專利名稱：搬送單元的示教方法、存儲(chǔ)介質(zhì)及基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在將收納有多枚基板的搬送容器搬入內(nèi)部，從該搬送 容器取出基板并進(jìn)行處理的基板處理裝置中，對(duì)于搬送搬送容器的搬
送單元進(jìn)行示教(teaching)的方法、記錄該方法的存儲(chǔ)介質(zhì)以及基板 處理裝置。
背景技術(shù)：
作為半導(dǎo)體制造裝置的一種，存在對(duì)于多枚基板例如半導(dǎo)體晶片 (以下稱為"晶片")進(jìn)行熱處理例如氧化處理和成膜處理的批處理式
的立式基板處理裝置。該裝置的內(nèi)部，通過例如隔離壁劃分為將收 納有多枚例如25枚晶片的密閉型的載體搬入裝置內(nèi)部的作業(yè)區(qū)域；將 載體內(nèi)的晶片移載到晶舟的裝載區(qū)域；和對(duì)于晶片進(jìn)行熱處理的熱處 理爐。在該作業(yè)區(qū)域一側(cè)的隔離壁，作為轉(zhuǎn)移臺(tái)設(shè)置用于載置載體的 載置臺(tái)，載體通過搬送臂被載置到該轉(zhuǎn)移臺(tái)上時(shí)，通過裝載區(qū)域一側(cè) 的移載機(jī)構(gòu)從該載體內(nèi)取出晶片。然后，依次將載體載置在該轉(zhuǎn)移臺(tái) 上并取出晶片，在晶舟上進(jìn)行晶片的搬送直至達(dá)到預(yù)定的枚數(shù)例如100 枚為止。取出晶片的載體被保管在作業(yè)區(qū)域的保管部，熱處理完成時(shí) 重新返回到轉(zhuǎn)移臺(tái)并搬入處理完成的晶片。
如上所述，由于該裝置進(jìn)行多枚晶片的處理，所以在該作業(yè)區(qū)域 內(nèi)，載置載體的載置部由例如用于載置從外部搬入裝置內(nèi)的載體的兩 處裝載口口、兩處轉(zhuǎn)移臺(tái)、16處的保管部構(gòu)成，合計(jì)由例如20處部分 構(gòu)成。
進(jìn)行通過搬送臂向各載置部交接載體時(shí)的搬送臂的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐 標(biāo)位置，通過設(shè)計(jì)圖的各尺寸等求得。由于組裝裝置時(shí)的組裝誤差和 構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的傳送帶的伸展等驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的誤差，搬送臂的設(shè)計(jì) 的坐標(biāo)位置，與載體和載置部的對(duì)位的用于搬送臂交接的理想位置實(shí) 際上是偏離的。此外，不限于裝置的組裝時(shí)，還存在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)因磨耗等同樣造成偏離的情況。因此，例如裝置起動(dòng)時(shí)和維護(hù)時(shí)，操作員 進(jìn)行被稱為示教的作業(yè)，求得交接載體時(shí)的搬送臂的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐標(biāo) 上的位置。具體來說，由于搬送臂的坐標(biāo)位置顯示在例如裝置的畫面 上，使搬送臂保持載體，通過目視確認(rèn)該載體和搬送臂的同時(shí)，通過 手動(dòng)動(dòng)作使搬送臂移動(dòng)直至進(jìn)行載體的交接的位置，將此時(shí)的搬送臂 的坐標(biāo)位置設(shè)定為載體的交接位置。
如上所述，由于操作員需要手動(dòng)進(jìn)行示教作業(yè)，擔(dān)心由于操作員 的熟練度和輸入錯(cuò)誤等在交接載體的位置上產(chǎn)生誤差。此外，在成批 型的熱處理裝置的情況下，由于進(jìn)行示教的位置多達(dá)20處左右，不僅 作業(yè)十分繁雜，還需要花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間。在專利文獻(xiàn)1中，記載有基板
處理裝置，此外在專利文獻(xiàn)2中，記載有半導(dǎo)體晶片的搬送位置的信
息獲取方法，但是對(duì)于上述問題沒有涉及。
專利文獻(xiàn)l:日本特開平11-314890號(hào)公報(bào)(段落0010 0013，圖
1)
專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-260176號(hào)公報(bào)(段落0105 0108，圖
2)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于上述問題而完成的，其目的在于，提供在將收納有 多枚基板的搬送容器搬入內(nèi)部，從該搬送容器取出基板并進(jìn)行處理的 基板處理裝置中，每當(dāng)進(jìn)行搬送搬送容器的搬送單元的示教時(shí)，使該 示教的精度提高并能夠簡(jiǎn)易進(jìn)行的示教方法、存儲(chǔ)該示教方法的存儲(chǔ) 介質(zhì)及基板處理裝置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中
使用的對(duì)搬送單元進(jìn)行示教的方法，上述基板處理裝置包括載置收 納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器 的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視 部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部， 上述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單 元的搬送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使上述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部 下降的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì) 設(shè)置在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視 野中的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保持部位于上述下降開始位置的理想位 置時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的 補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的 下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取與上述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置 相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中 使用的對(duì)搬送單元進(jìn)行示教的方法，上述基板處理裝置包括載置收 納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器 的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視 部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部， 上述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單 元的搬送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工 序；接著，上述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù) 先決定的下方位置的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置在上述載 置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中的上述標(biāo) 識(shí)的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位置時(shí)的上述視野中 的上述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器 中的工序，利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求 得上述保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持 部下降的開始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐 標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于上述載置 部設(shè)置有多個(gè)，對(duì)各載置部依次進(jìn)行使上述搬送單元的保持部移動(dòng)到 預(yù)先決定的下降開始位置的工序和獲取上述補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中 的工序，將上述下降開始位置的補(bǔ)正量與各載置部分別對(duì)應(yīng)并存儲(chǔ)在 存儲(chǔ)器中。