專利名稱：局部涂覆分離劑的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種借助一個蒸發(fā)器在一個真空室內(nèi)給運動的基體局部涂上一層阻礙涂覆的分離劑的方法，該真空室具有至少一個金屬蒸發(fā)器，其中，分離劑在第一腔室中被加熱蒸發(fā)并且以蒸氣形態(tài)通過至少一個伺服閥被轉(zhuǎn)入一個配備有至少一個對準(zhǔn)當(dāng)時的基體的噴嘴的第二腔室。
背景技術(shù)：
在這里涉及在可運動的或正運動的基體上產(chǎn)生分離劑條，以下有時也簡稱為“油劑”。估計這樣的油跡具有與基體邊緣相關(guān)的預(yù)定的不變分布圖案以及不變的厚度和寬度。以下還要詳細(xì)提到其它要求。
DE3922187A1公開了這樣的材料，即它們阻礙局部涂覆并且也被稱為分離劑，這樣的材料在被加熱的蒸發(fā)器管中被蒸發(fā)并且直接從在液體(一般是油)上方的蒸氣室中被輸入噴嘴，所述噴嘴分別將一股蒸氣流對準(zhǔn)運動的帶材，以便在金屬蒸發(fā)過程中產(chǎn)生無金屬的縱條紋。還公開了一種用于觀察金屬化過程但不是油涂覆的電視攝象機。
DE4100643C1還公開了，通過以帶材速度轉(zhuǎn)動的輥來產(chǎn)生附加的無金屬橫條紋，蒸氣從油蒸氣的蒸發(fā)室中也被順利地送入輥中。通過溫度傳感器，可以監(jiān)測蒸發(fā)器中的油溫。
DE4231644A1公開了，這樣控制無金屬區(qū)的分布圖案，即在蒸發(fā)室上方和縫隙噴嘴之前安裝一個可移動的擋板，它具有長度不同的空缺和舌片。但明確提到了總要有一個縫隙噴嘴保持空閑狀態(tài)。
DE4309771A1也公開了，縫隙噴嘴直接安置在被加熱的蒸發(fā)器的蒸發(fā)室上方并且通過控制油蒸發(fā)器的加熱功率來調(diào)節(jié)油層厚度。
EP0966006A2公開了，如此產(chǎn)生層疊電容器，即在一個轉(zhuǎn)動的高亮拋光輥每轉(zhuǎn)動一圈時，先后涂覆一個硬化絕緣的并由單體反應(yīng)蒸氣構(gòu)成的樹脂層、成條紋圖案的分離層和也成條紋圖案的但與分離層互補的金屬層，這些金屬層來自鋁、銅、鋅、鎳及其合金和氧化物。這些層構(gòu)成的殼體通過高達(dá)1800的多個螺旋圈產(chǎn)生，直到達(dá)到理想的電容器靜電容量。隨后，多層外殼橫向于轉(zhuǎn)動方向地被切斷并抬離輥，在加熱作用下被壓平并又被劃分開并配設(shè)上電極。也提到了利用激光測量樹脂厚度。還提到了通過借助照相機測量反射率和色對比度來測量層寬。盡管提到了用于分離層材料的并配備有噴嘴的蒸氣分配器，其中所述分離層材料就是油蒸氣，所述油來自脂、甘醇、氟化碳和碳化氫，但沒有提到用于控制蒸氣量和層厚并用于在設(shè)備停機時中斷蒸氣流的手段和措施。該文獻(xiàn)甚至說，不需要在輥每圈轉(zhuǎn)動時確定所有各層的厚度，而且只要最后達(dá)到一定的靜電容量就夠了。例如，在一個在輥最初轉(zhuǎn)動15圈后的測量時刻(檢查點)測量層厚也就行了。盡管對于鋁給出了300納米(300埃)的層厚，但對于分離劑只提到必須又通過等離子體放電除去多余的分離劑。但這樣一來，尤其是在以鹵素化合物為分離劑時，出現(xiàn)了有毒的并對泵機油有害的化合物。對硬化樹脂層來說，提到了不超過1微米的厚度。其實談到的只是絕緣層或樹脂層以及金屬層的厚度和金屬層和分離層的寬度的測量和控制或調(diào)整，因為這些參數(shù)對電容器電容起到?jīng)Q定性作用。或許還規(guī)定了在其它圈數(shù)后的某些測量時刻(檢查點)重新進(jìn)行測量?？傊?，這篇文獻(xiàn)沒有深入討論在工作間歇中連續(xù)出現(xiàn)油或分離劑的問題以及避免油跡因油蒸發(fā)器的溫度波動和長度波動而位移的問題。
所列舉的分離劑和金屬及其合金和化合物原則上也可以被用于本發(fā)明的主題。
上述解決方案的缺點是，蒸發(fā)器因其不可避免的熱惰性而在設(shè)備停機時也排出油蒸氣，例如當(dāng)換帶時或在作業(yè)故障時，因此，明顯污染了設(shè)備。這種油污染很難除去，尤其是油與其它臟東西構(gòu)成潤滑油。
總之，在現(xiàn)有技術(shù)中沒有提到另一個嚴(yán)重問題，即在加熱和冷卻時由熱決定的蒸發(fā)器長度波動。就是說，如果要減少排油，則必然要調(diào)節(jié)蒸發(fā)器的加熱狀況并且在重新投入工作中時加熱蒸發(fā)器。這導(dǎo)致時間損失和或許導(dǎo)致排油量減少?？墒?，噴嘴和進(jìn)而油跡沿帶的穩(wěn)定分布對終產(chǎn)品的出色性能是重要的。
