專利名稱：基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種輸送基板的裝置。
背景技術(shù)：
在以液晶顯示器、等離子顯示器為代表的FPD (平板顯示器)的生產(chǎn)線中，有必要 在收容基板的盒和處理裝置之間或者在處理裝置之間輸送基板。作為輸送基板的裝置，在日本特開2005-64432號公報中，公開了具備載置從盒輸 出的基板的載置臺和將從載置臺輸出的基板向處理裝置輸送的基板輸送裝置的裝置。但 是，此裝置在基板輸送裝置輸送基板的過程中不能從載置臺向基板輸送裝置輸出基板，基 板的輸送效率降低。在日本特開2004-292094號公報中，公開了具備輥式輸送器和將輥式輸送器上的 基板向盒輸入或從盒向輥式輸送器上輸出基板的轉(zhuǎn)移裝置的裝置。此裝置即使在輥式輸送 器輸送基板的過程中也能夠由轉(zhuǎn)移裝置將基板從盒向輥式輸送器上輸出。但 是，因為轉(zhuǎn)移 裝置的一部分位于輥式輸送器的側(cè)方，所以，為了確保轉(zhuǎn)移裝置的設(shè)置空間，裝置整體大型 化。在日本特開2004-284772號公報的圖11以及圖12中，公開了將輸送方向正交的 兩組輥式輸送器上下重疊地配置并使其一方升降的裝置。此裝置也是即使在一方的輥式輸 送器輸送基板的過程中也能夠?qū)⒒鍙暮邢蛟撘环降妮伿捷斔推魃陷敵?，并將之通過另一 方的輥式輸送器的升降由該另一方的輥式輸送器輸送。另外，通過將輸送方向正交的兩組 輥式輸送器上下重疊地配置，還能夠謀求裝置整體的小型化。但是，輥式輸送器具備了輥的 驅(qū)動機構(gòu)，其輕量化不容易。因此，輥式輸送器的升降花費時間，存在基板的輸送效率降低 的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能夠謀求裝置整體的小型化，同時提高基板的輸送效率 的基板輸送裝置。根據(jù)本發(fā)明，提供下述的基板輸送裝置，所述基板輸送裝置具備對基板從其下側(cè) 進行支承并在第一輸送方向水平地進行輸送的第一輸送組件；和對上述第一輸送組件上的 上述基板從其下側(cè)進行支承并在與上述第一輸送方向正交的第二輸送方向水平地進行輸 送的第二輸送組件，上述第一輸送組件由相互在上述第一輸送方向分離的多列第一輸送單 元構(gòu)成，上述第二輸送組件由相互在上述第一輸送方向分離的多個第二輸送單元構(gòu)成，各 個上述第二輸送單元具備支承單元，上述支承單元配置在上述第一輸送單元間的空隙內(nèi)， 對上述基板從其下側(cè)進行支承；升降單元，上述升降單元配置在上述支承單元的下方，且與 上述支承單元連結(jié)地設(shè)置，在上述支承單元將上述第一輸送單元上的上述基板從上述第一 輸送單元提升的上升位置和上述支承單元不與上述第一輸送單元上的上述基板干涉的降 下位置之間使上述支承單元升降；驅(qū)動單元，上述驅(qū)動單元與上述第一輸送單元相比配置在下方，使上述支承單元以及上述升降單元在上述第二輸送方向移動。在本發(fā)明中，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因為上述第二輸送組件配置在上述第一輸送組件的 下方，所以，能夠謀求裝置整體的小型化。另外，通過上述升降單元進行的上述支承單元的 升降，使上述基板升降。由于上述支承單元只要具有從下側(cè)支承上述基板的功能即足夠，不 需要用于移動上述基板的驅(qū)動機構(gòu)，所以，能夠謀求其輕量化。因此，能夠謀求上述基板的 升降的高速化，提高基板的輸送效率。


圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的一個實施方式的基板輸送裝置A的布局的俯視圖。圖2是沿圖1的線I-I的正交輸送裝置1的構(gòu)造說明圖。圖3是沿圖1的線II-II的正交輸送裝置1的構(gòu)造說明圖。圖4是第二輸送單元21的立體圖。圖5是基板保持單元34的動作說明圖。圖6是收納盒70的立體圖。圖7是從收納盒70輸出玻璃基板W的情況的動作說明圖。圖8是基板輸送裝置A的控制裝置200的框圖。圖9是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖10是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖11是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖12是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖13是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖14是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖15是基板輸送裝置A的動作說明圖。圖16是基板輸送裝置A的動作說明圖。