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于上述載置部設(shè)置有多個(gè)，對(duì)各載置部依次進(jìn)行使上述搬送單元的保持部移動(dòng)到 預(yù)先決定的下方位置的工序和獲取上述補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工 序，將上述下方位置的補(bǔ)正量與各載置部分別對(duì)應(yīng)并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中。 本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 坐標(biāo)上的保持部的坐標(biāo)位置為水平方向坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中 使用的對(duì)搬送單元進(jìn)行示教的方法，上述基板處理裝置包括載置收 納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器 的保持部、驅(qū)動(dòng)部和計(jì)測(cè)單元，用于與上述載置部交接搬送容器；坐 標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出， 監(jiān)視水平方向和高度方向的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位 置；和控制搬送單元的搬送控制部，上述搬送單元的示教方法的特征 在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在上述搬送單 元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使上述搬送單元的保持 部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部下降的開始位置的下降開始位置的 工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位 的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保持 部位于上述下降開始位置的理想位置時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位 置進(jìn)行比較，并且通過上述計(jì)測(cè)單元對(duì)保持部和載置部的高度方向的 距離進(jìn)行計(jì)測(cè)，對(duì)該計(jì)測(cè)到的高度方向的距離，與保持部位于下降開 始位置的理想位置時(shí)的保持部和載置部的高度方向的距離進(jìn)行比較， 獲取下降開始位置的水平方向和高度方向的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中 的工序，利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正， 獲取與上述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的水平方向和高度 方向的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中 使用的對(duì)搬送單元進(jìn)行示教的方法，上述基板處理裝置包括載置收 納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器 的保持部、驅(qū)動(dòng)部和計(jì)測(cè)單元，用于與上述載置部交接搬送容器；坐 標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出， 監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，上述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝 上的拍攝單元的搬送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的 位置的工序；接著，上述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部 下方的預(yù)先決定的下方位置的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置 在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中 的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位置時(shí)的上 述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，并且通過上述計(jì)測(cè)單元對(duì)保持 部和載置部的高度方向的距離進(jìn)行計(jì)測(cè)，對(duì)該計(jì)測(cè)到的高度方向的距 離和保持部位于下方位置的理想位置時(shí)的保持部和載置部的高度方向 的距離進(jìn)行比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序， 利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得上述保持 部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降的開 始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的水平方向和高度方向的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于上述搬送 夾具具備對(duì)包含上述標(biāo)識(shí)的區(qū)域照射光的光照射部，上述拍攝的工序 由對(duì)包含上述標(biāo)識(shí)的區(qū)域照射光，對(duì)包含上述標(biāo)識(shí)的區(qū)域中的上述光 的照射位置進(jìn)行拍攝的工序構(gòu)成。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于上述載置 部為反射上述光的反射部，上述標(biāo)識(shí)為不反射上述光的非反射部。
本發(fā)明提供了一種搬送單元的示教方法，其特征在于上述載置 部是為了將上述搬送容器從上述基板處理裝置的外部搬入而載置的裝 載口、從上述搬送容器內(nèi)取出上述基板時(shí)載置搬送容器的轉(zhuǎn)移臺(tái)、或 者用于保管上述搬送容器而載置的保管部。
本發(fā)明提供了一種存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)有用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行搬送單 元的示教方法的計(jì)算機(jī)程序，其特征在于搬送單元的示教方法，是 在基板處理裝置中使用的搬送單元的示教方法，上述基板處理裝置包 括載置收納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上 述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐 標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出， 監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，上述搬送單元的示教方法包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元 的搬送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序； 接著，使上述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部下降 的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置 在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中 的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保持部位于上述下降開始位置的理想位置時(shí) 的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的補(bǔ)正 量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下降 開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取與上述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì) 應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了 一種存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)有用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行搬送單 元的示教方法的計(jì)算機(jī)程序，其特征在于搬送單元的示教方法是在 基板處理裝置中使用的搬送單元的示教方法，上述基板處理裝置包括 載置收納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬 送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位
