專利名稱：用于pecvd工序中承載石墨舟的推車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車。
背景技術(shù)：
太陽能電池片生產(chǎn)過程中，多采用PECVD工序進(jìn)行鍍膜(PECVD工序，即等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣象沉積工序)。在操作過程當(dāng)中，需要通過推車來承載/轉(zhuǎn)運(yùn)石墨舟，通過人工操作對(duì)石墨舟進(jìn)行插卸硅片的操作以進(jìn)行PECVD工序。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的石墨舟200是水平放置在推車100的平臺(tái)1001上的，操作人員只能以垂直方式進(jìn)行插卸硅片的操作，由于石墨舟體積比較大，具有相當(dāng)?shù)膶挾龋僮魅藛T很難以完全垂直視角的方式進(jìn)行操作，無法完整地觀察石墨舟內(nèi)的工藝點(diǎn)，只能靠經(jīng)驗(yàn)和感覺完成對(duì)整個(gè)石墨舟的插卸硅片操作。這種操作方式一方面大大增加了工作強(qiáng)度，使操作人員易于疲勞，另一方面，即使是經(jīng)驗(yàn)豐富、操作熟練的技術(shù)工人使用這種帶有操作盲區(qū)的工裝設(shè)備也會(huì)大大增加硅片的報(bào)廢率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，操作人員在插卸硅片的時(shí)候能夠清晰看見石墨舟內(nèi)的工藝點(diǎn)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對(duì)兩端分別樞接于所述車架的相對(duì)兩端，所述車架設(shè)有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。作為優(yōu)選，所述夾角的大小為20度到30度之間。作為優(yōu)選，所述夾角的大小為25度。作為優(yōu)選，還包括氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述車架鉸接，所述氣缸的缸體與所述承托架鉸接。作為優(yōu)選，所述氣缸的活塞桿與所述車架的鉸接處設(shè)有固定所述氣缸的調(diào)整螺母。作為優(yōu)選，所述車架的相對(duì)兩端均設(shè)置有軸套座，所述承托架的相對(duì)兩端均相應(yīng)設(shè)置有樞接于所述軸套座上的轉(zhuǎn)軸。作為優(yōu)選，所述承托架設(shè)置有把手。 作為優(yōu)選，所述車架上設(shè)置有托盤，所述托盤位于所述承托架的下方。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的有益效果在于承托架以樞接方式安裝在車架上，通過限位裝置將承托架卡持在最佳的操作位置插卸硅片，操作人員可清晰看見石墨舟內(nèi)的工藝點(diǎn)，大大減少了插片難度，降低了員工的工作強(qiáng)度和硅片報(bào)廢率，提高了產(chǎn)能。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)的承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的正面示意圖；圖4為圖3中A部分結(jié)構(gòu)的放大示意圖；圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的側(cè)面示意
圖。[0018]主要附圖標(biāo)記說明[0019]100-推車1001-平臺(tái)[0020]200-石墨舟[0021]1-車架[0022]11-第一限位裝置12-第二限位裝置[0023]13-軸套座14-導(dǎo)向輪[0024]15-卡鉤16-托盤[0025]2-承托架[0026]21-轉(zhuǎn)軸[0027]3-氣缸4-調(diào)整螺母
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車與石墨舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車的正面示意圖，圖4為圖3中A部分結(jié)構(gòu)的放大示意圖，圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD 工序中承載石墨舟的推車的側(cè)面示意圖。如圖2、圖3、圖4和圖5所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架1，還包括用于承托石墨舟200的承托架2，承托架2的相對(duì)兩端分別樞接于車架1的相對(duì)兩端。如圖2所示，本實(shí)施例中樞接采用轉(zhuǎn)軸連接方式，車架1的相對(duì)兩端均設(shè)置有軸套座13，承托架2的相對(duì)兩端均相應(yīng)設(shè)置有樞接所述軸套座的轉(zhuǎn)軸21。當(dāng)然，也可以采用在車架上設(shè)置軸，而在承托架上相應(yīng)設(shè)置軸套的方式實(shí)現(xiàn)樞接。承托架2承托石墨舟200在車架1上以圖2示的X軸沿a方向轉(zhuǎn)動(dòng)。這種結(jié)構(gòu)設(shè)置使得承托架2與車架1的樞接結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、牢固，安裝方便。同時(shí)，由于石墨舟體積大、比較沉重，可以在轉(zhuǎn)軸21與軸套座13之間設(shè)有阻尼，使得承托架2能夠承托石墨舟 200緩慢地轉(zhuǎn)動(dòng)，減少了石墨舟摔落、磕碰等產(chǎn)品安全事故。這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置使得承托架2 能夠承托石墨舟2在車架1上傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)，操作人員對(duì)傾斜石墨舟進(jìn)行插卸硅片操作時(shí)符合人體工程學(xué)，同時(shí)操作人員能夠全視角地觀察到石墨舟，清晰地看到石墨舟內(nèi)的工藝點(diǎn)，減少了插片難度，降低了員工的工作強(qiáng)度和硅片報(bào)廢率，提高了產(chǎn)能。[0030]如圖2所示，本實(shí)施例中，車架1的兩側(cè)分別設(shè)有用于限制承托架2處于水平位置的第一限位裝置11和使承托架2處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置12。本實(shí)施例給出的實(shí)施方式是，如圖2所示，將第一限位裝置11和第二限位裝置12的底部設(shè)置于同一水平面上并且第一限位裝置11高于第二限位裝置12，第一限位裝置11的高度能夠使承托架2處于水平位置，第二限位裝置12的高度能夠使承托架2處于與水平位置成一夾角的位置。操作時(shí)，操作人員將石墨舟200通過導(dǎo)向輪14置于承托架2上，并且將石墨舟 200用卡鉤15固定好。此時(shí)，第一限位裝置11限制承托架2于水平位置，不會(huì)晃動(dòng)。