專利名稱：：壓接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及使電氣部件安裝到基板上的壓接裝置。
背景技術(shù)：
：歷來，在將半導(dǎo)體元件那樣的電氣部件連接到基板上的安裝工序中，使用以按壓頭一邊將電氣部件按壓在基板上，一邊進(jìn)行加熱的壓接裝置。圖14(a)的附圖標(biāo)記101表示現(xiàn)有技術(shù)的壓接裝置，壓接裝置101具有臺(tái)座126和按壓頭120。按壓頭120有在金屬框中嵌入了按壓橡膠的；利用粘接劑將按壓橡膠粘貼在金屬板上的；和將液狀的橡膠流入金屬框中，使橡膠在金屬框內(nèi)硬化的等。對(duì)在由金屬框構(gòu)成的頭本體121中嵌入了按壓橡膠122的進(jìn)行說明，按壓橡膠122的表面被做成為與頭本體121的表面在一個(gè)面上，或比頭本體121的表面向下方突出，當(dāng)將按壓頭120按壓到臺(tái)座126上的壓接對(duì)象物110上時(shí)，按壓橡膠122的表面接觸到壓接對(duì)象物110。壓接對(duì)象物110具有基板lll、和配置在基板111上的厚度相異的電氣部件116、118，通過電氣部件116、118的厚度差而在基板111上形成有臺(tái)階差。按壓橡膠122由當(dāng)施加壓力時(shí)就會(huì)變形的彈性材料構(gòu)成，按壓橡膠122首先接觸到最厚的電氣部件116,然后按壓橡膠122變形，從厚的電氣部件116到薄的電氣部件118依次接觸，最后所有的電氣部件116、118均^皮按壓橡膠122按壓。在壓接裝置101按壓電氣部件116、118之前，進(jìn)行電氣部件116、118和基一反111的位置對(duì)準(zhǔn)，電氣部件116、118的端子夾著粘、接劑115位于基板111的端子的正上方。臺(tái)座126的表面被做成為大致水平，基板111:故水平配置在該表面上，只要一邊加熱4姿壓對(duì)象物110,—邊^(qū)f吏-接壓頭120向垂直下方移動(dòng)從而按壓電氣部件116、118,則因?yàn)殡姎獠考?16、118壓退粘接劑115向正下方移動(dòng)，所以電氣部件116、118的端子與基板111的端子接觸，電氣部件116、118與基板111電連接(圖14(b))。這樣，現(xiàn)有的壓接裝置101能夠?qū)⒏叨认喈惖碾姎獠考瑫r(shí)連接在1塊基板上。但是，按壓橡膠122具有在其按壓電氣部件116、118時(shí)凹陷的情況下，則因其反作用其周圍部分膨脹的性質(zhì)，按壓橡膠122的膨脹部分越過頭本體121的框，于是按壓橡膠122的表面向水平方向上擴(kuò)展。圖15是表示按壓橡膠122的表面向水平方向上擴(kuò)展的情況的平面圖，按壓橡膠122以其平面形狀的中心C為中心向放射方向流動(dòng)。比起按壓橡膠122的中心C附近，因?yàn)樵诙瞬康囊苿?dòng)量較多，所以被按壓橡膠122的端部緊壓的電氣部件116、118與按壓橡膠122的擴(kuò)展一起向水平方向移動(dòng)，于是電氣部件116、118的端子從基板111的端子的正上方位置錯(cuò)位。當(dāng)電氣部件116、118的位置錯(cuò)位發(fā)生時(shí)，電氣部件116、118的端子與基板111的端子變得不接觸，于是電氣部件116、118與基板111的連接可靠性降低。此外，不僅是基板111的一面，在兩面上安裝電氣部件116、118的情況下，必須每次一面，分2次進(jìn)行電氣部件116、118的安裝，安裝所需的時(shí)間變長。而且，在一面上安裝電氣部件116、118，再在另一面上安裝電氣部件116、118的工序中，由于已經(jīng)安裝有電氣部件116、118的面與臺(tái)座126面相對(duì)，所以為了使得安裝完成的電氣部件116、118不易受到按壓導(dǎo)致的損傷，必須在臺(tái)座126上形成對(duì)應(yīng)于電氣部件116、118的形狀的凹凸。但是，在該方法中在電氣部件116、118和基板111的種類，或電氣部件116、118的連接位置每次變化時(shí)需要重新制作臺(tái)座126。并且，在一面上已安裝完成的電氣部件116、118，在另一面上連接電氣部件116、118時(shí)，會(huì)被再次加熱按壓，由于被反復(fù)加熱按壓有電氣部件116、118損傷的情況。專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)公開2002-359264號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利申請(qǐng)公開2005-32952號(hào)7>導(dǎo)艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明正是為了解決上述問題而來的，其目的是提供一種能夠確實(shí)地連接電氣部件和基板的壓接裝置。用于解決問題的方案為了解決上述問題，本發(fā)明的壓接裝置，具有第一、第二按壓橡膠，其構(gòu)成為能夠以上述笫一、第二按壓橡膠按壓配置在上述第一、第二按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其中，在上述第一按壓橡膠的周圍配置有比上述第一按壓橡膠的表面高度高的壩式構(gòu)件，上述第二按壓橡膠構(gòu)成為能夠插入被上述壩式構(gòu)件包圍的空間內(nèi)。本發(fā)明的壓接裝置，具有第一、第三按壓橡膠，其構(gòu)成為能夠以上述第一、笫三按壓橡膠按壓配置在上述第一、第三按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其中，在上述第一、第三按壓橡膠的周圍，分別配置有比上述第一、第三按壓橡膠的表面高度高的壩式構(gòu)件。本發(fā)明的上述壓接裝置，以下述方式構(gòu)成第一按壓橡膠配置在第一按壓板上，在上述第一按壓橡膠與上迷第一按壓板之間配置有能夠壓縮變形的笫一壓縮構(gòu)件，至少在上述第一壓縮構(gòu)件被壓縮時(shí)，上述第一壩式構(gòu)件的高度變得比上述第一按壓橡膠的表面高度高。本發(fā)明的壓接裝置，具有第四、第五按壓橡膠，其構(gòu)成為能夠以上述第四、第五按壓橡膠按壓配置在上述第四、第五按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其中，該壓接裝置具有包圍上述第四、第五按壓橡膠的周圍的壩式構(gòu)件，上述壩式構(gòu)件構(gòu)成為能夠從上述第四、第五按壓橡膠分離。本發(fā)明的壓接裝置，其中，上述壩式構(gòu)件為筒狀，上述第四、第五按壓橡膠構(gòu)成為能夠插入上迷壩式構(gòu)件的筒的內(nèi)部。本發(fā)明以上述方式構(gòu)成，通過以第一、第二按壓橡膠夾住基板，使得基板的表面和背面同時(shí)被按壓，能夠在基板的表面和背面同時(shí)連接電氣部件。