專(zhuān)利名稱(chēng)：移動(dòng)臺(tái)、具有移動(dòng)臺(tái)的輸送裝置及帶電粒子束裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在例如半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置中用于輸送試料的移動(dòng)臺(tái)及具有該移動(dòng)臺(tái)的輸送裝置、以及帶電粒子束裝置。
背景技術(shù)：
作為在制造半導(dǎo)體設(shè)備時(shí)使用的裝置，有使用電子束或離子束的圖案描繪裝置及檢查裝置。在這些裝置中，為了使試料移動(dòng)到目標(biāo)位置而使用的移動(dòng)臺(tái)例如在基座上配置有沿X軸方向移動(dòng)的X臺(tái)，并在X臺(tái)上配置有沿Y軸方向移動(dòng)的Y臺(tái)。并且，提出有一種以與X臺(tái)的移動(dòng)方向平行的方式對(duì)Y臺(tái)設(shè)置滑動(dòng)件，并對(duì)動(dòng)力傳遞部即Y驅(qū)動(dòng)軸設(shè)置由固定輥和按壓輥構(gòu)成的輥鉤部(口一，7 7々部)的結(jié)構(gòu)(例如，日本特開(kāi)2007-184193號(hào)公報(bào))。在該結(jié)構(gòu)中，Y驅(qū)動(dòng)軸被固定于直線電動(dòng)機(jī)，滑動(dòng)件在固定輥與按壓輥之間能夠沿著 X軸方向移動(dòng)。然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)中，在滑動(dòng)件與按壓輥及固定輥之間容易發(fā)生打滑，從而會(huì)產(chǎn)生Y臺(tái)的位置精度變差的問(wèn)題。因此，追求一種抑制臺(tái)的位置精度惡化的技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一形態(tài)的移動(dòng)臺(tái)具有第一臺(tái)、第二臺(tái)、生成部、動(dòng)力傳遞部。第一臺(tái)能夠沿著第一方向移動(dòng)。第二臺(tái)其至少一部分位于第一臺(tái)上且能夠沿著與第一方向交叉的第二方向進(jìn)行移動(dòng)。生成部生成用于使第二臺(tái)沿著第二方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力。動(dòng)力傳遞部從生成部向第二臺(tái)傳遞驅(qū)動(dòng)力，且至少一部分伴隨著第一臺(tái)的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作。本發(fā)明的一形態(tài)的輸送裝置具有移動(dòng)臺(tái)和控制生成部的動(dòng)作的控制器。本發(fā)明的一形態(tài)的帶電粒子束裝置具有能夠向第二臺(tái)上載置試料的輸送裝置和設(shè)置在第二臺(tái)的上方并對(duì)試料照射帶電粒子束的帶電粒子束源。根據(jù)本發(fā)明的一形態(tài)的移動(dòng)臺(tái)及輸送裝置，能夠抑制臺(tái)的位置精度的惡化。根據(jù)本發(fā)明的一形態(tài)的帶電粒子束裝置，能夠更高精度地向?qū)ΨQ(chēng)物的所希望的位置照射帶電粒子束。


圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的俯視圖。圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的側(cè)視圖，是從圖1的箭頭A方向觀察而得到的側(cè)視圖。圖3是圖1的B-B線處的剖視圖。圖4是圖1的由虛線C包圍的部分的剖視圖，是圖2的D-D線的截面的俯視觀察時(shí)的圖。圖5是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的俯視圖。
圖6是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的側(cè)視圖，是從圖5的箭頭E方向觀察而得到的側(cè)視圖。圖7是表示圖6的F-F線處的旋轉(zhuǎn)軸的一部分及齒輪部的截面的圖。圖8是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的一變形例的俯視圖。圖9是圖8的H-H線處的旋轉(zhuǎn)軸的一部分及齒輪部的截面的從箭頭G方向觀察時(shí)的圖。圖10是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的俯視圖，尤其是詳細(xì)地表示微調(diào)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖。圖11是圖10的J-J線處的剖視圖。圖12是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的一變形例的俯視圖。圖13是詳細(xì)地表示圖12的移動(dòng)臺(tái)的微調(diào)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖。圖14是圖13的K-K線處的剖視圖。圖15是表示本發(fā)明的輸送裝置的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖16是表示使用了本發(fā)明的實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的帶電粒子束裝置的結(jié)構(gòu)例的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。需要說(shuō)明的是，在圖4以外的全部的附圖中標(biāo)注有正交坐標(biāo)系的X軸、Y軸及Z軸。而且，為了便于說(shuō)明，在圖1、圖5、圖8、 圖10、圖12、圖13、圖15中標(biāo)注有俯視觀察移動(dòng)臺(tái)1時(shí)看不見(jiàn)的Y滾珠絲杠17。(第一實(shí)施方式)如圖1-圖3所示，第一實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA具有基臺(tái)11、在基臺(tái)11上能夠沿著 X軸方向呈直線狀移動(dòng)的X臺(tái)12、在X臺(tái)12上能夠沿著Y軸方向呈直線狀移動(dòng)的Y臺(tái)13。 