EP1035553A1、EP0938971A2公開了用于中斷從蒸發(fā)器到噴嘴列的蒸氣流的各種解決方案。一方面，一些截流閥位于設(shè)置在真空室外的蒸發(fā)器和在真空室內(nèi)的噴嘴體之間。
隨后的如EP1035553A1所述的現(xiàn)有技術(shù)是圖7所示的例子。油蒸發(fā)器是一個具有兩個平行通道的可加熱的塊體，所述通道通過一道整齊噴出縫相互連通，其中，該塊體被加熱到位于油沸點之上的溫度。在下通道中填充有儲備油，上通道配備有噴嘴列以便將蒸氣噴向帶材，這樣一來，就能在帶材上產(chǎn)生油跡。沒有公開在兩個通道之間的截流閥或控制閥，唯一的外部截流閥只設(shè)置在一個也在外面的冷油儲備容器和用于油液的下側(cè)內(nèi)儲備通道之間。結(jié)果，仍然沒有阻礙油蒸氣在關(guān)斷截流閥后也通過噴嘴列流入設(shè)備的真空室中并且在那里冷凝。也沒有提到在溫度波動時的油蒸發(fā)器的長度波動的問題。但以下說法是重要的，即盡管這樣一來可以得到很簡單的布置結(jié)構(gòu)，但它以影響分離劑(油)壓力波動為前提條件，因而，排出的油量容易變得不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的任務(wù)是，在上述類型的方法中，即在一個雙腔室蒸發(fā)器中儲備有液態(tài)分離劑并且該蒸發(fā)器具有一個蒸氣分配室以及在真空室內(nèi)的噴嘴的方法中，如此進(jìn)行改善，即盡管蒸發(fā)溫度保持恒定，來自噴嘴的蒸氣量可以明確地改變并且與偶然性無關(guān)，流出蒸氣實際上也能馬上被中斷。
在上述方法中，根據(jù)本發(fā)明來如此完成所提出的任務(wù)，即a)盡可能恒定地保持蒸發(fā)器溫度，b)來自該第一腔室的蒸氣通過所述的至少一個伺服閥受控制地被輸入該第二腔室里并且在該第二腔室中最初平行于第一腔室地被供給所述的至少一個噴嘴，c)該伺服閥在基體停止或沒有基體時被關(guān)閉并保持關(guān)閉狀態(tài)。
術(shù)語“控制”仍然也包括通過一個或多個封閉的調(diào)節(jié)環(huán)路的調(diào)節(jié)。
通過這個解決方案，徹底完成了所提出的任務(wù)，即通過保持蒸發(fā)器溫度穩(wěn)定使蒸發(fā)器長度和進(jìn)而噴嘴和由其產(chǎn)生的油跡的分布圖案保持不變，從噴嘴中噴出的蒸氣量可以根據(jù)方法來控制，蒸氣流出實際上或許也能馬上被中斷，因而，實際上避免了由油冷凝引起的真空室及其復(fù)雜分布的內(nèi)裝部件被污染，進(jìn)而，也能避免平常的、困難的且勞動力大的設(shè)備清洗工作。
本發(fā)明方法的其它的有利實施形式從其余的方法權(quán)利要求和具體說明中得到，尤其是從組合方案和下級組合方案中得到，即*裝存在第一腔室中的液態(tài)分離劑通過至少一個被浸入的電加熱體被保持在恒定溫度上，至少該第二腔室的壁和進(jìn)而所述的至少一個噴嘴通過至少另一個電加熱體也保持在一個被選定為高于該分離劑的沸騰溫度的恒定溫度上，*該第一腔室布置在下面，而該第二腔室安置在一個較高的位置上，蒸氣狀的分離劑按照一個垂直的方向分量從下方對準(zhǔn)一個帶狀基體。
*該第一腔室布置在上方，而該第二腔室安置在一個較低的位置上，蒸氣狀的分離劑按照一個垂直的方向分量從上方對準(zhǔn)一個板狀基體。
*該第二腔室的壁面溫度被調(diào)整到一個比在該第一腔室內(nèi)的分離劑溫度更高的值。
*該浸入的加熱體的溫度根據(jù)分離劑溫度來調(diào)節(jié)。
*用于所述的至少一個噴嘴的該加熱體的加熱功率根據(jù)噴嘴溫度來調(diào)節(jié)。
*單位時間里從該第一腔室轉(zhuǎn)入該第二腔室的蒸氣量通過所述的至少一個比例閥并根據(jù)所述至少一個噴嘴所需的分離劑需求量來調(diào)節(jié)。
*單位時間里從所述至少一個噴嘴中流出的分離劑的蒸氣量根據(jù)油跡的寬度和層厚以及基體的輸送速度來調(diào)節(jié)。
*所述油跡的層厚按照單位時間內(nèi)由金屬蒸發(fā)器蒸發(fā)的金屬量來調(diào)節(jié)。
*使所述至少一條油跡經(jīng)過一個觀察區(qū)，在該觀察區(qū)里進(jìn)行油跡的光學(xué)控制。
*對形成分布圖案和油跡的所需厚度很重要的工作參數(shù)被輸送給一個控制系統(tǒng)，在該控制系統(tǒng)里，這些工作參數(shù)被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整分離劑用蒸發(fā)器的調(diào)節(jié)參量。
