本發(fā)明實(shí)施例涉及一種確定半導(dǎo)體裝置的可著色性的方法和實(shí)施所述方法的系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體工藝中，當(dāng)半導(dǎo)體裝置的單個層中的特征定位成比圖案化分辨率允許的程度還要接近時，通常使用多個掩模來圖案化特征。將半導(dǎo)體裝置的單個層的特征分離到不同掩模中使得每一掩模包含分離等于或大于圖案化分辨率參數(shù)的距離的特征。在某些實(shí)例中，使用兩個掩模的工藝稱為雙重圖案化且使用三個掩模的工藝稱為三重圖案化。

在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體裝置時，設(shè)計(jì)者將以布局圖案來布局半導(dǎo)體裝置的特征。這些布局圖案包含存儲為單元庫中的標(biāo)準(zhǔn)單元的通常使用的結(jié)構(gòu)。單元庫是設(shè)計(jì)者可用來有效地以布局圖案插入通常使用的結(jié)構(gòu)并同時避免針對每一不同半導(dǎo)體裝置設(shè)計(jì)每一結(jié)構(gòu)的額外任務(wù)的標(biāo)準(zhǔn)單元的數(shù)據(jù)庫。

在某些實(shí)例中，檢查這些標(biāo)準(zhǔn)單元以基于用于形成半導(dǎo)體裝置的單個層的掩模的數(shù)目確定標(biāo)準(zhǔn)單元是否可著色。如果單元的特征能夠分離到多個掩模中，那么所述單元是可著色的，其中每一掩模維持特征的間距大于或等于圖案化分辨率參數(shù)。例如，可與雙重圖案化工藝兼容的標(biāo)準(zhǔn)單元稱為可2次著色，且可與三重圖案化工藝兼容的標(biāo)準(zhǔn)單元稱為可3次著色。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明實(shí)施例提供一種確定半導(dǎo)體裝置的層的可著色性的方法，所述方法包括：迭代地分解沖突圖以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的所有節(jié)點(diǎn)；當(dāng)所述已分解的沖突圖并非簡化圖時使用專用處理裝置分割所述已分解的沖突圖；當(dāng)所述已分解的沖突圖是簡化圖時基于用于圖案化所述半導(dǎo)體裝置的所述層的掩模的數(shù)目來確定所述已分解的沖突圖是否可著色；及當(dāng)所述已分解的沖突圖不可著色時標(biāo)記沖突。

附圖說明

在結(jié)合附圖閱讀時，根據(jù)以下詳述最佳地理解本發(fā)明實(shí)施例的方面。應(yīng)注意，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)行業(yè)慣例，各種特征不一定按比例繪制。實(shí)際上，為了使討論清楚起見可任意增大或減小各種特征的尺寸。

圖1是根據(jù)一些實(shí)施例的確定半導(dǎo)體裝置的可著色性的方法的流程圖。

圖2是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的分解的實(shí)例。

圖3是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的分割的實(shí)例。

圖4是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的單關(guān)節(jié)連接的示意圖。

圖5是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的單鏈路連接的示意圖。

圖6a到6b是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的雙鏈路連接的示意圖。

圖7是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的雙關(guān)節(jié)連接的示意圖。

圖8a到8c是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的蝶形連接的示意圖。

圖8d是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的不可分割連接的示意圖。

圖9a到9e是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。

圖10是根據(jù)一些實(shí)施例的圖1的方法的樣本實(shí)施方案。

圖11是根據(jù)一些實(shí)施例的k5沖突圖的示意圖。

圖12是根據(jù)一些實(shí)施例的k33沖突圖的示意圖。

圖13是根據(jù)一些實(shí)施例的可縮減以形成k5沖突圖的沖突圖的示意圖。

圖14是根據(jù)一些實(shí)施例的用于確定半導(dǎo)體裝置的可著色性的系統(tǒng)的框圖。

具體實(shí)施方式

以下揭示內(nèi)容提供了許多不同實(shí)施例或?qū)嵗杂糜趯?shí)施所提供的標(biāo)的物的不同特征。下文描述了組件及布置的特定實(shí)例以簡化本揭示。當(dāng)然，這些實(shí)例僅僅是實(shí)例且不旨在具有限制性。例如，在以下詳述中，第一特征形成在第二特征上方或第二特征上可包含其中第一及第二特征直接接觸而形成的實(shí)施例，且還可包含其中第一及第二特征之間可形成額外特征使得第一及第二特征可不直接接觸的實(shí)施例。此外，本揭示可在各個實(shí)例中重復(fù)元件編號及/或字母。此重復(fù)是為了簡單及清楚起見且本身不規(guī)定所討論的各個實(shí)施例及/或配置之間的關(guān)系。

