本發(fā)明是申請日為2013年4月24日、申請?zhí)枮?01310163409.0、發(fā)明名稱為“半導(dǎo)體器件”的發(fā)明申請的分案申請。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件，例如，能夠適合利用于具有可減少發(fā)送部的無用波(雜波：spurious)的構(gòu)造的半導(dǎo)體器件。

背景技術(shù)：

像移動電話、移動信息終端(personaldigitalassistant：pda)、wifi(注冊商標(biāo))(wirelessfidelity)收發(fā)器、以及其他通信設(shè)備那樣的移動通信設(shè)備通過各種頻率來收發(fā)通信信號。

尤其是，在移動電話等中，使用了lte(longtermevolution：長期演進技術(shù))/w-cdma/gsm(注冊商標(biāo))三模式收發(fā)器等。

為了進行有效的通信，收發(fā)信號的頻率比輸送要進行通信的信息的基帶信息信號高出幾倍。因此，收發(fā)器必須使用調(diào)頻器來使發(fā)送信號升頻、使接收信號降頻。

這樣的收發(fā)器多由于小型化的需要而單芯片化，因此，也存在發(fā)送部和接收部的各電路成為彼此的噪聲產(chǎn)生原因的情況。尤其是，存在如下問題：由于通過在各電路中流通的電流而產(chǎn)生的磁場的影響，在其他電路中感應(yīng)出電流。作為防止這樣的噪聲的技術(shù)，公開有如下技術(shù)。

日本特開2004-228144號公報(專利文獻1)的目的在于，在具有多個線圈的陣列式的線圈部件中，實現(xiàn)能夠抑制由電感器之間的磁耦合導(dǎo)致的傳感器自身的特性惡化的構(gòu)造。日本特開2004-228144號公報(專利文獻1)所公開的發(fā)明的線圈部件中，多個線圈在由絕緣體層層疊而成的層疊體的內(nèi)部沿與層疊方向垂直的方向相鄰地配置，線圈具有由直線狀導(dǎo)體構(gòu)成的大致旋渦形狀或大致螺旋形狀，在相鄰的線圈之間，在絕緣體層的同一面上鄰近且相對的直線狀導(dǎo)體在其延長線上大致正交。

日本特開2005-327931號公報(專利文獻2)的目的在于提供集成電感器及使用了該集成電感器的接收電路，能夠抑制由集成電感器之間的耦合導(dǎo)致的自混頻、進而能夠?qū)崿F(xiàn)電路的簡化、芯片尺寸及耗電的減少。日本特開2005-327931號公報(專利文獻2)所公開的發(fā)明為，在基板上至少具有兩層導(dǎo)體層，并具有由第1導(dǎo)體層形成且相鄰地配置的螺旋狀的第1及第2電感單元，上述第1及第2電感單元以使電流的流向彼此為相反方向的方式連接，在第1及第2電感單元與外部電路的連接中，至少具有兩處基于第2導(dǎo)體層的與第1導(dǎo)體層的交叉部。

尤其是，從接收部的本機振蕩器生成的信號的同相成分(共模)泄漏至發(fā)送部的變頻器、即正交調(diào)制器，從而存在與發(fā)送波的三倍高次諧波混頻而產(chǎn)生的雜波。

從該接收部的本機振蕩器生成的信號的泄露是由接收部的振蕩器的馬蹄狀電感器與正交調(diào)制器的旋渦線狀電感器的磁耦合引起的。

例如，在收發(fā)器以頻帶1(發(fā)送頻率：1920～1980mhz，接收頻率：2110～2170mhz)動作的情況下，由于該無用波(雜波)落入gps頻帶(1575.42mhz＝3﹡1955mhz―2﹡2145mhz，從接收部的本機振蕩器生成的信號的頻率為接收頻率的二倍)，所以存在使位于同一基板上的gps接收器的接收靈敏度惡化的問題。

日本特開2004-228144號公報(專利文獻1)在現(xiàn)有技術(shù)中使兩個電感器的“く”字狀部相對配置，因此不區(qū)分同相成分或差動成分地減小兩個電感器之間的信號的泄露。但是，沒有詳細研討在同相成分(共模)向旋渦線狀電感器泄露的情況下使無用波(雜波)減少的內(nèi)容。

