大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和X軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，X軸直線(xiàn)電機(jī)與X軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，控制X軸連接板沿X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和Y軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，Y軸直線(xiàn)電機(jī)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，控制Y軸連接板沿Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌與X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌呈90度夾角；石英載臺(tái)安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)安裝于Y軸連接板上。運(yùn)動(dòng)安靜、噪音低，X-Y軸平臺(tái)可拆分，配對(duì)方便，達(dá)到模塊化設(shè)計(jì)要求。
【專(zhuān)利說(shuō)明】大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著LED切割市場(chǎng)對(duì)于切深控制的要求，特別是對(duì)于高端LED芯片而言，激光在晶圓內(nèi)部的切深精度控制會(huì)直接影響其IR等問(wèn)題。而且隨著四寸晶圓以及六寸晶圓的逐步量產(chǎn)，本身晶圓的片厚誤差也無(wú)法很好的保證。具有高精密運(yùn)動(dòng)控制的X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的需求也就應(yīng)運(yùn)而生。目前市場(chǎng)上已經(jīng)有一部分高精密X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的供應(yīng)，主要是歐美國(guó)家制造。售價(jià)一般在30萬(wàn)人民幣以上。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是LED設(shè)備的核心部件，對(duì)于設(shè)備的成本控制來(lái)說(shuō)，壓力太大。
[0003]綜上所述，高精密X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的自主研發(fā)的意義重大，對(duì)于設(shè)備的整體競(jìng)爭(zhēng)力來(lái)說(shuō)，具有較高價(jià)值。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種大理石高精密X-Y運(yùn)動(dòng)
-ψ-
口 O
[0005]本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0006]大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，特點(diǎn)是:包含X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含X軸大理石底座、X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌、X軸連接板和控制X軸連接板運(yùn)動(dòng)的X軸直線(xiàn)電機(jī)，X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和X軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，X軸直線(xiàn)電機(jī)與X軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制X軸連接板沿X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；
[0007]所述Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含Y軸大理石底座、Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌、Y軸連接板和控制Y軸連接板運(yùn)動(dòng)的Y軸直線(xiàn)電機(jī)，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和Y軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，Y軸直線(xiàn)電機(jī)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制Y軸連接板沿Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；所述Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌與X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌呈90度夾角；
[0008]所述Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)和石英載臺(tái)，石英載臺(tái)安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)安裝于Y軸連接板上；
[0009]所述石英載臺(tái)包含載臺(tái)板、載臺(tái)安裝板、載臺(tái)連接板、載臺(tái)固定板和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板，載臺(tái)板置于載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔中，載臺(tái)安裝板通過(guò)載臺(tái)連接板與載臺(tái)固定板相連接，載臺(tái)固定板連接固定于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述載臺(tái)連接板設(shè)有徑向孔以及與其相通的軸向孔，載臺(tái)安裝板上設(shè)有與載臺(tái)連接板上軸向孔相連通的軸向臺(tái)階孔以及所述軸向臺(tái)階孔相連通的徑向溝槽，載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔壁設(shè)有與徑向溝槽相通的弧形槽，載臺(tái)板上表面設(shè)有與弧形槽相通的發(fā)射狀溝槽。
[0010]進(jìn)一步地，上述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其中，所述X軸大理石底座上安裝有X軸光柵尺，Y軸大理石底座上安裝有Y軸光柵尺。