圖1是根據(jù)一些實(shí)施例的確定半導(dǎo)體裝置的可著色性的方法100的流程圖。在操作102中，方法100接收沖突圖。沖突圖是半導(dǎo)體裝置的特征的表示，所述特征在設(shè)計(jì)中定位成與其它特征相距的距離在g0間距之內(nèi)。特征是由鏈路連接到在g0間距內(nèi)的其它特征(節(jié)點(diǎn))以用于制造半導(dǎo)體裝置的節(jié)點(diǎn)。在一些實(shí)施例中，取決于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目，使用q0間距代替g0間距。例如，在一些實(shí)施例中，q0間距用于四重圖案化；且g0間距用于雙重圖案化。沖突圖用于輔助可著色性分析。隨著包含在沖突圖中的特征的數(shù)目增加且隨著沖突圖內(nèi)的鏈路的數(shù)目增加，布局的分析及修改變得更加復(fù)雜且更耗時。方法100幫助降低確定沖突圖的可著色性的復(fù)雜性及任務(wù)的艱巨性。

在一些實(shí)施例中，在操作102中從外部組件接收沖突圖。在一些實(shí)施例中，在操作102中基于接收的布局產(chǎn)生沖突圖。在一些實(shí)施例中，在操作102中基于從用戶或外部組件接收的信息產(chǎn)生布局及沖突圖。

在操作104中，分析沖突圖以確定沖突圖中的任何節(jié)點(diǎn)是否具有少于閾值數(shù)目的鏈路。在一些實(shí)施例中，鏈路的閾值數(shù)目等于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目。例如，如果用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目是4(即，四重圖案化)，那么鏈路的閾值數(shù)目是4(即，分析沖突圖以確定任何節(jié)點(diǎn)是否具有三個或更少鏈路)。在一些實(shí)施例中，鏈路的閾值數(shù)目是4。在一些實(shí)施例中，鏈路的閾值數(shù)目大于或小于4。

操作104中的分析是由包含硬件的專用處理裝置來執(zhí)行，所述硬件經(jīng)配置以執(zhí)行用于評估沖突圖并識別連接到每一節(jié)點(diǎn)的鏈路的數(shù)目的指令。在一些實(shí)施例中，向用戶顯示連接到每一節(jié)點(diǎn)的鏈路的數(shù)目。在一些實(shí)施例中，向用戶顯示沖突圖的示意圖。

如果沖突圖被確定為包含具有少于閾值數(shù)目的鏈路的任何節(jié)點(diǎn)，那么方法100進(jìn)行到操作106。在操作106中迭代地分解沖突圖。沖突圖的分解包含移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)且減少先前連接到已移除節(jié)點(diǎn)的剩余節(jié)點(diǎn)的鏈路的數(shù)目。迭代地執(zhí)行分解以移除其鏈路數(shù)目因?yàn)橄惹耙瞥硪还?jié)點(diǎn)而減小到閾值以下的節(jié)點(diǎn)。操作106繼續(xù)進(jìn)行直到?jīng)_突圖內(nèi)的所有節(jié)點(diǎn)具有等于或大于閾值數(shù)目的鏈路的某個數(shù)目的鏈路為止。如果沖突圖不包括具有少于閾值數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)，那么操作106不會導(dǎo)致沖突圖的任何變化。第13/955,780號美國申請案(第2015/0040083號美國預(yù)授公開案)中提供了沖突圖的分解過程的詳述，所述申請案的全部內(nèi)容以引用方式并入本文中。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于分解沖突圖的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作106。在一些實(shí)施例中，使用與操作104中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作106。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作106。

圖2是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的循序分解的實(shí)例。沖突圖200包含11個節(jié)點(diǎn)。為了清楚起見，在每一節(jié)點(diǎn)內(nèi)寫入連接到每一節(jié)點(diǎn)的鏈路的數(shù)目。在圖2的實(shí)例中，用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目是4，因此鏈路的閾值數(shù)目是4。在迭代1中，移除具有少于4個鏈路的沖突圖200的所有節(jié)點(diǎn)以產(chǎn)生沖突圖200'。在沖突圖200'中，基于在迭代1中移除節(jié)點(diǎn)而減小節(jié)點(diǎn)中的每一者的鏈路的數(shù)目。在迭代2中，再次移除具有少于4個鏈路的節(jié)點(diǎn)以產(chǎn)生沖突圖200”。沖突圖200”中僅保留一個節(jié)點(diǎn)，因此節(jié)點(diǎn)沒有鏈路且在迭代3中被移除以產(chǎn)生具有零個節(jié)點(diǎn)的沖突圖。圖2是沖突圖的分解的實(shí)例。在一些實(shí)施例中，用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目大于或小于4。在一些實(shí)施例中，分解過程的迭代次數(shù)大于或小于3。