*對形成金屬涂層很重要的工作參數(shù)也被輸送給控制系統(tǒng)，在該控制系統(tǒng)中，這些工作參數(shù)被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整金屬蒸發(fā)器的調(diào)節(jié)參量。
本發(fā)明也涉及一種完成同一任務(wù)的裝置。該裝置從以下的現(xiàn)有技術(shù)特征出發(fā)，即一種用于借助一個可被加熱的蒸發(fā)器在真空室里給運動的基體局部涂上一層阻礙涂覆的分離劑的裝置，該真空室有至少一個金屬蒸發(fā)器，其中該分離劑蒸發(fā)器具有一個帶有至少一個用于分離劑蒸發(fā)的加熱體的第一腔室以及一個其走向平行于該第一腔室并與該第一腔室相連的第二腔室，該第二腔室具有至少一個對準(zhǔn)當(dāng)時的基體的噴嘴，還設(shè)有至少一個用于截止分離劑輸送的伺服閥。
在這樣的裝置中，根據(jù)本發(fā)明如此完成所提出的任務(wù)，即a)所述的至少一個伺服閥是一個比例閥，它安置在該第一腔室和該第二腔室之間；b)該伺服閥安置在分離劑蒸發(fā)器的各一條通道里，所述通道使該該第一腔室與該第二腔室連通；c)該伺服閥是這樣構(gòu)成的，即該分離劑的蒸氣流不僅在量方面可明確地調(diào)節(jié)，而且能被完全中斷。
本發(fā)明裝置的其它有利實施形式見其余的裝置權(quán)利要求以及具體描述，尤其是也從組合方案和下級組合方案中得到，即*該第一腔室布置在下面，而該第二腔室安置在較高的位置上，蒸氣狀分離劑可以按照一個垂直的方向分量從下側(cè)對準(zhǔn)一個帶狀基體。
*該第一腔室布置在上面，而該第二腔室安置在較低位置上，蒸氣狀分離劑可以按照一個垂直的方向分量從上側(cè)對準(zhǔn)一個帶狀基體。
*在用于液態(tài)分離劑的第一腔室中設(shè)有至少一個電加熱體，至少該第二腔室的壁和進(jìn)而所述的至少一個噴嘴處于與至少另一個電加熱體的熱接觸中。
*該分離劑蒸發(fā)器具有一個帶有一底面和側(cè)凸緣的長方體形腔室，一個中間蓋被緊固到所述凸緣上，該中間蓋在其最長延伸方向上具有一個朝上敞開的中央空缺，在中央空缺的兩側(cè)有一些槽，所述的至少另一個加熱體安裝在這些槽里，在該中間蓋上緊固著一個噴嘴板，該噴嘴板在其最長延伸方向上具有一個朝下敞開的空缺，其中，這些空缺在形成該第二腔室的情況下彼此連通，所述的至少一個噴嘴起始于第二腔室。
*a)該分離劑蒸發(fā)器具有一個有一底面和側(cè)凸緣的第一腔室，一個第一封蓋被緊固在所述凸緣上，b)第二腔室具有一個第二封蓋，該第二封蓋在其最長延伸方向上具有一個朝下敞開的中央空缺，在中央空缺的兩側(cè)設(shè)有一些槽，所述的至少另一個加熱體安裝在這些槽里，在第二封蓋的底面上緊固著一個噴嘴板，該噴嘴板在其最長延伸方向上具有一個朝上敞開的空缺，其中，這些空缺在形成該第二腔室的情況下彼此連通，所述的至少一個噴嘴起始于第二腔室。
*該噴嘴板被構(gòu)造成可以被換上一個具有不同的噴嘴橫截面和/或不同的噴嘴分布圖案的噴嘴板。
*在該蒸發(fā)器的第一腔室里，在一個根據(jù)結(jié)構(gòu)而預(yù)定的液面的下方設(shè)有一個用于測量分離劑溫度的溫度傳感器。
*該噴嘴板具有一個有一端面的空缺，一個用于測量噴嘴板溫度的溫度傳感器貼在該端面上。
*在該分離劑蒸發(fā)器的上面設(shè)有一個用于預(yù)定出一帶狀基體的運動路線和至少一個在該基體上的并由所述噴嘴產(chǎn)生的油跡的走向的轉(zhuǎn)向輥，給該轉(zhuǎn)向輥配備有用于求出基體速度的信號機構(gòu)。
*在該分離劑蒸發(fā)器的下面設(shè)有一個用于板狀基體的和至少一個在基體上的并由所述噴嘴產(chǎn)生的油跡的走向的輸送路線，給該輸送路線配備有用于求出基體速度的信號機構(gòu)。
*給具有所述至少一條油跡的該基體的運動路線配備一個觀察區(qū)，通過光學(xué)裝置掃描該觀察區(qū)。
*用于溫度、單位時間的蒸氣量、分布圖案的形成和油跡厚度的傳感器的測量信號被接入一個控制系統(tǒng)里，在該控制系統(tǒng)中，這些測量信號被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整用于分離劑的蒸發(fā)器的調(diào)節(jié)參量。
*給控制系統(tǒng)接入一個測量調(diào)節(jié)機構(gòu)以便通過金屬蒸發(fā)器來控制金屬涂層。