發(fā)明的效果因?yàn)槟軌蛟诨宓谋砻婧捅趁嫱瑫r(shí)連接電氣部件，所以安裝工序所需要的時(shí)間變短，加熱按壓導(dǎo)致的電氣部件的損害也變少。因?yàn)殡姎獠考粌H在基板的表面上，而且在背面上也不向水平方向移動(dòng)，不發(fā)生電氣部件的錯(cuò)位，所以能夠得到可靠性較高的電氣裝置。在按壓壓接對(duì)象物時(shí)，因?yàn)楫?dāng)按壓橡膠不向水平方向擴(kuò)展時(shí)，使按壓橡膠變形的力的大部分均成為按壓壓接對(duì)象物的力，所以不會(huì)浪費(fèi)按壓時(shí)的按壓力。圖l是說明第一例的壓接裝置的截面圖。圖2是說明按壓頭與臺(tái)座的形狀的平面圖。圖3(a)~(c)是對(duì)將電氣部件安裝在基板上的工序進(jìn)行說明的截面圖。圖4(a)、(b)是對(duì)將電氣部件連接在基板上的工序進(jìn)行說明的擴(kuò)大截面圖。圖5(a)~(c)是對(duì)使用第二例的壓接裝置安裝電氣部件的工序進(jìn)行說明的截面圖。圖6是說明壓縮構(gòu)件的其他例的截面圖。圖7是說明第三例的壓接裝置的截面圖。圖8(a)~(c)是對(duì)將電氣部件安裝在基板上的工序進(jìn)行說明的截面圖。圖9(a)~(c)是對(duì)使用第四例的壓接裝置將電氣部件安裝在基板上的工序進(jìn)行說明的截面圖。圖10(a)是表示壩式構(gòu)件從第四、第五按壓橡膠分離的狀態(tài)的截面圖，(b)是表示壩式構(gòu)件包圍第四、第五按壓橡膠的狀態(tài)的截面圖。圖11是說明壩式構(gòu)件的一例的平面圖。圖12是說明壩式構(gòu)件的其他例的平面圖。圖13是對(duì)在壩式構(gòu)件上設(shè)置有刻槽的狀態(tài)進(jìn)行說明的側(cè)面圖。圖14(a)、(b)是說明現(xiàn)有技術(shù)的壓接裝置的截面圖。圖15是說明按壓橡膠的擴(kuò)展的平面圖。附圖標(biāo)記說明1、4、6~8......壓接裝置5......保護(hù)膜12......第一按壓板15......第一按壓橡膠16......第一壩式構(gòu)件22......第二按壓板25......第二按壓橡膠66......第二壩式構(gòu)件30......壓接對(duì)象物31......基板35......粘接膜32、33......電氣部件具體實(shí)施例方式圖1的附圖標(biāo)記1表示本發(fā)明的第一例的壓接裝置，該壓接裝置1具有第一、第二按壓頭IO、20，工作臺(tái)9和驅(qū)動(dòng)裝置2。第一按壓頭IO具有金屬制的頭本體ll、形成在該頭本體11上的有底的孔19、和配置在孔19內(nèi)的第一按壓橡膠15。第一按壓橡膠15在水平方向切斷時(shí)的截面形狀與被第一壩式構(gòu)件16包圍的區(qū)域的截面形狀為大致相同的柱狀，其底面與孔19的底面緊貼并固定，其側(cè)面與孔19的側(cè)壁接觸。從第一按壓橡膠15的底面到表面的高度比孔19的深度小，第一按壓橡膠15的周圍成為被由孔19的側(cè)壁構(gòu)成的第一壩式構(gòu)件16包圍的狀態(tài)，在第一按壓橡膠15表面與第一壩式構(gòu)件16的前端之間，形成有以第一按壓橡膠15表面為底面，以第一壩式構(gòu)件16為側(cè)面的凹部17。第一按壓頭10以凹部17的開口18朝向下側(cè)，笫一按壓橡膠15的表面為大致水平的方式配置。在第一頭本體11中，與第一按壓橡膠15的底面緊貼的部分為第一按壓板12,笫一按壓板12構(gòu)成為通過軸3安裝在驅(qū)動(dòng)裝置2上，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)裝置2工作，使軸3伸縮時(shí)，保持第一按壓橡膠15的表面朝向大致水平的狀態(tài)，第一按壓板12與第一按壓橡膠15、第一壩式構(gòu)件16—起在垂直方向上下移動(dòng)。在第一按壓頭10的正下方位置上配置有工作臺(tái)9，第二按壓頭20配置在工作臺(tái)9上。第二按壓頭20具有由金屬制的按壓板構(gòu)成的第二頭本體21、和配置在第二頭本體21的表面上的第二按壓橡膠25,在第二按壓頭20中第二頭本體21側(cè)的面與工作臺(tái)9緊貼，第二按壓橡膠25側(cè)的面朝向上側(cè)。因此，第二按壓橡膠25的表面露出在第二按壓頭20的上側(cè)的面上。在這里，在第二按壓橡膠25的周圍沒有任何配置，第二按壓橡膠25的平面形狀祐J故成為與上述凹部17的開口18相同，或比其更小的相似形狀(圖2),在第二按壓頭20中至少笫二按壓橡膠25的上端能夠插入凹部17。接著，對(duì)能夠以該壓接裝置1壓接的壓接對(duì)象物、和壓接該壓接對(duì)象物30的工序進(jìn)行說明。圖4(a)的附圖標(biāo)記30表示壓接對(duì)象物，壓接對(duì)象物30具有基板31、粘接膜35、和電氣部件32、33。在基板31的表面與背面分別形成有端子37,粘接膜35分別配置在基板31表面的端子37上、和基板31背面的端子37上。電氣部件32、33具有凸起(bump)、焊盤(land)等端子38、39，各個(gè)電氣部件32、33在以使端子38、39位于基板31的端子37上的方式被位置對(duì)準(zhǔn)后，被未圖示的搭載頭分別放置在粘接膜35上，以較低的溫度一邊被加熱一邊被搭載頭以較小的壓力按壓，通過從粘接膜35體現(xiàn)出的粘接力被臨時(shí)粘接在基板31的表面和背面上(臨時(shí)粘接)。但是，該粘接力較弱，電氣部件32、33容易因物理的沖擊而從基板31上脫落，此外，基板31的端子37與電氣部件32、33的端子38、39既沒有物理接觸，也沒有機(jī)4成接觸，在該端子37、38、39之間存在粘接膜35。粘接膜35一皮形成為比電氣部件32、33的平面形狀更大，一部分從電氣部件32、33溢出，露出在電氣部件32、33之間。此外，即使在粘接膜35沒有從電氣部件32、33露出的情況下，在后述的按壓時(shí)粘接膜35中一部分也會(huì)因按壓而從電氣部件32、33的外周露出。第一、第二按壓橡膠15、25由能夠與粘接膜35粘接的材料構(gòu)成，為了使第二按壓橡膠25與粘接膜35不接觸，將相對(duì)于粘接膜35粘接性較低的保護(hù)膜5配置在第二按壓橡膠25的表面上，然后在基板31的表面朝上背面朝下的狀態(tài)下將壓接對(duì)象物30配置在第二按壓橡膠25上(圖3(a))。在這里，第二按壓橡膠25的表面被做成為水平，保護(hù)膜5的膜厚均勻。因此，位于保護(hù)膜5表面的第二按壓橡膠25上的部分大致水平。在基板31的背面粘接有厚度相異的電氣部件32、33，在基板31的背面分隔開配置多個(gè)最厚的電氣部件32，或者如果不這樣，則在第二按壓橡膠25上配置支撐基板31的輔助部件，通過被電氣部件32、輔助部件保持，基板31成為大致水平。接著，為了使笫一按壓橡膠15與粘接膜35不接觸，在壓接對(duì)象物30的上也配置保護(hù)膜5,分別以保護(hù)膜5覆蓋壓接對(duì)象物30的表面和背面。