返回到圖1，在操作108中，分析已分解的沖突圖以確定沖突圖是否為簡化圖。簡化圖是滿足以下條件中的至少一者的沖突圖：1)操作106可移除所有節(jié)點(diǎn)，即，已分解的沖突圖具有零個節(jié)點(diǎn)；2)沖突圖不能夠進(jìn)一步分割；或3)沖突圖匹配先前分析的沖突圖。所有節(jié)點(diǎn)都可由操作106移除的已分解的沖突圖指示所述沖突圖是可著色的且被定義為簡化圖。不能夠進(jìn)一步分割的沖突圖指示對沖突圖的額外處理將不會降低沖突圖的復(fù)雜性。匹配所存儲的沖突圖的沖突圖可用于基于來自先前分析的沖突圖的歷史信息減小方法100的迭代次數(shù)。例如，如果已分解的沖突圖匹配先前分析的沖突圖，那么基于先前分析的沖突圖的可著色性能夠確定已分解的沖突圖的可著色性(即，如果先前分析的沖突圖是可著色的，那么當(dāng)前沖突圖也是可著色的)。

下文關(guān)于操作110討論確定沖突圖是否能夠分割的考量。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于識別簡化圖的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作108。在一些實(shí)施例中，使用與操作104或操作106中的至少一者中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作108。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104或操作106的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作108。

如果操作108確定沖突圖并非簡化圖，那么方法100繼續(xù)進(jìn)行到操作110。在操作110中，分割沖突圖中的剩余節(jié)點(diǎn)?；谟捎糜趫D案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目確定的預(yù)定分割規(guī)則來分割沖突圖中的節(jié)點(diǎn)。在一些實(shí)施例中，分割規(guī)則是由用戶定義且被輸入到用于執(zhí)行操作108的專用處理裝置中。在一些實(shí)施例中，從外部組件接收分割規(guī)則。在一些實(shí)施例中，用于執(zhí)行操作108的專用處理裝置基于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目產(chǎn)生或推薦分割規(guī)則。

以下描述是基于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的4個掩模的實(shí)例。圖3是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖300的分割的實(shí)例。在連接11到19處分割沖突圖300以形成沖突圖300'。分割沖突圖包含切斷群組之間的鏈路或分離關(guān)節(jié)中的至少一者。當(dāng)通過切斷群組之間的鏈路分割沖突圖時，鏈路被移除且連接到?jīng)_突圖的每一節(jié)點(diǎn)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減少。當(dāng)通過分離關(guān)節(jié)分割沖突圖時，共享節(jié)點(diǎn)的兩個群組被分離且將節(jié)點(diǎn)模擬為兩個群組的部分以維持與群組中的每一者個別地相關(guān)聯(lián)的鏈路。例如，沖突圖300中的連接11在節(jié)點(diǎn)310a處是單個關(guān)節(jié)。當(dāng)在沖突圖300'中分割連接11時，節(jié)點(diǎn)310保留為群組310'的部分(作為節(jié)點(diǎn)310a')且作為群組320'的部分(作為節(jié)點(diǎn)320a')。下文就圖4到9e的討論提供分割規(guī)則的額外實(shí)例。圖4到9e中指示的分割規(guī)則是實(shí)例且此描述不僅僅限于明確描繪的分割規(guī)則。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于分割沖突圖的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作110。在一些實(shí)施例中，使用與操作104、操作106或操作108中的至少一者中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作110。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104、操作106及操作108的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作110。

返回到圖1，繼沖突圖的分割之后，方法100返回到操作104。如果已分割的沖突圖被確定為包含具有少于閾值數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)，那么方法100進(jìn)行到操作106。如果已分割的沖突圖被確定為僅包含具有至少閾值數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)，那么方法100進(jìn)行到操作108。操作104、106、108及110的循環(huán)次數(shù)并無限制。在一些實(shí)施例中，例如如圖2中所描繪，完成整個循環(huán)的一部分。在一些實(shí)施例中，完成操作104、106、108及110的單個循環(huán)，即，繼單個分割操作之后，沖突圖是簡化圖或能夠分解為簡化圖。在一些實(shí)施例中，完成操作104、106、108及110的多次循環(huán)，即，執(zhí)行多次分割操作。

如果沖突圖在操作108中被確定為簡化沖突圖(又稱為簡化圖)，那么方法100進(jìn)行到操作112。在操作112中，分析簡化圖以確定簡化圖是否可著色。在一些實(shí)施例中，使用基于規(guī)則的分析方法來分析簡化圖。在一些實(shí)施例中，基于規(guī)則的分析方法是k533檢查。如果簡化圖含有k5沖突圖；k33沖突圖；或可縮減以形成k5沖突圖或k33沖突圖的沖突圖；那么k533檢查將簡化圖識別為不可著色的。下文關(guān)于圖11到13更詳細(xì)地討論k533檢查。在一些實(shí)施例中，基于規(guī)則的分析方法不同于k533檢查。在一些實(shí)施例中，使用啟發(fā)式分析來分析簡化圖。啟發(fā)式分析的實(shí)例比較簡化圖的布置與先前分析的沖突圖。在一些實(shí)施例中，基于啟發(fā)的分析在確定沖突圖是否可著色時集中于具有最多數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于確定簡化圖的可著色性的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作112。在一些實(shí)施例中，使用與操作104、操作106或操作108中的至少一者中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作112。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104、操作106及操作108的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作112。