具體實施例方式為了實施發(fā)明的優(yōu)選方式<整體構(gòu)成>圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的一個實施方式的基板輸送裝置A的布局的俯視圖，圖2 是沿圖1的線I-I的正交輸送裝置1的構(gòu)造說明圖，圖3是沿圖1的線II-II的正交輸送 裝置1的構(gòu)造說明圖。在各圖中，箭頭X、Y表示相互正交的水平方向。在特別指出Χ、Υ方 向的正反方向的情況下，稱箭頭的方向為+X、+Y，稱相反的方向為-X、-Y。箭頭Z表示上下 方向(鉛直方向)。在區(qū)別上下地指出的情況下，稱上方向為+Ζ，稱下方向為-Ζ?；遢斔脱b置A具備正交輸送裝置1、輸送器裝置2以及3、輸送裝置4、多個輸送 器裝置5以及多個升降裝置80。基板輸送裝置A從收納方形薄板狀的玻璃基板W的收納盒 70向未圖示的處理裝置輸送玻璃基板W，另外，從該處理裝置向收納盒70輸送玻璃基板W。 處理裝置進行玻璃基板W的清洗、干燥、其它的處理。
<正交輸送裝置1>正交輸送裝置1具備在X方向水平地輸送玻璃基板W的第一輸送裝置10 ；在Y方向水平地輸送第一輸送裝置10上的玻璃基板W的第二輸送裝置20 ；支承第一輸送裝置10 以及第二輸送裝置20的架臺500。架臺500由架臺主體部501和支承架臺主體部501的腳 部502構(gòu)成。〈第一輸送裝置10> 第一輸送裝置10由相互在X方向分離的多列第一輸送單元11構(gòu)成。在本實施方 式的情況下，第一輸送單元11設(shè)置了四列。第一輸送單元11由在Y方向排列的多個輥式輸送器單元60構(gòu)成。如圖1至圖3 所示，各輥式輸送器單元60具備載置玻璃基板W的多個輥61 ；內(nèi)置了輥61的驅(qū)動裝置的 驅(qū)動箱62 ；檢測玻璃基板W的到來的光傳感器等傳感器63 (參照圖3)。輥61是繞Y方向 的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動自由地設(shè)置的從動輥，是對玻璃基板W從其下側(cè)進行支承而向+X方向以及-X 方向兩方向輸送的輥。各輥式輸送器單元60分別能夠獨立地驅(qū)動，另外，由腳部601直立 支承在上述的架臺500的架臺主體部501上。雖然在本實施方式中，由輥式輸送器單元60構(gòu)成了第一輸送單元11，但是，也可 以是對玻璃基板W從其下側(cè)進行支承而進行輸送的其它的輸送單元，例如，皮帶輸送器等。<第二輸送裝置20>如圖2所示，第二輸送裝置20由被同步地控制并相互在X方向分離的多個第二輸 送單元21構(gòu)成，設(shè)置在架臺主體部501上。在本實施方式的情況下，第二輸送單元21設(shè)置 了三個。以下，參照圖2至圖4，詳述各第二輸送單元21的結(jié)構(gòu)。圖4是第二輸送單元21 的立體圖。第二輸送單元21具備支承單元30、升降單元40和驅(qū)動單元50。<支承單元30>支承單元30在Y方向延伸，其Y方向的長度比玻璃基板W的Y方向的寬度稍長。 因此，能夠由各第二輸送單元21的支承單元30穩(wěn)定地支承玻璃基板W。支承單元30具備在Y方向延伸的支承部件31。在本實施方式的情況下，支承部件 31是空心的角形鋼管。在支承部件31上，具備在Y方向分離地設(shè)置多個并經(jīng)托架33支承 在支承部件31上的輥32。輥32旋轉(zhuǎn)自由地安裝在托架33上，能夠繞X方向的軸旋轉(zhuǎn)。在 由第二輸送單元21輸送玻璃基板W的情況下，玻璃基板W被載置在輥32上，輥32與玻璃 基板W的下面抵接，對玻璃基板W從其下側(cè)進行支承。在本實施方式中，作為例子，列舉了 在支承部件31上經(jīng)托架33設(shè)置了輥32的情況來進行了說明，但是并不限定于此。例如， 也可以在支承部件31上設(shè)置在前端具有轉(zhuǎn)動自由的軸承的銷部件。