生產(chǎn)支援系統(tǒng)以及生產(chǎn)支援方法
【專(zhuān)利摘要】實(shí)施方式涉及生產(chǎn)支援系統(tǒng)及生產(chǎn)支援方法。生產(chǎn)支援系統(tǒng)具備生產(chǎn)信息保存部、制造裝置信息保存部、檢查·計(jì)測(cè)裝置信息保存部、預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部、第一控制方式運(yùn)算部。所述第一控制方式運(yùn)算部根據(jù)成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、進(jìn)行了所述前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、以及未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> 【專(zhuān)利說(shuō)明】生產(chǎn)支援系統(tǒng)以及生產(chǎn)支援方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的參照:本申請(qǐng)享有2013年9月19日申請(qǐng)的日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?013 —194715的優(yōu)先權(quán)利益，在本申請(qǐng)中援引該日本專(zhuān)利申請(qǐng)全部?jī)?nèi)容。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]在此說(shuō)明的實(shí)施方式普遍涉及生產(chǎn)支援系統(tǒng)以及生產(chǎn)支援方法。

【背景技術(shù)】
[0003]近年來(lái)，對(duì)產(chǎn)品的最終品質(zhì)(final quality)的管理越來(lái)越嚴(yán)格。例如，在半導(dǎo)體裝置等電子器件的制造中，伴隨著微小化的進(jìn)展，對(duì)工序加工后的尺寸的管理也變得非常嚴(yán)格。
[0004]在此，作為控制量產(chǎn)階段中的產(chǎn)品的最終品質(zhì)的技術(shù)，已知有APC(AdvancedProcess Control:先進(jìn)過(guò)程控制)。
[0005]如果通過(guò)APC調(diào)整制造裝置的作業(yè)條件，則能夠使產(chǎn)品的最終品質(zhì)均勻控制在一定的水準(zhǔn)內(nèi)。
[0006]然而，APC —般在生產(chǎn)數(shù)量很多的情況下(例如，滿(mǎn)負(fù)荷生產(chǎn)(full product1n)時(shí))其效果(尺寸偏差的抑制或工序能力提高等)才最大。
[0007]因此，在生產(chǎn)數(shù)量較少的情況下(例如產(chǎn)品的更新?lián)Q代所伴隨的新產(chǎn)品的量產(chǎn)開(kāi)始時(shí)、產(chǎn)品的更新?lián)Q代所伴隨的舊產(chǎn)品的減產(chǎn)時(shí)等)，產(chǎn)品的最終品質(zhì)的偏差可能反而會(huì)變大。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的實(shí)施方式提供一種能夠抑制產(chǎn)品的最終品質(zhì)的偏差的生產(chǎn)支援系統(tǒng)以及生產(chǎn)支援方法。
[0009]實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援系統(tǒng)具備:生產(chǎn)信息保存部，保存與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)；制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)；檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)；預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查.計(jì)測(cè)比例，根據(jù)所述每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)和所述檢查.計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量；以及第一控制方式運(yùn)算部，根據(jù)所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、進(jìn)行了所述前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、以及未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> [0010]根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，能夠抑制品的最終品質(zhì)的偏差。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是用于示例第一實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援系統(tǒng)的框圖。
[0012]圖2是用于示例控制方式運(yùn)算部5對(duì)控制方式的選擇的示意圖表圖。
[0013]圖3是用于示例第二實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援系統(tǒng)的框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014]以下，參照附圖對(duì)多個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同或者類(lèi)似的部分。
[0015][第一實(shí)施方式]
[0016]圖1是用于示例第一實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援系統(tǒng)的框圖。
[0017]如圖1所示，生產(chǎn)支援系統(tǒng)100中設(shè)有:輸入部1、生產(chǎn)信息保存部2a、制造裝置信息保存部2b、檢查?計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c、預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3、最終品質(zhì)信息保存部4、控制方式運(yùn)算部5 (相當(dāng)于第一控制方式運(yùn)算部的一例)、管理信息運(yùn)算部6、輸出部7。
[0018]輸入部I用于輸入用于確定成為對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)據(jù)、以及與制約條件有關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0019]用于確定成為對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)據(jù)例如為品種、工序、對(duì)象期間、工序條件等。
