本實(shí)用新型涉及硅片工藝設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐石英舟結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在光伏行業(yè)，高溫擴(kuò)散爐主要用于對單晶硅片、多晶硅片進(jìn)行摻雜，形成PN結(jié)。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，人們一直在追求產(chǎn)能的提升。其中，石英舟是硅片在工藝時的載體。

現(xiàn)有的石英舟的結(jié)構(gòu)，使硅片放置在石英舟上后，與爐體石英管的軸線垂直且與水平成87°的角，這樣排列的硅片，要增加硅片的數(shù)量，只能把石英舟進(jìn)行加長，這樣就會導(dǎo)致爐體的恒溫區(qū)過長，從而溫度控制的難度加大。

因此如何提供一種石英舟結(jié)構(gòu)，使?fàn)t體恒溫區(qū)長度不變或者稍微加長的情況下，可以放置更多的硅片，提高生產(chǎn)效率，是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有的問題，提供一種擴(kuò)散爐石英舟結(jié)構(gòu)，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根橫桿，所述橫桿沿擴(kuò)散爐的石英管的軸線方向開設(shè)有用于放置硅片的卡槽，各橫桿上的卡槽間距及距離一致。

在一實(shí)施例中，所述橫桿設(shè)有四根，其中第一、第二根橫桿固定在舟架底部，第三、第四根橫桿分別固定在第一、第二根橫桿兩側(cè)的舟架側(cè)邊。

在上述實(shí)施例中，卡槽有兩種方式，一種是卡槽與橫桿的軸向方向垂直，使硅片與水平面呈90度角度。另一種是卡槽與橫桿的軸向方向呈87度，使硅片與水平面呈87度角度。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，石英舟的改造成本較低，通過使硅片與軸線方向平行，可以放置更多的硅片，有效提高生產(chǎn)效率，基本上不改變爐體恒溫區(qū)的長度。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的剖視圖；

圖2是圖1的A-A剖面圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)一步進(jìn)行說明。

圖1至圖2示出了本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例提出的擴(kuò)散爐石英舟結(jié)構(gòu)，具體包括石英舟舟托1，固定在石英舟舟托1上的舟架2，固定在舟架2上的四根橫桿3，其中第一、第二根橫桿固定在舟架底部，第三、第四根橫桿分別固定在第一、第二根橫桿兩側(cè)的舟架2側(cè)邊，橫桿3沿擴(kuò)散爐的石英管的軸線方向開設(shè)有卡槽，各橫桿3上的卡槽間距及距離一致，硅片4可以等間距地放置在各卡槽中，與石英管5的軸線平行，這樣的石英舟結(jié)構(gòu)最少可以放置1600片硅片。

除了上述實(shí)施例以外，橫桿的數(shù)量可以根據(jù)具體需要進(jìn)行變化。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型的卡槽有兩種方式，一種是卡槽與橫桿的軸向方向垂直，使硅片與水平面呈90度角度，還有一種是卡槽與橫桿的軸向方向呈87度角，使硅片與水平面呈87度角度。

通過本實(shí)用新型的改進(jìn)，可以使石英管內(nèi)的石英舟上放置更多的硅片，且基本不增加生產(chǎn)成本，有效地提高了生產(chǎn)效率。

以上的具體實(shí)施例僅用以舉例說明本實(shí)用新型的構(gòu)思，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。