置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控 制部，上述搬送單元的示教方法包括將設(shè)置有朝上的拍攝單元的搬 送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著， 上述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù)先決定的下 方位置的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置在上述載置部的用于 檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置和 上述保持部位于上述下方位置的理想位置時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí) 的位置進(jìn)行比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序， 利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得上述保持 部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降的幵 始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種基板處理裝置，其特征在于，包括載置收納
有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器的 保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部， 其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和包括控制搬送單元的搬送控制部的
控制器，上述基板處理裝置通過控制器示教搬送單元，利用控制器的
示教方法包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在上述搬送 單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使上述搬送單元的保 持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部下降的開始位置的下降開始位置 的工序；然后，通過上述拍攝單元對(duì)設(shè)置在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò) 位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保 持部位于上述下降開始位置的理想位置時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的 位置進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序， 利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取與上 述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐 標(biāo)位置。
本發(fā)明提供了一種基板處理裝置，其特征在于，包括載置收納 有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持上述搬送容器的 保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與上述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部， 其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐 標(biāo)上的上述保持部的坐標(biāo)位置；和包括控制搬送單元的搬送控制部的 控制器，通過控制器示教搬送單元，利用控制器的示教方法包括將 設(shè)置有朝上的拍攝單元的搬送夾具保持在上述搬送單元的保持部的預(yù) 先設(shè)定的位置的工序；接著，上述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng) 到載置部下方的預(yù)先決定的下方位置的工序；然后，通過上述拍攝單 元對(duì)設(shè)置在上述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的上 述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位 置時(shí)的上述視野中的上述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，獲取下方位置的補(bǔ)正 量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用上述補(bǔ)正量對(duì)上述預(yù)先決定的下方 位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得上述保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置 獲取與作為使保持部下降的幵始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū) 動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
根據(jù)本發(fā)明，在將收納有多枚基板的搬送容器搬入內(nèi)部、由該搬 送容器取出基板進(jìn)行處理的基板處理裝置中，例如起動(dòng)裝置時(shí)，進(jìn)行 搬送搬送容器的搬送單元的示教時(shí)，使示教用的夾具被搬送單元保持，移動(dòng)到載置部的上方預(yù)先決定的下降開始位置。通過設(shè)置在該夾具的 拍攝單元對(duì)在載置部形成的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，基于該拍 攝結(jié)果獲取對(duì)于下降開始位置的理想位置的補(bǔ)正量，根據(jù)該補(bǔ)正量對(duì) 下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取與上述理想位置相對(duì)應(yīng)的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。因此，由于上述的示教能夠自動(dòng)進(jìn)行，所以示教 的精確度不受操作員的熟練度左右，此外，不需要操作員進(jìn)入到設(shè)置 載置部的場(chǎng)所，無需對(duì)各載置部的每一個(gè)在畫面上進(jìn)行坐標(biāo)位置的確 認(rèn)操作即可。由此作業(yè)變得十分簡(jiǎn)便，能夠縮短作業(yè)時(shí)間。


圖1是表示本發(fā)明的基板處理裝置的一例的概略圖。
圖2是表示上述的基板處理裝置的一例的立體圖。 圖3是表示上述的基板處理裝置的載體搬送機(jī)的一例的立體圖。 圖4是表示上述的載體搬送機(jī)的平面圖。 圖5是表示上述的基板處理裝置的控制部的一例的概略圖。 圖6 (a) (b)是表示上述的基板處理裝置的載體夾具的一例的概 略圖。
圖7是表示上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)的流程的一例 的流程圖。
圖8 (a) (b)是表示上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)的流 程的說明圖。
圖9是表示上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)的流程的說明圖。
圖10 (a) (b)是表示上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)的流 程的說明圖。
圖11是表示上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)的流程的說明圖。
圖12是表示通過上述的基板處理裝置中進(jìn)行的示教作業(yè)獲得的示 教數(shù)據(jù)的一例的說明圖。
具體實(shí)施方式
對(duì)于本發(fā)明的基板處理裝置的實(shí)施方式的一例，參照?qǐng)D1 圖6