如果簡化圖被確定為可著色，那么方法100進(jìn)行到操作116且將沖突圖報告為可著色。在一些實(shí)施例中，報告含有針對沖突圖的每一節(jié)點(diǎn)的推薦顏色。在一些實(shí)施例中，向用戶顯示報告。在一些實(shí)施例中，將報告?zhèn)鬏數(shù)絾为?dú)的專用處理裝置。在一些實(shí)施例中，用于執(zhí)行操作112的專用處理裝置在操作116中產(chǎn)生用于產(chǎn)生一組掩模的指令。在一些實(shí)施例中，單獨(dú)的專用處理裝置在操作116中產(chǎn)生用于產(chǎn)生一組掩模的指令。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于將沖突圖報告為可著色的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作116。在一些實(shí)施例中，使用與操作104、操作106、操作108或操作112中的至少一者中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作116。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104、操作106、操作108及操作112的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作116。

如果簡化圖被確定為不可著色，那么方法100進(jìn)行到操作114且標(biāo)記沖突。在一些實(shí)施例中，向用戶報告沖突。在一些實(shí)施例中，報告包含在沖突圖中突出顯示的沖突。在一些實(shí)施例中，執(zhí)行操作114的專用處理裝置推薦針對經(jīng)標(biāo)記沖突的解決方案。在一些實(shí)施例中，推薦的解決方案包含增加半導(dǎo)體裝置的層中的至少兩個節(jié)點(diǎn)之間的距離或改變半導(dǎo)體裝置的層中的至少一個節(jié)點(diǎn)的形狀。

由經(jīng)配置以執(zhí)行用于標(biāo)記為沖突的指令的專用處理裝置執(zhí)行操作114。在一些實(shí)施例中，專用處理裝置經(jīng)配置以執(zhí)行用于推薦解決方案的指令。在一些實(shí)施例中，使用與操作104、操作106、操作108、操作112或操作116中的至少一者中使用的裝置相同的專用處理裝置執(zhí)行操作114。在一些實(shí)施例中，使用不同于用于執(zhí)行操作104、操作106、操作108、操作112及操作116的裝置的專用處理裝置來執(zhí)行操作112。

在一些實(shí)施例中，繼修改沖突圖之后重復(fù)方法100。在一些實(shí)施例中，由用于操作114的專用處理裝置自動地執(zhí)行修改。在一些實(shí)施例中，由分離于用于操作114的專用處理裝置的專用處理裝置自動地執(zhí)行修改。在一些實(shí)施例中，修改是基于來自用戶的輸入。

以下描述討論了用于四重圖案化的分割規(guī)則的細(xì)節(jié)，即，使用4個掩模圖案化半導(dǎo)體裝置的層。方法100的以上描述不旨在限于四重圖案化，且以下描述用于提供對本發(fā)明的一些實(shí)施例的更好理解。

與其它方法相比，方法100幫助通過組合沖突圖的分解與分割以減少用于確定半導(dǎo)體裝置的層的布局是否可著色的時間量來簡化沖突圖。方法100還幫助識別阻止對布局著色的沖突以提高半導(dǎo)體裝置的設(shè)計(jì)效率。設(shè)計(jì)效率的提高幫助通過減少半導(dǎo)體裝置的設(shè)想與半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)之間的時間量來提高半導(dǎo)體的制造速度。

圖4是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的單關(guān)節(jié)連接的示意圖。群組g1在節(jié)點(diǎn)a/a'處連接到群組g2，即，節(jié)點(diǎn)a/a'由群組g1及群組g2兩者共享。這種類型的連接稱為單關(guān)節(jié)。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a/a'處的連接，且每一群組(即，群組g1及群組g2)維持節(jié)點(diǎn)a/a'的對應(yīng)位置處的節(jié)點(diǎn)a或a'。上文關(guān)于圖3解釋分割單關(guān)節(jié)連接的實(shí)例。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)a/a'具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)a具有兩個鏈路，且節(jié)點(diǎn)a'也具有兩個鏈路。使用四重圖案化(具有等于4的閾值鏈路數(shù)目)的實(shí)例，節(jié)點(diǎn)a及節(jié)點(diǎn)a'兩者現(xiàn)在均能夠如上文關(guān)于操作106(圖1)討論那樣分解。

圖5是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的單鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)b之間的鏈路連接到群組g2。這種類型的連接稱為單鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)b之間的鏈路且與節(jié)點(diǎn)a及節(jié)點(diǎn)b中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)b具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)b具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)b能夠被分解。

