Pecvd用石墨舟卡點(diǎn)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及硅片鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)其原理為借助微波或射頻等方法使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，由于等離子提化學(xué)性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，因此在基片上沉積出所期待的薄膜。PECVD在鍍膜過(guò)程中利用石墨為材料制備的石墨舟盛裝硅片，為了將硅片穩(wěn)定的固定在石墨舟內(nèi)，在石墨舟壁上設(shè)有用于固定硅片的石墨舟卡點(diǎn)。
[0003]如圖1和圖2所示，石墨舟卡點(diǎn)包括圓柱固定部03及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部03兩側(cè)的圓柱卡接部，其中圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部01和兩端分別與第一圓柱卡接部01和圓柱固定部03連接的第二圓柱卡接部02，第一圓柱卡接部01、第二圓柱卡接部02和圓柱固定部03同軸布置。具體的，第一圓柱卡接部01的直徑為7.5mm，第二圓柱卡接部02的直徑為
6.3mm，圓柱固定部03的厚度為9.03mm。
[0004]然而，盡管硅片與第一圓柱卡接部01的接觸面積理論足夠，但是由于硅片大部分面積近與第一圓柱卡接部01的邊沿部位接觸，而由于邊沿部位與硅片接觸不穩(wěn)定，硅片與石墨舟卡點(diǎn)的有效接觸面積較小，導(dǎo)致硅片與石墨舟卡點(diǎn)邊沿接觸不良，石墨舟卡點(diǎn)與硅片接觸位置溫度升高，容易導(dǎo)致石墨舟卡點(diǎn)燒焦的情況，使得石墨舟卡點(diǎn)的使用壽命縮短。
[0005]因此，如何延長(zhǎng)石墨舟卡點(diǎn)的使用壽命，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，該石墨舟卡點(diǎn)的使用壽命延長(zhǎng)。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，包括圓柱固定部及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部?jī)蓚?cè)的圓柱卡接部，所述圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部和兩端分別與所述第一圓柱卡接部和所述圓柱固定部連接的第二圓柱卡接部，所述第一圓柱卡接部、所述第二圓柱卡接部和所述圓柱固定部同軸布置，所述第一圓柱卡接部的直徑為5.6mm，所述第二圓柱卡接部的直徑為4.3mm。
[0008]優(yōu)選地，所述第一圓柱卡接部的端部設(shè)有倒角。
[0009]優(yōu)選地，所述圓柱固定部的端部設(shè)有倒角。
[0010]優(yōu)選地，所述圓柱固定部的直徑為6.03mm。
[0011 ]優(yōu)選地，所述第二圓柱卡接部的厚度為0.37mm。
[0012]優(yōu)選地，所述第一圓柱卡接部的厚度為1.3mm。
[0013]優(yōu)選地，所述圓柱固定部的厚度為2.78mm。
[0014]優(yōu)選地，所述圓柱卡接部和所述圓柱固定部為一體式結(jié)構(gòu)。
[0015]在上述技術(shù)方案中，本實(shí)用新型提供的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)包括圓柱固定部及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部?jī)蓚?cè)的圓柱卡接部，圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部和兩端分別與第一圓柱卡接部和圓柱固定部連接的第二圓柱卡接部，第一圓柱卡接部、第二圓柱卡接部和圓柱固定部同軸布置，第一圓柱卡接部的直徑為5.6mm，第二圓柱卡接部的直徑為4.3_。
[0016]通過(guò)上述描述可知，在本實(shí)用新型提供的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)中，由于第一圓柱卡接部的直徑為5.6mm，第二圓柱卡接部的直徑為4.3mm，沿直徑方向第一圓柱卡接部相對(duì)于第二圓柱卡接部外露部位長(zhǎng)度為0.65mm，相對(duì)于【背景技術(shù)】中第一圓柱卡接部相對(duì)于第二圓柱卡接部外部位長(zhǎng)度0.6mm，增大了娃片與石墨舟卡點(diǎn)的接觸深度，同時(shí)縮小第一圓柱卡接部和第二圓柱卡接部的直徑，減少硅片與石墨舟卡點(diǎn)邊沿的接觸，進(jìn)而降低硅片與石墨舟卡點(diǎn)接觸不良的情況，因此，本申請(qǐng)?zhí)峁┑氖劭c(diǎn)的使用壽命延長(zhǎng)。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為傳統(tǒng)的石墨舟卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為圖1為所示的石墨舟卡點(diǎn)的側(cè)視圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的石墨舟卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為圖3所示石墨舟卡點(diǎn)的側(cè)視圖。
[0021]其中圖1-4中:01_第一圓柱卡接部、02-第二圓柱卡接部、03-圓柱固定部；
[0022]1-第一圓柱卡接部、2-第二圓柱卡接部、3-圓柱固定部。
【具體實(shí)施方式】
[0023]本實(shí)用新型的核心是提供一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，該石墨舟卡點(diǎn)的使用壽命延長(zhǎng)。
