專利名稱：一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種研磨墊整理器的維護(hù)方法，尤其涉及一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法。
背景技術(shù)：
在通常的CMP(化學(xué)機(jī)械研磨)工藝中，研磨頭(head orcarrier)攜帶著硅片(面朝下)貼壓在研磨墊(CMP pad)上，在研磨到一定時候，研磨墊會變鈍，失去了部分保持研磨漿料的能力，此外，變鈍使接觸面增加并引起了壓強(qiáng)的下降。這兩種變化都會使研磨速率下降。這時就需要在研磨的同時，研磨墊整理器的修正盤(Condition Disk)在研磨墊上整理修整使研磨墊恢復(fù)粗糙的表面，使其保持并傳送研磨漿并使接觸面較小，在研磨墊上整理修整使研磨墊恢復(fù)粗糙的表面，使其保持并傳送研磨漿并使接觸面較小，但是在整理到一定時間后，研磨墊整理器的修正盤上面的金剛石也會變鈍，如圖1所示，它是研磨墊整理器的修正盤示意圖，它包括本體1以及附著于本體上的表面鉆石2。結(jié)合圖2、3對比即可以看出，圖2是新的研磨墊整理器的修正盤邊緣表面鉆石示意圖，圖3是使用后的研磨墊整理器的修正盤邊緣表面鉆石示意圖，可以明顯看出表面鉆石的棱角被磨損，此時研磨速率會下降，當(dāng)研磨速率下降到一定程度，不能滿足工藝要求時，則研磨墊整理器的修正盤到了使用壽命，通常的做法是進(jìn)行更換修正盤，這樣會增加成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，它可以重復(fù)利用修正盤，降低生產(chǎn)成本。
為了解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，所述研磨墊整理器包括本體以及附著于本體上的表面鉆石，在研磨到設(shè)定條件時，采用打磨法或噴沙法，使表面鉆石的表面變?yōu)椴灰?guī)則的棱角。
所述的打磨法首先選用合適的粘性材料，將工業(yè)用鉆石粉末固定在載體上，然后用人工或機(jī)器的方法，保證一定的壓力的情況下，使所述工業(yè)用鉆石粉末和所述的表面鉆石進(jìn)行一定強(qiáng)度的相互間的機(jī)械摩擦。
所述的噴沙法首先將工業(yè)用鉆石粉末作為研磨介質(zhì)放入工業(yè)用噴沙設(shè)備中，然后將所述工業(yè)用鉆石粉末以高速對表面鉆石進(jìn)行噴射撞擊。
因?yàn)檠心|整理器的修正盤使用到一定時間后，其外緣的表面鉆石變鈍，而通過本發(fā)明打磨法或噴涂法，可以使外緣的表面鉆石重新變得鋒利，這樣使修正盤可以重新投入使用，而使用到工業(yè)用鉆石粉末的價格遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于修正盤價格，這樣就節(jié)約和降低了成本。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明做進(jìn)一步闡述。
圖1是修正盤示意圖；
圖2是新的修正盤邊緣表面鉆石示意圖；圖3是使用后的修正盤邊緣表面鉆石示意圖；圖4是經(jīng)本發(fā)明加工后的修正盤邊緣表面鉆石示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明利用價格大大低于鉆石的工業(yè)用鉆石粉末，修復(fù)研磨墊整理器的修正盤，這樣可以節(jié)約大量的成本。
本發(fā)明的其中一個方法是打磨法，它首先將工業(yè)用鉆石粉末通過電磁篩選法去除金屬雜質(zhì)，選用合適的粘性材料(需保證一定的粘附強(qiáng)度)將工業(yè)用鉆石粉末固定在載體上(載體可以是絨布，無紡布等柔軟物體)，用人工或機(jī)器的方法，保證一定的壓力的情況下對研磨墊整理器進(jìn)行摩擦處理(可以是在高溫的環(huán)境中，進(jìn)行一定強(qiáng)度的相互間的機(jī)械摩擦作用)，通過該方法可使被打磨的研磨墊整理器的修正盤表面鉆石在損失一定體積的情況下使得表面鉆石的邊緣重新變得鋒利(如圖4所示)，這樣能用相當(dāng)小的成本使得研磨墊整理器的修正盤再次投入到實(shí)際生產(chǎn)中去。
本發(fā)明的另一個方法是噴涂法，首先將工業(yè)用鉆石粉末通過電磁篩選法去除金屬雜質(zhì)，再將其作為研磨介質(zhì)放入工業(yè)用噴沙設(shè)備中，然后將工業(yè)用鉆石粉末以高速對準(zhǔn)修正盤的表面鉆石進(jìn)行強(qiáng)烈噴射和撞擊，在機(jī)械撞擊的作用下使被打磨的修正盤表面鉆石在損失一定體積的情況下使得表面鉆石的邊緣重新變得鋒利(如圖4所示)。同時對鉆石粉末回收，以兩次利用，通過這種方法也可以用相當(dāng)小的成本使得研磨墊整理器的修正盤再次可投入到實(shí)際生產(chǎn)中去。
權(quán)利要求
1.一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，所述研磨墊整理器的修正盤包括本體以及附著于本體上的表面鉆石，其特征在于，在研磨到設(shè)定條件時，采用打磨法或噴沙法，使表面鉆石的表面變?yōu)椴灰?guī)則的棱角。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，其特征在于，所述的打磨法首先選用合適的粘性材料，將工業(yè)用鉆石粉末固定在載體上，然后用人工或機(jī)器的方法，保證一定的壓力的情況下，使所述工業(yè)用鉆石粉末和所述的表面鉆石進(jìn)行一定強(qiáng)度的相互間的機(jī)械摩擦。
3.如權(quán)利要求2所述的研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，其特征在于，所述的載體可以是絨布、無紡布。
4.如權(quán)利要求1所述的研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，其特征在于，所述的噴沙法首先將工業(yè)用鉆石粉末作為研磨介質(zhì)放入工業(yè)用噴沙設(shè)備中，然后將所述工業(yè)用鉆石粉末以高速對所述表面鉆石進(jìn)行噴射撞擊。
5.如權(quán)利要求2或4所述的研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，其特征在于，所述的工業(yè)用鉆石粉末需通過電磁篩選法去除金屬雜質(zhì)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種研磨墊整理器的修正盤循環(huán)利用方法，它可以重復(fù)利用研磨墊整理器的修正盤，降低生產(chǎn)成本。所述修正盤包括本體以及附著于本體上的表面鉆石，在研磨到設(shè)定條件時，采用打磨法或噴沙法，使表面鉆石的表面變?yōu)椴灰?guī)則的棱角。所述的打磨法首先選用合適的粘性材料，將工業(yè)用鉆石粉末固定在載體上，然后用人工或機(jī)器的方法，保證一定的壓力的情況下，使所述工業(yè)用鉆石粉末和所述的表面鉆石進(jìn)行一定強(qiáng)度的相互間的機(jī)械摩擦；所述的噴沙法首先將工業(yè)用鉆石粉末作為研磨介質(zhì)放入工業(yè)用噴沙設(shè)備中，然后將所述工業(yè)用鉆石粉末以高速對表面鉆石進(jìn)行噴射撞擊。
文檔編號H01L21/304GK1978138SQ200510111279
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月8日
發(fā)明者王貝易, 王海軍 申請人:上海華虹Nec電子有限公司