專利名稱：運(yùn)送基片通過基片處理裝置的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種運(yùn)送基片通過基片處理裝置用的裝置。
這類用于運(yùn)送基片特別是CD基片通過冷卻和干燥裝置的裝置是大家所熟悉的?；藭r處于在圓形軌道上移動的籃子內(nèi)或者處于圓形裝置上相應(yīng)設(shè)計(jì)的縫隙內(nèi)。然而這種旋轉(zhuǎn)輸送裝置尺寸很大并且需要大的驅(qū)動裝置，因此這種已知的裝置造價昂貴。此外，在這種旋轉(zhuǎn)輸送裝置上基片的裝卸都是很困難的，而且設(shè)計(jì)費(fèi)用高。
對于開頭描述的那類裝置，已知有使用一螺旋葉片軸的。它自身旋轉(zhuǎn)，從而將放在螺旋葉片螺距內(nèi)的基片同時向前帶動。然而它有這樣的缺點(diǎn)，即螺旋葉片軸和基片之間的相對運(yùn)動和由此產(chǎn)生的摩擦?xí)斐赡p，從而引起沾污。
在本發(fā)明所依據(jù)的DE 43 41 634 A1中，公開了一種用來在一基片處理裝置中輸送盤狀基片的裝置，它配有三條齒帶，借以將基片送過一個處理裝置。這種裝置總是專為用于一種基片形狀和大小而設(shè)計(jì)的，所以不適用于改變的情況，例如不適用于不同的基片大小。
US 4 947 784公開了一種裝置，用于從第一基片存放器(基片盒)將基片轉(zhuǎn)移到第二基片存放器(基片舟)。這一種所謂的基片運(yùn)送裝置既不能配置用來也不適合用來輸送基片通過一個處理裝置。
DE 195 30 858 c1也公開了一個運(yùn)送裝置，在其上基片借助于一個吸盤而被輸送。在DE 195 29 945 A1所公開的運(yùn)送裝置上，借助一個內(nèi)卡爪對扁平的基片實(shí)現(xiàn)夾持，其上的卡爪卡入一個設(shè)計(jì)在基片內(nèi)區(qū)的孔中并且支撐在內(nèi)區(qū)孔的邊緣上。
本發(fā)明的任務(wù)在于如此改進(jìn)發(fā)展由DE 43 41 634 A1所公開的一種裝置，即使得該裝置能適合不同的情況，例如能簡單地適合不同大小的基片。
上述任務(wù)根據(jù)本發(fā)明是通過權(quán)利要求1中所述特征加以解決的。通過兩條側(cè)輸送帶彼此之間的和/或相對于基本輸送帶的可變間距，該裝置不僅適合于各種情況特別是不同的基片大小，而且對基片的可靠夾持和輸送至關(guān)重要的間距能以簡單的方式實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)。
本發(fā)明的另一個優(yōu)選的實(shí)施形式是兩條側(cè)輸送帶的輸送平面和底輸送帶的輸送平面之間的角度是可變的。這樣，在輸送帶內(nèi)被輸送的基片的支點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)最佳調(diào)節(jié)。此外，該裝置可利用簡單的機(jī)構(gòu)來適應(yīng)不同的基片形狀和大小，不論基片是圓形的還是六角形的。對于六角形基片，兩條側(cè)輸送帶的輸送平面和底輸送帶的輸送平面之間的角度最好是90°。
因此本發(fā)明的任務(wù)在于提供一種裝置，用來運(yùn)送基片通過一個基片處理裝置，以之可避免一種旋轉(zhuǎn)形式的、在一個圓形軌道上實(shí)現(xiàn)的基片移動或基片磨損，且其結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)省場地、操作容易。
上述任務(wù)根據(jù)本發(fā)明是通過一條底輸送帶和兩條側(cè)輸送帶加以實(shí)現(xiàn)的，它們各自都有用于垂直容納基片的凹槽。根據(jù)符合本發(fā)明的特征，應(yīng)用三條輸送帶造成基片直線移動，其優(yōu)點(diǎn)是裝置簡單，節(jié)省場地，且沒有磨損，此外還易于適應(yīng)任一情況，例如適應(yīng)任一基片的尺寸。