*給該控制系統(tǒng)配備一個用于控制指令和/或工作參數(shù)的理論值的輸入鍵盤。
*給該控制系統(tǒng)配備一個用于測量值、控制指令和/或工作參數(shù)的理論值的屏幕。


以下，結(jié)合圖1-圖4來詳細(xì)描述本發(fā)明主題的兩個實施例及其工作原理，附圖所示為圖1表示用于垂直向上的分離劑出口的蒸發(fā)器一端的一個軸向截面，該圖也是所屬轉(zhuǎn)向輥和涂有條形分離劑的帶材的局部側(cè)視圖，同時也是用于獲得測量值以及將控制調(diào)節(jié)信號轉(zhuǎn)發(fā)給通過測量機構(gòu)來檢測的各組成部分的非常示意性的框圖；圖2表示在用于噴出分離劑的其中一個噴嘴的區(qū)域里的圖1所示主題的垂直橫截面圖；圖3是與圖2相似的、在用于測量液態(tài)分離劑溫度和噴嘴板的溫度傳感器的區(qū)域里的垂直橫截面圖；圖4是與圖2相似的但蒸氣噴出方向掉轉(zhuǎn)即向下的垂直橫截面圖。
具體實施例方式
圖1表示一個用于分離劑(以下簡稱為油)的蒸發(fā)器1。蒸發(fā)器1設(shè)置在一個未示出的真空室里并且具有一大致成長方體形的并用于儲備待蒸發(fā)的油的下腔室2。在底面2a附近有一個在縱向上連貫的電加熱體3，該電加熱體在一端上借助螺絲3a被緊密地裝上一根電線3b。一個用于掌握油溫的溫度傳感器4浸在油中，該溫度傳感器例如被調(diào)到110攝氏度。蒸發(fā)器1的另一端可以有相似的結(jié)構(gòu)，但沒有螺絲3a。
100攝氏度值適用于常見的分離劑，例如由全氟聚醚(它也被用作真空泵油)構(gòu)成的分離劑，例如被稱為“Fomblin”。這樣的油是高分子的并且是惰性的，即便是相對強腐蝕性介質(zhì)來說，它也是惰性的，并且是熱穩(wěn)定的和不可燃燒的(ROEMPP Chemie Lexikon，1995，Georg Thieme Verlag，斯圖加特和紐約，第1421和3276頁，關(guān)鍵詞“Fomblin”和“Perfluropolyether”)。就是說，其混合成必須有的真空泵的泵機油也是毫無問題的。
例如在制造有鋁襯層的電容器時，相對金屬涂覆材料的對基體如塑料膜和紙幅的分離作用涉及到精確的油層厚度，在基體上的油膜通過冷凝的金屬蒸氣被加熱，其中，油被蒸發(fā)并且通過油的蒸發(fā)分子的粒子流阻礙了金屬沉積。如果涂覆太少的油，則分離作用太弱并且在要保持無金屬的基體條材上涂上了一層薄薄的金屬，因為在在金屬沉積結(jié)束之前，在基體上的儲油已用盡了。如果涂上的油太多，則油層留在基體上，它在卷繞帶材時留在兩層之間，結(jié)果，油被涂在部分金屬化的材材的大部分區(qū)域上。就是說，被迫事先規(guī)定精確穩(wěn)定的分離劑的劑量，但這很難做到。
在腔室2上方，密封地設(shè)有一個中間蓋5，在中間蓋之中和之上有一個通道形上腔室6，它的走向平行于下腔室2并且它起到油蒸氣的分配通道的作用。在腔室6(仍然是密封的)上方設(shè)有一個噴嘴板7，它在縱向上并按照預(yù)定的分布圖案有多個噴嘴8。腔室6由兩個直線的空缺6a、6b構(gòu)成，它們彼此相通地形成在中間蓋5里和在噴嘴板7里(見圖2)。
在噴嘴板7上方并與之平行略微間隔開地設(shè)有一個轉(zhuǎn)向輥9，該轉(zhuǎn)向輥將待涂覆的帶材10即一塑料膜或紙條從一個原料卷上重卷到一個成品卷上，原料卷和成品卷都未示出。移動方向由垂直箭頭表示。
下腔室2通過至少一個通道11與上腔室6連通，該通道通過一個螺紋塞11a對外封閉，其中，可以通過一個帶有閥體12a的電控比例閥12來控制過渡橫截面并進(jìn)而控制單位時間里的蒸氣量，該閥體裝在通道11里。這樣的壓力控制用比例閥12例如由德國的Buerkert公司銷售。
由于腔室6與所有噴嘴8的橫截面之合相關(guān)地具有比較大橫截面，所以由各噴嘴8噴出的蒸氣量總是相等的。蒸氣流在移動的帶材10上產(chǎn)生條紋形等寬等間距的分離劑或油跡13，其作用已描述過了。噴嘴板7保持在如120攝氏度的不變溫度上，因此，在噴嘴板上和噴嘴板中都沒有出現(xiàn)可能改變橫截面的油冷凝。
圖2用與以前相同的標(biāo)記表示長方體形腔室2，該腔室具有側(cè)凸緣2b、2c和待蒸發(fā)的儲備油14，油達(dá)到了液面15。中間蓋5通過螺釘17并在中間安放密封件16的情況下完全一致地與腔室2的凸緣2b、2c擰接在一起，圖中只示出了一個。在中間安置密封件16a的情況下，噴嘴板7借助螺釘18和一個絕熱的螺紋套18被擰在中間蓋5上，只能看到其中一個。還能看到，上腔室6至少基本上通過銑削而形成在中間蓋5和噴嘴板7中。