圖6a是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的雙鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路連接到群組g2。這種類型的連接稱為雙鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；且斷開節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路。與節(jié)點(diǎn)a、b、c及d中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖6b是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的雙鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路連接到群組g2。這種類型的連接稱為雙鏈路。與圖6a相比，圖6b的節(jié)點(diǎn)c包含連接群組g1及群組g2的兩個鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；且斷開節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路。與節(jié)點(diǎn)a、b及c中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有5個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖7是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的雙關(guān)節(jié)連接的示意圖。群組g1在節(jié)點(diǎn)a/a'及節(jié)點(diǎn)b/b'處連接到群組g2，即，節(jié)點(diǎn)a/a'及節(jié)點(diǎn)b/b'兩者均為群組g1及群組g2兩者共享。這種類型的連接稱為雙關(guān)節(jié)。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a/a'處的連接；且斷開節(jié)點(diǎn)b/b'處的連接。正如分割單關(guān)節(jié)，節(jié)點(diǎn)a及節(jié)點(diǎn)b將保留為群組g1的部分；且節(jié)點(diǎn)a'及節(jié)點(diǎn)b'將保留為群組g2的部分。到節(jié)點(diǎn)a及節(jié)點(diǎn)a'中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)b/b'具有5個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)b具有3個鏈路，且節(jié)點(diǎn)b'具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)b及已分割的節(jié)點(diǎn)b'兩者均能夠被分解。

圖8a是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的蝶形連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a/a'處的關(guān)節(jié)；通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路連接到群組g2。以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間的鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。這種類型的連接稱為蝶形連接。為了將群組g1與群組g2分割，以類似于如上文討論的單關(guān)節(jié)的方式分割以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'。此外，以類似于如上文討論的雙鏈路的方式斷開節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路以及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路。與節(jié)點(diǎn)a、a'、b、c、d及e中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)a/a'具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)a具有兩個鏈路，且節(jié)點(diǎn)a'具有兩個鏈路。此外，在分割之前，節(jié)點(diǎn)e具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)e具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，全部已分割的節(jié)點(diǎn)a、已分割的節(jié)點(diǎn)a'及已分割的節(jié)點(diǎn)e'均能夠被分解。

圖8b是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的蝶形連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a/a'處的關(guān)節(jié)；通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路連接到群組g2。以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間的至少一個鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。與圖8a相比，群組g2中的節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路并未鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'；且群組g2中的節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路并未鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。然而，群組g1中的節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路保持鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'；且群組g1中的節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路也保持鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。因此，以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間的鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。因此，這種類型的連接也稱為蝶形連接。為了將群組g1與群組g2分割，以類似于如上文討論的單關(guān)節(jié)的方式分割以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'。此外，以類似于如上文討論的雙鏈路的方式斷開節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路以及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路。與節(jié)點(diǎn)a、a'、b、c、d及e中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)b/b'具有5個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)b具有3個鏈路，且節(jié)點(diǎn)a'具有兩個鏈路。此外，在分割之前，節(jié)點(diǎn)e具有3個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)e具有兩個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，全部已分割的節(jié)點(diǎn)a、已分割的節(jié)點(diǎn)a'及已分割的節(jié)點(diǎn)e'均能夠被分解。

圖8c是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的蝶形連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a/a'處的關(guān)節(jié)；通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路連接到群組g2。以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間的至少一個鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。與圖8a相比，群組g1中的節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路并未鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'；且群組g2中的節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路并未鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。然而，群組g2中的節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路保持鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'；且群組g1中的節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路也保持鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。因此，以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間的鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)。因此，這種類型的連接也稱為蝶形連接。為了將群組g1與群組g2分割，以類似于如上文討論的單關(guān)節(jié)的方式分割以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'。此外，以類似于如上文討論的雙鏈路的方式斷開節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路以及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路。與節(jié)點(diǎn)a、a'、b、c、d及e中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)a/a'具有6個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)a具有3個鏈路，且節(jié)點(diǎn)a'具有3個鏈路。此外，在分割之前，節(jié)點(diǎn)e具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)e具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，全部已分割的節(jié)點(diǎn)a、已分割的節(jié)點(diǎn)a'及已分割的節(jié)點(diǎn)e'均能夠被分解。

圖8d是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖中的兩個群組之間的不可分割連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a/a'處的關(guān)節(jié)；通過節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；且通過節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路連接到群組g2。與圖8a相比，群組g1及群組g2中的節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'。然而，群組g1及群組g2中的節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路并未鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a。因此，圖8d不具有以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)a/a'的兩側(cè)上的群組g1與群組g2之間鄰近于以關(guān)節(jié)連接的節(jié)點(diǎn)的鏈路。因此，這種類型的連接不被認(rèn)為是蝶形連接。因此，圖8d中的沖突圖不能夠被分割。