支承單元30具備在Y方向分離地配置的一對基板保持單元34。在本實施方式的 情況下，基板保持單元34以夾著各輥32的方式分別配置在支承部件31的Y方向的兩端部。 基板保持單元34具備與玻璃基板W的端緣抵接的抵接部件35、在Y方向往復(fù)移動抵接部件 35的移動單元36、和覆蓋移動單元36的罩部件37。移動單元36在本實施方式的情況下為氣缸，具備主體部36a和可動部36b。通過 對主體部36a進行空氣的供給以及切換，可動部36b在Y方向往復(fù)移動。抵接部件35在本實施方式的情況下是可繞Z方向的軸旋轉(zhuǎn)地被支承在可動部36b 的輥，玻璃基板W的端緣能夠與其周面抵接。罩部件37是防止因移動單元36的動作而產(chǎn) 生的灰塵的部件，為了避免與抵接部件35的連結(jié)軸以及可動部36b的干涉，在其上面設(shè)置 了狹縫371。
圖5是基板保持單元34的動作說明圖。圖5的上側(cè)的狀態(tài)表示在輥32上載置玻 璃基板W，基板保持單元34的抵接部件35處于退避位置的情況。從此狀態(tài)通過各移動單 元36的動作使各抵接部件35向相互接近的方向移動而位于抵接位置，由此，如圖5的下側(cè) 的狀態(tài)所示，各抵接部件35與玻璃基板W的Y方向的各端緣抵接，保持玻璃基板W。另外， 通過由基板保持單元34保持玻璃基板W，還能夠進行玻璃基板W的Y方向的定位。在由第 二輸送裝置20輸送玻璃基板W的期間，由基板保持單元34對玻璃基板W進行定位并保持。 進而，雖然也可以使設(shè)置成多列的第二輸送單元21中的一對基板保持單元34整列同時驅(qū) 動(向接近方向移動)，但還可以與玻璃基板W的大小相應(yīng)地適當(dāng)選擇驅(qū)動的列。在由基板保持單元34保持玻璃基板W時，雖然存在玻璃基板W在Y方向略微移動 的情況，但是，由于輥32能夠繞X方向的軸旋轉(zhuǎn)，所以，通過玻璃基板W的移動，防止玻璃基 板W和輥32摩擦，能夠防止損傷玻璃基板W。
接著，如圖2所示，支承單元30配置在第一輸送單元11間的空隙內(nèi)。在本實施方 式的情況下，第一輸送單元11如上所述設(shè)置了四列，第一輸送單元11間的空隙有三個部 位。在本實施方式中，在所有的空隙內(nèi)都配置了支承單元30，因此，設(shè)置了三個第二輸送單 元21。但是，沒有必要設(shè)置與所有的空隙對應(yīng)的數(shù)量的第二輸送單元21，例如，在本實施方 式的情況下，也可以與X方向的兩側(cè)的兩個部位的空隙對應(yīng)地設(shè)置兩個第二輸送單元21?！瓷祮卧?0>升降單元40在本實施方式的情況下為氣缸，如圖4所示，具備主體部42和可動部 41。通過對主體部42進行空氣的供給以及切換，可動部41在Z方向往復(fù)移動。升降單元 40配置在支承單元30的下方，可動部41與支承單元30的支承部件31的下面連結(jié)。圖2表示由升降單元40進行的支承單元30的升降動作。圖2的上側(cè)的狀態(tài)表示 支承單元30以載置在第一輸送單元11的輥61上的玻璃基板W和支承單元30不干涉的方 式處于降下位置的情況。若從此狀態(tài)通過升降單元40的動作使支承單元30上升，則載置 在第一輸送單元11的輥61上的玻璃基板W被載置在支承單元30的輥32上，支承單元30 位于將玻璃基板W從第一輸送單元11提升的上升位置(圖2的下側(cè)的狀態(tài))。此后，通過由上述的基板保持單元34保持玻璃基板W，替代第一輸送單元11，成為 能夠由第二輸送單元21輸送玻璃基板W的狀態(tài)。<驅(qū)動單元50>如圖2以及圖3所示，驅(qū)動單元50與第一輸送單元11相比配置在下方，使支承單 元30以及升降單元40在Y方向移動。通過在第一輸送單元11的下方的空間內(nèi)配置驅(qū)動 單元50，能夠謀求正交輸送裝置1整體的小型化。驅(qū)動單元50具備支承板51、滑動部件52、軌道部件53。升降單元40被搭載于支 承板51上，由此，升降單元40和支承單元30被搭載在驅(qū)動單元50上。另外，在支承板51 上還可以搭載對空氣向升降單元40的供給進行切換的控制閥。根據(jù)此結(jié)構(gòu)，由于接近升降 單元40地配置控制閥，所以，能夠使升降單元40的升降動作成為更可靠的動作。滑動部件52被固定安裝在支承板51的下面上，在Y方向以規(guī)定間隔設(shè)置多個。