一種工藝氣體互鎖的控制方法和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例提供了一種工藝氣體互鎖的控制方法，所述方法，包括以下步驟：步驟1，設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)陕窔怏w通道設(shè)置對(duì)應(yīng)的配置參數(shù)；步驟2，遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)，依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則執(zhí)行步驟3；否則，執(zhí)行步驟4；步驟3，打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道；步驟4，生成警報(bào)信息。本發(fā)明實(shí)施例增加了氣體通道的配置參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了在線編輯的功能。在線編輯配置參數(shù)和在線應(yīng)用，提高了應(yīng)用的靈活性，提高了效率，減少了時(shí)間的浪費(fèi)。
【專利說(shuō)明】一種工藝氣體互鎖的控制方法和系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及設(shè)備工藝控制領(lǐng)域，特別是涉及一種工藝氣體互鎖的控制方法和一種 工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002] 復(fù)雜產(chǎn)品的制作過(guò)程是一個(gè)涉及多個(gè)學(xué)科交叉的【技術(shù)領(lǐng)域】，例如在半導(dǎo)體制造工 藝中，刻蝕工藝的過(guò)程就是在既定的工藝條件下，如工藝腔室加熱到一定溫度，工藝腔室的 壓力穩(wěn)定在工藝要求的范圍內(nèi)，按照一定的比例對(duì)腔室通入多種氣體，然后對(duì)射頻設(shè)備加 一定的電壓，通過(guò)電離工藝氣體對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕的工藝過(guò)程。
[0003] 因此，通常在上述此類產(chǎn)品的制造工藝自動(dòng)控制中，氣體控制是很重要的內(nèi)容。以 氣體互鎖為例進(jìn)行說(shuō)明。氣體互鎖，指的是兩種或者多種氣體之間，兩兩互相排斥，不能同 時(shí)通入到工藝腔室之中。例如氫氣和氧氣，如果同時(shí)通入到工藝腔室之中，在一定的比例和 溫度的條件下，很容易發(fā)生爆炸。類似的氣體還有甲烷和氧氣等。
[0004] 現(xiàn)在可以通過(guò)設(shè)置型互鎖，實(shí)現(xiàn)氣體互鎖。設(shè)置型互鎖的原理，就是對(duì)該設(shè)備進(jìn)行 設(shè)置操作之前，檢查一系列的條件，比如廠務(wù)壓力是否正常，氣柜門是否關(guān)閉，氣柜是否無(wú) 泄漏，氣柜壓力是否正常等，如果條件全部滿足，則允許進(jìn)行對(duì)該設(shè)備進(jìn)行設(shè)置；反之，如果 有某一個(gè)或者幾個(gè)條件不滿足，則拋出報(bào)警，不允許對(duì)該設(shè)備進(jìn)行設(shè)置。
[0005] 例如氧氣是第二路氣體通道中的氣體，氫氣是第三路氣體通道中的氣體，如果想 打開(kāi)第三路的閥通入氫氣，需要先查第二路氣體通道的閥是否已經(jīng)打開(kāi)了，如果第二路氣 體通道中的閥已經(jīng)打開(kāi)了，那么第三路氣體通道的閥是不允許打開(kāi)的；如果第二路氣體通 道的閥沒(méi)有打開(kāi)，那么第三路氣體通道的閥是允許打開(kāi)的。反之亦然。
[0006] 現(xiàn)在實(shí)現(xiàn)了氣體互鎖的功能，能夠防止兩種危險(xiǎn)氣體通入腔室，但是是將具體的 氣體種類配置到具體的通氣管道上的，是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，靈活性很差。很多情況都不能夠 很好地適應(yīng)，需要對(duì)應(yīng)修改軟件、重啟軟件，才能夠?qū)崿F(xiàn)該實(shí)際情況下的氣體互鎖，操作十 分繁瑣。
[0007] 例如，某種特殊工藝需要以極低的比例通入氫氣和高比例的氧氣，比如允許通入 lsccm的氫氣和200sCCm的氧氣，此時(shí)是不會(huì)有危險(xiǎn)情況發(fā)生的，上述方案是不能實(shí)現(xiàn)該功 能的，只能對(duì)應(yīng)修改軟件代碼，即重新設(shè)計(jì)一個(gè)軟件，才能實(shí)現(xiàn)該功能。
[0008] 又例如，當(dāng)某路氣體通道的氣體被換走后，假設(shè)原本第五路氣體通道通氫氣，第六 路氣體通道通氧氣，那么第五、六路氣體通道的閥是不允許同時(shí)打開(kāi)的，現(xiàn)在把其中第五、 六路氣體通道中任一路通行的氣體換成氮?dú)?，那么換了氣體之后第五、六路氣體通道的閥 理應(yīng)是允許同時(shí)打開(kāi)的，但是在沒(méi)有對(duì)應(yīng)修改軟件、重啟軟件的狀況下，現(xiàn)在還是不能同時(shí) 打開(kāi)第五、六路氣體通道的閥。