圖9a是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)f之間的鏈路連接到群組g2。這種類型的連接稱為三鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)f之間的鏈路中的每一者。與節(jié)點(diǎn)a、b、c、d、e及f中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖9b是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)f之間的鏈路連接到群組g2。與圖9a相比，節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路與節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路交叉。這種類型的連接也稱為三鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)c與節(jié)點(diǎn)f之間的鏈路中的每一者。與節(jié)點(diǎn)a、b、c、d、e及f中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖9c是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。群組g1是通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路連接到群組g2。與圖9a相比，兩個鏈路連接到c。這種類型的連接也稱為三鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路中的每一者。與節(jié)點(diǎn)a、b、c及d中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有5個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖9d是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路連接到群組g2。與圖9a相比，兩個鏈路連接到c；且兩個鏈路連接到節(jié)點(diǎn)a。這種類型的連接也稱為三鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路中的每一者。與節(jié)點(diǎn)a、b、c及d中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)c具有5個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)c具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)c能夠被分解。

圖9e是根據(jù)一些實(shí)施例的沖突圖的兩個群組之間的三鏈路連接的示意圖。群組g1通過節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路連接到群組g2。與圖9a相比，兩個鏈路連接到b。這種類型的連接也稱為三鏈路。為了將群組g1與群組g2分割，斷開節(jié)點(diǎn)a與節(jié)點(diǎn)c之間的鏈路；節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)d之間的鏈路；及節(jié)點(diǎn)b與節(jié)點(diǎn)e之間的鏈路中的每一者。與節(jié)點(diǎn)a、b、c及d中的每一者相關(guān)聯(lián)的鏈路的數(shù)目相應(yīng)地減小。例如，在分割之前，節(jié)點(diǎn)e具有4個鏈路，且在分割之后，節(jié)點(diǎn)e具有3個鏈路。使用四重圖案化的實(shí)例，已分割的節(jié)點(diǎn)e能夠被分解。

圖10是根據(jù)一些實(shí)施例的方法100(圖1)的樣本實(shí)施方案。在操作102中由專用處理裝置接收沖突圖1000。

在操作104中識別具有小于閾值的鏈路數(shù)目(即，閾值在圖10的實(shí)例中是4)的節(jié)點(diǎn)。在操作106中，分解沖突圖1000以形成已分解的沖突圖1000'。在操作108中，歸因于已分解的沖突圖1000'的能夠被分割的能力，確定已分解的沖突圖1000'并非簡化圖。

在操作110中，分割已分解的沖突圖1000以形成已分割的沖突圖1000”。已分解的沖突圖1000'的分割是基于上文關(guān)于圖4到9e描述的四重圖案化分割規(guī)則。返回到操作104，將已分割的沖突圖1000”確定為包含具有少于閾值數(shù)目的鏈路的節(jié)點(diǎn)。因此，方法100再次進(jìn)行到操作106，其中分解已分割的沖突圖1000”以形成沖突圖1000*。在操作108中，將沖突圖1000*確定為簡化圖，因?yàn)闆_突圖被確定無法進(jìn)一步分割。

在操作112中，將沖突圖1000*確定為不可著色，因?yàn)闆_突圖1000*是k5沖突圖。在操作114中，標(biāo)記沖突圖1000*的沖突。

圖11是根據(jù)一些實(shí)施例的k5沖突圖的示意圖。k5沖突圖是具有5個節(jié)點(diǎn)的沖突圖，其中5個節(jié)點(diǎn)中的每一者鏈接到?jīng)_突圖的每個其它節(jié)點(diǎn)。圖11僅僅是為了清楚起見而提供的k5沖突圖的實(shí)例。5個節(jié)點(diǎn)的額外布置也是可行的，其中5個節(jié)點(diǎn)中的每個節(jié)點(diǎn)連接到?jīng)_突圖中的每個其它節(jié)點(diǎn)。

圖12是根據(jù)一些實(shí)施例的k33沖突圖的示意圖。k33沖突圖是在第一列中具有3個節(jié)點(diǎn)且在第二列中具有3個節(jié)點(diǎn)的沖突圖，其中第一列中的每個節(jié)點(diǎn)連接到第二列中的每個節(jié)點(diǎn)。圖12僅僅是為了清楚起見而提供的k33沖突圖的實(shí)例。在第一列中具有3個節(jié)點(diǎn)且在第二列中具有3個節(jié)點(diǎn)的額外布置是可行的，其中第一列中的每個節(jié)點(diǎn)連接到第二列中的每個節(jié)點(diǎn)。

圖13是根據(jù)一些實(shí)施例的可縮減以形成k5沖突圖的沖突圖的示意圖。沖突圖中的縮減包含移除至少一個鏈路及合并連接到所述鏈路的節(jié)點(diǎn)。例如，從沖突圖1300中移除鏈路1310且合并節(jié)點(diǎn)1320a及節(jié)點(diǎn)1320b。如果針對沖突圖1300中的突出顯示的鏈路中的每一者重復(fù)此縮減過程，那么沖突圖1300可縮減以形成k5沖突圖。