各 滑動部件52被設(shè)置成在軌道部件53上滑動移動自由，支承板51以及滑動部件52構(gòu)成了 在軌道部件53上滑動移動的滑塊。軌道部件53在Y方向延伸設(shè)置，如圖3所示，遍及從第 一輸送單元11的Y方向的一方端部到另一方端部的大致整個區(qū)域地延伸設(shè)置。在滑動部件(線性導(dǎo)塊)52的與軌道部件53相向的面上內(nèi)置軸承(或者滾子)。這些軸承一面在線 性導(dǎo)塊的內(nèi)部循環(huán)，一面在軌道部件53的槽內(nèi)(接觸面)轉(zhuǎn)動(或者這些滾子在線性導(dǎo)塊 的內(nèi)部，一面與軌道部件53的接觸面接觸，一面轉(zhuǎn)動)。因此，滑動部件52能夠幾乎沒有受 到摩擦阻力地在軌道部件53上滑動移動。在軌道部件53的Y方向的兩端部分別設(shè)置了端部部件53a，在各端部部件53a上 固定了軸承54a。在X方向延伸的軸54由軸承54a可轉(zhuǎn)動地支承，在軌道部件53的Y方向 的兩端部分別各設(shè)置一個。在本實施方式的情況下，軸54對所有的第二輸送單元21都是 通用的，設(shè)置在各個端部的軸54連結(jié)成一根。在各軸54的周圍的軌道部件53的附近設(shè)置了皮帶輪55，對每個軌道部件53配置 一對皮帶輪55。將皮帶56卷繞于在Y方向分離的此一對皮帶輪55上，皮帶56的兩端部分 別被固定在支承板51的前后(參照圖4)。在兩個軸54的一方設(shè)置了驅(qū)動源58。驅(qū)動源58具備馬達58a和減速機58b，對 軸54進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。然后，通過由驅(qū)動源58的驅(qū)動進行的一方的軸54的旋轉(zhuǎn)，固定在該 一方的軸54上的皮帶輪54旋轉(zhuǎn)，皮帶56行走。此結(jié)果，支承板51以及滑動部件52在軌 道部件53上滑動移動，使支承單元30以及升降單元40在Y方向移動，且能夠停止在任意 的位置。支承單元30以及升降單元40的重量由軌道部件53負擔(dān)。因此，使皮帶輪55旋 轉(zhuǎn)，使皮帶56行走的驅(qū)動源58，只要能夠產(chǎn)生向Y方向的移動力就足夠，是更少的輸出的驅(qū) 動源就足夠。至于由驅(qū)動源58的驅(qū)動進行的支承單元30以及升降單元40的Y方向的移動位 置，例如能夠由反饋控制進行控制。在此情況下，與檢測馬達58a的轉(zhuǎn)速的傳感器、檢測軌 道部件53上的滑動部件52的位置的傳感器等的檢測結(jié)果相應(yīng)地控制馬達58a。另外，在本實施方式中，雖然作為驅(qū)動源58采用了皮帶傳動機構(gòu)，但也可以采用 其它的機構(gòu)。例如，可以采用滾珠絲杠機構(gòu)、使用了線性馬達的機構(gòu)。另外，在本實施方式中，對各第二輸送單元21共用了驅(qū)動源58。但是，也可以對每 個第二輸送單元21設(shè)置驅(qū)動源58，同步地進行控制。但是，通過共用驅(qū)動源58，能夠謀求 成本的降低、控制的簡便化、結(jié)構(gòu)的簡單化。 驅(qū)動單元50具備一對罩部件57。如圖2所示，一對罩部件57構(gòu)成分別配置在軌道 部件53的+X側(cè)、-X側(cè)的C字型，形成了空心的空間S1、S2。在空間SI內(nèi)，收納皮帶輪55、 皮帶56，在空間S2配置未圖示的配線、配管。而且，由這些罩部件57包圍軌道部件53、支承 板51、滑動部件52、皮帶輪55、皮帶56，防止因驅(qū)動單元50的驅(qū)動而產(chǎn)生灰塵。在罩部件 57上設(shè)置了多個吸引其內(nèi)部的空間S1、S2內(nèi)的空氣并向外部排氣的吸引排氣組件57a(圖 3)。由此，能夠更可靠地防止產(chǎn)生灰塵。<輸送器裝置2以及3>參照圖1，輸送器裝置2以及3在本實施方式的情況下均由多個輥式輸送器單元60構(gòu)成。輸送器裝置2配置在第一輸送裝置10的+X方向的側(cè)方，從輸送裝置4向正交輸 送裝置1輸送玻璃基板W。輸送器裝置3配置在第一輸送裝置10的+X側(cè)，從正交輸送裝置 1向輸送裝置4輸送玻璃基板W。<輸送裝置4>