另外，日本特開2005-327931號公報(專利文獻2)在接收電路的本機振蕩器和低噪聲放大器中使用了8字型電感器，從而減小了兩個電路的干涉。但是，沒有詳細研討在同相成分(共模)向旋渦線狀電感器泄露的情況下使無用波(雜波)減少的內(nèi)容。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個實施例的目的在于解決上述問題，提供能夠盡可能減小從發(fā)送部輸出的無用波(雜波)的半導(dǎo)體器件。

根據(jù)一個實施方式，為一種半導(dǎo)體器件，具有：包含第1導(dǎo)體層而形成的旋渦線狀的第1電感器；和包含第1導(dǎo)體層而形成的馬蹄狀的第2電感器，第2電感器以使其開口部位于第1電感器的相反側(cè)的方式配置。

根據(jù)上述一個實施例的方式，能夠盡可能減小從發(fā)送部輸出的無用波(雜波)，因此，也能夠減少saw(surfaceacousticwave：表面聲波)濾波器，進而能夠削減安裝面積。

本發(fā)明的上述目的及其他目的、特征、概要及優(yōu)點能夠從與添加的附圖關(guān)聯(lián)地理解的、與本發(fā)明相關(guān)的下述詳細說明中得以明確。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的實施方式的半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖2是表示構(gòu)成本實施方式的半導(dǎo)體器件的電路組的配置(布局)的圖。

圖3是半導(dǎo)體器件的各電路的配置(布局)的局部放大圖。

圖4是表示馬蹄狀電感器10的布局圖。

圖5是圖4的a1-a1'線剖視圖。

圖6是表示旋渦線狀電感器20的平面形狀的圖。

圖7是圖6的a2-a2'線剖視圖。

圖8是表示馬蹄狀電感器10的等效電路的圖。

圖9是用于說明本實施方式的半導(dǎo)體器件的動作的示意圖。

圖10是用于說明本實施方式的半導(dǎo)體器件的動作(圖9所示的電流為相反方向時)的示意圖。

圖11是用于說明參考例的半導(dǎo)體器件的動作的示意圖。

圖12是用于說明參考例的半導(dǎo)體器件的動作(圖11所示的電流為相反方向時)的示意圖。

具體實施方式

以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明。此外，對圖中相同或相應(yīng)部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記且不重復(fù)其說明。

圖1是表示本發(fā)明的實施方式的半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)的框圖。圖1所示的半導(dǎo)體器件包括：安裝在移動電話機或數(shù)據(jù)通信機中的rfic(radio-frequencyintegratedcircuit：射頻集成電路)100、基帶電路300、hpa(highpoweramplifier：高功率放大器)214、前端模塊(fem：frontendmodule)200、天線210、和接收用巴倫(平衡-不平衡轉(zhuǎn)換器：balun)212。

天線210用于發(fā)送及接收高頻信號(電波)。接收用巴倫212將來自天線210的不平衡信號轉(zhuǎn)換成平衡信號并提供至rfic100。另一方面，hpa214將來自rfic100的輸出信號放大并提供至天線210。

該rfic100為單芯片、多模式用的接收器ic(通信用半導(dǎo)體集成電路)，遵循大體分為“gsm(注冊商標(biāo))/edge”、“wcdma”、“hspa”、“hspa+”、以及“l(fā)te”這五種收發(fā)方式的通信標(biāo)準(zhǔn)，能夠經(jīng)由天線210在與基站之間發(fā)送及接收rf信號。

