專利名稱：硅片料籃傳輸線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片料籃傳輸線。
背景技術(shù)：
在硅片生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)硅片進(jìn)行清洗，清洗好的硅片才能應(yīng)用到相應(yīng)的設(shè)備 中。載片盒和花籃等運(yùn)載硅片物料的器具都可以稱之為料籃。其中，載片盒用于承載 待洗硅片的工件，花籃用于承載載片盒進(jìn)入水槽進(jìn)行清洗操作的工件。在料籃中裝入待洗 的硅片，一起放入全自動(dòng)槽式硅片清洗機(jī)，嚴(yán)格按照設(shè)定的清洗工藝將線切割后的硅片徹 底清洗干凈?，F(xiàn)有的硅片清洗工序里，清洗機(jī)之間一般會(huì)有狹窄的過(guò)道，硅片插片區(qū)和硅片包 片區(qū)附近總是有很多手推小車，它的作用就是滿載包片區(qū)騰空的載片盒和空花籃再由人力 推運(yùn)到插片區(qū)再次使用，然后再把空的手推車推到包片區(qū)待裝。因此，在硅片包片區(qū)和硅片 插片區(qū)必須同時(shí)放置空車和滿車頻繁的進(jìn)行裝載、推運(yùn)和騰空的循環(huán)操作，以實(shí)現(xiàn)空籃再 利用。導(dǎo)致大量空間被小車侵占，現(xiàn)場(chǎng)顯得尤為混亂，大量閑置在小車內(nèi)的空花籃和空載片 盒不能被高效的再利用，物流循環(huán)十分緩慢，以及人力資源的浪費(fèi)和包片區(qū)清潔環(huán)境的被 破壞。這種手推小車需要人力進(jìn)行反復(fù)推運(yùn)操作，物流效率低下，大量占用生產(chǎn)空間、惡 化工作環(huán)境。如前所述，通常清洗完成后硅片包片環(huán)節(jié)產(chǎn)生一定量的空載片盒和花籃以后， 插片環(huán)節(jié)才會(huì)派人來(lái)將小車推走，再將騰空的小車推回包片環(huán)節(jié)，物流循環(huán)耗時(shí)長(zhǎng)，浪費(fèi)生 產(chǎn)空間和人力，降低生產(chǎn)效率。同時(shí)，根據(jù)統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，每臺(tái)清洗線至少有一半的載片盒閑置在小車?yán)锏却\(yùn)至插 片區(qū)循環(huán)使用，載片盒的利用率很低。而且需要購(gòu)置大量的花籃和載片盒，以滿足生產(chǎn)需 要。而且載片盒造價(jià)高、硬度大，在大量堆放、小車推運(yùn)的過(guò)程中容易造成磕碰變形或破損， 造成經(jīng)濟(jì)損失。另外，硅片包片區(qū)對(duì)環(huán)境衛(wèi)生要求較高，硅片預(yù)清洗和插片區(qū)的環(huán)境較差， 難以達(dá)到要求，在兩個(gè)區(qū)域之間的人員流動(dòng)和手推小區(qū)的進(jìn)出不可避免地會(huì)把插片區(qū)的污 垢和粉塵帶到硅片包片區(qū)，從而直接影響硅片清洗的質(zhì)量。因此，如何提高料籃的利用效率，減小硅片的清洗成本，提高硅片的清洗質(zhì)量，是 本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質(zhì)量。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃 的輸送帶和用于控制所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶前進(jìn)方向與清洗所述 硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。[0010]優(yōu)選地，還包括與所述輸送帶的表面垂直的護(hù)欄。優(yōu)選地，所述輸送帶的寬度與所述料籃的寬度相等。優(yōu)選地，所述輸送帶的長(zhǎng)度略大于所述清洗機(jī)的長(zhǎng)度。優(yōu)選地，所述輸送帶由聚四氟乙烯材料形成的長(zhǎng)條輸送帶。優(yōu)選地，所述控制裝置包括檢測(cè)所述料籃是否送入或離開(kāi)所述輸送帶的檢測(cè)部 件，和接收所述檢測(cè)部件的檢測(cè)信號(hào)，并控制所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制部件。優(yōu)選地，所述檢測(cè)部件包括設(shè)于所述輸送帶進(jìn)料口的第一檢測(cè)部件。優(yōu)選地，所述檢測(cè)部件包括沿所述輸送帶的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測(cè)部件和 第三檢測(cè)部件，所述第三檢測(cè)部件靠近所述輸送帶的出料口。優(yōu)選地，所述檢測(cè)部件具體為光電傳感器。本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶，和控制 所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，其中，輸送帶的前進(jìn)方向與清洗硅片的清洗機(jī)的送料 方向相反。