[0011 ] 更進(jìn)一步地，上述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其中，所述X軸大理石底座上安裝有兩X軸限位緩沖器，分別位于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部；Y軸大理石底座上安裝有兩Y軸限位緩沖器，分別位于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部。
[0012]更進(jìn)一步地，上述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其中，所述Y軸大理石底座通過(guò)螺釘連接于X軸連接板上。
[0013]再進(jìn)一步地，上述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其中，所述載臺(tái)連接板與載臺(tái)安裝板配合的端面設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中內(nèi)嵌有環(huán)形密封圈。
[0014]本實(shí)用新型技術(shù)方案突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在:
[0015]①本實(shí)用新型采用大理石底座，其吸振性遠(yuǎn)優(yōu)于金屬加工件，保證平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的平穩(wěn)性及較低的震蕩，從而滿(mǎn)足平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)平面度0.005mm的要求；由于大理石底座加工完后不會(huì)有應(yīng)力釋放，比較容易滿(mǎn)足導(dǎo)軌面平面度的指標(biāo)；
[0016]②真空吸附結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)數(shù)個(gè)點(diǎn)同時(shí)產(chǎn)生真空負(fù)壓，使得產(chǎn)品的受力更加均勻，從而使產(chǎn)品被緊緊吸附住的同時(shí)又保證在加工過(guò)程中不會(huì)移動(dòng)；
[0017]③直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)取消了由于絲杠等機(jī)械機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的傳動(dòng)間隙和誤差，減少了插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)時(shí)因傳動(dòng)系統(tǒng)滯后帶來(lái)的跟蹤誤差，通過(guò)直線(xiàn)位置檢測(cè)反饋控制，大大提高平臺(tái)的定位精度；
[0018]④由于“直接驅(qū)動(dòng)”，避免了啟動(dòng)、變速和換向時(shí)因中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)的彈性變形、摩擦磨損和反向間隙造成的運(yùn)動(dòng)滯后現(xiàn)象，提高了其傳動(dòng)剛度；
[0019]⑤運(yùn)動(dòng)安靜、噪音低，X-Y軸平臺(tái)可拆分，單獨(dú)作為一套直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)模組，也可以與其它直線(xiàn)平臺(tái)自由組合構(gòu)成另一種X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，配對(duì)方便，達(dá)到模塊化設(shè)計(jì)要求。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0021]圖1:本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2: Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的剖視示意圖；
[0023]圖3: Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的俯視示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]如圖1所示，大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包含X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含X軸大理石底座l、x軸直線(xiàn)導(dǎo)軌3、x軸連接板4和控制X軸連接板運(yùn)動(dòng)的X軸直線(xiàn)電機(jī)2，X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌3和X軸直線(xiàn)電機(jī)2安裝于X軸大理石底座I上，X軸連接板4置于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌3上，X軸直線(xiàn)電機(jī)2與X軸連接板4驅(qū)動(dòng)連接，從而控制X軸連接板4沿X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌3運(yùn)動(dòng)；
[0025]Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含Y軸大理石底座5、Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌6、Υ軸連接板9和控制Y軸連接板運(yùn)動(dòng)的Y軸直線(xiàn)電機(jī)10，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌6和Y軸直線(xiàn)電機(jī)10安裝于Y軸大理石底座5上，Y軸連接板9置于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌6上，Y軸直線(xiàn)電機(jī)10與Y軸連接板9驅(qū)動(dòng)連接，從而控制Y軸連接板9沿Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌6運(yùn)動(dòng)；Υ軸大理石底座5通過(guò)螺釘連接于X軸連接板4上，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌6與X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌3呈90度夾角，采用螺釘連接以保證相互間的垂直度，采用螺釘連接便于調(diào)整X-Y軸的直角度，另外，X軸連接板與大理石底座之間的連接螺釘拆掉后，就形成2個(gè)單獨(dú)的單軸直線(xiàn)模組，使用非常方便。
[0026]X軸大理石底座I上安裝有X軸光柵尺，Y軸大理石底座5上安裝有Y軸光柵尺。
[0027]X軸大理石底座I上安裝有兩X軸限位緩沖器12，分別位于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部；Y軸大理石底座5上安裝有兩Y軸限位緩沖器11，分別位于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部。