根據(jù)本發(fā)明的一個特別有利的實(shí)施例，用于垂直容納基片的凹槽，是設(shè)計(jì)為齒帶的輸送帶的齒間間隙。這種齒帶的生產(chǎn)成本是很合算的。
為了適配本發(fā)明提出的輸送裝置，側(cè)輸送帶相對于底輸送帶的間距是可以改變的。通過調(diào)整側(cè)輸送帶相對于底輸送帶的間距，即可簡單地使本裝置適應(yīng)不同的基片大小。
在圓形基片例如CD或DVD的情況下，若兩條側(cè)輸送帶的輸送平面與主輸送帶的輸送平面所成的角大于90°則尤其有利。這樣，基片可以簡單放入本發(fā)明的輸送裝置，又可簡單從其中取出，而且在輸送裝置中基片的保持是安全可靠的。
各輸送帶最好分別經(jīng)過導(dǎo)向和傳動輪來引導(dǎo)，如果各輸送帶或者至少其中一條輸送帶在背向輸送平的一側(cè)也就是傳動側(cè)，也是設(shè)計(jì)為齒帶的話，則導(dǎo)向和傳動輪尤其可以是齒輪。輸送帶的雙面齒帶結(jié)構(gòu)因此是很有利的。
本發(fā)明的一個有利的結(jié)構(gòu)形式是三條輸送帶中的每一條都在自己的輸送帶裝置中運(yùn)行并且利用自己的驅(qū)動裝置來驅(qū)動。這樣，各個輸送帶裝置都是獨(dú)立的單元，因此輸送帶可針對不同的基片進(jìn)行布置、配合和對準(zhǔn)。
很利的一種結(jié)構(gòu)形式是三條輸送帶的驅(qū)動互相同步地加以控制。由此不僅使所有三條輸送帶獲得相同的傳動速度，而且使得用于容納基片的凹槽同步對準(zhǔn)。代替同步控制，三個輸送裝置或者說三條輸送帶的傳動，也可以通過一個共同的傳動齒輪箱最好是無間隙的傳動齒輪箱來執(zhí)行，以便亦能確保三條傳動帶及其用于容納基片的凹槽的同步運(yùn)動。該傳動齒輪箱此時可由所有三條輸送帶共用的驅(qū)動裝置來驅(qū)動。
與基片相接觸的輸送帶或者至少輸送帶的某些部分，最好用一種可避免沾染的特殊材料特別是聚四氟乙烯做成，或者用一種對受沾染不敏感及容易清理的材料做成。
為了在本發(fā)明提出的輸送裝置即三條輸送帶上裝卸基片，最好采用吸盤夾緊器和/或內(nèi)卡緊器，內(nèi)卡緊器例如卡緊在CD的內(nèi)孔邊緣上。此種卡緊器構(gòu)造簡單并能防止處理過程后基片再受沾染。
本發(fā)明提出的輸送裝置尤其與基片干燥器或冷卻器相結(jié)合時具有特殊的優(yōu)點(diǎn)，這種干燥器和冷卻器主要用在CD生產(chǎn)中。
關(guān)于基片應(yīng)可理解為一切圓片狀的被處理物，即不僅指的是各類CD包括音響-CD，只讀存儲器-CD，所謂的可錄CD(CDR)，數(shù)字式影碟(DVD)等，而且指的是生產(chǎn)半導(dǎo)體元器件、顯示裝置等用的掩模。
下面將參照附圖并就一個實(shí)施例對本發(fā)明做更詳細(xì)的說明。附圖表示

圖1本發(fā)明提出的與用于干燥CD的干燥裝置相配套的輸送裝置側(cè)視圖，圖2圖1所示裝置的俯視圖，圖3沿著圖1中所示的切線III-III的放大斷面圖，圖4沿著圖1中所示切線IV-IV的放大斷面圖。
如各圖所示，本發(fā)明提出的裝置具有一個帶有一條底輸送帶2的第一輸送帶裝置1，一個帶有一條側(cè)輸送帶4的第二輸送帶裝置3，和一個帶有另一條側(cè)輸送帶6的第三輸送帶裝置5。輸送帶2，4，6都具有用于容納基片7的凹槽或者說齒帶的齒隙，在所有三條輸送帶上都設(shè)有齒帶。特別如圖1和圖4所示，輸送帶2，4，6的驅(qū)動是借助一個共同的驅(qū)動裝置8來實(shí)現(xiàn)的，該驅(qū)動裝置經(jīng)過一傳動帶9來驅(qū)動傳動齒輪箱10，后者本身同步帶動三條輸送帶2，4，6。
根據(jù)所示本發(fā)明提出的用于干燥基片的運(yùn)送裝置結(jié)構(gòu)形式，配置了一個覆蓋著運(yùn)送裝置長度大部分的通風(fēng)機(jī)11，借此既可將由通風(fēng)機(jī)11加熱的空氣也可將由外部導(dǎo)入的已加熱的空氣吹向連續(xù)地或間歇地送到輸送帶2，4，6上的基片7上以用于干燥。使用過的干燥空氣從出口11，12處的干燥箱中排出。