這樣，操作工人可以在插片區(qū)在空料籃中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機(jī)，經(jīng)清 洗后進(jìn)入包片區(qū)，負(fù)責(zé)包片的工人取出硅片，將清空后的料籃放在本實(shí)用新型所提供的硅 片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機(jī)的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線可 以將空的料籃直接送回插片區(qū)，使料籃可以高效的循環(huán)使用。硅片料籃傳輸線代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手推車后，通過(guò)控制裝置控制空料籃返回插片區(qū)，既 可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間更 美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區(qū)和包片區(qū)之間流動(dòng)，減少插片區(qū)的 污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時(shí)，利用硅片料籃傳輸 線還可以減小硅片運(yùn)送過(guò)程中受人為因素的影響，減少料籃變形和破損的可能，減少不必 要的經(jīng)濟(jì)損失。而且，料籃的循環(huán)利用效率提高后，可以減少購(gòu)買料籃的數(shù)量，可以進(jìn)一步 節(jié)省企業(yè)開(kāi)支。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線還包括與所述輸 送帶的表面垂直的護(hù)欄，以避免料籃在傳輸過(guò)程中從輸送帶上滑落，提高料籃傳輸?shù)目煽?性，減小經(jīng)濟(jì)損失。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述控制裝置包括檢測(cè)部件和控制部件，所述檢測(cè) 部件用于檢測(cè)所述料籃是否送入或離開(kāi)所述輸送帶，所述控制部件用于接收所述檢測(cè)部件 的檢測(cè)信號(hào)，并控制所述輸送帶運(yùn)行或停止。當(dāng)檢測(cè)部件檢測(cè)到料籃送入輸送帶的信號(hào)時(shí)， 控制部件控制輸送帶運(yùn)行，將料籃送至插片區(qū)；當(dāng)檢測(cè)部件持續(xù)檢測(cè)不到料籃送入輸送帶 時(shí)，表明輸送帶上料籃較少，控制部件可以控制輸送帶停止運(yùn)行，以免傳輸線空轉(zhuǎn)，浪費(fèi)資 源；當(dāng)檢測(cè)部件檢測(cè)到料籃離開(kāi)輸送帶時(shí)，輸送帶運(yùn)行；當(dāng)檢測(cè)部件持續(xù)檢測(cè)不到料籃離 開(kāi)輸送帶時(shí)，表明輸送帶上料籃較多，控制部件也可以控制輸送帶停止運(yùn)行，防止料籃在輸 送帶上堆積太多，減少輸送帶的磨損。

圖1為本實(shí)用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸線的局部俯視4[0025]圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質(zhì)量。本文所涉及的上、下、前、后等方位詞，是以硅片料籃傳輸線處于工作狀態(tài)為基準(zhǔn) 來(lái)定義的，與傳輸線的運(yùn)行方向相同為前，與傳輸線運(yùn)行方向相反為后。應(yīng)當(dāng)理解，本文中 所采用的方位詞不應(yīng)當(dāng)限制本專利的保護(hù)范圍。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施 方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖1，圖1為本實(shí)用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu) 示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸 線的局部俯視圖；圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。圖中的箭頭方向均表示輸送 帶的前進(jìn)方向。本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶1，和控制 輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，其中，輸送帶1的前進(jìn)方向與清洗硅片的清洗機(jī)的送料方 向相反。這樣，操作工人可以在插片區(qū)在空料籃2中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機(jī)，經(jīng)清 洗后進(jìn)入包片區(qū)，負(fù)責(zé)包片的工人取出硅片，將清空后的料籃2放在本實(shí)用新型所提供的 硅片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機(jī)的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線 可以將空的料籃2直接送回插片區(qū)，使料籃2可以高效的循環(huán)使用。