而且，移動(dòng)臺(tái)IA具有在基臺(tái)11的上表面以沿著X軸方向延伸的方式設(shè)置的X直線引導(dǎo)件 14 ；在X臺(tái)12的上表面以沿著Y軸方向延伸的方式設(shè)置的Y直線引導(dǎo)件15。X臺(tái)12由X 直線引導(dǎo)件14引導(dǎo)，Y臺(tái)13由Y直線引導(dǎo)件15引導(dǎo)?；_(tái)11、X臺(tái)12及Y臺(tái)13配置在由強(qiáng)磁性體即純鐵、低碳鋼或坡莫合金等制作的真空腔室3內(nèi)。需要說(shuō)明的是，X直線引導(dǎo)件14和Y直線引導(dǎo)件15在俯視觀察時(shí)以正交的方式設(shè)置，因此配置在移動(dòng)臺(tái)IA上的晶片等試料能夠在XY平面中自如地移動(dòng)。在X臺(tái)12的與基臺(tái)11對(duì)置的表面上設(shè)有X滾珠絲杠16。X滾珠絲杠16的絲杠軸在X電磁電動(dòng)機(jī)MX所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩的作用下旋轉(zhuǎn)。X臺(tái)12對(duì)應(yīng)于該X滾珠絲杠16的絲杠軸的旋轉(zhuǎn)，被X直線引導(dǎo)件14引導(dǎo)而進(jìn)行移動(dòng)。同樣地，Y臺(tái)13也通過(guò)Y電磁電動(dòng)機(jī)MY驅(qū)動(dòng)。具體而言，在Y臺(tái)13的與X臺(tái)12 對(duì)置的表面上設(shè)置的Y滾珠絲杠17的絲杠軸在Y電磁電動(dòng)機(jī)MY所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩的作用下旋轉(zhuǎn)。在此，Y滾珠絲杠17安裝在Y臺(tái)13的X軸方向上的中央部。當(dāng)Y滾珠絲杠17的絲杠軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，Y臺(tái)13在X臺(tái)12上被Y直線引導(dǎo)件15引導(dǎo)而進(jìn)行移動(dòng)。Y臺(tái)13的至少一部分位于X臺(tái)12上。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，X電磁電動(dòng)機(jī)MX及Y電磁電動(dòng)機(jī)MY所生成的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩是指旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩。此外，X電磁電動(dòng)機(jī)MX及Y電磁電動(dòng)機(jī)MY發(fā)熱且周?chē)拇艌?chǎng)可能會(huì)發(fā)生變動(dòng)，因此分別安裝在真空腔室3的外壁面上。由此，能夠抑制真空腔室3的內(nèi)部空間受到這些發(fā)熱及磁場(chǎng)變動(dòng)的影響的情況。例如，在真空腔室3的內(nèi)部，在對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行描繪時(shí)，能夠抑制帶電粒子束因磁場(chǎng)而發(fā)生彎曲的情況。另外，通過(guò)利用X電磁電動(dòng)機(jī)MX使X滾珠絲杠16的旋轉(zhuǎn)數(shù)及旋轉(zhuǎn)速度等變化，而能夠控制X臺(tái)12的X軸方向的移動(dòng)。同樣地，通過(guò)利用Y電磁電動(dòng)機(jī)MY使Y滾珠絲杠17 的旋轉(zhuǎn)數(shù)及旋轉(zhuǎn)速度等變化，而能夠控制Y臺(tái)13的Y軸方向的移動(dòng)。在此，Y滾珠絲杠17從Y電磁電動(dòng)機(jī)MY經(jīng)由驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20來(lái)傳遞驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩。 以下，參照?qǐng)D4，說(shuō)明驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20具有中間旋轉(zhuǎn)軸21 ；能夠繞中間旋轉(zhuǎn)軸21自由地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的兩個(gè)臂22、23 ；在第一臂22的兩端部通過(guò)軸承等以可旋轉(zhuǎn)的方式配置的兩個(gè)平帶輪 (以下，稱(chēng)為“滑輪”)對(duì)、25 ；在第二臂23的兩端部通過(guò)軸承等以可旋轉(zhuǎn)的方式配置的兩個(gè)平帶輪(滑輪)26、27。而且，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20還具有架設(shè)在滑輪M與滑輪25之間的環(huán)狀的平帶28 ；架設(shè)在滑輪沈與滑輪27之間的環(huán)狀的平帶四；用于對(duì)各平帶觀、四施加一定張力的張力輪30、31。驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20將Y電磁電動(dòng)機(jī)MY和Y臺(tái)13連結(jié)。以下，對(duì)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部 20與Y臺(tái)13及Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的連接狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。滑輪M經(jīng)由聯(lián)軸器41及驅(qū)動(dòng)軸 42而與Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的電動(dòng)機(jī)軸40連接。該驅(qū)動(dòng)軸42與滑輪M牢固地連接，將Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩向滑輪M傳遞。驅(qū)動(dòng)軸42通過(guò)軸承43保持成與套筒44同心。并且，第一臂22固定于套筒44。 由此，驅(qū)動(dòng)軸42相對(duì)于第一臂22能夠自由旋轉(zhuǎn)。而且，套筒44經(jīng)由一對(duì)軸承45而由固定座46保持。