輸送裝置4將從輸送器裝置3輸送來的玻璃基板W向未圖示的處理裝置輸送，將 從處理裝置輸送來的玻璃基板W向輸送器裝置2輸送。輸送裝置4的結(jié)構(gòu)例如可以是與正 交輸送裝置1同樣的結(jié)構(gòu)，也可以是能夠在Y方向移動的多關(guān)節(jié)型的機器人等。< 收納盒 70>圖6是收納盒70的立體圖。收納盒70設(shè)置在輸送器裝置5的上方，是能夠以水 平姿勢在ζ方向呈多段地收納玻璃基板W的盒。另外，圖6表示未收納玻璃基板W的狀態(tài)。 在本實施方式的情況下，收納盒70由多個柱部件71、梁部件72構(gòu)成了大致長方體形狀的 框架體。梁部件72的配設(shè)間隔被設(shè)定成輸送器裝置5能夠從收納盒70的下方進入收納盒 70內(nèi)，梁部件72形成了輸送器裝置5能夠從下方進入的開口部。柱部件71在X方向配設(shè)多個，同時，在Y方向分離地并列設(shè)置相同數(shù)量。在Y方 向分離的一對柱部件71之間，在Z方向排列，且以規(guī)定的間距鋪設(shè)了線材73。各線材73的 上下之間的空間，形成收納玻璃基板W的縫隙，玻璃基板W以水平姿勢被一張一張地載置在 線材73上。而且，與在Z方向排列的線材73的數(shù)量相應(yīng)地形成縫隙。在本實施方式中，雖然由線材形成了縫隙，但是，當(dāng)然也可以采用其它的方式。但 是，通過使用線材，能夠縮小被收納的基板間的間隔，能夠提高收納盒70的收納效率。<輸送器裝置5>輸送器裝置5在本實施方式的情況下由多個輥式輸送器單元60構(gòu)成。輸送器裝 置5對每個收納盒70都設(shè)置，位于收納盒70的下方。另外，輸送器裝置5如圖1所示配置 在第一輸送裝置10的-X方向的側(cè)方，在與正交輸送裝置1之間進行玻璃基板W的輸送，這 里是進行玻璃基板W向收納盒70的輸入以及玻璃基板W從收納盒70的輸出。<升降裝置>通過由一對升降裝置80在Z方向升降收納盒70，使收納盒70和輸送器裝置5在 Z方向相對地移動。也可以替代它，做成在Z方向升降輸送器裝置5的結(jié)構(gòu)。另外，在做成 了升降輸送器裝置5的結(jié)構(gòu)的情況下，第一輸送裝置10也成為升降的結(jié)構(gòu)。在本實施方式的情況下，各升降裝置80以夾著收納盒70的方式分別被配設(shè)在收 納盒70的相互相向的Y方向的兩側(cè)部，分別懸臂支承收納盒70。根據(jù)此結(jié)構(gòu)，能夠使升降 裝置80進一步薄型化。升降裝置80具備載置收納盒70的底部的梁部件72的橫梁部件81。通過各升降 裝置80的各橫梁部件81同步地在Z方向移動，收納盒70升降。升降裝置80具備驅(qū)動裝 置(未圖示)，通過由該驅(qū)動裝置升降橫梁部件81來升降收納盒70。在各升降裝置80間， 在其支柱的上端架設(shè)了梁部件80a。圖7是表示從收納盒70輸出玻璃基板W的情況下的由升降裝置80進行的收納盒 70的升降動作的圖。另外，在該圖中，省略了升降裝置80的圖示。在從收納盒70輸出的情 況下，從收納了玻璃基板W的縫隙中的被收納在最下方的縫隙的玻璃基板W開始依次進行。首先，如圖7的左上圖所示，從收納盒70位于輸送器裝置5的上方的狀態(tài)，由升降裝置80 (在圖7中未圖示)使收納盒70降下，如圖7的右上圖所示，將輸送對象的玻璃基 板W載置在輸送器裝置5上。此時，輸送器裝置5從下方進入收納盒70內(nèi)，輸送對象的玻璃 基板W成為從收納盒70的線材73浮起的狀態(tài)，并成為僅由輸送器裝置5支承的狀態(tài)。接 著，驅(qū)動輸送器裝置5，如圖7的左下圖所示，將輸送對象的玻璃基板W從收納盒70輸出。以下，同樣地反復(fù)進行收納盒70的降下和輸送器裝置5的驅(qū)動(圖7的右下圖)，從下方側(cè) 依次輸出玻璃基板W。在將玻璃基板W向收納盒70輸入的情況下，成為與上述的輸出時的動作大致相反 的動作。玻璃基板W的輸入從沒有收納玻璃基板W的縫隙中的最上方的縫隙開始依次進行。
<控制裝置>圖8是表示基板輸送裝置A的控制裝置200的結(jié)構(gòu)的框圖?？刂蒲b置(控制組 件)200具備負責(zé)基板輸送裝置A的整體的控制的CPU201 ；在提供CPU201的工作區(qū)域的同 時存儲可變數(shù)據(jù)等的RAM202 ；存儲控制程序、控制數(shù)據(jù)等固定性的數(shù)據(jù)的R0M203。RAM202、 R0M203也可以采用其它的存儲組件。輸入接口(I/F)204是CPU201和各種傳感器(例如，傳感器63等)的接口，CPU201 經(jīng)輸入I/F204取得各種傳感器的檢測結(jié)果。