本發(fā)明已根據(jù)一個優(yōu)選的實(shí)施例加以說明了。然而對專家來說還可有許多變體和發(fā)展，但不因此脫離本發(fā)明的構(gòu)思。例如輸送帶單元1，3，5可設(shè)計(jì)成彼此獨(dú)立的，因此它們在位置上可互相改變，以便能將同一輸送裝置用于不同基片7。從所述的實(shí)施例來說，基片7是圓形的，并且側(cè)輸送帶4，6與底輸送帶2的輸送平面形成一個大于90°的角，因此基片7以基片圓盤下半部的三個點(diǎn)被穩(wěn)妥地支持著。對于較大的圓形基片7，側(cè)輸送帶單元3，5僅進(jìn)一步向外錯移，并且也可改變側(cè)輸送帶單元與底輸送帶2所成的角，以便仍可確?；@得一個盡可能的最佳支撐。在基片是正方形或矩形的情況下，側(cè)輸送帶單元是如此布置或回轉(zhuǎn)的，使得側(cè)輸送帶4，6垂直于底輸送帶2的輸送帶平面定位。
權(quán)利要求
1.運(yùn)送基片通過基片處理裝置用的裝置，配有一條底輸送帶(2)和兩條側(cè)輸送帶(4，6)，它們各自具有用于垂直容納基片(7)的凹槽，其特征在于側(cè)輸送帶(4，6)彼此之間的間距和/或與底輸送帶(2)的間距是可變的。
2.如權(quán)利要求1中所述的裝置，其特征在于至少一條側(cè)輸送帶(4，6)的輸送平面與底輸送帶(2)的輸送平面之間所成的角是可改變的。
3.如權(quán)利要求1或2中所述的裝置，其特征在于凹槽是設(shè)計(jì)為齒帶的輸送帶(2，4，6)的齒間間隙。
4.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于兩條側(cè)輸送帶(4，6)的輸送平面與底輸送帶(2)的輸送平面形成一個大于90°的角。
5.如以上權(quán)利要求之一中所述裝置，其特征在于各輸送帶分別經(jīng)過轉(zhuǎn)向輪和傳動輪或傳動輥帶動。
6.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于三條輸送帶(2，4，6)中的任一條都在自己的輸送帶單元(1，3，5)中運(yùn)行，并用自己的驅(qū)動裝置驅(qū)動。
7.如權(quán)利要求6中所述的裝置，其特征在于三個輸送帶單元(2，4，6)的驅(qū)動是彼此同步控制的。
8.如權(quán)利要求6中所述的裝置，其特征在于三個輸送帶單元(1，3，5)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)是通過一個共同的傳動齒輪箱(10)連接起來的。
9.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少和基片(7)接觸的輸送帶(2，4，6)的部分是用聚四氟乙烯做成的。
10.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少配有一個用于裝卸基片(7)的吸盤。
11.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少配有一個用于裝卸基片(7)的內(nèi)卡緊器。
12.如以上權(quán)利要求之一中所述的裝置，其特征在于基片處理裝置是一個基片干燥器或冷卻器(11，12，13)。
全文摘要
運(yùn)送基片(7)通過基片處理裝置(11)用的裝置,所配的一條底輸送帶(2)和兩條側(cè)輸送帶(4,6)各自都具有用于垂直容納基片(7)的凹槽,因此該裝置的構(gòu)造特別簡單而靈活。
文檔編號G11B9/00GK1252892SQ98804234
公開日2000年5月10日 申請日期1998年4月9日 優(yōu)先權(quán)日1997年4月17日
發(fā)明者K·維伯爾, B·瑪納爾 申請人:施蒂格哈馬技術(shù)股份公司