進(jìn)行說明。圖1中10為該基板處理裝置的框體，在該框體10內(nèi)，通 過隔板11劃分為左側(cè)的作業(yè)區(qū)域Sl和右側(cè)的裝載區(qū)域S2。作業(yè)區(qū)域 Sl為用于進(jìn)行搬送作為收納多枚例如25枚半導(dǎo)體晶片W的密閉型的 搬送容器的載體(在該例中，作為密閉型的載體能夠使用FOUP，以下 稱為"載體")1和保管該載體1的區(qū)域，被保持在大氣氣氛中。在該 作業(yè)區(qū)域S1中，為了載置通過外部未圖示的搬送機(jī)構(gòu)從設(shè)置在框體10 的側(cè)面位置的搬送口 20搬入的載體1，如圖2所示，設(shè)置有例如作 為在跟前側(cè)和里側(cè)兩處排列的載置部的裝載口 21;為了從作業(yè)區(qū)域S1 的載體1內(nèi)在裝載區(qū)域S2通過后述的移載機(jī)構(gòu)42取出晶片W，在隔 板11安裝作為例如上下兩處的載置部的轉(zhuǎn)移臺(tái)23;和設(shè)置在作業(yè)區(qū)域 Sl內(nèi)的上方一側(cè)、作為用于保管載體l的載置部的保管部24。此外， 在裝載口 21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23之間，設(shè)置有作為在作業(yè)區(qū)域Sl用于搬送載 體1的搬送單元的載體搬送機(jī)22。在框體10的外側(cè)與搬送口 20對(duì)應(yīng) 的位置，設(shè)置例如門D，通過該門D自由開關(guān)搬送口20。
保管部24，如圖2所示，例如成組地排列設(shè)置為縱向4列、橫向 2歹U，該保管部24的組將載體搬送機(jī)22的載體1的搬送區(qū)域從兩側(cè)夾 住，該保管部24的開口一側(cè)設(shè)置為面向該搬送區(qū)域。在作為該保管部 24的載置面的載體臺(tái)50，如圖3所示，形成已述的載體搬送機(jī)22的 搬送區(qū)域一側(cè)開口的矩形的凹部51，通過使設(shè)置在載體搬送機(jī)22的后 述的搬送臂31經(jīng)由該凹部51升降，在該載體臺(tái)50和載體搬送機(jī)22 之間進(jìn)行載體l的交接。此外，在位于該凹部51的側(cè)面位置的載體臺(tái) 50，使例如圓形的開口部52作為用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)形成。該開口部 52，如下所述，為用于通過載體夾具2進(jìn)行搬送臂31的示教時(shí)的對(duì)位 的記號(hào)。此外，在已述的裝載口 21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23上，以在載置面上與 該載體臺(tái)50構(gòu)成相同的方式，形成用于使開口部52和搬送臂31穿過 的凹部51。
載體搬送機(jī)22具備在框體10內(nèi)在鉛垂方朝上設(shè)置的較長(zhǎng)的支柱 25，和以在已述的保管部24的組之間沿著水平方向延伸的方式設(shè)置在 該支柱25的側(cè)面的水平臂26。該水平臂26通過設(shè)置在支柱25下方一 側(cè)的電動(dòng)機(jī)M，能夠伴隨例如支柱25內(nèi)的未圖示的同步帶等的上下而升降。在該電動(dòng)機(jī)M中，組合有未圖示的編碼器，根據(jù)該編碼器中的
編碼值獲取水平臂26的高度位置。此外，在該水平臂26中，設(shè)置有 通過電動(dòng)機(jī)34經(jīng)由未圖示的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)沿著該水平臂26水平移動(dòng)的兩 根臂35、 30和由具備保持部31a的關(guān)節(jié)臂構(gòu)成的搬送臂31。該搬送臂 31構(gòu)成為進(jìn)行整體圍繞鉛垂旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作和使保持部31a直線前進(jìn)的動(dòng) 作，根據(jù)旋轉(zhuǎn)用的電動(dòng)機(jī)的e方向的移動(dòng)量和直線前進(jìn)用的電動(dòng)機(jī)的 進(jìn)退方向的移動(dòng)量管理保持部31a的位置。
在保持部31a，在例如三個(gè)部位設(shè)置凸起32，通過在載體1的下 面形成的凹部中嵌入該凸起32，在搬送臂31上使載體1正確地定位， 搬送該載體l。在該保持部31a，經(jīng)由未圖示的變速齒輪與已述的直線 前進(jìn)用的電動(dòng)機(jī)連接，無論載體1的位置如何，對(duì)于載體1的進(jìn)退方 向維持該載體1的方向。由電動(dòng)機(jī)M、 34和搬送臂31的電動(dòng)機(jī)構(gòu)成 的驅(qū)動(dòng)部33的編碼器38，如圖5所示，與裝置控制器36連接。
該裝置控制器36具備有坐標(biāo)位置監(jiān)視部37、搬送控制部39和保 存有示教數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器8。坐標(biāo)位置監(jiān)視部37，起到獲取在驅(qū)動(dòng)載體 搬送機(jī)22的各軸的電動(dòng)機(jī)上分別設(shè)置的編碼器38的脈沖數(shù)并獲取載 體搬送機(jī)22的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐標(biāo)上的位置、更詳細(xì)來說是獲取保持部31a 的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置的作用。此外搬送控制部39，包含預(yù) 定的動(dòng)作程序，具有基于示教數(shù)據(jù)控制載體搬送機(jī)22的動(dòng)作的作用。 此外存儲(chǔ)器8內(nèi)的示教數(shù)據(jù)，是基于由后述的示教獲取的補(bǔ)正量等求 得的載體搬送機(jī)22的各軸上的編碼器38的脈沖指令值，換言之為相 當(dāng)于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐標(biāo)上的保持部31a的坐標(biāo)位置的數(shù)據(jù)。此外，對(duì)于 已述的裝載口21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23，與該搬送臂31相同，在載置有載體l 的載置面上形成與載體1的凹部嵌合的凸起。
在該示例中，為了進(jìn)行作為使搬送臂31的搬送動(dòng)作記入裝置控制 器36的作業(yè)的示教，設(shè)置作為在搬送臂31上與載體1相同形狀的搬 送夾具的載體夾具(作為用于進(jìn)行示教的搬送夾具，存在例如示教夾 具等用語，在該示例中被稱作載體夾具)2。在該載體夾具2的下面， 與載體1相同形成凸起32能夠嵌入的未圖示的凹部，使載體夾具2在 搬送臂31上與載體1為相同姿勢(shì)，即能夠預(yù)先知道載體1和載體夾具 2之間的相對(duì)位置。在該載體夾具2的下面，在由與搬送臂31接觸的部位向側(cè)面錯(cuò)開的區(qū)域，如圖6所示，設(shè)置有作為例如用于對(duì)包含作
為在載體臺(tái)50上形成的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)的開口部52的區(qū)域進(jìn)行 拍攝的視野朝下的拍攝單元的照相機(jī)61，和對(duì)該照相機(jī)61的拍攝區(qū)域 照射光束的截面形狀為線狀的光例如激光的縫隙狀的光照射部62a、 62b。該光照射部62a、 62b構(gòu)成為，從該光照射部62a、 62b照射的兩 束激光與作為在計(jì)算機(jī)上管理的水平面的正交坐標(biāo)的X-Y坐標(biāo)的坐標(biāo) 軸分別平行地照射，以激光的線狀的照射位置在照相機(jī)61的拍攝區(qū)域 的中央交叉的方式設(shè)定朝向。
載體夾具2被保持在搬送臂31上，例如搬送臂31移動(dòng)到轉(zhuǎn)移臺(tái) 50上，在為了將載體夾具2轉(zhuǎn)移到載體臺(tái)50而開始下降的下降開始位 置的理想位置，將照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開口部52的中 心位置設(shè)定為一致。此外，圖6 (a)為從搬送臂31的延伸方向觀察的 載體夾具2的側(cè)面圖，圖6 (b)為從下側(cè)觀察載體夾具2的平面圖。
如圖5所示，通過照相機(jī)61對(duì)載體臺(tái)50的開口部52拍攝時(shí)，用 于計(jì)算該照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開口部52的中心位置的 偏移量的圖像控制器64在載體夾具2經(jīng)由未圖示的電纜連接。
該圖像控制器64具備圖像數(shù)據(jù)處理程序6A和補(bǔ)正量演算程序 6B。圖像數(shù)據(jù)處理程序6A為用于通過已述的照相機(jī)61對(duì)包含開口部 52的區(qū)域拍攝，在此時(shí)的照相機(jī)61的視野中，讀取從光照射部62a、 62b照射的激光在開口部52的周邊中斷的坐標(biāo)位置、即后述的P, P4 即開口部52的位置的程序。補(bǔ)正量演算程序6B如后所述，為基于通 過圖像數(shù)據(jù)處理程序6A獲取的位置信息，計(jì)算出在裝載口 21、轉(zhuǎn)移 臺(tái)23及載體臺(tái)50載置載體夾具2時(shí)的搬送臂31的實(shí)際的坐標(biāo)位置即 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)上的坐標(biāo)位置距離理想位置有多少偏移，獲取相當(dāng)于該偏移 的補(bǔ)正量的程序。該補(bǔ)正量演算程序6B，如后所述，相當(dāng)于計(jì)測(cè)載體 夾具2和載體臺(tái)50之間的距離的單元。