在保護(hù)膜5比第二按壓橡膠25的平面形狀更寬，且第二按壓橡膠25上的保護(hù)膜5、壓接對(duì)象物30上的保護(hù)膜5垂下至第二按壓橡膠25的側(cè)面的情況下，第二按壓橡膠25的平面形狀做成得比凹部17的開口18還小，包括垂下的保護(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外形變得與開口18的大小大致相等。壓接對(duì)象物30的平面形狀與第二按壓橡膠25的平面形狀相同，或比其更小，壓接對(duì)象物30放置為其外周不從第二按壓橡膠25溢出，對(duì)第一、第二按壓頭10、20的朝向進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，使包括保護(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外周與開口18—致，然后當(dāng)使第一按壓頭IO下降時(shí)，壓接對(duì)象物30被插入第一按壓頭IO的凹部17內(nèi)。當(dāng)使在基板31表面上最厚的電氣部件32的厚度、在基板31的背面上最厚的電氣部件32的厚度、和基板31的厚度的合計(jì)作為壓接對(duì)象物30的厚度時(shí)，凹部17的深度，即從第一壩式構(gòu)件33前端的第一按壓橡膠15表面起的高度，與壓接對(duì)象物30的厚度和覆蓋其表面背面的保護(hù)膜5的厚度的合計(jì)相同，或在此之上，壓接對(duì)象物30從表面到背面全部^皮收納在凹部17內(nèi)。在凹部17的深度大于壓接對(duì)象物30的厚度和保護(hù)膜5的厚度的合計(jì)的情況下，在壓接對(duì)象物8被收納在凹部17內(nèi)以后，第一按壓頭10還下降，如上上述，因?yàn)榘ūＷo(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外形變得與開口18的大小大致相等，所以第一壩式構(gòu)件16的前端不被第二按壓橡膠25的表面擠壓，第一按壓頭10的下降不停止。再有，保護(hù)膜5以能夠壓縮變形的材料構(gòu)成，即使在包括保護(hù)膜5的第二按壓橡膠25的外形稍微大于開口18的情況下，因?yàn)楸Ｗo(hù)膜5壓縮變形并進(jìn)入第二按壓橡膠25與第一壩式構(gòu)件16的間隙中，所以笫一按壓頭10的下降不停止。當(dāng)繼續(xù)第一按壓頭IO的下降時(shí)，則壓接對(duì)象物30與第一按壓橡膠15相對(duì)地接近。在基板31的表面上粘接有厚度相異的多種電氣部件32、33時(shí)，通過其厚度的差在基板31的表面上形成有臺(tái)階差。在這里，第一按壓橡膠15的表面被做成為大致水平，因?yàn)榈谝话磯侯^10沿垂直方向下降，所以當(dāng)繼續(xù)第一按壓頭10的下降時(shí)，第一按壓橡膠15的表面經(jīng)由保護(hù)膜5與粘接在基板31表面的電氣部件32、33中的最厚的電氣部件32接觸。圖3(b)表示第一按壓橡膠15按壓基板31表面上的各個(gè)電氣部件32、33之前，僅與最厚的電氣部件33接觸的狀態(tài)，因?yàn)榘疾?7的深度是與包括保護(hù)膜5的壓接對(duì)象物30的厚度相同或在其之上，所以在第一按壓橡膠15與最厚的電氣部件33接觸的狀態(tài)下，第一壩式構(gòu)件16的前端與第二按壓橡膠25的表面所處的平面H相同，或位于其下方。第一、第二按壓橡膠15、25由當(dāng)施加力時(shí)變形，除去力時(shí)恢復(fù)原形的彈性材料(例如彈性體(elastomer))構(gòu)成，第一按壓橡膠15的側(cè)面雖然與孔19的內(nèi)壁接觸，但不被固定在該內(nèi)壁上，此外，因?yàn)榈诙磯合鹉z25在周圍沒有任何配置，所以，第一、第二按壓橡膠15、25不僅其中央部分，而且其邊緣部分也能夠變形。因此，如果從圖3(b)所示的狀態(tài)起，當(dāng)使第一按壓頭10下降，以第一、第二按壓橡膠15、25按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，不論是邊緣部分還是中央部分，第一、笫二按壓橡膠15、25的與電氣部件32接觸的部分均凹陷。當(dāng)進(jìn)一步使第一按壓頭IO下降，使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)地更加接近時(shí)，從厚度較厚的電氣部件32朝向厚度較薄的電氣部件33,依次被第一、第二按壓橡膠15、25緊壓，結(jié)果是所有的電氣部件32、33均被朝向基板31緊壓。第一、第二按壓橡膠15、25由如內(nèi)部均勻的彈性材料那樣，施加力的部分凹陷、其他部分膨脹的材料構(gòu)成，第一按壓橡膠15的不與電氣部件32、33接觸的部分向下方膨脹，第二按壓橡膠25的不與電氣部件32、33接觸的部分向上方膨脹。因?yàn)榈谝?、笫二按壓橡膠15、25比起變形前相對(duì)地接近，所以即使是變形前的第二按壓橡膠25的表面與第一壩式構(gòu)件16的前端在相同面上的情況，在變形后，第二按壓橡膠25至少其表面部分被收納在凹部17內(nèi)，收納在凹部17內(nèi)的部分的側(cè)面^皮第一壩式構(gòu)件16包圍。該側(cè)面與第一壩式構(gòu)件16緊貼，或者即使該側(cè)面與第一壩式構(gòu)件16之間存在間隙，該間隙也狹窄至膨脹的第一按壓橡膠15不流出的程度，第一按壓橡膠15不向水平方向擴(kuò)展。并且，因?yàn)樵撻g隙狹窄，所以即使笫二按壓橡膠25的被凹部17收納的部分有向水平方向擴(kuò)展，該擴(kuò)展也是小到能夠忽視的程度。如上上述，因?yàn)榈诙磯合鹉z25的被凹部17收納的部分的側(cè)面是第一、笫二按壓橡膠15、25不向水平方向擴(kuò)展的程度地與第一壩式構(gòu)件16緊貼，所以第一、第二按壓橡膠15、25的膨脹的部分即使有被填充到電氣部件32、33間的凹處的情況，也不向水平方向，即與第一按壓頭10的移動(dòng)方向正交的方向流動(dòng)。因?yàn)榈谝?、第二按壓橡膠15、25的表面部分不向水平方向擴(kuò)展，所以向外側(cè)擴(kuò)展的力不施加在電氣部件32、33上，電氣部件32、33在與臨時(shí)壓接時(shí)相同的位置被緊壓在粘接膜35上。在這里，在第二頭本體21中內(nèi)置有加熱器28，通過向加熱器28通電將壓接對(duì)象物30加熱至規(guī)定溫度，通過加熱，粘接膜35的流動(dòng)性變高。因此，當(dāng)電氣部件32、33被緊壓在粘接膜35上時(shí)，粘接膜35被壓退，電氣部件32、33的端子陷入粘接膜35內(nèi)，電氣部件32、33的端子38、39與基板31的端子37直接接觸，電氣部件32、33與基板31電連接。在粘接膜35含有熱固性樹脂的情況下，通過加熱，粘接膜35硬化，此外，在粘接膜35具有熱可塑性樹脂的情況下，在加熱結(jié)束后，當(dāng)溫度下降時(shí)粘接膜35就會(huì)硬化。