專利名稱：壓力傳感器的壓阻敏感元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及壓力傳感器的敏感元件，具體為壓力傳感器的壓阻敏感元件。
(二) 背景技術(shù)現(xiàn)有壓力傳感器的壓阻敏感元件的結(jié)構(gòu)見圖1、圖2，其包括一個由壓阻敏感材料制作的彈性基體，該彈性基體由壓阻敏感的圓形彈性膜片5的周邊部分與起支撐作用的圓環(huán)形底座7用粘膠層6粘接構(gòu)成。彈性膜片5的表面印刷有4只應(yīng)變電阻R1、R2、R3、R4，用導(dǎo)電條連接成應(yīng)變電橋，見圖1、圖3，1、3及2、4分別為電橋的輸入端及輸出端。彈性膜片5為壓力傳感片，電阻R1-R4為壓阻應(yīng)變片。當(dāng)彈性膜片5受壓力時，彈性膜片5的不同部位產(chǎn)生的應(yīng)力不一樣，因此處于不同部位的應(yīng)變電阻R1-R4的電阻值也不同，應(yīng)變電橋的輸出電阻隨彈性膜片5所受壓力發(fā)生變化，形成彈性膜片及應(yīng)變電阻的壓阻效應(yīng)，其是壓阻敏感元件的工作原理。圖1所示壓阻敏感元件的缺點是彈性膜片5用粘膠劑粘接在圓環(huán)底座7上，彈性膜片5長期處在受壓的狀態(tài)下，與圓環(huán)底座7之間的粘膠劑易裂開，彈性膜片5與圓環(huán)底座7易分離，致使各個應(yīng)變電阻的阻值變化不能反映真實的壓阻特性，壓阻敏感元件的工作不可靠。
(三) 發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)在傳感器的壓阻敏感元件，其壓力傳感的彈性膜片與起支撐作用的圓環(huán)底座易分離、壓阻敏感元件的可靠性低的缺點，本實用新型提供了另外一種壓阻敏感元件，彈性膜片不會與支撐底座分離，應(yīng)變電阻能反映真實的壓阻特性，工作穩(wěn)定可靠。
本實用新型采用以下技術(shù)方案其包括一個彈性基體，所述彈性基體由圓形彈性膜片與起支撐作用的圓環(huán)形底座構(gòu)成，彈性膜片的表面設(shè)置有應(yīng)變電阻，由導(dǎo)電條連接成應(yīng)變電橋，其特征在于所述圓形彈性膜片周邊部分與圓環(huán)形底座連接為一整體。采用上述結(jié)構(gòu)之后，由于彈性膜片與環(huán)形底座連接為一整體，彈性膜片與環(huán)形底座之間不會分離，應(yīng)變電阻真實地反映彈性膜片的受力情況，壓阻敏感元件的可靠性能夠得到保證。
(四)
圖1為現(xiàn)有壓阻敏感元件的俯視圖；圖2為現(xiàn)有壓阻敏感元件圖1的A-A剖視圖；圖3為圖1中應(yīng)變電阻電橋的等效電路圖；圖4為本實用新型的俯視圖；圖5為圖4本實用新型的B-B向剖視圖。
(五) 具體實施方式
見圖5，本實用新型包括一個彈性基體，該彈性基體由彈性膜片5與起支撐作用的圓環(huán)狀底座構(gòu)成。見圖5，彈性膜片1的表面設(shè)置有應(yīng)變電阻R1、R2、R3、R4，所說應(yīng)變電阻之間用導(dǎo)電條連接為電橋，并用導(dǎo)電條將電橋的輸入端及輸出端分別與引出電極1、2、3、4連接。圖5所示本實用新型的俯視結(jié)構(gòu)、等效電路圖以及制作工藝與圖1、圖3表達的已有技術(shù)相同，應(yīng)變電橋的輸入電壓、輸出電流及傳感電信號的處理也為已有技術(shù)。圖5中的黑色線條即為導(dǎo)電條，導(dǎo)電條及引出電極1、2、3、4用絲網(wǎng)印刷銀漿及燒結(jié)工藝制作，應(yīng)變電阻R1、R2、R3、R4用絲網(wǎng)印刷電阻漿料及燒結(jié)制作，都屬于已有技術(shù)。見圖4，本實用新型的特征在于圓形彈性膜片5的周邊部分與圓環(huán)底座6連接為一整體。在制作中，用同一模具將彈性膜片5的坯料與底座6的坯料連結(jié)在一起，再燒結(jié)，脫模。彈性膜片5的原材料與底座6的原材料最好相同，例如用陶瓷或用剛玉原料，采用相應(yīng)原常規(guī)工藝燒結(jié)；但是，根據(jù)傳感特性要求，兩者原材料也可以不相同，采用相關(guān)材料的相應(yīng)常規(guī)工藝技術(shù)燒結(jié)。
權(quán)利要求1.壓力傳感器的壓阻敏感元件，其包括一個彈性基體，所述彈性基體由圓形彈性膜片與起支撐作用的圓環(huán)形底座構(gòu)成，彈性膜片的表面設(shè)置有應(yīng)變電阻，由導(dǎo)電條連接成應(yīng)變電橋，其特征在于所述圓形彈性膜片周邊部分與圓環(huán)形底座連接為一整體。
專利摘要本實用新型為壓力傳感器的壓阻敏感元件。壓力傳感器在使用過程中，壓阻敏感元件的彈性膜片與環(huán)形底座不會分離，保證了壓阻敏感元件及壓力傳感器的可靠性。本實用新型包括一個彈性基體，所述彈性基體由圓形彈性膜片與起支撐作用的圓環(huán)形底座構(gòu)成，彈性膜片的表面設(shè)置有應(yīng)變電阻，由導(dǎo)電層連接成應(yīng)變電橋，其特征在于所述圓形彈性膜片周邊部分與圓環(huán)形底座連接為一整體。
文檔編號H01L29/84GK2636428SQ0325995
公開日2004年8月25日 申請日期2003年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月27日
發(fā)明者高洪新, 費祖星 申請人:高洪新