理想位置指的是，在裝載口 21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23上，載體1的下面的 凹部與在該裝載口 21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23的載置面形成的凸起32卡合，載體 搬送機(jī)22和基板處理裝置的外部的未圖示的搬送機(jī)構(gòu)或者移載機(jī)構(gòu) 42之間適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行載體1的交接的位置的上方的搬送臂31的下降開始 位置的理想位置。對(duì)于載體臺(tái)50，設(shè)定為例如管部24的側(cè)壁碰撞的載體臺(tái)50的中央位置的上方的搬送臂31的位置。 因此，在該示例中，理想位置的位置信息為，與通過己述的照相機(jī)61 拍攝的圖像的中心位置和開口部52的中心位置一致的信息。
該搬送臂31的坐標(biāo)位置的補(bǔ)正量，具體來說如后面所述，例如對(duì) 于水平方向通過光照射部62向包含開口部52的照相機(jī)61的拍攝區(qū)域 照射光，通過照相機(jī)61對(duì)包含該開口部52的區(qū)域進(jìn)行拍攝，通過使 用圖像控制器64對(duì)開口部52的中心位置和照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中 心位置進(jìn)行比較而獲得。對(duì)于高度方向的偏移量(差)，如后面所述， 由該照相機(jī)61拍攝的圖像計(jì)算照相機(jī)61和轉(zhuǎn)移臺(tái)50之間的距離，基 于該計(jì)算結(jié)果和搬送臂31位于理想位置時(shí)的照相機(jī)61與轉(zhuǎn)移臺(tái)50之 間的距離而獲得。
如上所述的示教作業(yè)，根據(jù)已述的裝置控制器36的指示進(jìn)行，獲 得的偏移量即補(bǔ)正量被返回至裝置控制器36，在作為存儲(chǔ)部的存儲(chǔ)器 8內(nèi)作為示教數(shù)據(jù)保存。該存儲(chǔ)器8，如后面所述，具備保存作為由上 述的設(shè)計(jì)信息求得的上述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)上的坐標(biāo)的設(shè)計(jì)位置和通過己述的 圖像控制器64計(jì)算出的補(bǔ)正量的區(qū)域，此外具備保存作為基于該補(bǔ)正 量對(duì)設(shè)計(jì)位置進(jìn)行補(bǔ)正的坐標(biāo)的理想位置的區(qū)域。此外，該理想位置， 例如示教后搬送載體1時(shí)從該存儲(chǔ)器8讀出并向驅(qū)動(dòng)部33輸出時(shí)，從 X-Y-Z坐標(biāo)軸的正交坐標(biāo)被變換為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)。
如上所述，由于裝置的組裝誤差，在各載置部產(chǎn)生設(shè)計(jì)位置和理 想位置，即各載置部的補(bǔ)正量各種各樣，因此該示教作業(yè)對(duì)于用于載 置載體1的各個(gè)區(qū)域進(jìn)行。用于進(jìn)行該示教的程序6A、 6B和驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)的程序(也包含與處理參數(shù)的輸入操作和顯示相關(guān)的程序)被收納 在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)例如軟盤、CD、 MO (磁光盤)、硬盤等存儲(chǔ)部4并 安裝在裝置控制器36上。此外，該示教作業(yè)，在起動(dòng)上述的基板處理 裝置以外時(shí)，例如也可以在基板處理裝置的定期的維護(hù)時(shí)進(jìn)行。
如已述的圖1所述，已述的轉(zhuǎn)移臺(tái)23的側(cè)面位置的隔板11開口， 在裝載區(qū)域S2 —側(cè)設(shè)置有閘門70，用來堵塞該開口部。該閘門70， 當(dāng)將載體1載置在轉(zhuǎn)移臺(tái)23上使設(shè)置在載體1的未圖示的開關(guān)門面向 該開口部時(shí)，與該開關(guān)門一體幵放，使裝載區(qū)域S2的氣氛和載體1內(nèi) 的氣氛密閉地連通。裝載口 S2為用于對(duì)晶片W進(jìn)行熱處理例如成膜處理和氧化處理 的區(qū)域，被保存在非活性氣體例如氮?dú)鈿夥罩?。在該裝載區(qū)域S2中， 設(shè)置有下端作為爐口而開口的立式的處理部的熱處理爐40，在該熱處 理爐40的下方一側(cè)，作為用于保持多枚晶片W的保持具的晶舟41設(shè) 置為通過升降機(jī)構(gòu)41a升降自如。熱處理爐40的爐口構(gòu)成為通過蓋體 44開閉自如。在該裝載區(qū)域S2中在晶舟41和隔板11之間，設(shè)置有用 于在載置在已述的轉(zhuǎn)移臺(tái)23上的載體1和晶舟41之間進(jìn)行晶片W的 交接的移載機(jī)構(gòu)42，在該移載機(jī)構(gòu)42上，進(jìn)退自如地設(shè)置有例如能夠 將多枚晶片W —并移載的臂43。該移載機(jī)構(gòu)42構(gòu)成為通過未圖示的 電動(dòng)機(jī)圍繞鉛垂軸旋轉(zhuǎn)自如，此外沿著升降軸45升降自如。
然后，對(duì)于本發(fā)明的搬送單元的示教方法，參照?qǐng)D7 圖12進(jìn)行 說明。首先，例如在起動(dòng)該基板處理裝置時(shí)的示教作業(yè)時(shí)，例如通過 操作員，將載體夾具2載置到搬送臂31上。然后，如圖8 (a)所示， 使搬送臂31的保持部31a進(jìn)入例如保管部24內(nèi)，使其移動(dòng)到由已述 的設(shè)計(jì)信息求得的預(yù)先決定的下降開始位置(下降開始位置的設(shè)計(jì)位 置)A, (xA1， yA1， zAI)(步驟S61)。該預(yù)先決定的下降開始位置，也 存在與下降開始位置的理想位置相同的情況，但通常為距離理想位置 稍有偏移的臨近位置。在該下降開始位置，在照相機(jī)61的下方與開口 部52相對(duì)。
然后，如圖8 (b)和圖9所示，在照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心交 叉，從光照射部62a、 62b對(duì)開口部52與水平面的正交坐標(biāo)X-Y坐標(biāo) 的坐標(biāo)軸平行地照射例如激光等光線，并且通過照相機(jī)61對(duì)包含開口 部52的區(qū)域進(jìn)行拍攝(步驟S62)。此時(shí)，如圖10 (a)所示，照相機(jī) 61的拍攝區(qū)域的視野中收納有開口部52，當(dāng)保持部31a的預(yù)先決定的 下降開始位置(下降開始位置的設(shè)計(jì)位置)和下降開始位置的理想位 置不一致時(shí)，照相機(jī)61的中心位置和開口部52的中心位置會(huì)偏離。 此時(shí)，能夠獲得激光的十字的照射路徑在開口部52的周邊中斷的圖像。
如圖10 (a)、 (b)所示，將此時(shí)的照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心的 坐標(biāo)設(shè)為Q (x。， yQ)時(shí)，激光的照射路徑在開口部52的周邊中斷的 部位的坐標(biāo)，例如按照順時(shí)針依次為Pi (x。， y,)、 P2 (x2， yQ)、 P3 (x。， y3)、 P4 (x4， yo)。因此，根據(jù)上述坐標(biāo)P, P4，該開口部52的中心坐標(biāo)C, (a， b)被表示為，例如 a=xo+(X2+x4)/2
b=yo+(yi+y3)/2
因此，作為照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開口部52的中心 位置的偏移量的補(bǔ)正量A Xl和A yi，由于激光的照射路徑與正交坐標(biāo)的 X-Y坐標(biāo)平行，所以通過取Q)和d的差，表示為
△ X產(chǎn)(X2+X4)/2
△ y產(chǎn)(y一y3)/2
此時(shí)如上所述，在圖像控制器64中，因?yàn)橛膳臄z倍率能夠知道通 過照相機(jī)61拍攝的圖像內(nèi)的實(shí)際尺寸，所以能夠求得Q和P, P4之 間的距離即X2、 x4、 y,、力的值。此外，在照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中 心的坐標(biāo)Al和開口部52的中心的坐標(biāo)Bl未偏移的情況下，該補(bǔ)正 量Ax，和Ay,為0。此外，已述的圖9為了容易識(shí)別，表示了對(duì)開口部 52照射的兩束激光的一個(gè)。
此外，對(duì)于高度方向的距離h，例如如下所述算出。如圖11所示， 例如從光照射部62線狀照射的激光和載體夾具2所成的角度a 、照相 機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心和光照射部62之間的距離xl，能夠預(yù)先從設(shè) 計(jì)數(shù)據(jù)等得知。但是，當(dāng)載體夾具2的高度h變化時(shí)，由于例如激光 的照射線的位置向同圖中的橫方向偏移，伴隨載體夾具2的高度位置， 照射在載體臺(tái)50上的激光的照射線和照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位 置之間的距離x2發(fā)生變化。因此，通過該角度a 、距離xl和距離x2， 能夠通過三角法算出載體夾具2和載體臺(tái)50之間的距離h。此外，載 體夾具2和載體臺(tái)50之間的距離與搬送臂31的保持部31a上面和載 體臺(tái)50之間的距離對(duì)應(yīng)。