因此，電氣部件32、33經(jīng)由硬化或固化了的粘接膜35被機(jī)械連接在基板31上，于是得到電氣裝置30a(圖3(c))。在按壓電氣部件32、33時(shí)在發(fā)生位置錯(cuò)位的情況下，由于電氣部件32、33的端子38、39變得與基板31的端子37不接觸，所以電氣裝置30a的可靠性下降，但只要使用本發(fā)明的壓接裝置1,因?yàn)椴粫?huì)如上述那樣發(fā)生電氣部件32、33的位置錯(cuò)位，因此使用本發(fā)明的壓接裝置1制造的電氣裝置30a的可靠性較高。因?yàn)楸Ｗo(hù)膜5位于笫一按壓橡膠15與壓接對(duì)象物30之間、以及第二按壓橡膠25與壓接對(duì)象物30之間，所以在按壓電氣部件32、33時(shí)即使粘接膜35從電氣部件32、33的外周溢出，第一、第二按壓橡膠15、25也與粘接膜35不直接接觸。因此，第一、第二按壓橡膠15、25沒有粘接在粘接膜35上，當(dāng)使第一按壓頭10向上方移動(dòng)時(shí)，第一按壓橡膠15被從電氣裝置30a分離，接著當(dāng)舉起電氣裝置30a時(shí)，電氣裝置30a被從第二按壓橡膠25分離，于是能夠從壓接裝置1取出電氣裝置30a。以上雖然對(duì)在預(yù)先形成在按壓頭10上的凹部17內(nèi)收納壓接對(duì)象物30之后，使第一按壓橡膠15與壓接對(duì)象物30接觸的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于此。圖5(a)的附圖標(biāo)記4表示本發(fā)明的第二例的壓接裝置，該壓接裝置4除了在第一按壓橡膠15與第一按壓板12之間配置有第一壓縮構(gòu)件46以外，具有與第一例的壓接裝置1相同的結(jié)構(gòu)，第一、第二壓接頭10、20的配置也相同。第一按壓橡膠15以上述的內(nèi)部均勻的彈性材料構(gòu)成，與此相對(duì)，第一壓縮構(gòu)件46以如海綿狀的橡膠那樣在內(nèi)部具有空隙，當(dāng)施加力時(shí)該空隙被壓潰從而體積減小的材料構(gòu)成。在第一按壓橡膠15與第一壓縮構(gòu)件46之間配置有可動(dòng)板47,在第一壓縮構(gòu)件46中，其上端安裝在第一按壓板12的表面上，其下端安裝在可動(dòng)板47的表面上，第一按壓橡膠15的上端被安裝在可動(dòng)板47的背面上。因此，第一壓縮構(gòu)件46、可動(dòng)板47和第一按壓橡膠15從第一按壓板12起朝向垂直下方按記載的順序排列。第一壓縮構(gòu)件46與第一按壓橡膠15同樣地，在水平方向上切斷時(shí)的截面形狀被做成為與被第一壩式構(gòu)件16包圍的區(qū)域的截面形狀相同的柱狀，第一壓縮構(gòu)件46的側(cè)面與第一壩式構(gòu)件16接觸。但是，第一壓縮構(gòu)件46的側(cè)面沒有被固定在第一壩式構(gòu)件16上，此外，第一按壓橡膠15和可動(dòng)板47也均沒有固定在第一壩式構(gòu)件16上。因此，第一按壓橡膠15和可動(dòng)板47構(gòu)成為當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46的厚度變化時(shí)，能夠在被笫一壩式構(gòu)件16包圍的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。當(dāng)使用該壓接裝置4制造電氣裝置時(shí)，與使用第一例的壓接裝置1的情況相同，經(jīng)由保護(hù)膜5將壓接對(duì)象物30配置在第二按壓橡膠25上，使第一按壓橡膠15經(jīng)由保護(hù)膜5與最厚的電氣部件32接觸。使第一壓縮構(gòu)件46變形所需的力小于使第一、第二按壓橡膠15、25變形所需的力，如果進(jìn)一步使第一按壓頭10下降，當(dāng)將第一按壓板12緊壓在笫一壓縮構(gòu)件46上時(shí)，在第一、第二按壓橡膠15、25變形前，第一壓縮構(gòu)件46壓縮，其厚度變小。如上上述，因?yàn)轶室话磯合鹉z15構(gòu)成為能夠在被第一壩式構(gòu)件16包圍的區(qū)域內(nèi)移動(dòng)，所以當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46的厚度變小時(shí)，第一按壓橡膠15向上方移動(dòng)，在第一壓縮構(gòu)件46壓縮前不存在的凹部出現(xiàn)，壓接對(duì)象物30被收納在該凹部內(nèi)。因?yàn)榈谝粔嚎s構(gòu)件46的變形量有限度，所以當(dāng)?shù)谝粔嚎s構(gòu)件46變形某種程度時(shí)，壓縮停止。圖5(b)表示在第一壓縮構(gòu)件46的壓縮停止的狀態(tài)下，第一、第二按壓橡膠15、25變形前的狀態(tài)，在此狀態(tài)下，與第一按壓橡膠15向上方移動(dòng)的量相應(yīng)，第一壩式構(gòu)件16的前端比笫一按壓橡膠15的表面更向下方突出，其前端與第二按壓橡膠15的表面所處的平面H相同，或相比該平面H更向下方突出。當(dāng)在第一壓縮構(gòu)件46的變形停止后，還進(jìn)一步使第一按壓頭10下降時(shí)，第一、笫二按壓橡膠15、25因被電氣部件32、33緊壓而凹陷，其與電氣部件32、33不接觸的部分膨脹，但與第一例的壓接裝置1的情況相同，因?yàn)轶识磯合鹉z25與第一壩式構(gòu)件16之間的間隙較小，所以第一按壓橡膠15的表面不向水平方向擴(kuò)展。另外，通過笫一、第二按壓橡膠15、25的變形，由于第二按壓橡膠25至少表面部分凈皮收納在凹部17內(nèi)，所以第二按壓橡膠25即使其表面向上方膨脹也不在水平方向擴(kuò)展。因此，在此壓接裝置4中，電氣部件32、33也不向水平方向移動(dòng)，能夠得到可靠性較高的電氣裝置30a。第一壓縮構(gòu)件46只要是通過按壓而體積減小的部件即可，沒有特別限定，也可以如圖6所示那樣以彈簧48構(gòu)成壓縮構(gòu)件，當(dāng)通過以第一按壓板12按壓，使得彈簧48收縮，其長度變短時(shí)，則第一按壓橡膠15的表面^皮推上去，出現(xiàn)凹部。此外，只要施加在第一4要壓棉』交15上的力能夠傳到第一壓縮構(gòu)件46，就不需要特別設(shè)置可動(dòng)板47。以上，雖然將第一按壓板12安裝在驅(qū)動(dòng)裝置2的軸3上，使笫一按壓頭10移動(dòng)，并使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)地接近，但本發(fā)明并不限定于此，只要第一、第二按壓橡膠15、25能夠相對(duì)地移動(dòng)，在使第一按壓頭IO靜止的狀態(tài)下，使第二按壓頭20移動(dòng)也可，使第一、第二按壓頭10、20雙方移動(dòng)也可。以上，對(duì)在第二按壓橡膠25的表面配置壓接對(duì)象物30,再使第一按壓頭IO下降的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此。