[0024]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0025]請(qǐng)參考圖3和圖4，在一種【具體實(shí)施方式】中，本實(shí)用新型提供的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)包括圓柱固定部3及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部3兩側(cè)的圓柱卡接部，其中，圓柱固定部3可以通過(guò)粘接與圓柱卡接部連接。圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部I和兩端分別與第一圓柱卡接部I和圓柱固定部3連接的第二圓柱卡接部2，第一圓柱卡接部1、第二圓柱卡接部2和圓柱固定部3同軸布置，第一圓柱卡接部I的直徑為5.6mm，第二圓柱卡接部2的直徑為4.3mm，圓柱固定部3的直徑可以與傳統(tǒng)圓柱固定部的直徑相同。
[0026]通過(guò)上述描述可知，在本實(shí)用新型具體實(shí)施例所提供的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)中，由于第一圓柱卡接部I的直徑為5.6mm，第二圓柱卡接部2的直徑為4.3mm，沿直徑方向第一圓柱卡接部I相對(duì)于第二圓柱卡接部2外露部位長(zhǎng)度為0.65mm，相對(duì)于【背景技術(shù)】中第一圓柱卡接部相對(duì)于第二圓柱卡接部2外部位長(zhǎng)度0.6mm，增大了娃片與石墨舟卡點(diǎn)的接觸深度，當(dāng)硅片與石墨舟卡點(diǎn)的有效接觸寬度為Imm時(shí)，石墨舟卡點(diǎn)與硅片的有效接觸面積近似于
0.65mm2，而傳統(tǒng)的有效接觸面積為0.60mm2，其中面積公式為第一圓柱卡接部I相對(duì)于第二圓柱卡接部2外露長(zhǎng)度與有效接觸寬度Imm的乘積，保證了電池的轉(zhuǎn)換效率，同時(shí)縮小第一圓柱卡接部I和第二圓柱卡接部2的直徑，減少硅片與石墨舟卡點(diǎn)邊沿的接觸，進(jìn)而降低硅片與石墨舟卡點(diǎn)接觸不良的情況，因此，本申請(qǐng)?zhí)峁┑氖劭c(diǎn)的使用壽命延長(zhǎng)。
[0027]為了便于工作人員加工石墨舟卡點(diǎn)，優(yōu)選，第一圓柱卡接部I的端部設(shè)有倒角。更為優(yōu)選的，圓柱固定部3的端部也設(shè)有倒角。通過(guò)設(shè)置倒角，便于第一圓柱卡接部I和圓柱固定部3成型后取出，避免端部折角處損壞的情況，同時(shí)避免外界物質(zhì)損壞第一圓柱卡接部I和圓柱固定部3的情況。
[0028]進(jìn)一步，圓柱固定部3的直徑為6.00mm-6.06mm，優(yōu)選，圓柱固定部3的直徑為6.03mm。由于第一圓柱卡接部I的直徑和第二圓柱卡接部2的直徑縮小，縮小圓柱固定部3的直徑使得石墨舟卡點(diǎn)整體比例協(xié)調(diào)，同時(shí)降低了石墨舟卡點(diǎn)的總體重量，降低了石墨舟卡點(diǎn)的制造成本。
[0029]更進(jìn)一步，第二圓柱卡接部2的厚度為0.37mm。第一圓柱卡接部I的厚度為1.3mm。圓柱固定部3的厚度為2.78mm。當(dāng)然根據(jù)實(shí)際工作情況，可以調(diào)節(jié)第一圓柱卡接部1、第二圓柱卡接部2和圓柱固定部3的厚度。
[0030]在上述各方案的基礎(chǔ)上，為了便于工作人員加工石墨舟卡點(diǎn)，優(yōu)選，圓柱卡接部和圓柱固定部3為一體式結(jié)構(gòu)。在加工石墨舟卡點(diǎn)時(shí)，可以將石墨舟卡點(diǎn)一體成型。
[0031]本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。
[0032]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，包括圓柱固定部(3)及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部(3)兩側(cè)的圓柱卡接部，所述圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部(I)和兩端分別與所述第一圓柱卡接部(I)和所述圓柱固定部(3)連接的第二圓柱卡接部(2)，所述第一圓柱卡接部(I)、所述第二圓柱卡接部(2)和所述圓柱固定部(3)同軸布置，其特征在于，所述第一圓柱卡接部(I)的直徑為5.6mm，所述第二圓柱卡接部(2)的直徑為4.3_。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述第一圓柱卡接部(I)的端部設(shè)有倒角。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述圓柱固定部(3)的端部設(shè)有倒角。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述圓柱固定部(3)的直徑為6.0Omm-6.06mm。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述第二圓柱卡接部(2)的厚度為0.37mm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述第一圓柱卡接部(I)的厚度為1.3mm。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述圓柱固定部(3)的厚度為2.78mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，其特征在于，所述圓柱卡接部和所述圓柱固定部(3)為一體式結(jié)構(gòu)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種PECVD用石墨舟卡點(diǎn)，包括圓柱固定部及對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓柱固定部?jī)蓚?cè)的圓柱卡接部，圓柱卡接部包括第一圓柱卡接部和兩端分別與第一圓柱卡接部和圓柱固定部連接的第二圓柱卡接部，第一圓柱卡接部、第二圓柱卡接部和圓柱固定部同軸布置，第一圓柱卡接部的直徑為5.6mm，第二圓柱卡接部的直徑為4.3mm。本申請(qǐng)?zhí)峁┑氖劭c(diǎn)的使用壽命延長(zhǎng)。
【IPC分類(lèi)】C23C16/458
【公開(kāi)號(hào)】CN205170969
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520815458
【發(fā)明人】葉飛, 蔣方丹, 金浩
【申請(qǐng)人】浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月20日
【申請(qǐng)日】2015年10月20日