專利名稱：一種適應(yīng)多管pecvd的自動上下料裝卸系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是一種自動上下料系統(tǒng)，用于多管PECVD設(shè)備中完成工藝舟的全自動裝卸，屬于光伏太陽能設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的PECVD的工藝舟上下料都由人工完成，隨著晶片尺寸的增大和工藝改進(jìn)后 單舟裝載晶片數(shù)量的增加，導(dǎo)致裝載完晶片的工藝舟的重量大幅增加，工藝舟重量的增加使PECVD的結(jié)構(gòu)向高度空間發(fā)展受到阻礙，降低了凈化間單位面積內(nèi)裝備的產(chǎn)能。另外最重要的一點是工人管理和培訓(xùn)成本高，勞動強(qiáng)度大，工作環(huán)境惡劣，同時由于人為的因素造成硅片的污染及碎片問題也更加突出。與此相反的是采用自動上下料裝置不但能將裝備從原來的二管增加到三管、四管，甚至是五管，從而大幅提高單臺裝備的生產(chǎn)效率，而且可以實現(xiàn)裝備的自動化，降低操作員工的勞動強(qiáng)度及節(jié)約工廠設(shè)備的占地面積，因此是多管PECVD裝備發(fā)展的必然趨勢。大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的一個突出特點就是生產(chǎn)過程的高度自動化，多管PECVD的自動上下料系統(tǒng)的實現(xiàn)將大大的提高PECVD工序的自動化操作程度。自動上下料系統(tǒng)的采用將帶來工藝結(jié)果高度的重復(fù)性，避免了人工操作的隨意性對工藝產(chǎn)生的影響。

實用新型內(nèi)容針對傳統(tǒng)的PECVD的工藝舟上下料都由人工完成，這種方式制約了設(shè)備的空間發(fā)展，導(dǎo)致生產(chǎn)場地的利用率降低，工人管理和培訓(xùn)成本高，勞動強(qiáng)度大，工作環(huán)境惡劣，人為的因素造成硅片的污染及碎片等缺陷，本實用新型旨在提供一種適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，該上下料裝卸系統(tǒng)以滿足多管PECVD設(shè)備中工藝舟的全自動裝卸，實現(xiàn)太陽能電池片生產(chǎn)線的全自動化打下基礎(chǔ)。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，包括推車，其結(jié)構(gòu)特點是，還包括裝在推車上用于在豎直方向運送工藝舟的龍門升降機(jī)，裝在龍門升降機(jī)上用于在水平方向運送工藝舟的機(jī)械手，所述推車上裝有鎖緊或釋放推車的推車驅(qū)動裝置。所述龍門升降機(jī)的結(jié)構(gòu)為，包括兩根豎直裝在推車上作為滑臺的豎梁，該豎梁上裝有帶剎車裝置的驅(qū)動電機(jī)。由于豎梁由兩根可獨立運動的滑臺組成，電機(jī)驅(qū)動通過轉(zhuǎn)向器將運動平均分配到豎梁的每根軸上，實現(xiàn)兩豎梁的同步運動，驅(qū)動電機(jī)配有剎車裝置，能夠保證在非工作狀態(tài)下，滑塊機(jī)構(gòu)自鎖，保證在掉電狀態(tài)下工藝舟的安全。所述機(jī)械手有兩只，每根豎梁上裝有一只機(jī)械手，通過同步軸相連的兩只機(jī)械手由一個電機(jī)驅(qū)動。在水平方向設(shè)計兩個取舟機(jī)械手，分別固定在豎梁的兩個滑臺上，左右機(jī)械手采用同一個電機(jī)驅(qū)動，中間通過同步軸連接保證左右機(jī)械手動作一致。更進(jìn)一步地，所述豎梁上裝有臨時儲存工藝舟的冷卻儲存架。冷卻儲存架用來對加工完畢的熱工藝舟進(jìn)行冷卻或在加工忙和出現(xiàn)故障時，對正在運輸中的工藝舟進(jìn)行儲存。