一種硅微機械諧振壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅微機械諧振壓力傳感器，包括傳感器裝置，所述傳感器裝置的左端設(shè)有螺紋管接頭，且螺紋管接頭的右端與傳感器裝置的相交處活動套設(shè)有螺栓緊固件，所述傳感器裝置的內(nèi)腔從左到右依次固定安裝有諧振元件、VCA放大器、輸出緩沖器和壓力傳感器，所述諧振元件電性連接VCA放大器，所述VCA放大器電性連接輸出緩沖器，所述輸出緩沖器電性連接壓力傳感器，本實用新型結(jié)構(gòu)通過在傳感器裝置的內(nèi)部設(shè)置諧振元件，利用諧振元件與壓力傳感器的相互配合能夠?qū)崿F(xiàn)將被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號，這樣便于觀察壓力傳感器所檢測的壓力的變化，便于后期的分析與計算，同時諧振元件通過VCA放大器連接壓力傳感器能夠得到更精確的頻率數(shù)值。
【專利說明】
一種硅微機械諧振壓力傳感器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及硅微機械相關(guān)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅微機械諧振壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]對于傳統(tǒng)的壓力傳感器，由于膜片的遲滯問題，難以確定測得的電壓信號是否對應(yīng)真實的壓力值，這就造成所測量的膜片形變對應(yīng)的壓力與實際壓力有偏差，采集到的壓力信號精度不高。即在測量高精度壓力時，由于機械的遲滯特性，傳感器的膜片載荷的加載線與卸載線不完全重合。另外，控制壓電執(zhí)行器的元件以獨立的模塊使用，導(dǎo)致傳感器的體積較大，功耗較多，不適于微型化集成，為此我們提出一種硅微機械諧振壓力傳感器用于解決上述問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種硅微機械諧振壓力傳感器，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種硅微機械諧振壓力傳感器，包括傳感器裝置，所述傳感器裝置的左端設(shè)有螺紋管接頭，且螺紋管接頭的右端與傳感器裝置的相交處活動套設(shè)有螺栓緊固件，所述傳感器裝置的右端固定安裝有電源輸出件，且電源輸出件的下端電性連接外接電源線，所述傳感器裝置的內(nèi)腔從左到右依次固定安裝有諧振元件、VCA放大器、輸出緩沖器和壓力傳感器，所述諧振元件電性連接VCA放大器，所述VCA放大器電性連接輸出緩沖器，所述輸出緩沖器電性連接壓力傳感器。
[0005]優(yōu)選的，所述諧振元件包括設(shè)置在諧振元件內(nèi)部的諧振器，所述VCA放大器內(nèi)設(shè)有VCA放大模塊，且VCA放大器為可變增益放大器，所述輸出緩沖器為用于彌補不同數(shù)據(jù)處理速率速度差距的存儲裝置。
[0006]優(yōu)選的，所述電源輸出件和外接電源線的外殼均被軟彈性絕緣橡膠包裹。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:本實用新型結(jié)構(gòu)通過在傳感器裝置的內(nèi)部設(shè)置諧振元件，利用諧振元件與壓力傳感器的相互配合能夠?qū)崿F(xiàn)將被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號，這樣便于觀察壓力傳感器所檢測的壓力的變化，便于后期的分析與計算，同時諧振元件通過VCA放大器連接壓力傳感器能夠得到更精確的頻率數(shù)值。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)不意圖；
[0009]圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)電路原理圖。
[0010]圖中:I傳感器裝置、2電源輸出件、3外接電源線、4螺紋管接頭、5螺栓緊固件、6諧振元件、7 VCA放大器、8輸出緩沖器、9壓力傳感器。
【具體實施方式】
[0011]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0012]請參閱圖1-2，本實用新型提供一種技術(shù)方案:一種硅微機械諧振壓力傳感器，包括傳感器裝置I，傳感器裝置I的左端設(shè)有螺紋管接頭4，且螺紋管接頭4的右端與傳感器裝置I的相交處活動套設(shè)有螺栓緊固件5，傳感器裝置I的右端固定安裝有電源輸出件2，且電源輸出件2的下端電性連接外接電源線3，傳感器裝置I的內(nèi)腔從左到右依次固定安裝有諧振元件6、VCA放大器7、輸出緩沖器8和壓力傳感器9，諧振元件6電性連接VCA放大器7，VCA放大器7電性連接輸出緩沖器8，輸出緩沖器8電性連接壓力傳感器9。
[0013]諧振元件6包括設(shè)置在諧振元件6內(nèi)部的諧振器，VCA放大器7內(nèi)設(shè)有VCA放大模塊，且VCA放大器7為可變增益放大器，輸出緩沖器8為用于彌補不同數(shù)據(jù)處理速率速度差距的存儲裝置，電源輸出件2和外接電源線3的外殼均被軟彈性絕緣橡膠包裹。
[0014]本實用新型結(jié)構(gòu)通過在傳感器裝置I的內(nèi)部設(shè)置諧振元件6，利用諧振元件6與壓力傳感器9的相互配合能夠?qū)崿F(xiàn)將被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號，這樣便于觀察壓力傳感器9所檢測的壓力的變化，便于后期的分析與計算，同時諧振元件6通過VCA放大器7連接壓力傳感器9能夠得到更精確的頻率數(shù)值。
[0015]盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項】
1.一種硅微機械諧振壓力傳感器，包括傳感器裝置(I)，其特征在于:所述傳感器裝置(1)的左端設(shè)有螺紋管接頭(4)，且螺紋管接頭(4)的右端與傳感器裝置(I)的相交處活動套設(shè)有螺栓緊固件(5)，所述傳感器裝置(I)的右端固定安裝有電源輸出件(2)，且電源輸出件(2)的下端電性連接外接電源線(3)，所述傳感器裝置(I)的內(nèi)腔從左到右依次固定安裝有諧振元件(6)、VCA放大器(7)、輸出緩沖器(8)和壓力傳感器(9)，所述諧振元件(6)電性連接VCA放大器(7 )，所述VCA放大器(7 )電性連接輸出緩沖器(8 )，所述輸出緩沖器(8 )電性連接壓力傳感器(9)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅微機械諧振壓力傳感器，其特征在于:所述諧振元件(6)包括設(shè)置在諧振元件(6)內(nèi)部的諧振器，所述VCA放大器(7)內(nèi)設(shè)有VCA放大模塊，且VCA放大器(7)為可變增益放大器，所述輸出緩沖器(8)為用于彌補不同數(shù)據(jù)處理速率速度差距的存儲裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅微機械諧振壓力傳感器，其特征在于:所述電源輸出件(2 )和外接電源線(3 )的外殼均被軟彈性絕緣橡膠包裹。
【文檔編號】G01L1/10GK205607566SQ201620414514
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年5月10日
【發(fā)明人】方道德
【申請人】溫州中業(yè)文化創(chuàng)意發(fā)展有限公司