[0028]Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)7和石英載臺(tái)8，石英載臺(tái)8安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)7上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)7安裝于Y軸連接板9上；真空吸附，整個(gè)Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)做0°和90°位置切換，完成晶圓的網(wǎng)格型加工，Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)安裝于Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之上，實(shí)現(xiàn)晶圓片的平面旋轉(zhuǎn)功能，即采用單軸進(jìn)行劃片。
[0029]如圖2所示，石英載臺(tái)包含載臺(tái)板18、載臺(tái)安裝板17、載臺(tái)連接板15、載臺(tái)固定板14和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板13，載臺(tái)板18置于載臺(tái)安裝板17的內(nèi)孔中，載臺(tái)安裝板17通過(guò)載臺(tái)連接板15與載臺(tái)固定板14相連接，載臺(tái)固定板14連接固定于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板13上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板13安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)7的旋轉(zhuǎn)軸上，載臺(tái)連接板15設(shè)有徑向孔以及與其相通的軸向孔，載臺(tái)安裝板17上設(shè)有與載臺(tái)連接板上軸向孔相連通的軸向臺(tái)階孔以及軸向臺(tái)階孔相連通的徑向溝槽，載臺(tái)安裝板17的內(nèi)孔壁設(shè)有與徑向溝槽相通的弧形槽，載臺(tái)板18上表面設(shè)有與弧形槽相通的發(fā)射狀溝槽19，發(fā)射狀溝槽19的分布形式如圖3所示，從而形成吸附真空流道。
[0030]載臺(tái)連接板15與載臺(tái)安裝板17配合的端面設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中內(nèi)嵌有環(huán)形密封圈16。
[0031]X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相互垂直，采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)搭配高分辨率光柵尺閉環(huán)反饋控制實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)。
[0032]載臺(tái)連接板15的徑向孔口連接氣管，載臺(tái)連接板15的徑向孔、載臺(tái)連接板15的軸向孔、載臺(tái)安裝板17上軸向臺(tái)階孔、載臺(tái)安裝板17的徑向溝槽、載臺(tái)安裝板17的弧形槽、載臺(tái)板18的發(fā)射狀溝槽19形成吸附真空流道，最終將真空氣體引流到載臺(tái)板18上表面的一圈圈環(huán)形槽內(nèi)，通過(guò)這些環(huán)形槽內(nèi)的真空氣體將覆膜的鋼環(huán)(半導(dǎo)體芯片)緊緊吸附住。
[0033]傳統(tǒng)的金屬加工件由于加工完后的應(yīng)力釋放，會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)軌安裝面已無(wú)法滿(mǎn)足0.002mm的平面度要求，由于大理石底座加工完后，不會(huì)有應(yīng)力釋放，比較容易滿(mǎn)足導(dǎo)軌面平面度的指標(biāo)。同時(shí)，大理石底座吸振性?xún)?yōu)于金屬加工件，保證平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的平穩(wěn)性及較低的震蕩，從而滿(mǎn)足平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)平面度0.005mm的要求。
[0034]吸附結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)數(shù)個(gè)點(diǎn)同時(shí)產(chǎn)生真空負(fù)壓，使得產(chǎn)品的受力更加均勻，從而使產(chǎn)品在被緊緊吸附住的同時(shí)又保證在加工過(guò)程中不會(huì)移動(dòng)。同時(shí)，載臺(tái)安裝板的上平面為圓錐形，增強(qiáng)了吸附效果。
[0035]設(shè)計(jì)了兩自由度的X-Y超精密定位平臺(tái)，運(yùn)用模塊化的ACS控制方案，對(duì)各運(yùn)動(dòng)軸的PID控制器參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。測(cè)試結(jié)果表明，經(jīng)調(diào)節(jié)后的綜合系統(tǒng)具有良好的速度和位置跟蹤性能。除了需要達(dá)到高精度的跟蹤誤差外，還要求各軸在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中按照既定的軌跡協(xié)同動(dòng)作，以減少軸間的同步誤差，提高系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性。然而，由于系統(tǒng)制造誤差，負(fù)荷差異，摩擦力和其他干擾的存在，各運(yùn)動(dòng)軸的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性可能不一，所以在特定的領(lǐng)域可以進(jìn)行誤差補(bǔ)償來(lái)減少同步誤差。
[0036]由于直接取消了一些響應(yīng)時(shí)間常數(shù)較大的機(jī)械傳動(dòng)件(如絲杠等)，使整個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能大大提高，反應(yīng)異常靈敏快捷。直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)取消了由于絲杠等機(jī)械機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的傳動(dòng)間隙和誤差，減少了插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)時(shí)因傳動(dòng)系統(tǒng)滯后帶來(lái)的跟蹤誤差。通過(guò)直線(xiàn)位置檢測(cè)反饋控制，即可大大提高平臺(tái)的定位精度。
[0037]動(dòng)剛度高由于“直接驅(qū)動(dòng)”，避免了啟動(dòng)、變速和換向時(shí)因中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)的彈性變形、摩擦磨損和反向間隙造成的運(yùn)動(dòng)滯后現(xiàn)象，同時(shí)也提高了其傳動(dòng)剛度。