[0020]關(guān)于與制約條件有關(guān)的數(shù)據(jù)，留待后述。
[0021]輸入部I可以輸入數(shù)據(jù)，也可以通過(guò)選擇被顯示的數(shù)據(jù)名等來(lái)進(jìn)行輸入。
[0022]例如，輸入部I能夠?yàn)殒I盤(pán)或條形碼讀取器等各種數(shù)據(jù)輸入設(shè)備、具備顯示部和選擇開(kāi)關(guān)的設(shè)備等。
[0023]輸入部I將被輸入的數(shù)據(jù)提供給預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3。
[0024]生產(chǎn)信息保存部2a按照各個(gè)產(chǎn)品保存與過(guò)去的生產(chǎn)業(yè)績(jī)有關(guān)的數(shù)據(jù)、以及生產(chǎn)計(jì)劃中的數(shù)據(jù)。
[0025]與過(guò)去的生產(chǎn)業(yè)績(jī)有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為過(guò)去的每個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)數(shù)等。
[0026]生產(chǎn)計(jì)劃中的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為當(dāng)前生產(chǎn)中或新開(kāi)始生產(chǎn)的每個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)數(shù)坐寸ο
[0027]生產(chǎn)信息保存部2a將所保存的數(shù)據(jù)提供給預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3。
[0028]制造裝置信息保存部2b保存與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0029]與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為:生產(chǎn)線(xiàn)中設(shè)置的制造裝置的臺(tái)數(shù)(例如，臺(tái)數(shù)、處理室(腔室)的數(shù)量等)、制造裝置的種類(lèi)(例如，蝕刻裝置或成膜裝置等)、各制造裝置中的處理能力(例如，處理所需時(shí)間等)等。
[0030]制造裝置信息保存部2b將所保存的數(shù)據(jù)提供給預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3。
[0031]檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c保存與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0032]與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為:生產(chǎn)線(xiàn)中設(shè)置的檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)、檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置的種類(lèi)、檢查裝置的檢查能力或者計(jì)測(cè)裝置的計(jì)測(cè)能力(例如，檢查或者計(jì)測(cè)所需時(shí)間等)等。
[0033]檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置例如能夠設(shè)為:產(chǎn)品的尺寸、形狀、重量、反射光強(qiáng)度以及發(fā)光強(qiáng)度等、用于進(jìn)行產(chǎn)品的最終品質(zhì)的檢查或者計(jì)測(cè)的參數(shù)。
[0034]檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c將所保存的數(shù)據(jù)提供給預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3。
[0035]預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3如以下那樣求出成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0036]首先，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3基于從輸入部I輸入的數(shù)據(jù)，從生產(chǎn)信息保存部2a所保存的數(shù)據(jù)中抽取所希望的產(chǎn)品的生產(chǎn)數(shù)。
[0037]該情況下，在生產(chǎn)信息保存部2a中保存有生產(chǎn)計(jì)劃中的數(shù)據(jù)的情況下，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3從生產(chǎn)計(jì)劃中的數(shù)據(jù)抽取所希望的產(chǎn)品的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0038]在生產(chǎn)信息保存部2a中未保存有生產(chǎn)計(jì)劃中的數(shù)據(jù)的情況下，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3從與過(guò)去的生產(chǎn)業(yè)績(jī)有關(guān)的數(shù)據(jù)抽取所希望的產(chǎn)品的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0039]接下來(lái)，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3基于從輸入部I輸入的數(shù)據(jù)，從制造裝置信息保存部2b所保存的數(shù)據(jù)抽取制造裝置的臺(tái)數(shù)、制造裝置中的處理能力。
[0040]然后，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3根據(jù)所抽取到的產(chǎn)品的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、制造裝置的臺(tái)數(shù)(處理室的數(shù)量)以及制造裝置中的處理能力，求出各個(gè)制造裝置(各處理室)的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0041]接下來(lái)，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3基于從輸入部I輸入的數(shù)據(jù)，從檢查?計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c所保存的數(shù)據(jù)，抽取檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)以及檢查裝置的檢查能力或者計(jì)測(cè)裝置的計(jì)測(cè)能力。
