多個(gè)像素區(qū)域。
在像素區(qū)域內(nèi)形成薄膜晶體管,薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在陣列基板上的正投影,位于主遮光部在陣列基板上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管的有源層的溝道區(qū)在陣列基板上的正投影,位于第一輔助遮光部在陣列基板上的正投影內(nèi)。
其中,形成薄膜晶體管的步驟包括多個(gè)子步驟,其中的一些子步驟與以上各步驟可以同時(shí)進(jìn)行,基于此,下面本發(fā)明實(shí)施例對(duì)陣列基板的制作方法進(jìn)行舉例說(shuō)明:
如圖1~圖4以及圖13所示,圖13是本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板的制作方法的流程圖,陣列基板1的制作方法包括:
步驟s1、提供一襯底基板10。
步驟s2、在襯底基板10上形成輔助遮光層20,輔助遮光層20包括多個(gè)第一輔助遮光部21和多個(gè)第二輔助遮光部22。
步驟s3、在形成了輔助遮光層20的襯底基板10上,形成絕緣層30。
步驟s4、在形成了絕緣層30的襯底基板10上,形成主遮光層40,主遮光層40包括多個(gè)主遮光部41。
步驟s5、在形成了主遮光層40的襯底基板10上,形成緩沖層50。
步驟s6、在形成了緩沖層50的襯底基板10上,形成薄膜晶體管80的有源層81,其中,薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于第一輔助遮光部21在陣列基板1上的正投影內(nèi)。示例性地,有源層80為u型。
可選地,薄膜晶體管80的有源層81的材質(zhì)為多晶硅時(shí),在形成了緩沖層50的襯底基板10上,形成薄膜晶體管80的有源層81具體包括:在形成了緩沖層50的襯底基板10上,形成一層非晶硅,對(duì)非晶硅進(jìn)行激光晶化形成多晶硅,進(jìn)而形成材質(zhì)為多晶硅的有源層81。
步驟s7、在形成了薄膜晶體管80的有源層81的襯底基板10上,形成柵極絕緣層90。
步驟s8、在形成了柵極絕緣層90的襯底基板10上,形成多條沿第一方向x延伸的柵線(xiàn)60,其中,柵線(xiàn)60具有和薄膜晶體管80的有源層801交疊的部分,此交疊部分直接作為薄膜晶體管80的柵極82。
步驟s9、在形成了多條沿第一方向x延伸的柵線(xiàn)60的襯底基板10上,形成層間絕緣層100,并在層間絕緣層100和柵極絕緣層90上形成與薄膜晶體管80的源極83對(duì)應(yīng)的第一過(guò)孔v1,以及與薄膜晶體管80的漏極84對(duì)應(yīng)的第二過(guò)孔v2。
步驟s10、在形成了具有第一過(guò)孔v1和第二過(guò)孔v2的層間絕緣層100的襯底基板10上,形成數(shù)據(jù)線(xiàn)70和薄膜晶體管的漏極84,其中,數(shù)據(jù)線(xiàn)70具有和薄膜晶體管80的有源層81交疊的部分,此交疊部分直接作為薄膜晶體管80的源極83,薄膜晶體管80的源極83通過(guò)第一過(guò)孔v1與薄膜晶體管80的有源層81連接,薄膜晶體管80的漏極84通過(guò)第二過(guò)孔v2與薄膜晶體管80的有源層81連接。
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種陣列基板及其制作方法、顯示面板和顯示裝置,其中,陣列基板1的襯底基板10上依次設(shè)置的輔助遮光層20、絕緣層30、主遮光層40和緩沖層50,輔助遮光層20包括多個(gè)第一輔助遮光部21,主遮光層40包括多個(gè)主遮光部41,由于薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于主遮光部41在陣列基板1上的正投影內(nèi),且薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)在陣列基板1上的正投影,位于第一輔助遮光部21在陣列基板上的正投影內(nèi),上述主遮光部41相當(dāng)于現(xiàn)有技術(shù)中的遮光層,從而使得在本發(fā)明實(shí)施例中從背光模組照射向薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)不僅會(huì)受到主遮光部41的遮擋,還會(huì)受到第一輔助遮光部21的遮擋,因此,與現(xiàn)有技術(shù)相比,有效減小了照射至薄膜晶體管80的有源層81的溝道區(qū)的光線(xiàn)的強(qiáng)度,進(jìn)而可以降低薄膜晶體管80的光漏流,進(jìn)而改善顯示面板的串?dāng)_和殘影等不良。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明保護(hù)的范圍之內(nèi)。