在此，gsm(注冊商標(biāo))(globalsystemformobilecommunication：全球移動通信系統(tǒng))是通過fdd(頻分雙工：frequencydivisionduplex)-tdma(時分多址：timedivisionmultipleaccess)方式而實現(xiàn)的第2代(2g)通信標(biāo)準(zhǔn)，作為數(shù)字調(diào)制方式使用gmsk方式。另外，edge(enhanceddataratesforgsmevolution：增強型數(shù)據(jù)速率gsm演進技術(shù))是gsm(注冊商標(biāo))方式中的分組通信的擴展標(biāo)準(zhǔn)。在edge中，作為數(shù)字調(diào)制方式使用8psk(8相移鍵控方式：8phaseshiftkeying)。

wcdma(widebandcodedividedmultipleaccess：寬帶碼分多址)是通過fdd-cdma(碼分多址：codedivisionmultipleaccess)方式而實現(xiàn)的第3代(3g)通信標(biāo)準(zhǔn)。在歐美地區(qū)作為umts(universalmobiletelecommunicationssystems：通用移動通信系統(tǒng))而被公知。

hspa(highspeedpacketaccess：高速分組接入技術(shù))及hspa+是wcdma中的高速分組通信的擴展標(biāo)準(zhǔn)，尤其被稱作3.5代(3.5g)通信標(biāo)準(zhǔn)。

lte(longtermevolution：長期演進技術(shù))是實現(xiàn)了比hspa更高速化、寬頻帶化的移動電話機的通信標(biāo)準(zhǔn)，被稱作第3.9代(3.9g)通信標(biāo)準(zhǔn)。在lte中，下行鏈路采用了ofdma(正交頻分多址：orthogonalfrequencydivisionmultipleaccess)，上行鏈路采用了sc-fdma(單載波頻分多址：singlecarrierfrequencydivisionmultipleaccess)。

作為接收裝置(rx)的結(jié)構(gòu)，rfic100包括：lna(low-noiseamplifier：低噪聲放大器)102、降頻變頻器(變頻器)104、本機振蕩器lo108(localoscillator)、分頻器106div(divider)、lpf110a、110b(lpf：lowpassfilter，低通濾波器)、控制接收功率的vga112a、112b(vga：variablegainamplifier，可變增益放大器)、和adc114a、114b(adc：analog-to-digitalconverter，模數(shù)轉(zhuǎn)換器)。該adc114a、114b的輸出提供至數(shù)字rf用的接口(if)150。

另外，作為發(fā)送裝置(tx)的結(jié)構(gòu)，rfic100包括：數(shù)字電路170、dac164a、164b(dac：digital-to-analogconverter，數(shù)模轉(zhuǎn)換器)、lpf160a、160b(lpf：lowpassfilter，低通濾波器)、本機振蕩器lo158(localoscillator)、分頻器156div(divider)、正交調(diào)制器qmod(qmod：quadraturemodulator)154、控制輸出功率的pga152(pga：programmablegainamplifier，可編程增益放大器)、和將平衡信號轉(zhuǎn)換成不平衡信號的發(fā)送用巴倫172。來自巴倫172的輸出提供至hpa214。

對于發(fā)送和接收，該接收裝置(rx)及發(fā)送裝置(tx)同時進行動作。另外，在其動作時，來自接收裝置(rx)的輸出經(jīng)由if150而提供至基帶電路300，另一方面，來自基帶電路300的輸出經(jīng)由if150而提供至發(fā)送裝置(tx)。

if150是連接rfic100和基帶電路300的接口，遵循由mipi聯(lián)盟(mipi：mobileindustryprocessorinterface，移動行業(yè)處理器接口)制定的接口標(biāo)準(zhǔn)。

此外，雖然沒有圖示，rfic100還可以包含用于輸出發(fā)送rf信號的多個輸出端子tx1～txn、和用于輸入接收rf信號的多個輸入端子rx1～rxn。此時，輸出端子及輸入端子以(tx1、rx1)，……，(txn、rxn)的方式成對，根據(jù)rfic100所使用的頻帶(頻率帶)來確定要使用的輸出端子與輸入端子的對。