[0042]然后，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3根據(jù)所抽取到的產(chǎn)品的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)以及檢查裝置的檢查能力或者計(jì)測(cè)裝置的計(jì)測(cè)能力，求出檢查.計(jì)測(cè)比例(檢查.計(jì)測(cè)頻率)。
[0043]該情況下，在檢查裝置、計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)很多、或者檢查裝置的檢查能力、計(jì)測(cè)裝置的計(jì)測(cè)能力很高的情況下，進(jìn)行全部產(chǎn)品的檢查及計(jì)測(cè)。然后，全部產(chǎn)品成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象。
[0044]另一方面，在檢查裝置、計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)很少、或者檢查裝置的檢查能力、計(jì)測(cè)裝置的計(jì)測(cè)能力很低的情況下，進(jìn)行一部分產(chǎn)品的檢查及計(jì)測(cè)。然后，進(jìn)行了檢查及計(jì)測(cè)的產(chǎn)品成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象。
[0045]因此，預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3基于以下的式(I)，求出成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N。
[0046]N = nXS...(I)
[0047]在此，N為成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。N為每個(gè)制造裝置(各處理室)的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。S為檢查.計(jì)測(cè)比例。
[0048]另外，在本說(shuō)明書(shū)的實(shí)施方式中，例如，成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N設(shè)為:進(jìn)行了 APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量、或者每一個(gè)制造裝置(處理室)的生產(chǎn)數(shù)(某一定期間內(nèi)在各制造裝置(各處理室)中處理的產(chǎn)品的數(shù)量)。預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3將所求出的成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N提供給控制方式運(yùn)算部5。
[0049]最終品質(zhì)信息保存部4按照每個(gè)產(chǎn)品保存與最終品質(zhì)有關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0050]與最終品質(zhì)有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為:在各制造裝置(各處理室)中進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系。
[0051]此外，與最終品質(zhì)有關(guān)的數(shù)據(jù)例如設(shè)為包含:進(jìn)行了前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C1、未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C2。
[0052]最終品質(zhì)信息保存部4將所保存的數(shù)據(jù)提供給控制方式運(yùn)算部5以及管理信息運(yùn)算部6。
[0053]控制方式運(yùn)算部5根據(jù)成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N、在各制造裝置(各處理室)中進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、進(jìn)行了前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C1、未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C2，運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> [0054]圖2是用于示例控制方式運(yùn)算部5對(duì)控制方式的選擇的示意圖表圖。
[0055]圖中的Y = f(X)是表示在各制造裝置(各處理室)中進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系的關(guān)系式。
[0056]Y = f (X)例如能夠通過(guò)使用相同產(chǎn)品或者類(lèi)似產(chǎn)品的業(yè)績(jī)數(shù)據(jù)等進(jìn)行模擬而進(jìn)行求解。
[0057]另外，在圖2中，示例了成為線(xiàn)性的Y = f (X)，但是不限于此。
[0058]此外，進(jìn)行了前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C1和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差C2,能夠根據(jù)過(guò)去的業(yè)績(jī)來(lái)求出。
[0059]首先，控制方式運(yùn)算部5根據(jù)Y = f (X)和最終品質(zhì)的偏差C1，求出產(chǎn)品的數(shù)量％。
[0060]此外，控制方式運(yùn)算部5根據(jù)Y = f (X)和最終品質(zhì)的偏差C2，求出產(chǎn)品的數(shù)量N2。
[0061]另外，產(chǎn)品的數(shù)量N1和產(chǎn)品的數(shù)量N2也可以是將預(yù)先求出的值保存在最終品質(zhì)信息保存部4中。
[0062]在此，在O?N2的區(qū)間，最終品質(zhì)的偏差比C2大。即，在O?N2的區(qū)間，若進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC，則最終品質(zhì)的偏差反而變大。因此，在O?N2的區(qū)間，不進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC更恰當(dāng)。該情況下，按照根據(jù)業(yè)績(jī)數(shù)據(jù)等求出的各制造裝置(各處理室)的作業(yè)條件來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)即可。