也可以將第二按壓頭20的配置有笫二按壓橡膠25—側(cè)的面朝向下側(cè)配置，并配置笫一按壓頭10，使得在第二按壓頭20的下方位置形成有凹部17的面朝向上側(cè)，在凹部17的底面，即第一3姿壓纟象月交15的表面配置壓接對(duì)象物30,再使第一、第二按壓頭10、20的任一方或雙方移動(dòng)，使第一、第二按壓橡膠15、25相對(duì)地接近，從而將第二按壓橡膠25的表面緊壓在壓接對(duì)象物30上。第一、第二按壓橡膠15、25的表面的朝向不限定于水平的情況，以第一、笫二按壓橡膠15、25的表面為大致垂直的方式配置第一、第二按壓頭10、20也可。第一、第二按壓頭10、20的移動(dòng)方向雖然沒有特別限定，但是為了防止電氣部件32、33的錯(cuò)位，優(yōu)選相對(duì)基板31的表面和背面大致垂直地移動(dòng)，因此，在基板31與第一、第二按壓橡膠15、25的表面平行情況下，第一、第二按壓頭10、20的移動(dòng)方向相對(duì)第一、第二按壓橡膠15、25的表面大致垂直。以上，雖然對(duì)在第二按壓橡膠25的周圍沒有任何配置，且其側(cè)面露出的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，為了使得第二按壓橡膠25不被第一壩式構(gòu)件16摩擦，例如也可以利用金屬制的薄板(滑動(dòng)板)覆蓋第二按壓橡膠25的側(cè)面。在以滑動(dòng)板覆蓋笫二按壓橡膠25的側(cè)面的情況下，在將該第二按壓頭20收納在凹部17中時(shí)，滑動(dòng)板與第一壩式構(gòu)件16緊貼，或者即使在滑動(dòng)板與笫一壩式構(gòu)件16之間存在間隙，因?yàn)樵撻g隙狹小到膨脹的第一按壓橡膠15不流出的程度，所以笫一按壓橡膠15不向水平方向擴(kuò)展?；瑒?dòng)板的膜厚較小，其即使與第二按壓橡膠25—起變形，與第一壩式構(gòu)件16接觸其變形停止。因?yàn)樽冃吻暗牡谝粔问綐?gòu)件16與滑動(dòng)板的間隙較小，所以其變形量小，因此第二按壓橡膠25的水平方向的擴(kuò)展小到能夠忽視的程度。另外，即使第二按壓橡膠25的表面邊緣部分膨脹后越過滑動(dòng)板，因?yàn)榛瑒?dòng)板的膜厚較小，如上述那樣，因?yàn)榛瑒?dòng)板與第一壩式構(gòu)件16的間隙也小，因此越過滑動(dòng)板的部分的水平方向的擴(kuò)展量較小。這樣，因?yàn)榈谝?、第二按壓橡膠15、25不向水平方向擴(kuò)展，即使擴(kuò)展其擴(kuò)展量也小到能夠忽視的程度，所以難以發(fā)生電氣部件32、33的錯(cuò)位。在第一、第二例的壓接裝置l、4中，在第一壩式構(gòu)件16與第二按壓橡膠25之間的間隙較大的情況下，只要以保護(hù)膜5覆蓋第二按壓橡膠25的側(cè)面，則該間隙;故保護(hù)膜5填充。因此，即使在不使用模具等而以較低的成本制造第一壩式構(gòu)件16,且該成形的精度較低的情況下，通過適當(dāng)?shù)剡x擇保護(hù)膜5的膜厚，使得第一壩式構(gòu)件16與第二按壓橡膠25之間的間隙被填充，第一按壓橡膠15不/人間隙流出。以上雖然對(duì)僅在第一按壓頭10上設(shè)置有壩式構(gòu)件的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。圖7的附圖標(biāo)記6表示本發(fā)明的第三例的壓接裝置，該壓接裝置6除了具有上述第一按壓頭10以外，還具有第三按壓頭60。第一、第三按壓頭10、60的結(jié)構(gòu)相同，第一、第三按壓頭10、60分別具有第一、第三頭本體11、61;設(shè)置在第一、第三頭本體11、61上的有底的孔(第一、第三孔)19、69;和配置在第一、笫三孔19、69內(nèi)的第一、第三按壓橡膠15、65。第一、第三按壓橡膠15、65的配置也相同，第一、第三按壓橡膠15、65分別^f皮以第一、笫三孔19、69的側(cè)壁構(gòu)成的第一、第三壩式構(gòu)件16、66包圍，第一、第三壩式構(gòu)件16、66的前端從第一、第三按壓橡膠15、65的表面較高地突出，形成以第一、第三按壓橡膠15、65的表面為底面、以第一、第三壩式構(gòu)件16、66為側(cè)面的第一、第三凹部17、67。第一、第三孔19、69的開口18、68的形狀大致相等，當(dāng)以使得開口18、68的邊緣一致的方式進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，使第一、第三按壓頭10、60相互緊壓時(shí)，第一、第三壩式構(gòu)件16、66的前端變得彼此接觸。在這里，笫一按壓頭10的配置和與驅(qū)動(dòng)裝置2的連接，與第一例的壓接裝置1的第一按壓頭IO相同，第一按壓頭IO能夠保持使第一按壓橡膠15的表面朝向大致水平方向的狀態(tài)，通過驅(qū)動(dòng)裝置2使工作臺(tái)9在垂直方向上下移動(dòng)。在第三^姿壓頭60中第三凹部67的開口68朝向上側(cè)配置在工作臺(tái)9上，第三凹部67的底面，即第三按壓橡膠65的表面被做成為大致水平，該表面為放置壓接對(duì)象物30的載置面。接著，對(duì)使用該壓接裝置6連接上述壓接對(duì)象物30的情況進(jìn)行說明。第一、第三按壓橡膠15、65由與粘接膜35的粘接性較高的物質(zhì)構(gòu)成，為了避開與粘接膜35的接觸，將上述保護(hù)膜5配置在第三按壓橡膠65的表面上，再將壓接對(duì)象物30配置在第三按壓橡膠65上，進(jìn)一步還在壓接對(duì)象物30的表面配置保護(hù)膜5(圖8(a))。第一、第三凹部17、67的深度的合計(jì)，即從第一按壓橡膠15的表面到第一壩式構(gòu)件16前端的高度與從第三按壓橡膠65的表面到第三壩式構(gòu)件66的前端的高度的合計(jì)，做成為小于壓接對(duì)象物30的厚度與覆蓋其表面背面的保護(hù)膜5的厚度的合計(jì)。因此，當(dāng)使第一、第三凹部17、67的開口18、68的邊緣一致，再使第一按壓頭10下降時(shí)，則在第一、第三壩式構(gòu)件16、66的前端接觸之前，第一按壓橡膠15的表面經(jīng)由保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30接觸。圖8(b)表示在第一按壓橡膠15經(jīng)由保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30的表面接觸的狀態(tài)下，第一、第三按壓橡膠15、65按壓壓接對(duì)象物30之前的狀態(tài)，在第一壩式構(gòu)件16的前端與第三壩式構(gòu)件66的前端之間存在間隙。當(dāng)將第一、第三頭本體ll、61中的緊貼第一、第三按壓橡膠15、65底面的部分作為第一、笫三按壓板12、62時(shí)，第一、笫三按壓橡膠15、65的底面分別凈皮固定在第一、第三按壓板12、62上，但其側(cè)面沒有固定在第一、第三壩式構(gòu)件16、66上，第一、第三按壓橡膠15、65構(gòu)成為其中央部分和邊緣部分均能夠變形。