基帶電路300對從rfic100接收到的數(shù)字接收基帶信號進行與上述五種收發(fā)方式的通信標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)的數(shù)字解調(diào)及其他信號處理，從而根據(jù)數(shù)據(jù)接收基帶信號生成接收數(shù)據(jù)(聲音、圖像或其他數(shù)據(jù))。另外，基帶電路300對發(fā)送數(shù)據(jù)(聲音、圖像或其他數(shù)據(jù))進行與上述五種收發(fā)方式的通信標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)的數(shù)字調(diào)制及其他信號處理，從而根據(jù)發(fā)送數(shù)據(jù)生成數(shù)字發(fā)送基帶信號并交付至rfic100。此外，雖然在圖1中沒有圖示，但搭載有本實施方式的半導(dǎo)體器件的移動電話機還包含應(yīng)用處理器、存儲器、揚聲器、話筒、輸入鍵、液晶顯示器，并分別在與基帶電路300之間進行信號的接收及交付。

圖2是表示構(gòu)成本實施方式的半導(dǎo)體器件的電路組的配置(布局)的圖。參照圖2，在概觀上，包含在lo108中的馬蹄狀電感器10與包含在qmod中的旋渦線狀電感器20的配置關(guān)系被配置成，隔著數(shù)字電路、且構(gòu)成馬蹄狀電感器的電流路徑p1～p3(參照圖4)中的電流路徑p2(參照圖4)與旋渦線狀電感器20的距離最小。此外，在圖1中，使馬蹄狀電感器10與對應(yīng)的旋渦線狀電感器20數(shù)量相同，但不限定于此。此外，本說明書中的“馬蹄狀”也包含蹄鐵狀、大致u字狀的意思。

此外，本實施方式的半導(dǎo)體器件還包含圖1所示的各電路以外的電路即內(nèi)部電路180。內(nèi)部電路180包含與其他通信方式相關(guān)的電路(例如，gsm(注冊商標(biāo))方式)等。

以下，詳細說明在圖2中說明的該馬蹄狀電感器10與旋渦線狀電感器20的配置關(guān)系。

圖3是半導(dǎo)體器件的各電路的配置(布局)的局部放大圖。參照圖3，馬蹄狀電感器10和旋渦線狀電感器20相對地配置。另外，在馬蹄狀電感器10與旋渦線狀電感器20之間配置有耐噪聲的數(shù)字電路170。其原因在于，若在數(shù)字電路170的配置位置配置不耐噪聲的模擬電路，則通過馬蹄狀電感器10而產(chǎn)生的磁場成為該模擬電路的噪聲信號，可能損害系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

關(guān)于馬蹄狀電感器10與旋渦線狀電感器20的物理位置關(guān)系，在馬蹄狀電感器10具有線對稱結(jié)構(gòu)的情況下，優(yōu)選旋渦線狀電感器20的中心配置在馬蹄狀電感器10的對稱軸cl上。但是，不限于此，旋渦線狀電感器20可以配置成，旋渦線狀電感器20的至少一部分與沿馬蹄狀電感器10的電流路徑p2(參照圖4)的垂直方向平行移動時形成馬蹄狀電感器10的軌跡的區(qū)域x重合。

通過采取上述那樣的配置，不會根據(jù)在馬蹄狀電感器10中流動的電流的流向而在貫穿旋渦線狀電感器20內(nèi)的磁場中產(chǎn)生不平衡，減少了泄漏至旋渦線狀電感器20的來自接收裝置(rx)的本機振蕩器108的信號的共模，從而能夠減少無用波。

接下來，說明馬蹄狀電感器10的具體結(jié)構(gòu)。

圖4是表示馬蹄狀電感器10的布局圖。另外，圖5是圖4的a1-a1'線剖視圖。參照圖4及圖5，馬蹄狀電感器10由用于與其他電路進行連接的一端部8、另一端部9、和金屬布線ml1構(gòu)成，包含具有直線形狀的電流路徑p1～p3的電感器、電容器11、和多個接點via。馬蹄狀電感器10進行與所謂的lc振蕩電路相同的動作。在該馬蹄狀電感器10中流通有大約10ma左右的電流。

另外，在馬蹄狀電感器10中，示出了x軸方向的長度x1、y軸方向的長度y1。長度x1表示開口部的長度。另外，在實際生產(chǎn)的情況下，優(yōu)選長度x1和長度y1大致為相同長度。而且，能夠通過調(diào)整長度y1來調(diào)整電感特性。