[0063]此外，在N2?N1的區(qū)間，最終品質(zhì)的偏差比C1大。即，在N2?N1的區(qū)間，若進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC則最終品質(zhì)的偏差反而變大。
[0064]S卩，在N2?N1的區(qū)間進(jìn)行前饋型的APC是恰當(dāng)?shù)摹?br> [0065]此外，在超過(guò)N1的情況下，進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC是恰當(dāng)?shù)摹?br> [0066]因此，控制方式運(yùn)算部5通過(guò)判定成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N是位于O?N2的范圍、N2?N1的范圍、超過(guò)N1的范圍中的哪個(gè)，能夠選擇恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> [0067]管理信息運(yùn)算部6根據(jù)在各制造裝置(各處理室)中進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系(例如，Y = f (X))、以及成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N，求出APC的效果、例如最終品質(zhì)的偏差或工序能力。
[0068]工序能力例如能夠設(shè)為:制造裝置的臺(tái)數(shù)、每I臺(tái)制造裝置的生產(chǎn)數(shù)、檢查裝置的臺(tái)數(shù)、檢查比例、成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N、APC的方式(反饋型的APC、前饋型的APC)、工序能力預(yù)見(jiàn)等。
[0069]工序能力是表示相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的幅度而言，現(xiàn)狀的偏差相對(duì)地成為什么程度的大小，數(shù)值越大則越是優(yōu)秀的制造工序。
[0070]輸出部7輸出在預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3、控制方式運(yùn)算部5、以及管理信息運(yùn)算部6中使用過(guò)的各種數(shù)據(jù)、所求出的結(jié)果。
[0071]輸出部7例如輸出制造裝置的臺(tái)數(shù)、每I臺(tái)制造裝置的生產(chǎn)數(shù)、檢查裝置的臺(tái)數(shù)、計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)、檢查.計(jì)測(cè)比例、成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N、APC的方式(反饋型的APC、前饋型的APC)、工序能力預(yù)見(jiàn)等。
[0072]輸出目的地例如能夠設(shè)為作業(yè)者所使用的顯示裝置、HDD (Hard DiskDrive)、閃存、軟盤(pán)等各種數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)等。
[0073]此外，也可以設(shè)為，參照由輸出部7輸出的數(shù)據(jù)等，向輸入部I輸入與制約條件有關(guān)的數(shù)據(jù)，再次進(jìn)行前述的運(yùn)算。
[0074]與制約條件有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠設(shè)為:制造裝置的臺(tái)數(shù)的范圍、每I臺(tái)制造裝置的處理量的范圍、檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置的臺(tái)數(shù)的范圍、檢查.計(jì)測(cè)比例的范圍等。
[0075]若從輸入部I輸入了與制約條件有關(guān)的數(shù)據(jù)，則代替由制造裝置信息保存部2b以及檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c保存的數(shù)據(jù)及由預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3求出的檢查.計(jì)測(cè)比例等，優(yōu)先地使用所輸入的數(shù)據(jù)。
[0076]該情況下，能夠從輸入部I輸入具有規(guī)定的范圍的數(shù)據(jù)。若從輸入部I輸入了具有規(guī)定的范圍的數(shù)據(jù)，則能夠在該范圍內(nèi)自動(dòng)地進(jìn)行條件賦予，對(duì)前述的運(yùn)算反復(fù)進(jìn)行多次(循環(huán)處理)。然后，還能夠由輸出部7輸出所得到的多個(gè)結(jié)果中的上位的N件。
[0077]如以上例示的那樣，本實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援方法能夠包含以下的工序。
[0078]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0079]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例的工序。
[0080]根據(jù)每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0081]根據(jù)成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、進(jìn)行了前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞降墓ば颉?br> [0082]另外，各工序中的內(nèi)容能夠設(shè)為與前述相同。因此，省略各工序中的內(nèi)容的說(shuō)明。
[0083][第二實(shí)施方式]
[0084]圖3是用于示例第二實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援系統(tǒng)的框圖。
[0085]如圖3所示，生產(chǎn)支援系統(tǒng)101中設(shè)有:輸入部11、生產(chǎn)信息保存部2a、制造裝置信息保存部2b、檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c、預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3、檢查.計(jì)測(cè)信息保存部12a、APC信息保存部12b、控制方式運(yùn)算部14 (相當(dāng)于第二控制方式運(yùn)算部的一例)、輸出部7、第一輔助部15a、第二輔助部15b、第三輔助部15c、以及第四輔助部15d。
[0086]輸入部11能夠設(shè)為與前述的輸入部I同樣。
[0087]但是，輸入部11還具有用于選擇后述的第一輔助部15a、第二輔助部15b、第三輔助部15c及第四輔助部15d中的任意一個(gè)的開(kāi)關(guān)。