其結(jié)果是，滑輪M與第一臂22相互不干涉，并能夠與電動(dòng)機(jī)軸40同心地繞電動(dòng)機(jī)軸40進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。另外，第一臂22固定在中間旋轉(zhuǎn)軸21上?；?5 J6經(jīng)由一對(duì)軸承48而安裝于中間旋轉(zhuǎn)軸21。由此，滑輪25、沈可以不受第一臂22干涉地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。需要說(shuō)明的是，在此，滑輪25、沈一體構(gòu)成。平帶28架設(shè)在滑輪M與滑輪25之間。平帶28對(duì)應(yīng)于滑輪M的旋轉(zhuǎn)而保持一定的張力，并繞驅(qū)動(dòng)軸42及中間旋轉(zhuǎn)軸21旋轉(zhuǎn)，從而將傳遞給滑輪M的來(lái)自Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩向滑輪25、26傳遞。接著，中間旋轉(zhuǎn)軸21經(jīng)由一對(duì)軸承49而與第二臂23連接。由此，中間旋轉(zhuǎn)軸21 相對(duì)于第二臂23能夠旋轉(zhuǎn)。第二臂經(jīng)由一對(duì)軸承50而固定于傳遞軸51。S卩，傳遞軸51相對(duì)于第二臂23能夠旋轉(zhuǎn)。在傳遞軸51固定有滑輪27。平帶四架設(shè)在滑輪沈與滑輪27之間。平帶四對(duì)應(yīng)于滑輪沈的旋轉(zhuǎn)而保持一定的張力，并繞中間旋轉(zhuǎn)軸21及傳遞軸51旋轉(zhuǎn)，從而將傳遞給滑輪沈的來(lái)自Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩向滑輪27傳遞。由此，從Y電磁電動(dòng)機(jī)MY向滑輪25 J6傳遞的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩經(jīng)由滑輪27向傳遞軸51傳遞。并且，傳遞軸51通過(guò)聯(lián)軸器52與Y滾珠絲杠17連結(jié)。Y滾珠絲杠17的絲杠軸對(duì)應(yīng)于傳遞軸51的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由于該旋轉(zhuǎn)，Y臺(tái)13沿著Y軸方向移動(dòng)。第一臂22及第二臂23能夠以中間旋轉(zhuǎn)軸21為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在X臺(tái)12移動(dòng)時(shí)，中間旋轉(zhuǎn)軸21沿著與X軸及Y軸垂直的Z軸方向移動(dòng)，并且第一臂22與第二臂23所成的角度發(fā)生變化。具體而言，當(dāng)伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而驅(qū)動(dòng)軸40與傳遞軸51之間的距離減小時(shí)，中間旋轉(zhuǎn)軸21沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)并沿著Z軸方向向上移動(dòng)，第一臂22與第二臂 23所成的角度減小。即，具有第一臂22和第二臂23的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20成為沿著X軸方向收縮的狀態(tài)。另一方面，當(dāng)伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而驅(qū)動(dòng)軸40與傳遞軸51之間的距離增大時(shí)，中間旋轉(zhuǎn)軸21沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)，并沿著Z軸方向以使中間旋轉(zhuǎn)軸21與驅(qū)動(dòng)軸40 (及傳遞軸51)之間的距離減小的方式進(jìn)行移動(dòng)，第一臂22與第二臂23所成的角度增大。艮口， 驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20成為沿著X軸方向伸長(zhǎng)的狀態(tài)。如此，在移動(dòng)臺(tái)IA中，滾珠絲杠17固定于Y臺(tái)13，伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)，具有第一臂22及第二臂23的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20沿著X軸方向進(jìn)行伸縮。如上所述，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)，從Y電磁電動(dòng)機(jī) MY向Y臺(tái)13傳遞驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部發(fā)生變形。驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部伴隨著X臺(tái)11的移動(dòng)而發(fā)生變形。在此，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20具有被Y電磁電動(dòng)機(jī)MY驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸 42、中間旋轉(zhuǎn)軸21、傳遞軸51、平帶觀、29、第一臂22及第二臂23等。該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20與以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝于Y臺(tái)13的Y滾珠絲杠17連接。并且，伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20的X軸方向的長(zhǎng)度發(fā)生變化。需要說(shuō)明的是，在移動(dòng)臺(tái)IA中，將包含驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20及Y滾珠絲杠17在內(nèi)的結(jié)構(gòu)稱(chēng)為動(dòng)力傳遞部。