技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實施例揭示了一種確定半導體裝置的可著色性的方法和實施所述方法的系統(tǒng)，所述方法包含迭代地分解沖突圖以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的所有節(jié)點。所述方法還包含確定所述已分解的沖突圖是否為簡化圖。所述方法還包含當所述已分解的沖突圖并非簡化圖時使用專用處理裝置分割所述已分解的沖突圖。所述方法還包含當所述已分解的沖突圖是簡化圖時基于用于圖案化所述半導體裝置的所述層的掩模的數(shù)目來確定所述已分解的沖突圖是否可著色。所述方法還包含當所述已分解的沖突圖不可著色時標記沖突。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭眾允;徐金廠;李憲信;李建毅;柯利升;楊穩(wěn)儒
受保護的技術(shù)使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.25
技術(shù)公布日：2017.07.14