推車驅(qū)動裝置通過汽缸作用，用于頂起和放下，鎖緊和釋放推車的作用。籍由上述結(jié)構(gòu)，適應(yīng)多管PECVD設(shè)備的自動上下料系統(tǒng)在垂直方向采用龍門升降機(jī)構(gòu)，豎梁為兩根可獨立運動的滑臺組成，電機(jī)驅(qū)動通過轉(zhuǎn)向器將運動平均分配到豎梁的每根軸上，實現(xiàn)兩豎梁的同步運動，驅(qū)動電機(jī)配有剎車裝置，能夠保證在非工作狀態(tài)下，滑塊機(jī)構(gòu)自鎖，保證在掉電狀態(tài)下工藝舟的安全。同時在水平方向設(shè)計兩個取舟機(jī)械手，分別固定在豎梁的兩個滑臺上，左右機(jī)械手采用同一個電機(jī)驅(qū)動，中間通過同步軸連接保證左右機(jī)械手動作一致。通過獨立的控制系統(tǒng)聯(lián)機(jī)檢測各個工位的工作狀況，適時的進(jìn)行上下、平移及冷卻儲存架放置處理，裝舟時只需人工將裝好片的工藝舟放置在推車上并選擇裝載工位，機(jī)械手將自動完成裝載至工位的全部動作；卸舟時機(jī)械手會自動將出爐的工位上的工藝舟取出并放置在冷卻平臺上，人工只需從冷卻平臺取走工藝舟即可。 全套動作由獨立監(jiān)控PLC控制，各種動作通過電機(jī)與導(dǎo)軌配合自動完成，系統(tǒng)通過與管理計算機(jī)及到位傳感器進(jìn)行聯(lián)鎖，保護(hù)舟及工藝片的安全。以下對本實用新型作進(jìn)一步的描述。一種自動上下料系統(tǒng)包括推車1，龍門升降機(jī)2，冷卻儲存架3，推車驅(qū)動裝置4，機(jī)械手5,工藝舟6。所述的推車I :承載和運送工藝舟的小車平臺，方便操作人員進(jìn)行工藝舟進(jìn)出設(shè)備的操作。在PECVD工藝中用一部推車來手動將工藝舟移入設(shè)備中進(jìn)行加工，以及在加工結(jié)束后將工藝舟移出設(shè)備。所述的龍門升降機(jī)2 :龍門升降機(jī)用來執(zhí)行垂直方向的運動，負(fù)責(zé)工藝舟在推車，PECVD各管之間和冷卻儲存架的垂直運動。所述的冷卻儲存架3 :用來對加工完畢的熱工藝舟進(jìn)行冷卻或在加工忙和出現(xiàn)故障時，對正在運輸中的工藝舟進(jìn)行儲存。該系統(tǒng)配備了兩個冷卻儲存架。所述的推車驅(qū)動裝置4 :推車驅(qū)動裝置通過汽缸作用，用于頂起和放下，鎖緊和釋放推車的作用。所述機(jī)械手5 :機(jī)械手用于對推車，冷卻儲存架和設(shè)備上的工藝舟的抓取，并且能夠在水平方向移動，配合龍門升降機(jī)完成工藝舟的裝卸。所述的工藝舟6 :工藝舟用來在熱化學(xué)工藝過程中作為硅片的機(jī)械承載器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是I.上下料全過程自動化，有助于實現(xiàn)整線設(shè)備的自動化；2.機(jī)構(gòu)運動互鎖，故障報警完善，有停機(jī)保護(hù)功能；3.系統(tǒng)獨立控制，能適應(yīng)高溫惡劣環(huán)境下傳感通訊；4.龍門升降機(jī)構(gòu)和機(jī)械手的兩級同步帶傳動機(jī)構(gòu)的采用，使結(jié)構(gòu)緊湊、動作運行平穩(wěn)可靠，安全系數(shù)高。

圖I為本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖中[0029]I-推車；2_龍門升降機(jī)；3_冷卻儲存架；4_推車驅(qū)動裝置；5-機(jī)械手；6-工藝舟。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖I和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步的介紹，但不作為對本實用新型的限定。 