而且，當(dāng)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩傳遞部20發(fā)生變形時(shí)，動(dòng)力傳遞部整體也發(fā)生變形。如上所述，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，動(dòng)力傳遞部伴隨著X臺(tái)11的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作。由此，即使在Y臺(tái)13沿著X軸方向移動(dòng)時(shí)，動(dòng)力傳遞部也能夠保持該Y臺(tái)13的位置精度并同時(shí)傳遞驅(qū)動(dòng)力。而且，在移動(dòng)臺(tái)IA中，由于動(dòng)力傳遞部伴隨著X臺(tái)11的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作，因此與動(dòng)力傳遞部在X軸方向上被固定在規(guī)定位置上的情況相比，能夠減少施加給動(dòng)力傳遞部的負(fù)載。由此，能夠抑制Y臺(tái)13從動(dòng)力傳遞部受到反作用力的情況，因此能夠抑制Y臺(tái)13的姿態(tài)精度及位置精度的惡化。由此，能夠進(jìn)一步減少通過(guò)移動(dòng)臺(tái)IA要移動(dòng)到的試料的目標(biāo)位置與移動(dòng)到的試料的實(shí)際位置的偏差(以下，簡(jiǎn)稱(chēng)為“試料的位置偏差”)。另外，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，來(lái)自Y電磁電動(dòng)機(jī)MY的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由Y滾珠絲杠17而施加給Y臺(tái)13的X軸方向上的中央部，因此能夠抑制多余的旋轉(zhuǎn)力矩施加給Y臺(tái) 13而使Y臺(tái)13產(chǎn)生俯仰方向及偏轉(zhuǎn)方向上的旋轉(zhuǎn)的情況。由此，能夠更加良好地保持Y臺(tái) 13的姿態(tài)精度，并抑制試料相對(duì)于X、Y方向及XY平面發(fā)生傾斜的情況。由此，能夠進(jìn)一步減少試料的位置偏差。需要說(shuō)明的是，滑輪M、25J6、27與平帶28、四相接的外周面優(yōu)選為凸曲面。這樣，當(dāng)滑輪M、25J6、27的外周面為凸曲面時(shí)，平帶28J9不易脫落。在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，平帶觀、29由例如不銹鋼(SUS)構(gòu)成。而且，平帶 28,29的尺寸例如其厚度為0. 08mm,寬度為5mm。另外，滑輪24,25,26,27的供平帶28,29接觸的部分的寬度，即，滑輪24、25、26、 27的與平帶觀、29的寬度方向相同的方向上的長(zhǎng)度例如為7mm，在滑輪M、25J6、27的外周面為凸曲面時(shí)，該凸曲面的曲率例如為半徑90mm。
另外，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中使用了平帶觀、29，但只要能夠在保持一定的張力的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并從驅(qū)動(dòng)軸42向傳遞軸51傳遞旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩，也可以使用例如鏈等其他的張力線。另外，X臺(tái)12及Y臺(tái)13優(yōu)選由陶瓷構(gòu)成。陶瓷通常比金屬的比重小且剛性率高， 因此，當(dāng)利用陶瓷來(lái)形成X臺(tái)12及Y臺(tái)13 (以下，在未區(qū)別X臺(tái)12及Y臺(tái)13時(shí)，稱(chēng)為“臺(tái) 12,13")時(shí)，臺(tái)12、13的厚度即使薄也不易發(fā)生變形，可以減小驅(qū)動(dòng)臺(tái)12、13的驅(qū)動(dòng)力。這會(huì)帶來(lái)能夠延長(zhǎng)帶的耐久期間及減小消耗電力等效果。而且，在臺(tái)12、13由陶瓷構(gòu)成時(shí)，即使臺(tái)12、13被施加應(yīng)力也不易變形，在施加驅(qū)動(dòng)力時(shí)能立即進(jìn)行移動(dòng)。其結(jié)果是，能夠進(jìn)一步提高臺(tái)的位置精度及姿態(tài)精度。另外，由于陶瓷比金屬的熱膨脹率小，因此即使臺(tái)12、13的溫度發(fā)生變化，其尺寸也不易變化，從而能夠以更高的精度來(lái)對(duì)臺(tái)進(jìn)行定位。此外，X直線引導(dǎo)件14及Y直線引導(dǎo)件15優(yōu)選由陶瓷構(gòu)成。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA中，使用了 LM引導(dǎo)件(Linear Motion Guide)，但也可以是交叉輥引導(dǎo)件。當(dāng)X直線引導(dǎo)件14及Y直線引導(dǎo)件15為陶瓷時(shí)，耐磨損性及比剛度提高，因此直線引導(dǎo)件14、15不易磨損且維護(hù)管理容易，從而能夠進(jìn)一步提高臺(tái)的位置精度及姿態(tài)精度。另外，為了進(jìn)一步減小磁場(chǎng)變動(dòng)，優(yōu)選利用非磁性不銹鋼來(lái)形成X滾珠絲杠16及 Y滾珠絲杠17的絲杠軸，并利用氮化硅等高強(qiáng)度陶瓷來(lái)形成螺母內(nèi)部的滾珠。(第二實(shí)施方式)接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第二實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)與第一實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的不同點(diǎn)在于動(dòng)力傳遞部的結(jié)構(gòu)。如圖5至圖7所示，移動(dòng)臺(tái)IB的動(dòng)力傳遞部具有旋轉(zhuǎn)軸60和齒輪部61。旋轉(zhuǎn)軸60與Y電磁電動(dòng)機(jī)MY連接，且在X軸方向上被固定在規(guī)定位置。齒輪部61與旋轉(zhuǎn)軸60連接，伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而能夠沿著X軸方向移動(dòng)。