硅片料籃傳輸線代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手推車后，通過(guò)控制裝置控制空料籃2返回插片區(qū)， 既可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間 更美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區(qū)和包片區(qū)之間流動(dòng)，減少插片區(qū) 的污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時(shí)，利用硅片料籃傳 輸線還可以減小硅片運(yùn)送過(guò)程中受人為因素的影響，減少料籃2變形和破損的可能，減少 不必要的經(jīng)濟(jì)損失。而且，料籃2的循環(huán)利用效率提高后，可以減少購(gòu)買料籃2的數(shù)量，可 以進(jìn)一步節(jié)省企業(yè)開(kāi)支。在一種具體的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線可以具有與輸送 帶1的表面垂直的護(hù)欄3，以避免料籃2在傳輸過(guò)程中從輸送帶1上滑落，提高料籃2傳輸 的可靠性，減少經(jīng)濟(jì)損失。進(jìn)一步地，輸送帶1的寬度可以料籃2的寬度相等，使輸送帶1恰好可以放置料籃 2，從而有效避免料籃2在輸送帶1上竄動(dòng)，減少料籃2與其它部件的碰撞，從而減少料籃2 變形和損壞的可能，延長(zhǎng)料籃2的使用壽命。同時(shí)，輸送帶1的長(zhǎng)度可以略大于清洗機(jī)的長(zhǎng)度，使經(jīng)輸送帶1傳送的料籃2可以 比清洗機(jī)輸送的距離更遠(yuǎn)，更方便插片工人和包片工人操作，輸送效率更高。具體地，輸送帶1可以由聚四氟乙烯材料形成，聚四氟乙烯具有摩擦系數(shù)小、耐磨 性好的特點(diǎn)，利用聚四氟乙烯制作輸送帶1可以減少料籃2和輸送帶1的磨損，使輸送帶1 的使用壽命更長(zhǎng)。顯然，輸送帶1可以利用其它材料制作。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，控制裝置包括檢測(cè)部件4和控制部件，檢測(cè)部件4用于檢測(cè)料籃2是否送入或離開(kāi)輸送帶1，控制部件用于接收檢測(cè)部件4的檢測(cè)信號(hào)，并根據(jù)檢 測(cè)信號(hào)控制輸送1帶運(yùn)行或停止。當(dāng)檢測(cè)部件4檢測(cè)到料籃2送入輸送帶1的信號(hào)時(shí)，控 制部件控制輸送帶1運(yùn)行，將料籃2送至插片區(qū)；當(dāng)檢測(cè)部件4持續(xù)檢測(cè)不到料籃2送入輸 送帶1時(shí)，表明輸送帶1上料籃2較少，控制部件可以控制輸送帶1停止運(yùn)行，以免傳輸線 空轉(zhuǎn)，浪費(fèi)資源；當(dāng)檢測(cè)部件4檢測(cè)到料籃2離開(kāi)輸送帶1時(shí)，輸送帶1運(yùn)行；當(dāng)檢測(cè)部件4 持續(xù)檢測(cè)不到料籃2離開(kāi)輸送帶1時(shí)，表明輸送帶1上料籃2較多，控制部件也可以控制輸 送帶1停止運(yùn)行，防止料籃2在輸送帶1上堆積太多，減少輸送帶1的磨損。另外，本實(shí)用新型中可以采用0. 75KW三相異步電動(dòng)機(jī)為輸送帶1提供動(dòng)力，還可 以配合使用機(jī)械變速箱來(lái)方便調(diào)節(jié)傳輸帶運(yùn)轉(zhuǎn)速度。輸送帶1的動(dòng)力部分和變速方法在本 領(lǐng)域中有多種實(shí)現(xiàn)方式，在此不再贅述。以下以光電傳感器為例，對(duì)檢測(cè)部件進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，本實(shí)用新型所提供的硅 片料籃傳輸線中，其檢測(cè)部件包括但不限于光電傳感器。具體地，檢測(cè)部件4可以包括設(shè)于輸送帶1進(jìn)料口的第一檢測(cè)部件41，該第一檢 測(cè)部件41持續(xù)檢測(cè)不到信號(hào)的時(shí)間大于預(yù)定時(shí)間時(shí)，控制部件控制輸送帶1停止。即第一 檢測(cè)部件41如果在預(yù)定時(shí)間內(nèi)都檢測(cè)不到有料籃2送上輸送帶1時(shí)，控制部件就可以控制 輸送帶1停止。例如，第一光電傳感器持續(xù)5分鐘沒(méi)有感應(yīng)到料籃2，則表明輸送帶1上持 續(xù)5分鐘都沒(méi)有料籃2送入，此時(shí)控制部件可以使輸送帶1停止運(yùn)行，以節(jié)約電力，同時(shí)也 減少設(shè)備磨損。這樣的狀態(tài)可以理解為硅片料籃傳輸線處于省電模式。而當(dāng)進(jìn)料口處的第 一光電傳感器感應(yīng)到料籃2時(shí)，則控制部件會(huì)及時(shí)啟動(dòng)輸送帶1，省電模式結(jié)束，進(jìn)入傳輸 線的工作模式。進(jìn)一步地，檢測(cè)部件4還可以包括沿輸送帶1的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測(cè)部 件42和第三檢測(cè)部件43，第三檢測(cè)部件43靠近輸送帶1的出料口 ；第二檢測(cè)部件42和第 三檢測(cè)部件43均持續(xù)檢測(cè)到料籃2信號(hào)的時(shí)間大于預(yù)定時(shí)間時(shí)，控制部件控制輸送帶1停 止。