此外，設(shè)有護環(huán)區(qū)域gra，其通過在半導(dǎo)體襯底上添加雜質(zhì)或通過金屬布線ml1而設(shè)置。護環(huán)區(qū)域gra在俯視觀察下以包圍馬蹄狀電感器10的方式配置。即使在具有該護環(huán)區(qū)域gra的情況下，也由于構(gòu)成馬蹄狀電感器10的金屬布線ml1的寬度大于護環(huán)區(qū)域gra的寬度，所以僅通過護環(huán)區(qū)域gra無法減少無用波。因此，即使在這樣的情況下，只要采取本實施方式那樣的配置就能夠進一步減少無用波。

通過電流路徑p1的一端和電流路徑p3的一端而形成有開口部，電流路徑p1的另一端和電流路徑p2的一端連接，電流路徑p2的另一端和電流路徑p3的另一端連接。

另外，電容器11由金屬布線ml1以下的下位層形成，該金屬布線ml1由最上位布線層構(gòu)成。電流路徑p1～p3僅由金屬布線ml1形成，與形成后述的旋渦線狀電感器20的布線層相同。

圖6是表示旋渦線狀電感器20的平面形狀的圖。另外，圖7是圖6的a2-a2'線剖視圖。參照圖6及圖7，構(gòu)成旋渦線狀電感器20的各繞線，具體而言，包括：上層的金屬布線ml1；構(gòu)成在該金屬布線ml1的下側(cè)通過的繞線部分的下層的金屬布線ml2；和用于連接金屬布線ml1和金屬布線ml2的接點via1～via8。金屬布線ml1和金屬布線ml2通過絕緣膜而電絕緣。

旋渦線狀電感器20具有5匝繞線，并且在從一端部28至另一端部29之間具有繞線彼此立體交叉而成的4處交叉部23a～23d。

另外，在旋渦線狀電感器20中，示出了最外側(cè)的繞線的x軸方向的長度x2、y軸方向的長度y2。此外，為了滿足長度x1＞長度x2、且長度y1＞長度y2的關(guān)系，優(yōu)選使用馬蹄狀電感器10及旋渦線狀電感器20。

另外，如圖7所示，在交叉部23a處、在上側(cè)通過的繞線部分由金屬布線ml1構(gòu)成，在交叉部23a處、在下側(cè)通過的繞線部分僅由金屬布線ml2構(gòu)成。因此，繞線部分由經(jīng)由接點via1、via2而彼此連接的金屬布線ml1、ml2構(gòu)成。另外，在交叉部23b～23d處也具有與上述交叉部23a相同的結(jié)構(gòu)。

另外，設(shè)有護環(huán)區(qū)域grb，其通過在半導(dǎo)體襯底上添加雜質(zhì)或通過金屬布線ml1而設(shè)置。護環(huán)區(qū)域grb在俯視觀察下以包圍旋渦線狀電感器20的方式配置。

此外，優(yōu)選構(gòu)成圖4所示的馬蹄狀電感器10的金屬布線ml1和構(gòu)成圖6所示的旋渦線狀電感器20的金屬布線ml1在同一布線層處理工序中形成，并且，該金屬布線ml1為本實施方式的半導(dǎo)體器件的最上位布線層。其原因在于，通過采取這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒃谄渌季€層中產(chǎn)生的無用波的影響控制在最小限度。

另外，可以任意設(shè)定旋渦線狀電感器20相對于馬蹄狀電感器10的朝向。即，在本實施方式中，馬蹄狀電感器10的配置位置是重要的，旋渦線狀電感器20相對于馬蹄狀電感器10的朝向能夠任意確定。另外，在此，使用旋渦線狀電感器20進行了說明，但也可以使用除此以外的形狀的電感器。馬蹄狀電感器10與旋渦線狀電感器20的距離優(yōu)選為圖4所示的馬蹄狀電感器10的長度y1的6倍左右。