而且，齒輪部61伴隨著旋轉(zhuǎn)軸60的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。滾珠絲杠17的絲杠軸與齒輪部 61連接。旋轉(zhuǎn)軸60在Y電磁電動(dòng)機(jī)MY所施加的驅(qū)動(dòng)力的作用下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，滾珠絲杠17的絲杠軸對(duì)應(yīng)于齒輪部61的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。需要說(shuō)明的是，在圖5至圖7中，使用蝸輪作為齒輪部61。齒輪部61具有螺旋齒輪(Screw gear) 61a和斜齒齒輪61b (helical gear)。斜齒齒輪61b與旋轉(zhuǎn)軸60連接。螺旋齒輪61a與滾珠絲杠17的絲杠軸連接。由此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸 60旋轉(zhuǎn)時(shí)，斜齒齒輪61b也旋轉(zhuǎn)，而且，與斜齒齒輪61b嚙合的螺旋齒輪61a也旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，與螺旋齒輪61a連接的滾珠絲杠17的絲杠軸也旋轉(zhuǎn)。斜齒齒輪61b經(jīng)由直線輥軸承 62而與旋轉(zhuǎn)軸60連接。直線輥軸承62在其內(nèi)部具有輥槽。而且，旋轉(zhuǎn)軸60在其表面具有與軸向平行的直線狀的槽63。直線輥軸承62具有多個(gè)球狀的輥。上述輥槽和旋轉(zhuǎn)軸60的槽63作為這些輥的引導(dǎo)而發(fā)揮作用。而且，多個(gè)輥能夠沿著上述輥槽及旋轉(zhuǎn)軸60的槽63在自身進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行循環(huán)。由此，直線輥軸承62能夠沿著旋轉(zhuǎn)軸60的槽63進(jìn)行移動(dòng)。其結(jié)果是，斜齒齒輪62b能夠沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)。另外，斜齒齒輪61b經(jīng)由軸承64而由齒輪保持部65保持。通過(guò)該軸承64，斜齒齒輪61b相對(duì)于齒輪保持部65能夠旋轉(zhuǎn)。由此，斜齒齒輪61b能夠伴隨著旋轉(zhuǎn)軸60的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
通過(guò)以上的結(jié)構(gòu)，齒輪部61伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而能夠沿著X軸方向移動(dòng)，且能夠?qū)?yīng)于旋轉(zhuǎn)軸60的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由此，通過(guò)利用Y電磁電動(dòng)機(jī)MY使旋轉(zhuǎn)軸60旋轉(zhuǎn)， 而能夠使?jié)L珠絲杠17旋轉(zhuǎn)，從而能夠使Y臺(tái)13移動(dòng)。而且，通過(guò)利用Y電磁電動(dòng)機(jī)MX來(lái)改變Y滾珠絲杠17的旋轉(zhuǎn)數(shù)及旋轉(zhuǎn)速度等，而能夠控制Y臺(tái)11的Y軸方向的移動(dòng)。另外，如圖8及圖9所示，作為齒輪部61，也可以使用其他種類(lèi)的齒輪。圖8及圖 9所示的移動(dòng)臺(tái)IC的齒輪部61具有兩個(gè)錐齒輪(bevel gear)61a、61b。一個(gè)錐齒輪61b 與旋轉(zhuǎn)軸60連接，另一個(gè)錐齒輪61a與滾珠絲杠17的絲杠軸連接。由此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸60旋轉(zhuǎn)時(shí)，錐齒輪61b也旋轉(zhuǎn)，而且，與錐齒輪61b嚙合的錐齒輪61a也旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，與錐齒輪61a連接的滾珠絲杠17的絲杠軸也旋轉(zhuǎn)。錐齒輪61b經(jīng)由直線輥軸承62而與旋轉(zhuǎn)軸60 連接。直線輥軸承62在其內(nèi)部具有輥槽。而且，旋轉(zhuǎn)軸60在其表面具有與軸向平行的直線狀的槽63。直線輥軸承62具有多個(gè)球狀的輥。上述輥槽和旋轉(zhuǎn)軸60的槽63作為這些輥的引導(dǎo)而發(fā)揮作用。而且，多個(gè)輥能夠沿著上述輥槽及旋轉(zhuǎn)軸60的槽63在自身進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行循環(huán)。由此，直線輥軸承62能夠沿著旋轉(zhuǎn)軸60的槽63進(jìn)行移動(dòng)。其結(jié)果是，錐齒輪61b能夠沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)。另外，錐齒輪61b經(jīng)由軸承64而由齒輪保持部65保持。通過(guò)該軸承64，斜齒齒輪61b相對(duì)于齒輪保持部65能夠旋轉(zhuǎn)。由此，錐齒輪61b能夠伴隨著旋轉(zhuǎn)軸60的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。通過(guò)以上的結(jié)構(gòu)，錐齒輪61b伴隨著X臺(tái)12的移動(dòng)而能夠沿著X軸方向移動(dòng)，且能夠?qū)?yīng)于旋轉(zhuǎn)軸60的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由此，通過(guò)利用Y電磁電動(dòng)機(jī)MY使旋轉(zhuǎn)軸60旋轉(zhuǎn)，而能夠使?jié)L珠絲杠17旋轉(zhuǎn)，從而能夠使Y臺(tái)13移動(dòng)。而且，通過(guò)利用Y電磁電動(dòng)機(jī)MX 來(lái)改變Y滾珠絲杠17的旋轉(zhuǎn)數(shù)及旋轉(zhuǎn)速度等，而能夠控制Y臺(tái)11的Y軸方向的移動(dòng)。在上述的移動(dòng)臺(tái)1B、1C中，動(dòng)力傳遞部具有在X軸方向上被固定在規(guī)定位置的旋轉(zhuǎn)軸60 ；以能夠沿著X軸方向移動(dòng)的方式與旋轉(zhuǎn)軸60連接的齒輪部61。