[0038]由于直線(xiàn)電機(jī)最早主要用于磁懸浮列車(chē)(時(shí)速可達(dá)500km/h)，所以用在激光切割過(guò)程中，要滿(mǎn)足其超高速運(yùn)行的最大運(yùn)動(dòng)速度(要求達(dá)Y軸800mm/s (X軸300mm/s)或更高)是沒(méi)有問(wèn)題的。也由于上述“零傳動(dòng)”的高速響應(yīng)性，使其加減速過(guò)程大大縮短。以實(shí)現(xiàn)起動(dòng)時(shí)瞬間達(dá)到高速，高速運(yùn)行時(shí)又能瞬間準(zhǔn)停。減速至指定位置的所需整定時(shí)間非常迅速，電氣定位精度設(shè)置為2um時(shí)，所需整定時(shí)間3?5ms?？色@得較高的加速度，可達(dá)Y軸I?1.5g(X軸0.8?1.2g，g = 9.8m/s2)，而滾珠絲杠傳動(dòng)的最大加速度一般只有0.1?0.5g。
[0039]運(yùn)動(dòng)安靜、噪音低，由于取消了傳動(dòng)絲杠等部件的機(jī)械摩擦，且導(dǎo)軌采用滾動(dòng)導(dǎo)軌或磁墊懸浮導(dǎo)軌(無(wú)機(jī)械接觸)，其運(yùn)動(dòng)時(shí)噪音將大大降低。
[0040]由于無(wú)中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，消除了機(jī)械摩擦?xí)r的能量損耗，傳動(dòng)效率大大提高。
[0041]該X-Y軸平臺(tái)可拆分，單獨(dú)作為一套直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)模組，也可以與其它直線(xiàn)平臺(tái)自由組合構(gòu)成另一種X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，配對(duì)方便，達(dá)到模塊化設(shè)計(jì)要求。
[0042]需要理解到的是:以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于:包含X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含X軸大理石底座、X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌、X軸連接板和控制X軸連接板運(yùn)動(dòng)的X軸直線(xiàn)電機(jī)，X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和X軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，X軸直線(xiàn)電機(jī)與X軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制X軸連接板沿X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)； 所述Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含Y軸大理石底座、Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌、Y軸連接板和控制Y軸連接板運(yùn)動(dòng)的Y軸直線(xiàn)電機(jī)，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌和Y軸直線(xiàn)電機(jī)安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌上，Y軸直線(xiàn)電機(jī)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制Y軸連接板沿Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；所述Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌與X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌呈90度夾角； 所述Θ軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)和石英載臺(tái)，石英載臺(tái)安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)安裝于Y軸連接板上； 所述石英載臺(tái)包含載臺(tái)板、載臺(tái)安裝板、載臺(tái)連接板、載臺(tái)固定板和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板，載臺(tái)板置于載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔中，載臺(tái)安裝板通過(guò)載臺(tái)連接板與載臺(tái)固定板相連接，載臺(tái)固定板連接固定于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)連接板安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述載臺(tái)連接板設(shè)有徑向孔以及與其相通的軸向孔，載臺(tái)安裝板上設(shè)有與載臺(tái)連接板上軸向孔相連通的軸向臺(tái)階孔以及所述軸向臺(tái)階孔相連通的徑向溝槽，載臺(tái)安裝板的內(nèi)孔壁設(shè)有與徑向溝槽相通的弧形槽，載臺(tái)板上表面設(shè)有與弧形槽相通的發(fā)射狀溝槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于:所述X軸大理石底座上安裝有X軸光柵尺，Y軸大理石底座上安裝有Y軸光柵尺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于:所述X軸大理石底座上安裝有兩X軸限位緩沖器，分別位于X軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部'Y軸大理石底座上安裝有兩Y軸限位緩沖器，分別位于Y軸直線(xiàn)導(dǎo)軌的兩端部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于:所述Y軸大理石底座通過(guò)螺釘連接于X軸連接板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于:所述載臺(tái)連接板與載臺(tái)安裝板配合的端面設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中內(nèi)嵌有環(huán)形密封圈。
【文檔編號(hào)】H01L21/78GK204179100SQ201420694154
【公開(kāi)日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月19日
【發(fā)明者】趙裕興, 李軍 申請(qǐng)人:蘇州德龍激光股份有限公司, 江陰德力激光設(shè)備有限公司