因此，當(dāng)進(jìn)一步使第一按壓頭10下降，并使第一、第三按壓橡膠15、65相對(duì)地接近時(shí)，與第一例的壓接裝置1的情況相同，從厚度較厚的電氣部件32向厚度較薄的電氣部件33，第一、第三按壓橡膠15、65依次被緊壓，第一、第三按壓橡膠15、65的不與電氣部件32、33接觸的部分膨脹，于是壓接對(duì)象物30被按壓。按壓壓接對(duì)象物30時(shí)的壓力根據(jù)粘接膜35、電氣部件32、33的厚度、以及粘接膜35的加熱溫度設(shè)定。上述第一、第三凹部17、67的深度的合計(jì)，被做成為在以設(shè)定的壓力按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，即使第一、第三按壓橡膠15、65變形，第一、第三壩式構(gòu)件16、66的前端彼此也不直接接觸的深度，因此，第一按壓頭IO在第一、第三按壓橡膠15、65變形持續(xù)期間下降，在第一、第三按壓橡膠15、65的變形的變形停止后，使第一按壓頭10下降的力成為按壓壓接對(duì)象物30的力(圖8(c))。再有，即使在保護(hù)膜5的邊緣部分從開口18、68溢出，第一、笫三壩式構(gòu)件16、66的前端夾著溢出的保護(hù)膜5彼此接觸的情況下，只要保護(hù)膜5如上述那樣以能夠壓縮變形的材料構(gòu)成，通過保護(hù)膜5壓縮變形，就能夠維持對(duì)壓接對(duì)象物30的按壓。在按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，雖然第一、第三按壓橡膠15、65的表面膨脹，但是因?yàn)榈谝弧⒌谌龎问綐?gòu)件16、66的前端從第一、第三按壓橡膠15、65表面突出，所以第一、第三按壓橡膠15、65表面的膨脹部分被第一、第三壩式構(gòu)件16、66阻擋。因此，在該壓接裝置6中，第一、第三按壓橡膠15、65的表面也不向水平方向擴(kuò)展，不會(huì)引起電氣部件32、33的錯(cuò)位。在第一、第三按壓頭10、60的任一方或雙方上設(shè)置有加熱單元，與第一例的壓接裝置1相同，通過一邊加熱一邊按壓壓接對(duì)象物30,電氣部件32、33不僅電連接還機(jī)械連接到基板31而能夠得到電氣裝置30a。以上，對(duì)在第一、第三按壓橡膠15、65變形之前形成有第一、第三凹部17、67的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。圖9(a)的附圖標(biāo)記7表示本發(fā)明第四例的壓接裝置。該壓接裝置7除了在第一、第三按壓板12、62與第一、第三按壓橡膠15、65之間配置有第一、第三壓縮構(gòu)件46、76之外，具有與上述第三例的壓接裝置6相同的結(jié)構(gòu)，第一、笫三按壓頭10、60的配置也與上述第三例的壓接裝置6相同。第一、第三壓縮構(gòu)件46、76的結(jié)構(gòu)和配置與第二例的壓接裝置4的第一壓縮構(gòu)件46相同，當(dāng)以笫一、第三按壓橡膠15、65夾住壓接對(duì)象物30時(shí)，在第一、第三按壓橡膠15、65變形之前第一、第三壓縮構(gòu)件46、76被壓縮且膜厚現(xiàn)象，第一、第三按壓橡膠15、65被第一、第三按壓板12、62緊壓，與可動(dòng)板44、77—起在孔19、69內(nèi)移動(dòng)。圖9(b)表示在第一、第三壓縮構(gòu)件46、76的膜厚減少的狀態(tài)下，第一、第三按壓橡膠15、65變形前的狀態(tài)，通過第一、第三按壓橡膠15、65接近第一、第三按壓板12、62,分別形成以第一、第三按壓橡膠15、65的表面為底面，以第一、第三壩式構(gòu)件16、66為側(cè)壁的凹部。此時(shí)的凹部的深度的合計(jì)，即第一、第三壓縮構(gòu)件46、76^皮壓縮時(shí)的從第一按壓橡膠15表面至第一壩式構(gòu)件16前端的高度、與從第三按壓橡膠65表面至第三壩式構(gòu)件66前端的高度的合計(jì)，小于包括第三按壓橡膠65表面的保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30表面的保護(hù)膜5的壓接對(duì)象物30的厚度。在第一、第三壓縮構(gòu)件46、76被壓縮時(shí)，因?yàn)榈谝弧⒌谌龎问綐?gòu)件16、66的前端不接觸，不妨礙第一按壓頭10的下降，所以當(dāng)進(jìn)一步使第一按壓頭10下降時(shí)，第一、第三按壓橡膠15、65相對(duì)地接近，第一、笫三按壓橡膠15、65的與電氣部件32接觸的部分凹陷，結(jié)果是所有的電氣部件32、33被第一、第三按壓橡膠15、65按壓。因?yàn)樯鲜霭疾康纳疃鹊暮嫌?jì)以第一、第三壩式構(gòu)件16、66的前端不接觸，向壓接對(duì)象物30施加^見定的壓力的方式設(shè)定，所以只要一邊加熱壓接對(duì)象物30—邊持續(xù)按壓，就與使用上述第一例的壓接裝置1的情況相同地，電氣部件32、33被連接在基板31上，得到電氣裝置30a。在以第一、第三按壓橡膠15、65按壓電氣部件32、33時(shí)，第一、第三按壓橡膠15、65的沒有與電氣部件32、33接觸的部分膨脹，但是在按壓電氣部件32、33時(shí)，因?yàn)榈谝?、第三壩式?gòu)件16、66從第一、第三按壓橡膠15、65表面突出，所以第一、第三按壓橡膠15、65被第一、第三壩式構(gòu)件16、66阻擋，不向水平方向上擴(kuò)展。因此，在使用該壓接裝置7的情況下，也不會(huì)發(fā)生電氣部件32、33的錯(cuò)位，能夠得到可靠性較高的電氣裝置30a。以上，對(duì)至少第一按壓橡膠15的周圍預(yù)先被第一壩式構(gòu)件16包圍的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此。圖10(a)的附圖標(biāo)記8表示第五例的壓接裝置，該壓接裝置8具有第四、第五按壓頭80、90和壩式構(gòu)件86。第四、第五按壓頭80、90具有金屬制的第四、第五按壓板82、92和配置在第四、第五按壓板82、92的表面上的第四、第五按壓橡膠85、95,在這里，在第四、笫五按壓橡膠85、95的周圍沒有任何配置，第四、第五按壓橡膠85、95的側(cè)面露出。第四、第五按壓橡膠85、95的表面的平面形狀被做成相同或相似形狀。如圖ll所示，壩式構(gòu)件86為筒狀，筒的兩端的開口的形狀被做成為與第四、第五按壓橡膠85、95的表面的形狀相同，或比其更大的相似形狀。因此，第四、第五按壓橡膠85、95的至少表面部分能夠分別插入壩式構(gòu)件86的開口。在這里，第四、第五按壓橡膠85、95的側(cè)面相對(duì)其表面大致垂直，第四、笫五按壓橡膠85、95在相對(duì)其表面平行的方向切斷時(shí)的平面形狀，從表面至背面均大致相同。