輸出接口(I/F)205是CPU201和各種馬達(例 如，馬達58a、驅(qū)動箱62內(nèi)的馬達等)以及控制閥(基板保持單元34以及升降單元40用的 部件等)的接口，CPU201經(jīng)輸出I/F205控制各種馬達、控制閥。通信接口(I/F) 206是控制包括基板輸送裝置A在內(nèi)的基板處理設(shè)備整體的主計 算機300和CPU201的接口，CPU201與來自主計算機300的指令相應(yīng)地控制基板輸送裝置 A0<由基板輸送裝置A進行的玻璃基板的輸送例>參照圖9至圖16，說明由基板輸送裝置A進行的玻璃基板W的輸送例。在本實施 方式中，如圖9所示，對將收納了玻璃基板W的收納盒70配置在+Y側(cè)，將空的收納盒70配 置在-Y側(cè)，從位于+Y側(cè)的收納盒70向處理裝置輸送未處理的玻璃基板W，從處理裝置向位 于-Y側(cè)的收納盒70輸送處理完的玻璃基板W的情況進行說明。首先，參照圖10至圖12， 說明從位于+Y側(cè)的收納盒70向處理裝置輸送未處理的玻璃基板W的情況。如圖10所示，通過輸送器裝置5以及升降裝置80工作，將玻璃基板W—張一張地 從+Y側(cè)的收納盒70向+X方向輸送。同時，在正交輸送裝置1中，通過第一輸送裝置10的 第一輸送單元10工作，將從收納盒70輸送來的玻璃基板W向+X側(cè)輸送，使玻璃基板W位 于正交輸送裝置1的X方向的大致中央。此時，支承單元30位于降下位置，且位于輸送來 的玻璃基板W的正下方。基板保持單元34的抵接部件35位于退避位置。支承單元30是否已位于玻璃基板W的正下方，基本上是以支承單元30位于了預(yù) 定的位置的情況看做是位于了玻璃基板W的正下方。但是，也可以在支承單元30上設(shè)置檢 測玻璃基板W的傳感器來檢測玻璃基板W，控制支承單元30的位置。接著，由升降單元40將支承單元30向上升位置移動，由此，替代第一輸送裝置10， 由支承單元30支承玻璃基板W。接著，通過基板保持單元34工作，將抵接部件35向抵接位 置移動，保持玻璃基板W。接著，如圖11所示，通過驅(qū)動單元50工作，向-Y方向移動支承單元30，將玻璃基 板W—直移動到輸送器裝置3的-X側(cè)的位置。通過玻璃基板W的移動，正交輸送裝置1的 +Y側(cè)的收納盒70的側(cè)方的區(qū)域空出。因此，從+Y側(cè)的收納盒70開始第二張玻璃基板W的 輸出。接著，使基板保持單元34的抵接部件35位于退避位置，將支承單元30向降下位 置移動。由此，第一張玻璃基板W再次被載置在第一輸送裝置10上。接著，如圖12所示，由第一輸送裝置10以及輸送器裝置3向+X方向輸送第一張玻璃基板W，將第一張玻璃基板 W交給輸送裝置4。輸送裝置4將第一張玻璃基板W向處理裝置輸送。同時，通過驅(qū)動單元50工作，向+Y方向移動支承單元30，使之位于第二張玻璃基 板W的正下方。此時，由于即使是在第一輸送裝置10從收納盒70輸出第二張玻璃基板W 的途中，也能夠使支承單元30位于成為被輸送來的玻璃基板W的正下方的位置(圖9的位 置)，使之待機，所以，能夠提高輸送效率。以后，通過反復(fù)進行同樣的順序，能夠依次連續(xù)地 從位于+Y側(cè)的收納盒70向處理裝置輸送未處理的玻璃基板W。由于能夠并行地進行正交 輸送裝置1中的玻璃基板W的X方向以及Y方向的輸送，所以，能夠提高玻璃基板W的輸送 效率。接著，參照圖13至圖16，說明從處理裝置向位于-Y側(cè)的收納盒70輸送處理完的 玻璃基板W的情況。如圖13所示，處理完的玻璃基板W由輸送裝置4從處理裝置向輸送器裝置2輸送， 輸送器裝置2向正交輸送裝置1上輸送玻璃基板W。同時，在正交輸送裝置1中，通過第一 輸送裝置10的第一輸送單元10工作，將從輸送器裝置2輸送來的玻璃基板W向-X側(cè)輸送， 使玻璃基板W位于正交輸送裝置1的X方向的大致中央(圖14)。此時，支承單元30位于 降下位置，且位于輸送來的玻璃基板W的正下方?；灞３謫卧?4的抵接部件35位于退 避位置。接著，由升降單元40將支承單元30向上升位置移動，由此，替代第一輸送裝置10， 由支承單元30支承玻璃基板W。接著，通過基板保持單元34工作，向抵接位置移動抵接部 件35，保持玻璃基板W。接著，如圖15所示，通過驅(qū)動單元50工作，向-Y方向移動支承單元30，將玻璃基 板W —直移動到-Y側(cè)的收納盒70的+X側(cè)的位置。通過玻璃基板W的移動，正交輸送裝置 1的在輸送器裝置2的側(cè)方的區(qū)域空出。