另一方面，由于通過例如設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和計(jì)算或者實(shí)驗(yàn)等容易求得假 設(shè)搬送臂31的保持部31a位于下降開始位置的理想位置時(shí)的上述角度 a和距離xl、 x2 ，通過對(duì)此時(shí)的載體夾具2的高度ho和上述的算出 結(jié)果進(jìn)行比較，能夠求得高度方向的補(bǔ)正量AZ,(叫h『hl)。
此外，如上所述，從圖像控制器64將該補(bǔ)正量Ax,、 Ay,和Az, 記錄到裝置控制器36的存儲(chǔ)器8 (步驟S63)。此外，通過該補(bǔ)正量A Xl、 Ay,和Az,對(duì)搬送臂31的設(shè)計(jì)坐標(biāo)(具體來說為保持部31a的設(shè)計(jì)坐標(biāo))A, (xA1， yA1， zA1)進(jìn)行修正，將修正該坐標(biāo)后的理想坐標(biāo) B, (xB1， yB1， zB1)也記錄在存儲(chǔ)器8中。上述X、 Y、 Z坐標(biāo)，與將 搬送臂31整體沿著水平臂26驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)量、使搬送臂31進(jìn) 退的電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)量和水平臂26的升降用的電動(dòng)機(jī)M的驅(qū)動(dòng)量即搬 送臂31的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的位置相對(duì)應(yīng)。因此，上述的坐標(biāo)的修正， 具體來說對(duì)于補(bǔ)正量Ax,、 Ay,將其除以使搬送臂31向水平方向移動(dòng) 的電動(dòng)機(jī)的編碼器的每一個(gè)脈沖的移動(dòng)量的值作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的 補(bǔ)正量使用，對(duì)于補(bǔ)正量Az,將其除以使搬送臂31的升降用電動(dòng)機(jī)M 的編碼器的每一個(gè)脈沖的移動(dòng)量的值同樣作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的補(bǔ)正 量使用。
當(dāng)對(duì)于搬送臂31的保持部31a，求得下降開始位置的理想位置時(shí)， 在實(shí)際搬送載體1時(shí)，將搬送臂31的保持部31a設(shè)定在該下降開始位 置的理想位置后，使搬送臂31通過預(yù)先決定的定型的動(dòng)作順序經(jīng)由載 體臺(tái)50的凹部51下降將載體1載置在載體臺(tái)50后，進(jìn)而使其下降縮 退。
然后，使搬送臂31縮退，對(duì)是否存在未測(cè)定補(bǔ)正量的載置部進(jìn)行 判定，當(dāng)存在未測(cè)定的載置部的情況下，同樣依次進(jìn)行示教(步驟S64)。 通過該示教作業(yè)，如圖12所示，在存儲(chǔ)器8中保存有與例如20處的 搬送點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)位置A, A2Q、補(bǔ)正量(Ax,、 Ay,、 AZ|) (A x2Q、 Ay2Q、 Az2。)和理想坐標(biāo)B, B2。。此外，從例如搬送臂31上取 出載體夾具2，結(jié)束示教作業(yè)。
接著，對(duì)于在該基板處理裝置的載體1的整體的流程簡(jiǎn)單地進(jìn)行 說明。首先，載體1通過未圖示的外部的搬送單元經(jīng)由搬送口20被載 置到裝載口 21上時(shí)，搬送臂31移動(dòng)到根據(jù)作為該裝載口 21上的理想 位置的上方位置計(jì)算的下方位置，延伸搬送臂31，接著該搬送臂31 的保持部31a上升并接收載體1。然后，搬送臂31在上方位置縮退， 面向轉(zhuǎn)移臺(tái)23搬送載體1。在該轉(zhuǎn)移臺(tái)23上，搬送臂31的保持部31a 移動(dòng)到下降開始位置的理想位置。接著搬送臂31的保持部31a面朝下 方位置下降將載體1載置到轉(zhuǎn)移臺(tái)23的載置面，搬送臂31在下方位 置縮退。
然后，載體l的未圖示的開關(guān)門與隔板ll密接，該開關(guān)門和閘門70—同開放，通過移載機(jī)構(gòu)42從載體1取出晶片W。晶片W被移載 到晶舟41上，例如變?yōu)橹锌盏妮d體1也同樣通過坐標(biāo)修正后的搬送臂 31被搬送到保管部24中并進(jìn)行保管。然后，到多枚例如100枚晶片W 被移載到晶舟41上為止，依次將載體1搬入作業(yè)區(qū)域S1，將取出晶片 W后變?yōu)橹锌盏妮d體1在保管部24中保管。
然后，晶舟41上升并被收納在熱處理爐40內(nèi)，并且關(guān)閉熱處理 爐40的下端的爐口，對(duì)上述的晶片W進(jìn)行預(yù)定的熱處理。熱處理之 后，按照與搬入順序相反的順序?qū)⒕琖返回到載體1，此外對(duì)于載 體1也同樣將其從基板處理裝置內(nèi)搬出。此外，保管部24，當(dāng)將載體 1搬入基板處理裝置時(shí)，還能夠用于保管收納有暫時(shí)未處理的晶片W 的載體l。
根據(jù)上述實(shí)施方式，將收納有多枚晶片W的載體1搬入內(nèi)部，在 從該載體1取出晶片W進(jìn)行處理的基板處理裝置中，例如起動(dòng)裝置時(shí)， 對(duì)進(jìn)行載體1的交接的搬送臂31的位置示教時(shí)，將載體夾具2載置到 搬送臂31上，使該載體夾具2移動(dòng)到例如載體臺(tái)50的上方位置，通 過照相機(jī)61對(duì)包含開口部52的區(qū)域進(jìn)行拍攝，獲取該照相機(jī)61的拍 攝區(qū)域的中心位置和開口部52的中心位置之間的水平方向的偏移量。 如上所述，預(yù)先獲取照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開口部52的 中心位置的相對(duì)關(guān)系以及保持在搬送臂31的載體1和載體夾具2之間 的位置的相對(duì)關(guān)系。即由于設(shè)定照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開 口部52的中心位置為相同位置，此外設(shè)定保持在搬送臂31的載體1 和載體夾具2為相同姿勢(shì)，因此能夠求得照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心 位置和開口部52的中心位置之間的水平方向的偏移量。由此能夠知道 載體1和載體臺(tái)50之間的偏移量，因此通過基于該偏移量修正搬送臂 31的坐標(biāo)，能夠進(jìn)行載體臺(tái)50的上方位置的搬送臂31的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐 標(biāo)的位置的示教。因此，由于可以不依靠操作員的手動(dòng)動(dòng)作進(jìn)行示教 作業(yè)，如上述的基板處理裝置，即使設(shè)置多個(gè)載置有載體1的載置部， 也能夠減少因操作員的熟練度和輸入錯(cuò)誤導(dǎo)致示教的誤差，此外還能 夠縮短示教作業(yè)需要的作業(yè)時(shí)間。
此外，由于通過使用激光，能夠容易地判別開口部52的周邊，能 夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行上述的示教作業(yè)。進(jìn)而，由于求得了搬送臂31的保持部31a的高度位置，求得了載體臺(tái)50和該載體夾具2之間的高度尺寸， 所以對(duì)于搬送臂31的高度方向也能夠進(jìn)行示教作業(yè)。
在上述的搬送單元的示教方法中，分別求得開口部52的坐標(biāo)位置 (中心坐標(biāo)C,和高度方向的距離h)，也可以一次求得。當(dāng)如上所述一 次求得三維的位置的情況下，標(biāo)識(shí)的位置，例如如以下的參考資料1 所述，能夠通過例如縫隙光投影法的立體計(jì)測(cè)等求得。 (參考資料1) 書名三維圖像計(jì)測(cè) 作者井口征士，佐藤宏介
出版社昭晃堂(1990/11)
ISBN-10: 4785690364 參照頁91 97
此外，對(duì)于設(shè)計(jì)位置，由于搬送臂31的保持部31a的高度位置距 離理想位置沒那么遠(yuǎn)，所以無需將高度位置修正為理想位置，也可以 對(duì)開口部52進(jìn)行拍攝獲取水平方向的錯(cuò)位量(補(bǔ)正量)。
此外，也可以將視野朝上的照相機(jī)61和光照射部62設(shè)置在載體 夾具2的上面，在載置部的下方位置求得理想位置，基于該下方位置 的坐標(biāo)計(jì)算搬送臂31的下降開始位置的理想位置。此外，在與上方位 置或者下方位置相比接近載置部的位置、或者從上方位置或下方位置 相對(duì)于載置部進(jìn)一步遠(yuǎn)離的位置進(jìn)行搬送臂31的示教的情況下，也包 含在本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。