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，動(dòng)力傳遞部的齒輪部61伴隨著X臺(tái)11的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作，因此動(dòng)力傳遞部即使在Y臺(tái)13沿著X軸方向移動(dòng)時(shí)，也能夠保持該Y臺(tái)13的位置精度并傳遞驅(qū)動(dòng)力。而且，在移動(dòng)臺(tái)1B、 IC中，動(dòng)力傳遞部伴隨著X臺(tái)11的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作，因此與動(dòng)力傳遞部在X軸方向上被固定在規(guī)定位置的情況相比，能夠減少施加給動(dòng)力傳遞部的負(fù)載。由此，能夠抑制Y臺(tái)13從動(dòng)力傳遞部受到反作用力的情況，因此能夠抑制Y臺(tái)13的姿態(tài)精度及位置精度的惡化。由此，能夠進(jìn)一步減少試料的位置偏差。(第三實(shí)施方式)接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第三實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)與第一實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)的不同之處在于具有對(duì)Y軸方向上的Y臺(tái)13的位置進(jìn)行微調(diào)的微調(diào)機(jī)構(gòu)。微調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置于Y臺(tái)13。通過(guò)該微調(diào)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)軸方向上的Y臺(tái)13的位置進(jìn)行微調(diào)。在本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)中，如圖10及圖11所示，微調(diào)機(jī)構(gòu)具有安裝于Y臺(tái)13的調(diào)整構(gòu)件70和多個(gè)壓電元件71。調(diào)整構(gòu)件70通過(guò)螺釘72，經(jīng)由輥73而安裝在Y臺(tái)13的背面、即安裝在Y臺(tái)13的與X臺(tái)11對(duì)置的面上。如后所述，在對(duì)Y臺(tái)13的位置進(jìn)行微調(diào)時(shí)，由于螺釘72彎曲而使Y臺(tái)13相對(duì)于調(diào)整構(gòu)件70相對(duì)移動(dòng)。而且，調(diào)整構(gòu)件70固定于螺母75，該螺母75安裝于滾珠絲杠17的絲杠軸。由此，Y臺(tái)13能夠相對(duì)于固定在螺母75上的調(diào)整構(gòu)件70進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。其結(jié)果是，能夠?qū)臺(tái)13的Y軸方向上的位置進(jìn)行微調(diào)。Y臺(tái)13具有沿著Y軸方向排列的多個(gè)貫通孔73。在此，作為一例，Y臺(tái)13具有兩個(gè)貫通孔73。需要說(shuō)明的是，以下，將位于兩個(gè)貫通孔73之間的Y臺(tái)13的一部分稱(chēng)為“臺(tái)部分”。調(diào)整構(gòu)件70具有位于Y臺(tái)13的背面的基座部分70a ；沿著Y軸方向位于臺(tái)部分的兩側(cè)的多個(gè)緊固部70b。這些緊固部70b隔著Y臺(tái)13的臺(tái)部分設(shè)置，分別從對(duì)置的Y臺(tái) 13的臺(tái)部分的側(cè)面離開(kāi)。緊固部70b通過(guò)例如螺釘而與基座部分70a連接。緊固部70b優(yōu)選沿著Y軸方向在臺(tái)部分的兩側(cè)設(shè)置相同數(shù)目，以使得Y臺(tái)13在Y 軸方向上的任一方向都能夠以相同的按壓力移動(dòng)相同距離。需要說(shuō)明的是，在圖10及圖11 中，在上述臺(tái)部分的兩側(cè)設(shè)有一對(duì)緊固部70b。多個(gè)壓電元件71對(duì)應(yīng)于多個(gè)緊固部70b。各壓電元件71配置在對(duì)應(yīng)的緊固部70b 與Y臺(tái)13之間。各緊固部70b為了將電壓施加前的壓電元件71壓靠于Y臺(tái)13而位于Y 軸方向上的Y臺(tái)13的兩側(cè)。這些壓電元件71最初以未施加電壓的狀態(tài)配置在緊固部70b與Y臺(tái)13之間。此時(shí)，壓電元件71以盡可能在壓電元件71與Y臺(tái)13之間及壓電元件71與緊固部70b之間沒(méi)有間隙的方式配置。接著，對(duì)壓電元件71施加電壓而使壓電元件71沿Y方向伸長(zhǎng)至最大伸長(zhǎng)量的一半左右。由此，壓電元件71與Y臺(tái)13之間及壓電元件71與緊固部70b之間的間隙完全消失或減少成可以忽視的程度。然后，在對(duì)Y臺(tái)13的位置進(jìn)行調(diào)整時(shí)，位于Y臺(tái)13的臺(tái)部分的兩側(cè)的多個(gè)壓電元件71中，使位于該臺(tái)部分的一側(cè)的壓電元件71a伸長(zhǎng)，而使位于另一側(cè)的壓電元件71b收縮與壓電元件71a的伸長(zhǎng)量相同的量。由此，Y臺(tái)13相對(duì)于調(diào)整構(gòu)件70進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，其結(jié)果是，Y臺(tái)13沿著Y軸方向進(jìn)行移動(dòng)。需要說(shuō)明的是，雖然未圖示，但壓電元件71的伸縮通過(guò)對(duì)這些壓電元件71施加電壓來(lái)進(jìn)行。根據(jù)本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)，由于設(shè)置微調(diào)機(jī)構(gòu)，因此在通過(guò)X電磁電動(dòng)機(jī)MX及Y 電磁電動(dòng)機(jī)MY使X臺(tái)11及Y臺(tái)13移動(dòng)到規(guī)定的位置后，能夠?qū)臺(tái)13的Y軸方向上的位置進(jìn)行微調(diào)。另外，也可以通過(guò)其他的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)微調(diào)機(jī)構(gòu)。圖12至圖14所示的微調(diào)機(jī)構(gòu)與圖10及圖11所示的微調(diào)機(jī)構(gòu)的不同之處在于基座部分70a的Y軸方向上的長(zhǎng)度比Y臺(tái) 13的Y軸方向上的長(zhǎng)度長(zhǎng)，緊固部70b設(shè)置在Y臺(tái)13的外周部的外側(cè)；以及壓電元件71與 Y臺(tái)13的外周部相接配置。并且，由于基座部分70a長(zhǎng)，因此將調(diào)整構(gòu)件70安裝于Y臺(tái)13的螺釘72的個(gè)數(shù)