因此，開始由輸送裝置4以及輸送器裝置2進行的 第二張玻璃基板W的輸送。接著，使基板保持單元34的抵接部件35位于退避位置，將支承單元30向降下位 置移動。由此，第一張玻璃基板W再次被載置在第一輸送裝置10上。接著，如圖16所示， 通過第一輸送裝置10、輸送器裝置5以及升降裝置80工作，向-Y側(cè)的收納盒70輸入第一 張玻璃基板W。同時，通過驅(qū)動單元50工作，向+Y方向移動支承單元30，使之位于第二張玻璃基 板W的正下方。此時，由于即使是在輸送器裝置2將第二張玻璃基板W向第一輸送裝置10 上輸出的途中，也能夠使支承單元30位于成為被輸送來的玻璃基板W的正下方的位置(圖 13的位置)，使之待機，所以，能夠提高輸送效率。以后，通過反復(fù)進行同樣的順序，能夠依 次連續(xù)地從處理裝置向位于-Y側(cè)的收納盒70輸送處理完的玻璃基板W。由于能夠并行地 進行正交輸送裝置1中的玻璃基板W的X方向以及Y方向的輸送，所以，能夠提高玻璃基板 W的輸送效率。 這樣，在本實施方式中，由于能夠并行地進行正交輸送裝置1中的玻璃基板W的X 方向以及Y方向的輸送，所以，能夠提高玻璃基板W的輸送效率。特別是，因為玻璃基板W 越是大型，在向收納盒70輸入以及從收納盒70輸出時，越需要時間，所以，像本實施方式的 這樣，通過并行地進行玻璃基板W的X方向以及Y方向的輸送，能夠謀求生產(chǎn)間隔時間的縮短。而且，因為第二輸送裝置20配置在第一輸送裝置10的下方，所以，能夠謀求裝置 整體的小型化。另外，通過由升降單元40進行的支承單元30的升降來升降玻璃基板W。由 于支承單元30其本身不具有輸送玻璃基板W的驅(qū)動機構(gòu)，只要具有從下側(cè)支承玻璃基板W 的功能即足夠，所以，能夠謀求其輕量化。因此，能夠謀求玻璃基板W的升降的高速化，能夠 提高玻璃基板W的輸送效率。此外，因為能夠謀求支承單元30的輕量化，所以，能夠在 Y方向以更高速移動它， 能夠進一步提高玻璃基板W的輸送效率。另外，通過將支承單元30做成了移動的結(jié)構(gòu)，Y方 向上的玻璃基板W的輸送距離由驅(qū)動單元50的Y方向的全長規(guī)定，能夠做成更長的距離或 更短的距離，能夠提高裝置的布局自由度。另外，由于能夠在正交輸送裝置1的+X側(cè)、-X側(cè)分別配置輸送器裝置2、3以及5， 能夠在它們和正交輸送裝置1之間進行玻璃基板W的傳遞，所以，能夠提高裝置的布局自由 度。另外，第二輸送單元21能夠在第一輸送單元11的Y方向上的任意的位置停止。進而， 由能夠獨立驅(qū)動的多個輥式輸送器單元60構(gòu)成了第一輸送單元11。由此，在將輸送器裝置 5等配置、連接在正交輸送裝置1的X方向側(cè)方時，能夠增加Y方向上的連接位置的選擇方 式。由此，能夠進一步提高裝置的布局自由度。另外，在本實施方式中，雖然在Y方向以大致等間距配設(shè)了第一輸送單元11的各 輥式輸送器單元60，但是并不限定于此。輥式輸送器單元60只要至少位于被配置在正交輸 送裝置1的側(cè)方的輸送器裝置2、3以及5的側(cè)方即足夠。
權(quán)利要求
一種基板輸送裝置，其特征在于，具備對基板從其下側(cè)進行支承并在第一輸送方向水平地進行輸送的第一輸送組件；和對上述第一輸送組件上的上述基板從其下側(cè)進行支承并在與上述第一輸送方向正交的第二輸送方向水平地進行輸送的第二輸送組件，上述第一輸送組件由相互在上述第一輸送方向分離的多列第一輸送單元構(gòu)成，上述第二輸送組件由相互在上述第一輸送方向分離的多個第二輸送單元構(gòu)成，各個上述第二輸送單元具備支承單元，上述支承單元配置在上述第一輸送單元間的空隙內(nèi)，對上述基板從其下側(cè)進行支承；升降單元，上述升降單元配置在上述支承單元的下方，且與上述支承單元連結(jié)地設(shè)置，在上述支承單元將上述第一輸送單元上的上述基板從上述第一輸送單元提升的上升位置和上述支承單元不與上述第一輸送單元上的上述基板干涉的降下位置之間使上述支承單元升降；驅(qū)動單元，上述驅(qū)動單元與上述第一輸送單元相比配置在下方，使上述支承單元以及上述升降單元在上述第二輸送方向移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述第一輸送單元具備能夠獨 