此外，當(dāng)使用激光在開口部52的周邊中斷的位置計(jì)算該開口部52 的中心位置時(shí)，也可以在載體臺(tái)50等載置部不形成開口部52，代替該 開口部52，實(shí)施表面處理以使得不反射激光。進(jìn)而，通過照相機(jī)61 拍攝開口部52時(shí)從光照射部62照射激光，但也可以不照射激光，在 拍攝的圖像內(nèi)直接讀取開口部52的周邊。進(jìn)而，當(dāng)搬送臂31為理想 位置時(shí)，設(shè)定為照相機(jī)61的拍攝區(qū)域的中心位置和開口部52的中心 位置為相同位置，但不限于該示例，也可以設(shè)定為知道搬送臂31位于 理想位置時(shí)的照相機(jī)61的拍攝區(qū)域和開口部52的相對(duì)的位置關(guān)系。 進(jìn)而，在上述示例中在通過照相機(jī)61拍攝的區(qū)域形成開口部52，但作 為拍攝區(qū)域，除此以外，還可以像例如在載體臺(tái)50上描繪十字的標(biāo)記一樣拍攝。此外，作為計(jì)測(cè)載體夾具2和載體臺(tái)50之間的高度方向的 距離的方法，例如也可以另外在載體夾具2上設(shè)置測(cè)距儀等，通過該 測(cè)距儀進(jìn)行計(jì)測(cè)。
此外，在上述示例中在搬送臂31上載置載體夾具2 (載體1)并 搬送載體夾具2，但也可以保持載體夾具2的上面進(jìn)行搬送。
本發(fā)明不限于適用于成批式的熱處理裝置，還能夠適用于例如使 用洗凈液對(duì)載體l內(nèi)的晶片W等基板一并洗凈的洗凈裝置等，在這種 情況下，由于將載體l引進(jìn)到洗凈裝置內(nèi)，所以是同樣有效的方法。
權(quán)利要求
1. 一種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中使用的對(duì)搬送單元進(jìn)行示教的方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與所述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，所述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部下降的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部位于所述下降開始位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取與所述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
2. —種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中使用的對(duì)搬 送單元進(jìn)行示教的方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的 搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部和 驅(qū)動(dòng)部，用于與所述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于 與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的 所述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，所述搬送單 元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，所述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù)先決定的下方位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行 比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得所述 保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降 的開始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位 置。
3. 如權(quán)利要求1所述的搬送單元的示教方法，其特征在于 所述載置部設(shè)置有多個(gè)，對(duì)各載置部依次進(jìn)行使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到預(yù)先決定的 下降開始位置的工序和獲取所述補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，將 所述下降開始位置的補(bǔ)正量與各載置部分別對(duì)應(yīng)并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中。
4. 如權(quán)利要求2所述的搬送單元的示教方法，其特征在于所述載置部設(shè)置有多個(gè)，對(duì)各載置部依次進(jìn)行使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到預(yù)先決定的 下方位置的工序和獲取所述補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，將所述 下方位置的補(bǔ)正量與各載置部分別對(duì)應(yīng)并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的搬送單元的示教方法，其特征在于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的保持部的坐標(biāo)位置為水平方向坐標(biāo)位置。
6. —種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中使用的對(duì)搬 送單元進(jìn)行示教的方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的 搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部、 驅(qū)動(dòng)部和計(jì)測(cè)單元，用于與所述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視 部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視水平方 向和高度方向的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，所述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部 下降的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下降開始位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置 進(jìn)行比較，并且通過所述計(jì)測(cè)單元對(duì)保持部和載置部的高度方向的距 ^ 于計(jì)測(cè)，對(duì)該計(jì)測(cè)到的高度方向的距離，^W部位于下降開始 位置的理想位置時(shí)的保持部和載置部的高度方向的距離進(jìn)行比較，獲 取下降開始位置的水平方向和高度方向的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的 工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取 與所述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的水平方向和高度方向 的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
7. —種搬送單元的示教方法，其是在基板處理裝置中使用的對(duì)搬 送單元進(jìn)行示教的方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的 搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部、 驅(qū)動(dòng)部和計(jì)測(cè)單元，用于與所述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視 部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部， 所述搬送單元的示教方法的特征在于，包括將設(shè)置有朝上的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，所述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù) 先決定的下方位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行比較，并且通過所述計(jì)測(cè)單元對(duì)保持部和載置部的高度方向的距離進(jìn) 行計(jì)測(cè)，對(duì)該計(jì)測(cè)到的高度方向的距離和保持部位于下方位置的理想 位置時(shí)的保持部和載置部的高度方向的距離進(jìn)行比較，獲取下方位置 的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得所述 保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降 的開始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的水平方向和高度方向的所述驅(qū)動(dòng) 系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位置。