[0088]檢查?計(jì)測(cè)信息保存部12a保存與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)。與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)例如為產(chǎn)品的尺寸、形狀、重量、反射光強(qiáng)度以及發(fā)光強(qiáng)度等。
[0089]檢查.計(jì)測(cè)信息保存部12a將所保存的數(shù)據(jù)提供給控制方式運(yùn)算部14。
[0090]APC信息保存部12b保存與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)。
[0091]APC信息保存部12b將所保存的數(shù)據(jù)提供給控制方式運(yùn)算部14。
[0092]控制方式運(yùn)算部14根據(jù)從檢查.計(jì)測(cè)信息保存部12a抽取到的與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)(例如，產(chǎn)品的尺寸)、從APC信息保存部12b抽取到的與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)、由預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3求出的各制造裝置(各處理室)中的成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N，分別求出進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
[0093]控制方式運(yùn)算部14能夠每錯(cuò)開(kāi)一個(gè)月地反復(fù)運(yùn)算例如12個(gè)月的數(shù)據(jù)。另外，期間等也能夠適當(dāng)?shù)刈兏?br> [0094]接下來(lái)，控制方式運(yùn)算部14運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下與未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0095]最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量被提供給輸出部7。
[0096]輸出部7將最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量，作為未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC為恰當(dāng)?shù)臅r(shí)期來(lái)進(jìn)行顯示。S卩，控制方式運(yùn)算部14使用實(shí)際的數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行模擬，啟示進(jìn)行恰當(dāng)?shù)目刂品绞降倪x擇。
[0097]此外，作業(yè)者能夠從輸入部11選擇以下的輔助功能。
[0098]第一輔助部15a基于從制造裝置信息保存部2b、檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c、以及檢查.計(jì)測(cè)信息保存部12a抽取到的數(shù)據(jù)，運(yùn)算按照各制造裝置(各處理室)的統(tǒng)計(jì)值(例如，平均值、偏差、最大值、最小值等)。運(yùn)算結(jié)果例如作為記載有各制造裝置(各處理室)、檢查.計(jì)測(cè)比例和成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N的矩陣表、將以統(tǒng)計(jì)值為基礎(chǔ)的制造裝置(處理室)的性能按照排名形式進(jìn)行了表示的表等，顯示在輸出部7等。
[0099]作業(yè)者從與各制造裝置(各處理室)有關(guān)的統(tǒng)計(jì)值的數(shù)據(jù)，選擇適于進(jìn)行APC的制造裝置(處理室)，從輸入部11輸入與所選擇的制造裝置(處理室)有關(guān)的數(shù)據(jù)(例如，制造裝置(處理室)的名稱(chēng))。
[0100]預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3運(yùn)算在使用了基于求出的統(tǒng)計(jì)值而輸入的制造裝置(處理室)的情況下成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N。
[0101]控制方式運(yùn)算部14分別計(jì)算在使用了所輸入的制造裝置(處理室)的情況下進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
[0102]控制方式運(yùn)算部14能夠每錯(cuò)開(kāi)一個(gè)月地反復(fù)運(yùn)算例如12個(gè)月的數(shù)據(jù)。另外，期間等能夠適當(dāng)變更。
[0103]接下來(lái)，控制方式運(yùn)算部14運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下與未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0104]最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量被提供給輸出部7。
[0105]輸出部7將最終品質(zhì)的偏差相等的產(chǎn)品的數(shù)量，作為不進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC為恰當(dāng)?shù)臅r(shí)期進(jìn)行顯示。
[0106]第二輔助部15b基于從制造裝置信息保存部2b、檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部2c、以及檢查.計(jì)測(cè)信息保存部12a抽取到的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置(各處理室)的產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)。
[0107]然后，第二輔助部15b使產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)變化。
[0108]預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3按照變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N。
[0109]控制方式運(yùn)算部14按照變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算最終品質(zhì)的偏差最小的產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)。