在此，在說明后述的本實施方式的半導(dǎo)體器件的動作之前，對該馬蹄狀電感器10的等效電路進行說明。

圖8是表示馬蹄狀電感器10的等效電路的圖。參照圖8，該等效電路包含與電流路徑p1～p3對應(yīng)的電感器l1、l2、l3、和與電容器11對應(yīng)的電容器c1、c2。電感器l1～l3串聯(lián)，并設(shè)置在一端部8與另一端部9之間。在電感器l1和電感器l2的連接節(jié)點與地面之間設(shè)置電容器c1。另外，在電感器l2和電感器l3的連接節(jié)點與地面之間設(shè)置電容器c2。

在使電流從一端部8流向另一端部9的情況下，例如，當(dāng)在電流路徑p1中流過電流i時，該電流i在流通于電流路徑p2、p3時，在各個路徑中流通的同時各減少因寄生電容等而衰減的電流di的量。即，與電流路徑p1相比較，在電流路徑p2中，流通有減去流向電容器c1的電流di后的電流i－di。而且，與電流路徑p2的電流相比較，在電流路徑p3中，流通有減去流向電容器c2的電流di后的電流i－2﹡di。此外，“﹡”表示乘法。

像這樣，在電流路徑p1～p3的各路徑中流通的電流根據(jù)路徑而不同。因此，通過該流通的電流而感應(yīng)出的磁場也不同。在旋渦線狀電感器20中，受到該不同的感應(yīng)磁場而產(chǎn)生不同的感應(yīng)電流。

圖9是用于說明本實施方式的半導(dǎo)體器件的動作的示意圖。如上所述，在本實施方式的半導(dǎo)體器件中，與其他電流路徑p1、p3相比，馬蹄狀電感器10的電流路徑p2與旋渦線狀電感器20最為接近地配置。

參照圖9，在馬蹄狀電感器10中，在使電流經(jīng)由電流路徑p1～p3從一端部8流向另一端部9的情況下，如在圖8中說明的那樣，當(dāng)在電流路徑p1中流通有電流i時，由于在電流路徑p2中流通的電流i－di而產(chǎn)生磁場ha。該磁場ha的方向從紙面的表面?zhèn)瘸虮趁鎮(zhèn)?，是與紙面垂直的方向。此時，由于在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁場ha的磁通量，在旋渦線狀電感器20上感應(yīng)出順時針的電流。

接下來，說明使電流沿圖9所示的電流方向的相反方向流通的情況。圖10是用于說明本實施方式的半導(dǎo)體器件的動作(當(dāng)圖9所示的電流為相反方向時)的示意圖。參照圖10，在電流路徑p2中流通的電流的朝向不同，但其大小相等。因此，產(chǎn)生的磁場hb的朝向從紙面的背面?zhèn)瘸虮砻鎮(zhèn)?，但其大小相等。此時，由于在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁場hb的磁通量，在旋渦線狀電感器20上感應(yīng)出逆時針的電流。

如圖9、圖10所示，在本實施方式的半導(dǎo)體器件中，通過以使馬蹄狀電感器10的電流路徑p2與旋渦線狀電感器20最為接近的方式進行配置，雖然在旋渦線狀電感器20中感應(yīng)出電流，但由于該感應(yīng)電流的朝向不同而其大小相等，所以能夠減少由共模導(dǎo)致的無用波的產(chǎn)生。

即，不會根據(jù)在馬蹄狀電感器10中流動的電流的朝向而在貫穿旋渦線狀電感器20內(nèi)的磁場中產(chǎn)生不平衡，從而能夠減少由泄漏至旋渦線狀電感器20的來自接收裝置(px)的本機振蕩器108的信號的共模導(dǎo)致的無用波的產(chǎn)生。

(參考例)

作為參考例，說明其結(jié)構(gòu)與本實施方式的半導(dǎo)體器件相同、其配置與本實施方式的半導(dǎo)體器件不同的情況。例如，以使馬蹄狀電感器10的電流路徑p3與旋渦線狀電感器20最為接近的方式進行配置。

