一種清理管式pecvd石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置的制造方法
【專利摘要】一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，包括柜體，所述柜體內(nèi)部頂端設(shè)置有進氣孔，所述柜體外部頂端設(shè)置有與進氣孔相通的進氣管，所述進氣管與氣源連通，所述進氣孔下部的柜體內(nèi)部安裝有勻氣板；所述柜體內(nèi)部底端設(shè)置有排氣孔，所述柜體外部底端設(shè)置有排氣管，所述排氣管與吸塵裝置連通；所述柜體外部底端還安裝有行走輪，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能有效的解決舟內(nèi)粉塵問題不會對車間造成污染和降低使用成本。
【專利說明】
一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置。【背景技術(shù)】
[0002]目前，管式PECVD用石墨舟在使用一段時間后，或是設(shè)備卡栗等因素造成石墨舟的舟頁上會有氮化硅粉塵，如果不能及時處理掉會對舟內(nèi)的硅片造成污染鍍膜后會出現(xiàn)白點粉塵片，目前的主要處理方法為一:在現(xiàn)場直接使用壓縮空氣槍對石墨舟進行吹掃二:放到固定的地方在有抽排風(fēng)的設(shè)備內(nèi)進行吹掃，其上兩種方法存在明顯的不足之處一是現(xiàn)場吹掃會導(dǎo)致氮化硅粉塵到處亂飛影響車間潔凈度也會對在制品造成污染，二是固定的地方設(shè)置抽排系統(tǒng)費用較高。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型提供一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能有效的解決舟內(nèi)粉塵問題不會對車間造成污染和降低使用成本。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，包括柜體，所述柜體內(nèi)部頂端設(shè)置有進氣孔，所述柜體外部頂端設(shè)置有與進氣孔相通的進氣管，所述進氣管與氣源連通，所述進氣孔下部的柜體內(nèi)部安裝有勻氣板； 所述柜體內(nèi)部底端設(shè)置有排氣孔，所述柜體外部底端設(shè)置有排氣管，所述排氣管與吸塵裝置連通;所述柜體外部底端還安裝有行走輪。
[0005]進一步，柜體側(cè)端活動安裝有開關(guān)門。
[0006]進一步，所述柜體采用透明的PVC材質(zhì)。
[0007]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能有效的解決舟內(nèi)粉塵問題不會對車間造成污染和降低使用成本?！靖綀D說明】
[0008]為對本實用新型做進一步說明，下面列舉附圖和【具體實施方式】。
[0009]圖1，一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置；
[0010]圖2, 一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置的柜體的內(nèi)部視圖一；
[0011]圖3，一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置的柜體的內(nèi)部視圖二?！揪唧w實施方式】
[0012]如圖1-3所示，一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，包括柜體1，所述柜體1內(nèi)部頂端設(shè)置有進氣孔2,所述柜體1外部頂端設(shè)置有與進氣孔2相通的進氣管3,所述進氣管3與氣源連通，所述進氣孔2下部的柜體1內(nèi)部安裝有勻氣板4,勻氣板4能把氣體均勻的吹掃到石墨舟的每個部位;所述柜體1內(nèi)部底端設(shè)置有排氣孔5,所述柜體1外部底端設(shè)置有排氣管6，所述排氣管6與吸塵裝置連通;所述柜體1外部底端還安裝有行走輪7，所述行走輪7為帶有鎖定功能的行走輪。[0013 ]進一步，柜體1側(cè)端活動安裝有開關(guān)門8。[0〇14]進一步，所述柜體1采用透明的PVC材質(zhì)。
[0015]本實用新型是這樣工作的:使用時只需將此裝置推放到有壓縮空氣接口的地方， 連接好進氣口端(連接壓縮空氣)和排氣端接口(連接吸塵器)，然后將待吹掃的石墨舟抬放到此裝置內(nèi)關(guān)閉好門，先打開連接在抽排端的吸塵器后再打開進氣端的開關(guān)進行對石墨舟進行吹掃，通過透明的腔體我們可以觀察到石墨舟吹掃的情況，吹掃完畢后，先關(guān)閉此裝置的進氣然后關(guān)閉吸塵器，暫時不需要使用此裝置時可以將它推放到指定地方。
[0016]顯而易見，上述實施方式僅僅為本實用新型的其中一個實施例，任何在本實用新型基礎(chǔ)上做出的簡單改進均屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，其特征在于包括柜體，所述柜體內(nèi) 部頂端設(shè)置有進氣孔，所述柜體外部頂端設(shè)置有與進氣孔相通的進氣管，所述進氣管與氣 源連通，所述進氣孔下部的柜體內(nèi)部安裝有勻氣板;所述柜體內(nèi)部底端設(shè)置有排氣孔，所述 柜體外部底端設(shè)置有排氣管，所述排氣管與吸塵裝置連通;所述柜體外部底端還安裝有行 走輪。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，其特征在于 柜體側(cè)端活動安裝有開關(guān)門。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種清理管式PECVD石墨舟舟內(nèi)粉塵的輔助裝置，其特征在于 所述柜體采用透明的PVC材質(zhì)。
【文檔編號】B08B15/02GK205599642SQ201620321884
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年4月18日
【發(fā)明人】孟鑫, 李旺, 陳陽泉, 錢金梁
【申請人】潤峰電力有限公司