[0110]控制方式運(yùn)算部14能夠每錯(cuò)開(kāi)一個(gè)月地反復(fù)運(yùn)算例如12個(gè)月的數(shù)據(jù)。另外，期間等能夠適當(dāng)變更。
[0111]運(yùn)算結(jié)果被顯示于輸出部7等。
[0112]輸出部7顯示最終品質(zhì)的偏差最小的產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)。
[0113]第三輔助部15c使APC信息保存部12b所保存的APC計(jì)算式中的校正系數(shù)(例如，反饋型的APC的校正系數(shù))變化。
[0114]控制方式運(yùn)算部14按照變化了的每個(gè)校正系數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算最終品質(zhì)的偏差最小的校正系數(shù)。
[0115]控制方式運(yùn)算部14能夠每錯(cuò)開(kāi)一個(gè)月地反復(fù)運(yùn)算例如12個(gè)月的數(shù)據(jù)。另外，期間等能夠適當(dāng)變更。
[0116]運(yùn)算結(jié)果被顯示于輸出部7等。
[0117]輸出部7顯示最終品質(zhì)的偏差最小的APC計(jì)算式中的校正系數(shù)。
[0118]第四輔助部15d將與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)提供給輸出部7等。
[0119]與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)例如為與對(duì)象產(chǎn)品類(lèi)似的他產(chǎn)品。
[0120]與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)例如能夠從生產(chǎn)信息保存部2a所保存的數(shù)據(jù)中抽取。
[0121]作業(yè)者能夠從輸入部11輸入與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)(例如，產(chǎn)品名等)。
[0122]預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3針對(duì)所輸入的組產(chǎn)品，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量N。
[0123]控制方式運(yùn)算部14針對(duì)所輸入的組產(chǎn)品，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
[0124]運(yùn)算結(jié)果被顯示于輸出部7等。
[0125]輸出部7針對(duì)所輸入的組產(chǎn)品，分別顯示進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
[0126]如以上所例示的那樣，本實(shí)施方式所涉及的生產(chǎn)支援方法能夠包含以下的工序。
[0127]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)的工序。
[0128]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例的工序。
[0129]根據(jù)每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序。
[0130]根據(jù)與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)、與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)、成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差的工序。
[0131]另外，各工序中的內(nèi)容能夠與前述同樣。因此，省略各工序中的內(nèi)容的說(shuō)明。
[0132][第三實(shí)施方式]
[0133]接下來(lái)，對(duì)上述的實(shí)施方式中使用的生產(chǎn)支援程序進(jìn)行說(shuō)明。
[0134]該生產(chǎn)支援程序能夠使計(jì)算機(jī)執(zhí)行所述的生產(chǎn)支援方法。
[0135]為了執(zhí)行一系列的生產(chǎn)支援，上述生產(chǎn)支援程序例如被保存于在生產(chǎn)支援系統(tǒng)100、101中設(shè)置的未圖示的程序保存單元中。生產(chǎn)支援程序例如能夠經(jīng)由未圖示的記錄介質(zhì)保存在未圖示的程序保存單元中，或者經(jīng)由MES(Manufacturing Execut1n System)系LAN (Local Area Network)等保存在未圖示的程序保存單元中。
[0136]然后，通過(guò)執(zhí)行該程序，執(zhí)行前述的預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部3、控制方式運(yùn)算部5、控制方式運(yùn)算部14等中的抽取、運(yùn)算。
[0137]上述生產(chǎn)支援程序能夠執(zhí)行以下的步驟。
[0138]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0139]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例。
[0140]根據(jù)每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0141]根據(jù)成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、進(jìn)行了前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> [0142]此外，上述生產(chǎn)支援程序能夠使得執(zhí)行以下步驟。
[0143]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)。
[0144]根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例。
[0145]根據(jù)每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
[0146]根據(jù)與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)、與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)、成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
[0147]另外，基于上述生產(chǎn)支援程序執(zhí)行的步驟，可以按照所述的順序以時(shí)間序列來(lái)執(zhí)行，也可以不必按照時(shí)間序列來(lái)執(zhí)行，而是并列地或有選擇地來(lái)執(zhí)行。