壩式構(gòu)件86相對(duì)于兩端的開口其內(nèi)壁面大致垂直，相對(duì)該開口平行切斷時(shí)的截面形狀從一端到另一端均大致相同，第四、第五按壓橡膠85、95不僅其表面部分，其側(cè)面也能夠插入壩式構(gòu)件86中。第四按壓頭80以使配置有第四按壓橡膠85—側(cè)的面朝向下側(cè)的方式配置。在第四按壓頭80的下方配置有工作臺(tái)9，第五按壓頭90以使配置有第五按壓橡膠95的一側(cè)的面朝向上側(cè)的方式配置在工作臺(tái)9上。通過未圖示的輸送單元，將第四按壓橡膠85從壩式構(gòu)件86的一端插入筒的內(nèi)部，將壩式構(gòu)件86安裝在第四按壓頭80上。在此狀態(tài)下，壩式構(gòu)件86的另一端相比第四按壓橡膠85的表面向下方突出。在第五按壓橡膠95的表面配置保護(hù)膜5,再在該保護(hù)膜5上配置壓接對(duì)象物30，進(jìn)一步在壓接對(duì)象物30的表面配置保護(hù)膜5。第五按壓橡膠95表面的外周以位于壩式構(gòu)件86的下端的開口的內(nèi)側(cè)的方式進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)后，當(dāng)與第四按壓頭80—起使壩式構(gòu)件86下降時(shí)，壓接對(duì)象物30被插入到壩式構(gòu)件86的內(nèi)部，第四按壓橡膠85經(jīng)由保護(hù)膜5與壓接對(duì)象物30接觸。-壩式構(gòu)件86的筒的長度，在第四按壓橡膠85與壓接對(duì)象物30接觸時(shí)，在第四、第五按壓橡膠85、95變形之前的狀態(tài)下，其下端與第五^姿壓棉』交95的表面為相同的面，或比其向下方突出，與上述第一例的壓接裝置1的情況相同，在按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，因?yàn)榈谒?、第五按壓橡膠85、95不向水平方向擴(kuò)展，所以難以發(fā)生電氣部件32、33的錯(cuò)位。以上，雖然對(duì)壩式構(gòu)件86被整體成形為筒狀的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于此。圖12的附圖標(biāo)記96表示壩式構(gòu)件的其他的例，壩式構(gòu)件96具有多個(gè)板狀的壁件99,通過未圖示的移動(dòng)單元，各個(gè)壁件99在將表面朝向垂直方向的狀態(tài)下沿著笫四按壓橡膠85的側(cè)面排列并安裝在第四按壓板82上，形成包圍第四按壓橡膠85的周圍的一個(gè)筒。在此狀態(tài)下，各個(gè)壁件99的下端比第四按壓橡膠85的表面向下方突出，因此包圍第四按壓橡膠85的周圍的筒的下端也比第四按壓橡膠85的表面向下方突出，在該向下方突出的部分中能夠插入壓接對(duì)象物30和第五按壓橡膠95。以上，對(duì)將壩式構(gòu)件86、96安裝在第四按壓頭80上的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，也可以以包圍第五按壓橡膠95的周圍，且一端從第五按壓橡膠95的表面向上方突出的方式配置壩式構(gòu)件86、96,在此情況下，當(dāng)使第四按壓頭80下降時(shí)，第四按壓橡膠85被收納在由壩式構(gòu)件86、96與第五按壓橡膠95的表面構(gòu)成的凹部內(nèi)。進(jìn)一步，也可以將壩式構(gòu)件86、96不安裝在第四、第五按壓頭80、90的任一個(gè)上，在從使第四、第五按壓橡膠85、95夾著壓接對(duì)象物30相面對(duì)，至開始?jí)航訉?duì)象物30的按壓為止的期間，包圍第四、第五按壓橡膠85、95的周圍。此外，也可以分別將壩式構(gòu)件86、96安裝在第四、第五按壓橡膠85、95上，再進(jìn)行壓接對(duì)象物30的按壓。在此情況下，安裝在第四、第五按壓橡膠85、95上的狀態(tài)的壩式構(gòu)件86、96優(yōu)選其結(jié)構(gòu)和配置與上述第三例的壓接裝置6的第一、笫三壩式構(gòu)件16、66相同。壩式構(gòu)件86、96的筒的長度以及壩式構(gòu)件86、96的配置也沒有特別限定，在按壓壓接對(duì)象物30時(shí)，只要至少包圍第四、第五按壓橡膠85、95的表面部分，就既可以從第四、第五按壓橡膠85、95的表面到背面將其全部包圍，也可以不僅包圍第四、第五按壓橡膠85、95，還包圍第四、第五按壓板82、92。此外，在上述第五例的壓接裝置8中，也可以直接將第四、第五按壓橡膠85、95安裝在第四、第五按壓板82、92上，也可以如第四例的壓接裝置7那樣，在第四、第五按壓板82、92與第四、第五按壓橡膠85、95之間i殳置壓縮構(gòu)件。以上，對(duì)利用壩式構(gòu)件16、66、86、96包圍第一、第三~第五按壓橡膠15、65、85、95的全周的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，只要能夠防止第一、第三~第五按壓橡膠15、65、85、95的水平方向的擴(kuò)展，就也可以如圖13所示那樣，在壩式構(gòu)件16、66、86、96上形成露出第一、第三~笫五按壓橡膠15、65、85、95的側(cè)面的一部分的切槽98。保護(hù)膜5的形狀和大小也沒有特別限定，只要能夠避開粘接膜35與第一第五按壓橡膠15、25、65、85、95的接觸，就既可以使用從第一第五按壓橡膠15、25、65、85、95的表面不溢出的大小的保護(hù)膜5，也可以使用僅覆蓋壓接對(duì)象物30的一部分表面的保護(hù)膜5。在使用的粘接膜35與第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95的粘接性較低的情況下，也可以不使用保護(hù)膜5，使第一第五按壓橡膠15、25、65、85、95中的任何一個(gè)以上直接與壓接對(duì)象物30接觸。作為降低第一第五按壓橡膠15、25、65、85、95與粘接橡膠35的粘接性的方法，有將第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95的構(gòu)成材料變更為與粘接膜35的粘接性較低的材料，或在第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95的表面設(shè)置相對(duì)于粘接膜35具有離型性的離型層的方法。設(shè)置加熱單元的位置不被特別限定，既可以設(shè)置在兩個(gè)按壓頭(第一、第二按壓頭10、20,第一、第三按壓頭10、60,或第四、第五按壓頭80、90)中的任一方或雙方上，只要能夠?qū)峋鸵部梢栽O(shè)置在工作臺(tái)9上。并且，也可以從外部輻射紅外線對(duì)粘接膜35進(jìn)行加熱。既可以使粘接膜35只含有熱可塑性樹脂和熱固性樹脂中的任一種，也可以使其含有這兩種。