在中間蓋5和噴嘴板7之間的一個分界縫19的下方，在中間蓋5內(nèi)有用于加熱體20的槽5a、5b，加熱體的主要作用是將噴嘴板7加熱到所需溫度并保持在該溫度上。
圖3又用與以前相同的標(biāo)記表示一個與圖2相似的按照實際的區(qū)域截面，在該區(qū)域中設(shè)有一個用于掌握噴嘴板7溫度的溫度傳感器21。溫度傳感器21以其封閉殼體21a固定在一個肘形件22上并借助一個壓簧21b被壓到在噴嘴板7中的一個孔的端面7a上。還能看到用于油的溫度傳感器4及其封閉殼體4a。23表示一個可封閉的油加裝管接頭。
從圖1、2、3的概述中得到了以下的用于調(diào)節(jié)、控制和/或調(diào)整蒸發(fā)器的重要參數(shù)的可能性，圖1很示意地示出了一個控制系統(tǒng)24。該控制系統(tǒng)先通過溫度傳感器4獲得一個油溫的測量值，由此，加熱體3可借助一個在電線3b中的功率調(diào)節(jié)器3c并通過線路25被調(diào)整到穩(wěn)定不變的溫度值。用于噴嘴板7的溫度傳感器21(在此僅示意表示)也將其測量值發(fā)送給控制系統(tǒng)24，這樣，加熱體20的功率如圖2所示地通過線路26得到調(diào)節(jié)，確切地說，它也被調(diào)整到一個穩(wěn)定不變的溫度。
通過線路27來控制比例閥12尤其重要。為此，轉(zhuǎn)向輥配備有一個在此非常示意性示出的轉(zhuǎn)速發(fā)送器28，它可以是一個用于測量在轉(zhuǎn)向輥9上的條紋圖案的光學(xué)傳感器，或者是一個用于環(huán)繞磁鐵的磁力傳感器，或者一個轉(zhuǎn)速測量儀蹭擦著轉(zhuǎn)向輥9的一個未示出的軸。由于每個噴嘴的單位時間里的油量基本上應(yīng)與帶速成比例，所以，由此得到一個用于優(yōu)化蒸氣流和油層厚度的理想的可行方案。當(dāng)轉(zhuǎn)向輥9停止時，比例閥12由此進(jìn)入其關(guān)閉位置。為了同樣的目的并且在作業(yè)出現(xiàn)故障時，也可以設(shè)置一個緊急斷路開關(guān)，它被整合到控制系統(tǒng)24中。
油層厚度的一個附加的光學(xué)控制或目測控制可以在觀察區(qū)29中進(jìn)行，油跡13經(jīng)過該觀察區(qū)。這個區(qū)域例如可以被視頻攝象機掃過，或者它可以通過一條線路30將在光學(xué)傳感器和光源之間的反射光用于人工控制或自動調(diào)節(jié)。
所有的措施可以單獨采用或按照任何組合方式采用，不過在這里，在工作過程中，或是在調(diào)節(jié)后或是通過用于保持油跡13的調(diào)整來保持恒定的油溫和噴嘴板7的溫度并且在設(shè)備停機時盡快中斷從噴嘴8中噴出的蒸氣流，這些是很重要的。
控制系統(tǒng)2適當(dāng)?shù)鼐哂幸粋€用于控制指令和/或理論值的輸入鍵盤31和一個LCD顯示器和/或一個用眼觀看的屏幕。
還按照非?？s小的比例示出了一個金屬蒸發(fā)器33，它包括一個通過流通電流被加熱的石墨蒸發(fā)舟34，在該石墨蒸發(fā)舟里有熔液35如鋁水。金屬蒸發(fā)器33至少遍及帶材10的整個寬度范圍里。對應(yīng)地設(shè)有一個測量調(diào)節(jié)機構(gòu)36，它例如通過線路37從控制系統(tǒng)24那里獲得如用于加熱功率的控制信號。眾所周知的是，單位時間里蒸發(fā)的金屬量與加熱功率或溫度至少基本成比例。溫度和/或加熱功率的響應(yīng)通過一條通向控制系統(tǒng)24的線路38來完成。這樣一來，單位時間里蒸發(fā)的油量和金屬量可以通過控制系統(tǒng)24而最佳地相互協(xié)調(diào)，因為油量和金屬量又成比例地相互對應(yīng)。
圖4表示與圖2相似的垂直橫截面，但蒸氣噴出方向相反即向下。采用了盡量相同的標(biāo)記，尤其是圖4的主題盡可能由與圖1-3相同的部件組成。
在這種情況下，第一腔室2即上腔室通過第一封蓋39被封閉。在分離劑14(油)上方的蒸發(fā)室14a在這里也與一通道11連通，該通道在這里成彎曲管路12的形式并且在該通道中有上述比例閥12。在這里，第二腔室6設(shè)置在第一腔室2的下方并且在一定程度上是“頭朝下”。在這里，如圖1-3所示的中間蓋5成封蓋40的形式，通道11通過第二封蓋40通入第二腔室6，第二腔室又由兩個彼此相通的空缺6a、6b構(gòu)成。至少一個噴嘴8的蒸氣噴出方向朝下地對準(zhǔn)基體10，該基體是抗彎的并且可以是由玻璃構(gòu)成的板或圓盤，例如以便隨后用作LCD盤?？梢晕挥陂l門或存放庫之間的輸送路線41由多個輸送輥42限定。