[0148]以上說(shuō)明了本發(fā)明的若干實(shí)施方式，但是這些實(shí)施方式只是作為例子提出，不意欲限定發(fā)明的范圍。這些新的實(shí)施方式能夠以其他各種方式來(lái)實(shí)施，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種省略、置換、變更。這些實(shí)施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍和主旨內(nèi)，也包含在權(quán)利要求所記載的發(fā)明及其等同范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.如權(quán)利要求1記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng)，其中，具備: 生產(chǎn)信息保存部，保存與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)； 制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)； 檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)； 預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查.計(jì)測(cè)比例，根據(jù)所述每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)和所述檢查.計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量；以及第一控制方式運(yùn)算部，根據(jù)所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、 預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、 進(jìn)行了所述前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、以及 未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差， 運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞健?br> 2.如權(quán)利要求1記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng),其中， 還具備: 管理信息運(yùn)算部，根據(jù) 所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、以及 所述預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系， 求出所述APC的效果。
3.—種生產(chǎn)支援系統(tǒng),其中，具備: 生產(chǎn)信息保存部，保存與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)； 制造裝置信息保存部，保存與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)； 檢查.計(jì)測(cè)裝置信息保存部，保存與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)； 預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)，根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)和所述與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查.計(jì)測(cè)比例，根據(jù)所述每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)和所述檢查.計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量； 檢查.計(jì)測(cè)信息保存部，保存與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)； APC信息保存部，保存與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)；以及 第二控制方式運(yùn)算部，根據(jù)所述與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)、所述與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)、以及所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
4.如權(quán)利要求3記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng)，其中， 還具備: 第一輔助部，運(yùn)算多個(gè)所述制造裝置中的統(tǒng)計(jì)值； 所述預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部運(yùn)算在使用了基于所述統(tǒng)計(jì)值而選擇的所述制造裝置的情況下所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
5.如權(quán)利要求3記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng)，其中， 還具備: 第二輔助部，使所述產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)變化； 所述預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部按照所述變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量， 所述第二控制方式運(yùn)算部按照所述變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算所述最終品質(zhì)的偏差最小的所述產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)。
6.如權(quán)利要求3記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng)，其中， 還具備: 第三輔助部，使所述APC計(jì)算式中的校正系數(shù)變化； 所述第二控制方式運(yùn)算部按照所述變化了的每個(gè)所述校正系數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算所述最終品質(zhì)的偏差最小的所述校正系數(shù)。