^^ ο在該結(jié)構(gòu)中，通過(guò)使壓電元件71伸縮，能夠?qū)臺(tái)13的Y軸方向上的位置進(jìn)行微調(diào)。需要說(shuō)明的是，無(wú)論微調(diào)機(jī)構(gòu)為圖10及圖11所示的哪一結(jié)構(gòu)，通過(guò)沿著Y臺(tái)13 能夠移動(dòng)的Y軸方向?qū)臺(tái)13施加按壓力，都能調(diào)整Y臺(tái)13的Y軸方向上的位置。另外，在微調(diào)機(jī)構(gòu)為圖10、圖11所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，與圖12-圖14所示的結(jié)構(gòu)相比，能夠抑制Y臺(tái)13的姿態(tài)精度的惡化。這是因?yàn)?，若由于壓電元?1的伸縮而Z方向分量的力作用于Y臺(tái)13時(shí)，在Y臺(tái)13的外周部的外側(cè)配置壓電元件71能夠減小受到該Z方向分量的力的影響。另外，如圖12及圖13所示，也可以將微調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置于X臺(tái)11。設(shè)置于Y臺(tái)13的微調(diào)機(jī)構(gòu)和設(shè)置于X臺(tái)11的微調(diào)機(jī)構(gòu)的種類(lèi)既可以相同也可以不同。當(dāng)設(shè)置于Y臺(tái)13的微調(diào)機(jī)構(gòu)與設(shè)置于X臺(tái)11的微調(diào)機(jī)構(gòu)相同時(shí)，例如能夠?qū)?duì)壓電元件施加電壓的電源等一部分系統(tǒng)相對(duì)于X臺(tái)11及Y臺(tái)13共通使用。由此，能夠簡(jiǎn)化移動(dòng)臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)。另外，如圖15所示，X電磁電動(dòng)機(jī)MX及Y電磁電動(dòng)機(jī)MY通過(guò)控制器80來(lái)充分控制其動(dòng)作。需要說(shuō)明的是，該控制器80也可以用于第二及第三實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)。圖16是表示使用了本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA的帶電粒子束裝置的結(jié)構(gòu)例的側(cè)視圖。如圖16所示，帶電粒子束裝置90具有移動(dòng)臺(tái)IA和帶電粒子束源91。試料能夠載置在Y臺(tái)13的上表面。帶電粒子束源91產(chǎn)生電子束或離子束等帶電粒子束而對(duì)試料進(jìn)行照射。帶電粒子束裝置90例如是電子束描繪裝置時(shí)，電子束向硅晶片等試料照射。需要說(shuō)明的是，移動(dòng)臺(tái)IA及射出帶電粒子束的帶電粒子束源91的出射口配置在真空腔室3的內(nèi)部。當(dāng)將本實(shí)施方式的移動(dòng)臺(tái)IA使用于帶電粒子束裝置91時(shí)，能夠減少要移動(dòng)到的試料的目標(biāo)位置與實(shí)際使試料移動(dòng)后的試料位置的偏差。由此，能夠減少在該試料中要照射帶電粒子束的位置與該試料中的實(shí)際的帶電粒子束的照射位置的偏差。從而能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)試料的更微細(xì)的描繪或更精密的檢查。[符號(hào)說(shuō)明]
12第一臺(tái)
13第二臺(tái)
17驅(qū)動(dòng)軸
MY、MY電動(dòng)機(jī)
權(quán)利要求
1.一種移動(dòng)臺(tái)，其具有第一臺(tái)，其能夠沿著第一方向進(jìn)行移動(dòng)；第二臺(tái)，其至少一部分位于所述第一臺(tái)上，且能夠沿著與所述第一方向交叉的第二方向進(jìn)行移動(dòng)；生成部，其生成用于使所述第二臺(tái)沿著所述第二方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力； 動(dòng)力傳遞部，其從所述生成部向所述第二臺(tái)傳遞所述驅(qū)動(dòng)力，且至少一部分伴隨著所述第一臺(tái)的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述動(dòng)力傳遞部伴隨著所述第一臺(tái)的移動(dòng)而發(fā)生變形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動(dòng)臺(tái)，其中， 所述動(dòng)力傳遞部具有第一驅(qū)動(dòng)軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝于所述第二臺(tái)；變形部，其在所述生成部與所述第一驅(qū)動(dòng)軸之間伴隨著所述第一臺(tái)的移動(dòng)而發(fā)生變形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述第一驅(qū)動(dòng)軸安裝在所述第二臺(tái)的所述第一方向上的中央部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述變形部的所述第一方向的長(zhǎng)度伴隨著所述第一臺(tái)的移動(dòng)而發(fā)生變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的移動(dòng)臺(tái)，其中， 