第二腔室6通過接板43與第一腔室2連接，腔室2、6構(gòu)成一個包括平行腔室2、6的結(jié)構(gòu)單元。由于第二腔室6通常具有比第一腔室2更高的工作溫度，所以設(shè)置隔熱層44是適當(dāng)?shù)摹?br> 當(dāng)然，分離劑蒸發(fā)器1的空間位置可以根據(jù)基體輸送路線的不同被選得不同，只要第一腔室2即蒸發(fā)器室始終具有工作能力就行。不僅傾斜放置是可行的，而且腔室6和噴嘴板7也可以安置在腔室2的旁邊，以便例如能夠涂覆垂直移動的帶材。在一定程度上，本發(fā)明的主題構(gòu)成一個積木式結(jié)構(gòu)體系，它幾乎可以任意改裝，如尤其象參照圖2、4所示的那樣。
附圖標(biāo)記一覽表1-蒸發(fā)器；2-第一腔室；2a-底面；2b-凸緣；2c-凸緣；3-加熱體；3a-螺絲；3b-電線；3c-功率調(diào)節(jié)器；4-溫度傳感器；4a-連接外殼；5-中間蓋；5a-槽；5b-槽；6-第二腔室；6a-空缺；6b-空缺；7-噴嘴板；7a-端面；8噴嘴；9-轉(zhuǎn)向輥；10-基體；11-通道；11a-螺紋塞；12-比例閥；12a-閥體；13-油跡；14-油；14a-蒸發(fā)室；15-液面；16-密封件；16a-密封件；17-螺釘；18-螺釘；18a-螺紋套；19-分界縫；20-加熱體；21-溫度傳感器；21a-連接外殼；21b-壓簧；22-肘形件；23-加裝管接頭；24-控制系統(tǒng)；25-線路；26-線路；27-線路；28-轉(zhuǎn)速發(fā)送器；29-觀察區(qū)；30-線路；31-輸入鍵盤；32-屏幕；33-金屬蒸發(fā)器；34-石墨蒸發(fā)舟；35-熔液；36-測量調(diào)節(jié)機構(gòu)；37-線路；38-線路；39-第一封蓋；40-第二封蓋；41-輸送路線；42-輸送輥；43-接板；44-隔熱層。
權(quán)利要求
1.一種借助一個蒸發(fā)器(1)在蒸發(fā)室中給運動的基體(14)局部涂上一層阻礙涂覆的分離劑(14)的方法，該蒸發(fā)室有至少一個金屬蒸發(fā)器(33)，其中，該分離劑(14)在一個第一腔室(2)里通過加熱被蒸發(fā)并且以蒸氣形態(tài)通過至少一個伺服閥(12)被轉(zhuǎn)入一個配備有至少一個對準(zhǔn)當(dāng)時的基體(10)的噴嘴(8)的第二腔室(6)中，其特征在于，a)盡可能恒定地保持蒸發(fā)器溫度，b)來自該第一腔室(2)的蒸氣通過所述的至少一個伺服閥(12)受控制地被輸入該第二腔室(6)里并且在該第二腔室中最初平行于第一腔室(2)地被供給所述的至少一個噴嘴(8)，c)該伺服閥(12)在基體(10)停止或沒有基體時被關(guān)閉并保持關(guān)閉狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，裝存在該第一腔室(2)中的液態(tài)分離劑(14)通過至少一個被浸入的電加熱體(3)被保持在恒定溫度上，至少該第二腔室(6)的壁和進(jìn)而所述的至少一個噴嘴(8)通過至少另一個電加熱體(20)也保持在一個被選定為高于該分離劑(14)的沸騰溫度的恒定溫度上。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，該第一腔室(2)布置在下方，而該第二腔室(6)安置在一個較高的位置上，蒸氣狀的分離劑(14)按照一個垂直的方向分量從下方對準(zhǔn)一個帶狀基體(10)。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，該第一腔室(2)布置在上方，該第二腔室(6)安置在一個較低的位置上，蒸氣狀的分離劑(14)按照一個垂直的方向分量從上方對準(zhǔn)一個板狀基體(10)。
5.至少如權(quán)利要求1-4之一所述的方法，其特征在于，該第二腔室(6)的壁面溫度被調(diào)整到一個比在該第一腔室(2)內(nèi)的分離劑溫度更高的值。
6.至少如權(quán)利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，該浸入的加熱體(3)的溫度根據(jù)分離劑溫度來調(diào)節(jié)。
7.至少如權(quán)利要求1-6之一所述的方法，其特征在于，用于所述至少一個噴嘴(8)的加熱體(20)的加熱功率根據(jù)噴嘴溫度來調(diào)節(jié)。