熱可塑性樹脂和熱固性樹脂的種類沒有特別限定，作為熱固性樹脂，能夠使用一種以上的環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、氨基甲酸乙酯(urethan)樹脂等，作為熱可塑性樹脂，能夠使用一種以上的苯氧基(phenoxy)樹脂、聚乙烯醇等。此外，也可以代替粘接膜35,在基板31表面涂敷糊狀的粘接劑，再使電氣部件粘接到該粘接劑上，以此作為壓接對(duì)象物30。進(jìn)一步，也可以使用在內(nèi)部分散有導(dǎo)電性粒子的粘接膜35,以電氣部件32、33的連接端子37、38和基板31的連接端子37夾住導(dǎo)電性粒子，電連接電氣部件32、33和基板31。保護(hù)膜的種類沒有特別限定，優(yōu)選相對(duì)上述粘接膜35具有剝離性的膜，例如能夠使用將聚四氟乙烯成形為膜狀的膜，或?qū)⒐柰鹉z形成為膜狀的膜。構(gòu)成第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95的彈性材料沒有特別限定，但要舉一個(gè)例子的話例如能夠使用橡膠硬度(根據(jù)JISS6050)為40、80的彈性體(elastomer)。橡膠硬度通過JISS6050:2002的「6.試驗(yàn)方法」所記載的方法測(cè)定。下面i兌明該內(nèi)容。用于試驗(yàn)的樣品使用在制造后經(jīng)過了24小時(shí)的。并且，化學(xué)分析中共同的一般事項(xiàng)參照J(rèn)ISK0050。使用硬度試驗(yàn)機(jī)進(jìn)行硬度的試驗(yàn)，以試驗(yàn)機(jī)的壓針成為垂直的方式使加壓面與保持為水平的試驗(yàn)片的表面接觸，立刻以正數(shù)讀取刻度。再有，試驗(yàn)片的測(cè)定部位是將整個(gè)表面分成3等分，在各自的中央部分各測(cè)定一個(gè)部位，以其中間值為試^r片的硬度。另外，所謂硬度試驗(yàn)機(jī)，是指壓針形狀為直徑5.08mm士0.02mm的半球狀的彈簧(spring)硬度測(cè)試機(jī)。壓針的高度在刻度為0時(shí)為2.54士0.22mm,刻度為100時(shí)為Omm?？潭扰c彈簧的力的關(guān)系如下表1所示。(表l)表l:刻度與彈簧的力的關(guān)系<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>再有，對(duì)于橡膠硬度分別為40、60、80的彈性體，在測(cè)定溫度30°C~24(TC的范圍內(nèi)每隔3CTC測(cè)定橡膠硬度，結(jié)果是橡膠硬度的變化為士2。因?yàn)樵撝的軌蚩醋魇菧y(cè)定誤差范圍，所以可知橡膠硬度是不受溫度變化的影響的值。.作為用于第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95的彈性體，雖然能夠使用天然橡膠、合成橡膠中的任一種，但是從耐熱性、耐壓性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用硅酮橡膠。第一~第五按壓橡膠15、25、65、85、95,既可以使用相同的材料構(gòu)成使其橡膠硬度相同，也可以使用不同的材料構(gòu)成，使其橡膠硬度相異。用于本發(fā)明的基板31的種類沒有特別限定，能夠使用剛性基板、撓性基板等多種基板。與基板31連接的電氣部件32、33的種類沒有特別限定，具體而言，有半導(dǎo)體元件、電阻元件、其他的基板等。在將電氣部件32、33連接到基板31的表面和背面之前，在將電氣部件32、33連接到基板31的表面后到將電氣部件32、33向背面連接開始的期間，或者在將電氣部件32、33連接到基板31的表面與背面兩方之后，也可以在基板31的表面和背面的任一方或雙方上連接如CR部件這樣的其他的電氣部件。權(quán)利要求1.一種壓接裝置，其具有第一、第二按壓橡膠，該壓接裝置構(gòu)成為能夠以上述第一、第二按壓橡膠按壓配置在上述第一、第二按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其特征在于:在上述第一按壓橡膠的周圍配置有比上述第一按壓橡膠的表面高度高的壩式構(gòu)件，上述第二按壓橡膠構(gòu)成為能夠插入被上述壩式構(gòu)件包圍的空間內(nèi)。2.如權(quán)利要求1上述的壓接裝置，其特征在于，以下述方式構(gòu)成上述第一按壓橡膠配置在第一按壓板上，在上述第一按壓橡膠與上述第一按壓板之間配置有能夠壓縮變形的第一壓縮構(gòu)件，至少在上述第一壓縮構(gòu)件壓縮時(shí)，上述第一壩式構(gòu)件的高度變得比上述第一按壓橡膠的表面高度高。3.—種壓接裝置，其具有第一、第三按壓橡膠，該壓接裝置構(gòu)成為能夠以上述第一、第三按壓橡膠按壓配置在上述第一、第三按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其特征在于在上述第一、第三按壓橡膠的周圍，分別配置有比上述第一、第三按壓橡膠的表面高度高的壩式構(gòu)件。4.如權(quán)利要求3上述的壓接裝置，其特征在于，以下述方式構(gòu)成上述第一按壓橡膠配置在第一按壓板上，在上述第一按壓橡膠與上述第一按壓板之間配置有能夠壓縮變形的第一壓縮構(gòu)件，至少在上述第一壓縮構(gòu)件被壓縮時(shí)，上述第一壩式構(gòu)件的高度變得比上述第一按壓橡膠的表面高度高。5.—種壓接裝置，其具有第四、第五按壓橡膠，該壓接裝置構(gòu)成為能夠以上述第四、笫五按壓橡膠按壓配置在上述笫四、第五按壓橡膠之間的壓接對(duì)象物，其特征在于具有包圍上述第四、第五按壓橡膠的周圍的壩式構(gòu)件，上述壩式構(gòu)件構(gòu)成為能夠從上述第四、第五按壓橡膠分離。6.如權(quán)利要求5上述的壓接裝置，其特征在于上述壩式構(gòu)件為筒狀，上述第四、第五按壓橡膠構(gòu)成為能夠插入上述壩式構(gòu)件的筒的內(nèi)部。全文摘要本發(fā)明提供一種能夠在基板的兩面安裝電氣部件的壓接裝置。本發(fā)明的壓接裝置(1)具有第一、第二按壓橡膠(15、25)，通過以第一、第二按壓橡膠(15、25)夾住基板(31)，能夠同時(shí)在基板(31)的表面和背面上安裝電氣部件(32、33)。因?yàn)榈谝?、第二按壓橡膠(15、25)被第一壩式構(gòu)件(16)阻止其在水平方向的擴(kuò)展，所以不對(duì)電氣部件(32、33)施加向水平方向運(yùn)動(dòng)的力。從而，因?yàn)殡姎獠考?32、33)能夠沒有錯(cuò)位地與基板(31)連接，所以能夠得到可靠性較高的電氣裝置(30a)。文檔編號(hào)H01L21/603GK101379603SQ20078000497公開日2009年3月4日申請(qǐng)日期2007年2月8日優(yōu)先權(quán)日2006年2月10日發(fā)明者松村孝申請(qǐng)人:索尼化學(xué)&信息部件株式會(huì)社