一種適應(yīng)多管PECVD設(shè)備的自動上下料系統(tǒng)，如圖I所示，包括推車1，裝在推車I上用于在豎直方向運送工藝舟6的龍門升降機(jī)2，裝在龍門升降機(jī)2上用于在水平方向運送工藝舟6的機(jī)械手5，所述推車I上裝有鎖緊或釋放推車I的推車驅(qū)動裝置4。所述龍門升降機(jī)2的結(jié)構(gòu)為，包括兩根豎直裝在推車I上作為滑臺的豎梁，該豎梁上裝有帶剎車裝置的驅(qū)動電機(jī)。所述機(jī)械手5有兩只，每根豎梁上裝有一只機(jī)械手，通過同步軸相連的兩只機(jī)械手由一個電機(jī)驅(qū)動。所述豎梁上裝有臨時儲存工藝舟6的冷卻儲存架3。工作時，通過操作者將裝載工藝舟6的推車I推進(jìn)設(shè)備接口處，在檢測到推車I到位的同時，推車驅(qū)動裝置4通過氣缸動作頂起推車I并鎖緊，垂直方向的龍門升降機(jī)2運動到推車I位置，水平方向的機(jī)械手5水平移動到工藝舟6位置抓取工藝舟6離開推車1，送入設(shè)備進(jìn)行工藝加工，加工完成后，機(jī)械手5伸入設(shè)備，抓取加工完成的工藝舟6，通過龍門升降機(jī)2和機(jī)械手5的運動，將加工后的工藝舟6送到冷卻儲存架3，待冷卻完成后，通過龍門升降機(jī)2和機(jī)械手5的運動將冷卻儲存架3上的工藝舟6送回推車1，完成整個自動上下料的全部過程。本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本實用新型的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，包括推車(1)，其特征是，還包括裝在推車(I)上用于在豎直方向運送工藝舟(6)的龍門升降機(jī)(2)，裝在龍門升降機(jī)(2)上用于在水平方向運送工藝舟(6)的機(jī)械手(5)，所述推車(I)上裝有鎖緊或釋放推車(I)的推車驅(qū)動裝置⑷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，其特征是，所述龍門升降機(jī)(2)的結(jié)構(gòu)為，包括兩根豎直裝在推車(I)上作為滑臺的豎梁，該豎梁上裝有帶剎車裝置的驅(qū)動電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，其特征是，所述機(jī)械手(5)有兩只，每根豎梁上裝有一只機(jī)械手，通過同步軸相連的兩只機(jī)械手由一個電機(jī)驅(qū)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2 3之一所述的適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，其特征是，所述豎梁上裝有臨時儲存工藝舟出)的冷卻儲存架(3)。
專利摘要本實用新型涉及一種適應(yīng)多管PECVD的自動上下料裝卸系統(tǒng)，屬于自動上下料系統(tǒng)領(lǐng)域，針對傳統(tǒng)的PECVD的工藝舟上下料都由人工完成導(dǎo)致生產(chǎn)場地的利用率降低，成本高，勞動強(qiáng)度大，工作環(huán)境惡劣，硅片易污染或碎片的問題，本實用新型包括推車，裝在推車上用于在豎直方向運送工藝舟的龍門升降機(jī)，裝在龍門升降機(jī)上用于在水平方向運送工藝舟的機(jī)械手，所述推車上裝有鎖緊或釋放推車的推車驅(qū)動裝置。本實用新型可以滿足多管PECVD設(shè)備中工藝舟的全自動裝卸，為實現(xiàn)太陽能電池片生產(chǎn)線的全自動化打下基礎(chǔ)。
文檔編號H01L21/677GK202384309SQ201120505699
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者孫雪平, 易文杰, 王迪平, 羅宏洋, 胡振東, 鐘新華 申請人:湖南紅太陽光電科技有限公司