8.至少如權(quán)利要求1-7之一所述的方法，其特征在于，單位時間里從該第一腔室(2)轉(zhuǎn)入該第二腔室(6)的蒸氣量通過所述的至少一個比例閥(12)并根據(jù)所述至少一個噴嘴(8)所需的分離劑需求量來調(diào)節(jié)。
9.至少如權(quán)利要求1-8之一所述的方法，其特征在于，單位時間里從所述至少一個噴嘴(8)中流出的分離劑(14)的蒸氣量根據(jù)油跡(13)的寬度和層厚以及基體(10)的輸送速度來調(diào)節(jié)。
10.至少如權(quán)利要求1-9之一所述的方法，其特征在于，該油跡(13)的層厚按照單位時間里由金屬蒸發(fā)器(33)蒸發(fā)的金屬量來調(diào)節(jié)。
11.至少如權(quán)利要求1-10之一所述的方法，其特征在于，使所述至少一條油跡(13)經(jīng)過一個觀察區(qū)(29)，在該觀察區(qū)里進(jìn)行油跡(13)的光學(xué)控制。
12.至少如權(quán)利要求1-11之一所述的方法，其特征在于，對形成分布圖案和油跡(13)的所需厚度很重要的工作參數(shù)被輸送給一個控制系統(tǒng)(24)，在該控制系統(tǒng)里，這些工作參數(shù)被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整分離劑(14)用蒸發(fā)器(1)的調(diào)節(jié)參量。
13.至少如權(quán)利要求1-12之一所述的方法，其特征在于，對形成金屬涂層重要的工作參數(shù)也被輸入控制系統(tǒng)(24)，在該控制系統(tǒng)中，這些工作參數(shù)被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整金屬蒸發(fā)器(33)的調(diào)節(jié)參量。
14.一種用于借助一個可被加熱的蒸發(fā)器(1)在真空室里給運動的基體(10)局部涂上一層阻礙涂覆的分離劑(14)的裝置，該真空室有至少一個金屬蒸發(fā)器(33)，其中，該分離劑蒸發(fā)器(1)具有一個帶有至少一個用于分離劑(14)的蒸發(fā)的加熱體(3)的第一腔室(2)以及一個其走向平行于該第一腔室(2)并與該第一腔室相連的第二腔室(6)，該第二腔室具有至少一個對準(zhǔn)當(dāng)時的基體(10)的噴嘴(8)，還設(shè)有至少一個用于截止分離劑輸送的伺服閥(12)，其特征在于，a)所述的至少一個伺服閥(12)是一個比例閥，它安置在該第一腔室(2)和該第二腔室(6)之間；b)該伺服閥(12)安置在分離劑蒸發(fā)器(1)的各一條通道(11)里，所述通道(11)使該該第一腔室(2)與該第二腔室(6)連通；c)該伺服閥(12)是這樣構(gòu)成的，即該分離劑(14)的蒸氣流不僅在量方面可明確地調(diào)節(jié)，而且能被完全中斷。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，該第一腔室(2)布置在下面，而該第二腔室(6)安置在較高的位置上，蒸氣狀分離劑(14)可以按照一個垂直的方向分量從下側(cè)對準(zhǔn)一個帶狀基體(10)。
16.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，該第一腔室(2)布置在上面，而該第二腔室(6)安置在較低位置上，蒸氣狀分離劑(14)可以按照一個垂直的方向分量從上側(cè)對準(zhǔn)一個帶狀基體(10)。
17.至少如權(quán)利要求14-16之一所述的裝置，其特征在于，在用于液態(tài)分離劑(14)的該第一腔室(2)中設(shè)有至少一個電加熱體(3)，至少該第二腔室(6)的壁和進(jìn)而所述的至少一個噴嘴(8)處于與至少另一個電加熱體(20)的熱接觸中。
18.至少如權(quán)利要求14、15和17之一所述的裝置，其特征在于，該分離劑蒸發(fā)器(1)具有一個帶有一底面(2a)和側(cè)凸緣(2b，2c)的長方體形腔室(2)，一個中間蓋(5)被緊固到所述凸緣上，該中間蓋在其最長延伸方向上具有一個朝上敞開的中央空缺(6a)，在中央空缺的兩側(cè)有一些槽(5a，5b)，所述的至少另一個加熱體(20)安裝在這些槽里，在該中間蓋(5)上緊固著一個噴嘴板(7)，該噴嘴板在其最長延伸方向上具有一個朝下敞開的空缺(6b)，其中，這些空缺(6a，6b)在形成該第二腔室(6)的情況下彼此連通，所述的至少一個噴嘴(8)起始于第二腔室。