關(guān)于沖突圖1300'，如果移除鏈路1310'且合并節(jié)點(diǎn)1320a'及節(jié)點(diǎn)1320b'，那么沖突圖1300'也可縮減以形成k5沖突圖。在一些實(shí)施例中，操作112(圖1)使用k533規(guī)則來確定沖突圖是否可著色。如上文討論，可縮減以形成k5沖突圖或k33沖突圖的沖突圖針對四重圖案化為不可著色的。

圖14是根據(jù)一些實(shí)施例的用于設(shè)計(jì)半導(dǎo)體裝置的系統(tǒng)1400的框圖。系統(tǒng)1400包含專用硬件處理器1402及非暫時性計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404，其是利用計(jì)算機(jī)程序代碼1406(即，可執(zhí)行指令集)編碼(即，存儲計(jì)算機(jī)程序代碼1406)。在一些實(shí)施例中，處理器1402稱為專用處理裝置。計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404還利用用于介接用于設(shè)計(jì)或分析半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)機(jī)器的指令1407來編碼。處理器1402經(jīng)由總線1408電耦合到計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404。處理器1402還通過總線1408電耦合到i/o接口1410。網(wǎng)絡(luò)接口1412也經(jīng)由總線1408電耦合到處理器1402。網(wǎng)絡(luò)接口1412連接到網(wǎng)絡(luò)1414，使得處理器1402及計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404能夠經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)1414連接到外部元件。處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行編碼在計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404中的計(jì)算機(jī)程序代碼1406以使系統(tǒng)1400可用于執(zhí)行如方法100中描述的操作的部分或全部。

在一些實(shí)施例中，處理器1402是中央處理單元(cpu)、多處理器、分布式處理系統(tǒng)、專用集成電路(asic)及/或合適的處理單元。

在一些實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404是電子、磁性、光學(xué)、電磁、紅外線及/或半導(dǎo)體系統(tǒng)(或設(shè)備或裝置)。例如，計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404包含半導(dǎo)體或固態(tài)存儲器、磁帶、可裝卸式計(jì)算機(jī)磁盤、隨機(jī)存取存儲器(ram)、只讀存儲器(rom)、硬磁盤及/或光盤。在使用光盤的一些實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體1404包含光盤只讀存儲器(cd-rom)、讀/寫光盤(cd-r/w)及/或數(shù)字視頻光盤(dvd)。

在一些實(shí)施例中，存儲媒體1404存儲經(jīng)配置以使系統(tǒng)1400執(zhí)行方法100的計(jì)算機(jī)程序代碼1406。在一些實(shí)施例中，存儲媒體1404還存儲執(zhí)行方法100所需要的信息以及執(zhí)行方法100期間產(chǎn)生的信息，例如沖突圖參數(shù)1416、分割規(guī)則參數(shù)1418、沖突圖庫參數(shù)1420、可著色圖規(guī)則參數(shù)1422、閾值鏈路參數(shù)1424及/或用于執(zhí)行方法100的操作的可執(zhí)行指令集。

在一些實(shí)施例中，存儲媒體1404存儲用于介接生產(chǎn)機(jī)器的指令1407。指令1407使得處理器1402能夠產(chǎn)生可由生產(chǎn)機(jī)器讀取的生產(chǎn)指令以在生產(chǎn)過程期間有效地執(zhí)行方法100。

系統(tǒng)1400包含i/o接口1410。i/o接口1410耦合到外部電路。在一些實(shí)施例中，i/o接口1410包含鍵盤、小鍵盤、鼠標(biāo)、軌跡球、軌跡板及/或用于將信息及命令傳送到處理器1402的光標(biāo)方向鍵。

系統(tǒng)1400還包含耦合到處理器1402的網(wǎng)絡(luò)接口1412。網(wǎng)絡(luò)接口1412允許系統(tǒng)1400與連接到一或多個其它計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)1414通信。網(wǎng)絡(luò)接口1412包含無線網(wǎng)絡(luò)接口，例如bluetooth、wifi、wimax、gprs或wcdma；或有線網(wǎng)絡(luò)接口，例如ethernet、usb或ieee-1394。在一些實(shí)施例中，在兩個或兩個以上系統(tǒng)1400中實(shí)施方法100，且不同系統(tǒng)1400之間經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)1414交換信息，例如沖突圖、分割規(guī)則、沖突圖庫或可著色圖規(guī)則。