松開第一限位裝置11，由于受重力作用，承托有石墨舟200的承托架2轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)承托架2轉(zhuǎn)動(dòng)至與水平位置成一夾角的位置時(shí)，遇到第二限位裝置12，第二限位裝置12將承托架2卡持住。 作為優(yōu)選，所述的夾角可在20度到30度之間進(jìn)行選擇，如21度、22度、25度J6度、27度 30度等。此時(shí)，操作人員對(duì)處于傾斜20度至30度的承托架2上的石墨舟200插卸硅片。 20度至30度之間的角度是操作人員普遍感覺舒適并且操作視角較好的角度，當(dāng)然，可以根據(jù)實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整第二限位裝置12的高度。作為本實(shí)施例的更進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述的夾角為25度。經(jīng)過測(cè)試，承托架2傾斜至與水平夾角為25度是操作人員手感最佳并且操作視角最好的角度。作為一種改進(jìn)，本實(shí)用新型的實(shí)施例的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車還包括氣缸3，氣缸3的活塞桿與車架1鉸接，氣缸3的缸體與承托架2鉸接；或者，氣缸3的活塞桿與承托架2鉸接，氣缸3的缸體與車架1鉸接。如圖2、圖3、圖4和圖5所示，本實(shí)施例給出的實(shí)施方式是氣缸3的活塞桿與車架1鉸接，氣缸3的缸體與承托架2鉸接。作為更進(jìn)一步改進(jìn)，氣缸3的活塞桿與車架1的鉸接處設(shè)有固定氣缸3的調(diào)整螺母4。當(dāng)將石墨舟200水平置于承托架2上時(shí)，調(diào)整螺母4處于緊固狀態(tài)，氣缸3通過調(diào)整螺母4固定在車架1上，對(duì)承托架2起到一定的支撐作用。當(dāng)承托架2以圖2示X軸沿a方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，松開調(diào)整螺母4，承托架2牽動(dòng)氣缸3分別與承托架2和車架1相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，并且氣缸3的活塞桿與缸體相對(duì)伸縮運(yùn)動(dòng)，氣缸3的活塞桿與缸體之間的作用力給承托架2的轉(zhuǎn)動(dòng)以阻尼，保證承托架2承托石墨舟200安全、平穩(wěn)地轉(zhuǎn)動(dòng)，不會(huì)由于速度過快而造成石墨舟200的滑落、 磕碰等產(chǎn)品安全事故。當(dāng)承托架2轉(zhuǎn)動(dòng)至操作人員所需要的角度位置時(shí)(例如，與水平位置的夾角為25度的位置)，固緊調(diào)整螺母4，固定了氣缸3與車架1的相對(duì)位置，對(duì)承托架2 起到一定支撐作用，這樣可以最大程度避免承托架2的晃動(dòng)，從而影響插卸硅片的質(zhì)量。當(dāng)然，氣缸3的缸體端與承托架2的鉸接處也可以相應(yīng)設(shè)置調(diào)整螺母，進(jìn)一步穩(wěn)固承托架2。作為另一種改進(jìn)，為了解決由于石墨舟比較重、體積大帶來的對(duì)承托架2的轉(zhuǎn)動(dòng)操作比較困難的問題，如圖2、圖3所示，承托架2設(shè)置有把持承托架轉(zhuǎn)動(dòng)的把手22，操作人員可以在承托架2傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，輕松地通過把手22操縱承托架2，進(jìn)一步保障產(chǎn)品的安全。同時(shí)，第一限位裝置11和第二限位裝置12可以通過卡持把手22來限制承托架2，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于操作者操作。作為改進(jìn)，如圖2所示，車架1上設(shè)置有托盤16，托盤16位于承托架2的下方。托盤16用于收集石墨舟中掉落的硅片和碎片，這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置使得裂損的硅片以及碎片能夠掉在托盤16上，便于回收，有利于潔凈廠房的環(huán)保和清潔。以上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，其特征在于，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對(duì)兩端分別樞接于所述車架的相對(duì)兩端，所述車架設(shè)有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述夾角的大小為20度到30度之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述夾角的大小為25度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，還包括氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述車架鉸接，所述氣缸的缸體與所述承托架鉸接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述氣缸的活塞桿與所述車架的鉸接處設(shè)有固定所述氣缸的調(diào)整螺母。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述車架的相對(duì)兩端均設(shè)置有軸套座，所述承托架的相對(duì)兩端均相應(yīng)設(shè)置有樞接于所述軸套座上的轉(zhuǎn)軸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述承托架設(shè)置有把手。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，其特征在于，所述車架上設(shè)置有托盤，所述托盤位于所述承托架的下方。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于PECVD工序中承載石墨舟的推車，包括車架，還包括用于承托所述石墨舟的承托架，所述承托架的相對(duì)兩端分別樞接于所述車架的相對(duì)兩端，所述車架設(shè)有使所述承托架處于水平位置的第一限位裝置和使所述承托架處于與水平位置成一夾角的位置的第二限位裝置。本實(shí)用新型使操作人員在插卸硅片的時(shí)候能夠清晰看見石墨舟內(nèi)的工藝點(diǎn)，減少了插片難度，降低了員工的工作強(qiáng)度和硅片報(bào)廢率，提高了產(chǎn)能。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202196805SQ201120337179
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者程建松 申請(qǐng)人:無錫尚德太陽能電力有限公司, 無錫德鑫太陽能電力有限公司