19.至少如權(quán)利要求14、16和17之一所述的裝置，其特征在于，a)該分離劑蒸發(fā)器(1)具有一個有一底面(2a)和側(cè)凸緣(2b，2c)的第一腔室(2)，一個第一封蓋(39)被緊固在所述凸緣上，b)第二腔室(6)具有一個第二封蓋(40)，該第二封蓋在其最長延伸方向上具有一個朝下敞開的中央空缺(6a)，在中央空缺的兩側(cè)設(shè)有一些槽(5a，5b)，所述的至少另一個加熱體(20)安裝在這些槽里，在第二封蓋(40)的底面上緊固著一個噴嘴板(7)，該噴嘴板在其最長延伸方向上具有一個朝上敞開的空缺(6b)，其中，這些空缺(6a，6b)在形成該第二腔室(6)的情況下彼此連通，所述的至少一個噴嘴(8)起始于第二腔室。
20.如權(quán)利要求18或19所述的裝置，其特征在于，該噴嘴板(7)被構(gòu)造成可以被換上一個具有不同的噴嘴(8)橫截面和/或不同的噴嘴(8)分布圖案的噴嘴板。
21.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，在該蒸發(fā)器(1)的第一腔室(2)里，在一個根據(jù)結(jié)構(gòu)而預(yù)定的液面(15)的下方設(shè)有一個用于測量分離劑(14)溫度的溫度傳感器(4)。
22.如權(quán)利要求18或19所述的裝置，其特征在于，該噴嘴板(7)具有一個有一端面(7a)的空缺，一個用于測量噴嘴板溫度的溫度傳感器(21)貼在該端面上。
23.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，在該分離劑蒸發(fā)器(1)的上面設(shè)有一個用于預(yù)定出一帶狀基體(10)的運動路線和至少一個在該基體(10)上的并由所述噴嘴(8)產(chǎn)生的油跡(13)的走向的轉(zhuǎn)向輥(9)，給該轉(zhuǎn)向輥(9)配備有用于求出基體速度的信號機構(gòu)。
24.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，在該分離劑蒸發(fā)器(1)的下面設(shè)有一個用于板狀基體(10)的和至少一個在基體(10)上的并由所述噴嘴(8)產(chǎn)生的油跡(13)的走向的輸送路線(41)，給該輸送路線(41)配備有用于求出基體速度的信號機構(gòu)。
25.至少如權(quán)利要求15和16之一所述的裝置，其特征在于，給具有所述至少一條油跡(13)的該基體(10)的運動路線配備一個觀察區(qū)(29)，通過光學(xué)裝置掃描該觀察區(qū)。
26.至少如權(quán)利要求14-25之一所述的裝置，其特征在于，用于溫度、單位時間的蒸氣量、分布圖案的形成和油跡(13)厚度的傳感器的測量信號被接入一個控制系統(tǒng)(24)里，在該控制系統(tǒng)中，這些測量信號被轉(zhuǎn)換成用于控制和/或調(diào)整用于分離劑(14)的蒸發(fā)器(1)的調(diào)節(jié)參量。
27.如權(quán)利要求26所述的裝置，其特征在于，給該控制系統(tǒng)(24)接入一個測量調(diào)節(jié)機構(gòu)(36)以便通過金屬蒸發(fā)器(33)來控制金屬涂層。
28.如權(quán)利要求26所述的裝置，其特征在于，給該控制系統(tǒng)(24)配備一個用于控制指令和/或工作參數(shù)的理論值的輸入鍵盤(31)。
29.如權(quán)利要求26所述的裝置，其特征在于，給該控制系統(tǒng)(24)配備一個用于測量值、控制指令和/或工作參數(shù)的理論值的屏幕(32)。
全文摘要
本發(fā)明涉及借助蒸發(fā)器在真空室內(nèi)給運動的基體局部涂上一層阻礙涂覆的分離劑的方法和裝置，該真空室具有至少一個金屬蒸發(fā)器，分離劑在第一腔室里被加熱蒸發(fā)并以蒸氣形態(tài)通過至少一個伺服閥被轉(zhuǎn)入一個配備有至少一個對準(zhǔn)當(dāng)時的基體的噴嘴的第二腔室。為了在這種情況下能將所蒸發(fā)的圖形、寬度和層厚保持在小極限范圍里并能立即中斷蒸氣流出而規(guī)定a)盡可能恒定地保持蒸發(fā)器溫度；b)來自第一腔室的蒸氣通過至少一個伺服閥受控制地被輸入第二腔室并在第二腔室中最初平行于第一腔室地被供給至少一個噴嘴；c)伺服閥在基體停止或沒有基體時被關(guān)閉并保持關(guān)閉狀態(tài)。至少一個伺服閥最好是比例閥，它被安置在第一腔室和第二腔室之間。
文檔編號H01G13/00GK1576385SQ20041004568
公開日2005年2月9日 申請日期2004年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月4日
發(fā)明者S·海恩 申請人:應(yīng)用菲林股份有限兩合公司