所述變形部具備第二旋轉(zhuǎn)軸，其通過(guò)所述生成部而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 第三旋轉(zhuǎn)軸，其設(shè)置在所述第二旋轉(zhuǎn)軸與所述第一旋轉(zhuǎn)軸之間； 環(huán)狀的第一張力線，其保持一定的張力且包圍所述第二旋轉(zhuǎn)軸及所述第三旋轉(zhuǎn)軸，并將所述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)向所述第三旋轉(zhuǎn)軸傳遞；環(huán)狀的第二張力線，其保持一定的張力且包圍所述第三旋轉(zhuǎn)軸及所述第一旋轉(zhuǎn)軸，并將所述第三旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)向所述第一旋轉(zhuǎn)軸傳遞，所述第三旋轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)于所述第一臺(tái)的移動(dòng)而沿著與所述第一方向垂直的方向進(jìn)行位移。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述變形部具有與所述第一旋轉(zhuǎn)軸連接的第一滑輪、與所述第二旋轉(zhuǎn)軸連接的第二滑輪、與所述第三旋轉(zhuǎn)軸連接的第三滑輪及第四滑輪，所述第一張力線是架設(shè)在第二滑輪與第三滑輪之間的帶，所述第二張力線是架設(shè)在第四滑輪與第一滑輪之間的帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述第一滑輪、所述第二滑輪及所述第三滑輪的與所述帶相接的外周面是凸曲面。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述移動(dòng)臺(tái)具有微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)通過(guò)沿著所述第二方向?qū)λ龅诙_(tái)施加按壓力，而對(duì)所述第二方向上的所述第二臺(tái)的位置進(jìn)行微調(diào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述微調(diào)機(jī)構(gòu)具有安裝于所述第二臺(tái)的構(gòu)件，其具有多個(gè)緊固部，這多個(gè)緊固部在所述第二方向上設(shè)置在所述第二臺(tái)的兩側(cè)且從該第二臺(tái)離開(kāi)；多個(gè)壓電元件，它們?cè)O(shè)置在所述第二臺(tái)與所述多個(gè)緊固部之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述第二臺(tái)具有沿著所述第二方向排列的多個(gè)貫通孔， 所述微調(diào)機(jī)構(gòu)具有安裝于所述第二臺(tái)的構(gòu)件，其具有多個(gè)緊固部，這多個(gè)緊固部設(shè)置在位于所述多個(gè)貫通孔中的相鄰的所述貫通孔之間的所述第二臺(tái)的一部分的所述第二方向的兩側(cè)且從該第二臺(tái)的一部分離開(kāi)；多個(gè)壓電元件，它們?cè)O(shè)置在所述第二臺(tái)與所述多個(gè)緊固部之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)臺(tái)，其中， 所述動(dòng)力傳遞部具有第一驅(qū)動(dòng)軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝于所述第二臺(tái)； 固定部，其與所述生成部連接，且在所述第一方向上固定在規(guī)定位置； 移動(dòng)部，其與所述固定部及所述第一驅(qū)動(dòng)軸連接，伴隨著所述第一臺(tái)的移動(dòng)而沿著所述第一方向移動(dòng)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述固定部具有通過(guò)所述生成部被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)軸， 所述移動(dòng)部具有對(duì)應(yīng)于所述第二驅(qū)動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的齒輪部。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述第一驅(qū)動(dòng)軸安裝在所述第二臺(tái)的所述第一方向上的中央部。
15.根據(jù)權(quán)利要求1 14中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)臺(tái)，其中，所述第一臺(tái)及所述第二臺(tái)配置在真空容器的內(nèi)部，所述生成部配置在該真空容器的外部。
16.一種輸送裝置，其具有權(quán)利要求1 15中任一項(xiàng)所述的移動(dòng)臺(tái)； 控制所述生成部的動(dòng)作的控制器。
17.一種帶電粒子束裝置，其具有能夠向所述第二臺(tái)上載置試料的權(quán)利要求16所述的輸送裝置； 設(shè)置在所述第二臺(tái)的上方，對(duì)所述試料照射帶電粒子束的帶電粒子束源。
全文摘要
本發(fā)明的移動(dòng)臺(tái)具有能夠沿著第一方向移動(dòng)的第一臺(tái)(12)；至少一部分位于第一臺(tái)(12)上，能夠沿著與第一方向交叉的第二方向移動(dòng)的第二臺(tái)(13)；生成用于使第二臺(tái)(13)沿著第二方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力的生成部(MY)；從生成部(MY)向第二臺(tái)(13)傳遞驅(qū)動(dòng)力，并且至少一部分伴隨著第一臺(tái)(12)的移動(dòng)而進(jìn)行動(dòng)作的動(dòng)力傳遞部(17、20)。
文檔編號(hào)H01L21/027GK102414811SQ20098015896
公開(kāi)日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月27日
發(fā)明者宗石猛, 明石幸治 申請(qǐng)人:京瓷株式會(huì)社