即可以沿著輸送帶1的運(yùn)行方向依次設(shè)置三個(gè)光電傳感器，且第三光電傳感器靠近出 料口，第二光電傳感器位于第一光電傳感器和第三光電傳感器中間。當(dāng)?shù)诙怆妭鞲衅骱?第三光電傳感器均持續(xù)檢測(cè)到料籃2信號(hào)，且持續(xù)預(yù)定時(shí)間后，例如持續(xù)20秒，第二光電傳 感器和第三光電傳感器都持續(xù)檢測(cè)到料籃2存在，此時(shí)料籃2堆積在輸送帶1上，操作工人 沒(méi)有及時(shí)將其轉(zhuǎn)移，這種模式可以理解為傳輸線的堆棧模式?？刂撇考部梢钥刂戚斔蛶?1停止，以減少料籃2與輸送帶1之間的磨損。更優(yōu)的，可以設(shè)置警鈴、燈泡等輔助設(shè)備，當(dāng)硅片料籃傳輸線處于堆棧模式時(shí)，警 鈴、燈泡等輔助設(shè)備接通，利用聲音、燈光提示操作人員及時(shí)卸載料籃2。料籃2被取走后， 堆棧模式結(jié)束，警鈴、燈泡等輔助設(shè)備斷開(kāi)，傳輸線再次回到工作模式。顯然，上述的第一檢測(cè)部件與第二檢測(cè)部件、第三檢測(cè)部件可以獨(dú)立存在，也可以 同時(shí)存在，當(dāng)同時(shí)存在時(shí)傳輸線的可靠性更好，工作效率更高。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體 個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本 實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離 本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也 落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種硅片料籃傳輸線，其特征在于，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進(jìn)方向與清洗所述硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，還包括與所述輸送帶(1)的表 面垂直的護(hù)欄(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的寬度與所述 料籃(2)的寬度相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的長(zhǎng)度略大于 所述清洗機(jī)的長(zhǎng)度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)由聚四氟乙烯 材料形成的長(zhǎng)條輸送帶。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述控制裝置包 括檢測(cè)所述料籃(2)是否送入或離開(kāi)所述輸送帶(1)的檢測(cè)部件(4)，和接收所述檢測(cè)部件 ⑷的檢測(cè)信號(hào)，并控制所述輸送帶⑴運(yùn)行或停止的控制部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測(cè)部件(4)包括設(shè)于所 述輸送帶(1)進(jìn)料口的第一檢測(cè)部件(41)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測(cè)部件(4)包括沿所述 輸送帶(1)的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測(cè)部件(42)和第三檢測(cè)部件(43)，所述第三檢測(cè) 部件(43)靠近所述輸送帶(1)的出料口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測(cè)部件(4)具體為光電 傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進(jìn)方向與清洗所述硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。硅片料籃傳輸線可以將空的料籃直接送回插片區(qū)，使料籃可以高效的循環(huán)使用。這樣既可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以使硅片清洗車間更美觀，空間利用效率更高；還可以減少插片區(qū)的污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時(shí)，還可以減少料籃變形和破損的可能，減少購(gòu)買料籃的數(shù)量，減少不必要的經(jīng)濟(jì)損失，節(jié)省企業(yè)開(kāi)支。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201699001SQ20102024950
公開(kāi)日2011年1月5日 申請(qǐng)日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者田歡, 黃永杰 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司