8. 如權(quán)利要求1或2所述的搬送單元的示教方法，其特征在于 所述搬送夾具具備對(duì)包含所述標(biāo)識(shí)的區(qū)域照射光的光照射部， 所述進(jìn)行拍攝的工序由對(duì)包含所述標(biāo)識(shí)的區(qū)域照射光，對(duì)包含所述標(biāo)識(shí)的區(qū)域中的所述光的照射位置進(jìn)行拍攝的工序構(gòu)成。
9. 如權(quán)利要求8所述的搬送單元的示教方法，其特征在于 所述載置部為反射所述光的反射部， 所述標(biāo)識(shí)為不反射所述光的非反射部。
10. 如權(quán)利要求l或2所述的搬送單元的示教方法，其特征在于 所述載置部是為了將所述搬送容器從所述基板處理裝置的外部搬入而載置的裝載口、從所述搬送容器內(nèi)取出所述基板時(shí)載置搬送容器 的轉(zhuǎn)移臺(tái)、或者為了保管所述搬送容器而載置的保管部。
11. 一種存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)有用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行搬送單元的示教 方法的計(jì)算機(jī)程序，其特征在于搬送單元的示教方法，是在基板處理裝置中使用的搬送單元的示 教方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的搬送容器的載置 部；搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與 所述載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的 驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐 標(biāo)位置；和控制搬送單元的搬送控制部，所述搬送單元的示教方法包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部下降的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下降開始位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置 進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取 與所述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上 的坐標(biāo)位置。
12. —種存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)有用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行搬送單元的示教 方法的計(jì)算機(jī)程序，其特征在于搬送單元的示教方法是在基板處理裝置中使用的搬送單元的示教 方法，所述基板處理裝置包括載置收納有基板的搬送容器的載置部； 搬送單元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與所述 載置部交接搬送容器；坐標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng) 部連接的編碼器的輸出，監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位 置；和控制搬送單元的搬送控制部，所述搬送單元的示教方法包括將設(shè)置有朝上的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，所述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù) 先決定的下方位置的工序-,然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行 比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得所述保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降 的開始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位 置。
13. —種基板處理裝置，其特征在于，包括載置收納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所 述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與所述載置部交接搬送容器；坐 標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出， 監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位置；和包括控制搬送單元 的搬送控制部的控制器，所述基板處理裝置通過控制器示教搬送單元，利用控制器的示教方法包括將設(shè)置有朝下的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持 部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，使所述搬送單元的保持部移動(dòng)到作為預(yù)先決定的使保持部 下降的開始位置的下降開始位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下降開始位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置 進(jìn)行比較，獲取下降開始位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下降開始位置進(jìn)行補(bǔ)正，獲取 與所述保持部的補(bǔ)正后的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上 的坐標(biāo)位置。
14. 一種基板處理裝置，其特征在于，包括-載置收納有基板的搬送容器的載置部；搬送單元，其具有保持所 述搬送容器的保持部和驅(qū)動(dòng)部，用于與所述載置部交接搬送容器；坐 標(biāo)位置監(jiān)視部，其基于與該搬送單元的驅(qū)動(dòng)部連接的編碼器的輸出， 監(jiān)視驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的所述保持部的坐標(biāo)位置；和包括控制搬送單元 的搬送控制部的控制器，通過控制器示教搬送單元，利用控制器的示教方法包括-將設(shè)置有朝上的拍攝單元的搬送夾具保持在所述搬送單元的保持部的預(yù)先設(shè)定的位置的工序；接著，所述搬送單元使搬送單元的保持部移動(dòng)到載置部下方的預(yù) 先決定的下方位置的工序；然后，通過所述拍攝單元對(duì)設(shè)置在所述載置部的用于檢測(cè)錯(cuò)位的 標(biāo)識(shí)進(jìn)行拍攝，對(duì)此時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置時(shí)的所述視野中的所述標(biāo)識(shí)的位置進(jìn)行 比較，獲取下方位置的補(bǔ)正量并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的工序，利用所述補(bǔ)正量對(duì)所述預(yù)先決定的下方位置進(jìn)行補(bǔ)正，求得所述 保持部的補(bǔ)正后的下方位置，從該下方位置獲取與作為使保持部下降 的開始位置的下降開始位置相對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)坐標(biāo)上的坐標(biāo)位 置。
全文摘要
本發(fā)明提供搬送單元的示教方法、存儲(chǔ)介質(zhì)和基板處理裝置，將保持多枚晶片的載體由搬送臂載置到基板處理裝置內(nèi)的載置臺(tái)時(shí)，正確且簡(jiǎn)易地進(jìn)行相對(duì)于載置臺(tái)的載體的定位。在搬送載體前，在形成開口部的載置臺(tái)上，將與載體相同形狀且具備在載置臺(tái)上方理想位置正確定位時(shí)拍攝區(qū)域中心位置與該開口部中央相對(duì)的照相機(jī)的載體夾具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部將搬送臂移動(dòng)到預(yù)定的下降開始位置，由照相機(jī)拍攝包含開口部的區(qū)域。計(jì)算在預(yù)定的下降開始位置和下降開始位置的理想位置之間，開口部的中心位置和照相機(jī)的拍攝區(qū)域的中心位置在水平方朝上的偏移量，將該偏移量作為補(bǔ)正量對(duì)保持部的下降開始位置進(jìn)行修正并將載體載置到載置臺(tái)上。
文檔編號(hào)H01L21/68GK101521172SQ20091011860
公開日2009年9月2日 申請(qǐng)日期2009年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日
發(fā)明者中村晴興, 榎本雅幸, 淺川貴志 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社