立驅(qū)動的多個輥式輸送器單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其特征在于，還具備設(shè)置在上述支承單元上，在上述第二輸送方向分離地配置的一對基板保持單元，上述基板保持單元具備與上述基板的端緣抵接的抵接部件；在上述第二輸送方向往復(fù)移動上述抵接部件的移動單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板輸送裝置，其特征在于， 上述支承單元具備在上述第二輸送方向延伸的支承部件；在上述第二輸送方向分離地設(shè)置多個，與上述基板的下面抵接，能夠繞與和上述第二 輸送方向正交的方向平行的軸旋轉(zhuǎn)自由地經(jīng)托架支承在上述支承部件上的輥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于， 上述驅(qū)動單元具備在上述第二輸送方向延伸的軌道部件；在沿上述軌道部件滑動移動自由地設(shè)置的同時搭載上述升降單元的滑塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板輸送裝置，其特征在于， 上述驅(qū)動單元具備在上述第二輸送方向分離的一對皮帶輪； 在卷繞在上述一對皮帶輪上的同時與上述滑塊連結(jié)的皮帶； 在上述第一輸送方向延伸，分別旋轉(zhuǎn)驅(qū)動上述一對皮帶輪的一對軸； 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動上述一對軸中的一方的軸的驅(qū)動源，各個上述驅(qū)動單元中的上述一對軸中的一方的軸以及另一方的軸分別全部連結(jié)地設(shè)置，并在其一方的軸上連結(jié)設(shè)置一個上述驅(qū)動源。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于，還具備包圍上述軌道部件、上述 滑塊、上述一對皮帶輪和上述皮帶的罩部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，還具備第三輸送組件，上述第三 輸送組件配置在上述第一輸送組件的上述第一輸送方向的側(cè)方，通過對上述基板從其下側(cè) 進行支承并在上述第一輸送方向水平地進行輸送，在與上述第一輸送組件之間輸送上述基 板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板輸送裝置，其特征在于，還具備升降組件，上述升降組件 使配置在上述第三輸送組件的上方，在具有上述第三輸送組件能夠進入的開口部的同時， 使在上下方向具備多個以水平姿勢收納上述基板的縫隙的收納盒和上述第三輸送組件相 對升降。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，還具備第三輸送組件，上述第三輸送組件配置在上述第一輸送組件的上述第一輸送方向的一 方側(cè)方，通過對上述基板從其下側(cè)進行支承并在上述第一輸送方向水平地進行輸送，在與 上述第一輸送組件之間輸送上述基板；第四輸送組件，上述第四輸送組件配置在上述第一輸送組件的上述第一輸送方向的另 一方側(cè)方，通過對上述基板從其下側(cè)進行支承并在上述第一輸送方向水平地進行輸送，在 與上述第一輸送組件之間輸送上述基板。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，上述支承單元的上述第二輸送 方向的長度比上述基板的寬度長。
全文摘要
本發(fā)明的基板輸送裝置，具備在第一輸送方向水平地輸送的第一輸送組件；將上述第一輸送組件上的上述基板在與上述第一輸送方向正交的第二輸送方向水平地輸送的第二輸送組件。上述第一輸送組件由相互在上述第一輸送方向分離的多列第一輸送單元構(gòu)成，上述第二輸送組件由相互在上述第二輸送方向分離的多個第二輸送單元構(gòu)成。各個上述第二輸送單元具備配置在上述第一輸送單元間的空隙內(nèi)，對上述基板從其下側(cè)進行支承的支承單元；配置在上述支承單元的下方，升降上述支承單元的升降單元；與上述第一輸送單元相比配置在下方，使上述支承單元以及上述升降單元在上述第二輸送方向移動的驅(qū)動單元。
文檔編號H01L21/677GK101842302SQ20088011403
公開日2010年9月22日 申請日期2008年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月17日
發(fā)明者藤吉誠 申請人:平田機工株式會社