圖11是用于說明參考例的半導(dǎo)體器件的動作的示意圖。另外，圖12是用于說明參考例的半導(dǎo)體器件的動作(當(dāng)圖11所示的電流為相反方向時)的示意圖。參照圖11，在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁場ha1是通過在電流路徑p3中流通的電流i－2﹡d而產(chǎn)生的。另一方面，參照圖12，在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁場hb1是通過在電流路徑p3中流通的電流i而產(chǎn)生的。此時，該參考例的在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁通量的方向與實施方式同樣地，彼此為相反方向。但是，相較于實施方式，該參考例的磁場的大小發(fā)生變動而成為不平衡的狀態(tài)。

具體而言，由于像上述那樣根據(jù)電流方向而在旋渦線狀電感器20的內(nèi)部通過的磁場的大小發(fā)生變動，所以通過該磁場而感應(yīng)出的電流的大小也不同。

因此，當(dāng)像參考例那樣配置馬蹄狀電感器10及旋渦線狀電感器20時，由于在馬蹄狀電感器10中流過的電流的朝向而使得貫穿旋渦線狀電感器20內(nèi)的磁場產(chǎn)生不平衡，泄漏至旋渦線狀電感器20的來自接收裝置(rx)的本機振蕩器108的信號的共模增大，從而增加了無用波的產(chǎn)生。

與上述參考例相比較，在本實施方式中，由于不會根據(jù)在馬蹄狀電感器10中流過的電流的朝向而使得貫穿旋渦線狀電感器20內(nèi)的磁場產(chǎn)生不平衡，所以能夠減少由泄露至旋渦線狀電感器20的來自接收裝置(rx)的本機振蕩器108的信號的共模導(dǎo)致的無用波。此外，作為參考例，將馬蹄狀電感器10設(shè)定成圖11、圖12所示那樣的配置，但此配置為一例，不限定于此。

最后，使用附圖等對實施方式進行總結(jié)。

如圖2、圖3所示，實施方式具有：包含第1導(dǎo)體層(金屬布線ml1)而形成的旋渦線狀電感器20；和包含第1導(dǎo)體層(金屬布線ml1)而形成的馬蹄狀電感器10，馬蹄狀電感器10以使其開口部位于旋渦線狀電感器20的相反側(cè)的方式配置。

優(yōu)選的是，馬蹄狀電感器10包含直線形狀的電流路徑p1～p3，通過電流路徑p1的一端和電流路徑p3的一端而形成開口部，電流路徑p1的另一端和電流路徑p2的一端連接，電流路徑p3的另一端和電流路徑p2的另一端連接，馬蹄狀電感器10配置在使得旋渦線狀電感器20在分別與電流路徑p1～p3的距離中與電流路徑p2的距離為最小距離的方向。

更為優(yōu)選的是，旋渦線狀電感器20配置成，旋渦線狀電感器20的至少一部分與馬蹄狀電感器10沿電流路徑p2的垂直方向平行移動時形成馬蹄狀電感器10的軌跡的區(qū)域x重合。

更為優(yōu)選的是，馬蹄狀電感器10為線對稱的結(jié)構(gòu)，旋渦線狀電感器20的中心配置在線對稱的對稱軸上。

更為優(yōu)選的是，半導(dǎo)體器件為使用無線電來進行收發(fā)處理的半導(dǎo)體器件，旋渦線狀電感器20設(shè)置在發(fā)送側(cè)的正交調(diào)制器qmod中，馬蹄狀電感器10設(shè)置在接收側(cè)的本機振蕩器lo108中。

另外，優(yōu)選的是，半導(dǎo)體器件還具有配置在旋渦線狀電感器20與馬蹄狀電感器10之間的數(shù)字電路170。

以上，基于實施方式具體說明了本發(fā)明人所完成的發(fā)明，但本發(fā)明不限定于上述實施方式，顯然在不脫離其主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。

另外，應(yīng)當(dāng)理解為此次公開的實施方式在所有方面僅是例示而不用于限制本發(fā)明。本發(fā)明的范圍不通過上述說明而通過權(quán)利要求書得以公示，意圖包含與權(quán)利要求書均等的意義及范圍內(nèi)的全部變更。