系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于沖突圖的信息。在一些實(shí)施例中，系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于布局的信息；且處理器1402經(jīng)配置以基于接收到的布局產(chǎn)生沖突圖信息。接著，將沖突圖信息作為沖突圖參數(shù)1416存儲在計(jì)算機(jī)可讀媒體1404中。系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于分割規(guī)則的信息。將所述信息作為分割規(guī)則參數(shù)1418存儲在計(jì)算機(jī)可讀媒體1404中。系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于沖突圖庫的信息。將所述信息作為沖突圖庫參數(shù)1420存儲在計(jì)算機(jī)可讀媒體1404中。系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于可著色圖規(guī)則的信息。將所述信息作為可著色圖規(guī)則參數(shù)1422存儲在計(jì)算機(jī)可讀媒體1404中。系統(tǒng)1400經(jīng)配置以通過i/o接口1410或網(wǎng)絡(luò)接口1412接收關(guān)于鏈路的閾值數(shù)目的信息。在一些實(shí)施例中，處理器1402經(jīng)配置以基于用于圖案化半導(dǎo)體裝置中的層的掩模的數(shù)目來確定鏈路的閾值數(shù)目。將所述信息作為閾值鏈路參數(shù)1424存儲在計(jì)算機(jī)可讀媒體1404中。

在操作期間，在一些實(shí)施例中，處理器1402執(zhí)行指令集以基于沖突圖參數(shù)1416分析沖突圖。例如，在操作104(圖1)中，處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行指令來基于閾值鏈路參數(shù)1424確定沖突圖參數(shù)1416的任何節(jié)點(diǎn)是否具有少于閾值數(shù)目的鏈路。在操作106中，處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行用于基于沖突圖參數(shù)1416及閾值鏈路參數(shù)1424來迭代地分解沖突圖的指令。在操作108中，處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行用于基于沖突圖參數(shù)1416及沖突圖庫參數(shù)1420來確定已分解的沖突圖是否為簡化圖的指令。在操作110中，處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行用于基于沖突圖參數(shù)1416及分割規(guī)則參數(shù)1418分割沖突圖的指令。在操作112中，處理器1402經(jīng)配置以執(zhí)行用于基于沖突圖參數(shù)1416及沖突圖庫1418或可著色圖規(guī)則1422中的至少一者來確定沖突圖是否可著色的指令。

本描述的一個方面涉及一種確定半導(dǎo)體裝置的層的可著色性的方法。所述方法包含迭代地分解沖突圖以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的所有節(jié)點(diǎn)；所述方法還包括確定已分解的沖突圖是否為簡化圖。所述方法還包含當(dāng)所述已分解的沖突圖并非簡化圖時使用專用處理裝置分割所述已分解的沖突圖。所述方法還包括當(dāng)所述已分解的沖突圖是簡化圖時基于用于圖案化所述半導(dǎo)體的所述層的掩模的數(shù)目來確定所述已分解的沖突圖是否可著色。所述方法還包括當(dāng)所述已分解的沖突圖不可著色時標(biāo)記沖突。

本描述的另一方面涉及一種用于確定半導(dǎo)體裝置的層的可著色性的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包含經(jīng)配置以存儲可執(zhí)行指令的非暫時性計(jì)算機(jī)可讀媒體。所述系統(tǒng)還包含連接到非暫時性計(jì)算機(jī)可讀媒體的專用處理器。專用處理器經(jīng)配置以執(zhí)行用于迭代地分解沖突圖以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的所有節(jié)點(diǎn)的指令。專用處理器還經(jīng)配置以執(zhí)行用于確定已分解的沖突圖是否為簡化圖的指令。專用處理器經(jīng)配置以執(zhí)行用于當(dāng)已分解的沖突圖并非簡化圖時使用專用處理裝置分割已分解的沖突圖的指令。專用處理器經(jīng)配置以執(zhí)行用于當(dāng)已分解的沖突圖是簡化圖時基于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目來確定已分解的沖突圖是否可著色的指令。

本描述的又一方面涉及一種確定半導(dǎo)體裝置的層的可著色性的方法。所述方法包含接收沖突圖，其中沖突圖包括具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的至少一個節(jié)點(diǎn)。所述方法還包含迭代地分解沖突圖以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路的所有節(jié)點(diǎn)。所述方法還包含使用專用處理裝置分割已分解的沖突圖來將已分解的沖突圖分離到多個群組中，其中多個群組中的第一群組中的至少一個節(jié)點(diǎn)具有少于閾值數(shù)目的鏈路的鏈路。所述方法還包含迭代地分解多個群組以移除具有少于閾值數(shù)目的鏈路的所有節(jié)點(diǎn)。所述方法還包括基于用于圖案化半導(dǎo)體裝置的層的掩模的數(shù)目來確定多個群組中的每一群組是否可著色。

前文概述了若干實(shí)施例的特征使得所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可更好地理解本揭示的方面。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)明白的是，他們可容易地使用本揭示作為用于設(shè)計(jì)或修改用于實(shí)行相同目的及/或?qū)崿F(xiàn)本文介紹的實(shí)施例的相同優(yōu)點(diǎn)的其它過程及結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還認(rèn)識到，此類等效構(gòu)造并未脫離本揭示的精神及范圍，且他們可在不脫離本揭示的精神及范圍的情況下在本文中做出各種改變、替代及更改。