7.如權(quán)利要求3記載的生產(chǎn)支援系統(tǒng)，其中， 還具備: 第四輔助部，提供與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)； 所述預(yù)定批量數(shù)運(yùn)算部針對(duì)所選擇的所述組產(chǎn)品，運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量， 所述第二控制方式運(yùn)算部針對(duì)所述選擇的所述組產(chǎn)品，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況和未進(jìn)行組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
8.—種生產(chǎn)支援方法,其中，具備: 根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)的工序； 根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例的工序； 根據(jù)所述每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、所述檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序；以及根據(jù) 所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、 預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系、 進(jìn)行了所述前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差、以及 未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC時(shí)的最終品質(zhì)的偏差， 運(yùn)算恰當(dāng)?shù)目刂品绞降墓ば颉?br> 9.如權(quán)利要求8記載的生產(chǎn)支援方法，其中， 還具備: 根據(jù) 所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量、以及 所述預(yù)先求出的進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC時(shí)的產(chǎn)品的數(shù)量與最終品質(zhì)的偏差之間的關(guān)系， 運(yùn)算所述APC的效果的工序。
10.—種生產(chǎn)支援方法,其中，具備: 根據(jù)與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與制造裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)的工序； 根據(jù)所述與生產(chǎn)數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)、與檢查裝置或者計(jì)測(cè)裝置有關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)算檢查?計(jì)測(cè)比例的工序； 根據(jù)所述每個(gè)制造裝置的預(yù)定生產(chǎn)數(shù)、所述檢查?計(jì)測(cè)比例，運(yùn)算成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序；以及 根據(jù)與檢查結(jié)果或者計(jì)測(cè)結(jié)果有關(guān)的數(shù)據(jù)、與APC計(jì)算式有關(guān)的數(shù)據(jù)、所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差的工序。
11.如權(quán)利要求10記載的生產(chǎn)支援方法，其中， 還具備運(yùn)算多個(gè)所述制造裝置中的統(tǒng)計(jì)值的工序； 在運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序中，運(yùn)算在使用了基于所述統(tǒng)計(jì)值而選擇的所述制造裝置的情況下所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量。
12.如權(quán)利要求10記載的生產(chǎn)支援方法，其中， 還具備使所述產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)變化的工序； 在運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序中，按照所述變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量， 在分別運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差的工序中，按照所述變化了的產(chǎn)品的每個(gè)移動(dòng)平均數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算所述最終品質(zhì)的偏差最小的所述產(chǎn)品的移動(dòng)平均數(shù)。
13.如權(quán)利要求10記載的生產(chǎn)支援方法，其中， 還具備使所述APC計(jì)算式中的校正系數(shù)變化的工序， 在分別運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差的工序中，按照所述變化了的每個(gè)所述校正系數(shù)，運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的所述最終品質(zhì)的偏差，運(yùn)算所述最終品質(zhì)的偏差最小的所述校正系數(shù)。
14.如權(quán)利要求10記載的生產(chǎn)支援方法，其中， 還具備抽取與組產(chǎn)品有關(guān)的數(shù)據(jù)的工序， 在運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量的工序中，針對(duì)所選擇的所述組產(chǎn)品，運(yùn)算所述成為最終品質(zhì)的控制對(duì)象的產(chǎn)品的數(shù)量， 在分別運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下和未進(jìn)行組合所述反饋型和前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差的工序中，針對(duì)所述選擇的所述組產(chǎn)品，分別運(yùn)算進(jìn)行了組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況和未進(jìn)行組合所述反饋型和所述前饋型的APC的情況下的最終品質(zhì)的偏差。
【文檔編號(hào)】G06Q10/06GK104463405SQ201410429758
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年8月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月19日
【發(fā)明者】山田宗良, 曾我朗, 伊藤敦史, 藤田祐司 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