[0009] 又例如，當(dāng)氣體通道中通行的氣體的順序調(diào)換了之后，假設(shè)原本第一路氣體通道 通氬氣，第三路氣體通道通氫氣，現(xiàn)在把氫氣換到了第一路氣體通道，把氬氣換到了第三路 氣體通道，而本來(lái)第一路氣體通道(氬氣）跟其他路通道的氣體的配置關(guān)系不會(huì)隨著氬氣換 到第三路氣體通道而改變，又假設(shè)第二路氣體通道通氧氣，那么原本第一、二路氣體通道的 閥是禁止同時(shí)打開(kāi)的，第二、三路氣體通道的閥是允許同時(shí)打開(kāi)的，而調(diào)換第一、三路氣體 通道通行的氣體后，現(xiàn)在還是第一、二路氣體通道的閥禁止同時(shí)打開(kāi)，第二、三路氣體通道 的閥允許同時(shí)打開(kāi)，只有對(duì)應(yīng)修改軟件、重啟軟件才能實(shí)現(xiàn)正常運(yùn)作。
[0010] 現(xiàn)有方案下氣體互鎖的機(jī)制導(dǎo)致了通入的氣體每做一次調(diào)整，就要對(duì)應(yīng)的修改軟 件、重啟軟件，靈活性很差，操作十分繁瑣。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種工藝氣體互鎖的控制方法，以解決 重復(fù)修改軟件、重啟軟件的缺陷，使氣體控制更加靈活。
[0012] 本發(fā)明還提供了一種工藝氣體互鎖的控制裝置，用以保證上述方法的實(shí)現(xiàn)及應(yīng) 用。
[0013] 為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種工藝氣體互鎖的控制方法，所述方 法，包括以下步驟：
[0014] 步驟1，設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)陕窔怏w通道設(shè)置對(duì) 應(yīng)的配置參數(shù)；
[0015] 步驟2,遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo)路氣體 通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)，依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道的配 置參數(shù)判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則執(zhí)行步驟3 ;否則，執(zhí)行步驟4 ;
[0016] 步驟3,打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道；
[0017] 步驟4,生成警報(bào)信息。
[0018] 優(yōu)選地，所述配置參數(shù)包括允許參數(shù)permit或禁止參數(shù)forbid。
[0019] 優(yōu)選地，所述預(yù)設(shè)條件包括：
[0020] 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)；和/或，
[0021] 禁止所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)，并且，其它各路氣體通 道都未打開(kāi)；和/或，
[0022] 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它部分氣體通道打開(kāi)，禁止所述目標(biāo)路氣體通道與 剩余氣體通道打開(kāi)，并且所述剩余氣體通道均未打開(kāi)。
[0023] 優(yōu)選地，所述步驟2,包括下列步驟：
[0024] 步驟21,查詢與所述目標(biāo)路氣體通道的配置參數(shù)為禁止參數(shù)forbid的所有氣體 通道，并標(biāo)記為待定氣體通道；
[0025] 步驟22,依次判斷所有所述待定氣體通道是否均為關(guān)閉狀態(tài)，若是，則執(zhí)行步驟 3;否則，執(zhí)行步驟4。
[0026] 優(yōu)選地，所述氣體通道具有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)路氣體通 道為第Ν路，其中，Μ、Ν為正整數(shù)；所述步驟21，包括下列步驟 ：
[0027] 步驟211，確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ;
[0028] 步驟212,判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則執(zhí)行步驟213 ;否則，執(zhí)行步驟22 ;
[0029] 步驟213,判斷I是否等于Ν ;若是，則執(zhí)行1=1+1，返回步驟212 ;否則，執(zhí)行步驟 214 ；
[0030] 步驟214,查詢第I路氣體通道與第N路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許參數(shù) permit ;若是，則執(zhí)行1=1+1，返回步驟212 ;否則，標(biāo)記第I路氣體通道為待定氣體通道，執(zhí) 行1=1+1，返回步驟212。
[0031] 優(yōu)選地，所述氣體通道具有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)氣體通道 為第Ν路，其中，Μ、Ν為正整數(shù)；所述步驟2,包括下列步驟：
[0032] 步驟S1，確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ;
[0033] 步驟S2,判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則執(zhí)行步驟S3 ;若否，則執(zhí)行步驟3 ;
[0034] 步驟S3,判斷I是否等于Ν ;若是，則執(zhí)行步驟S6 ;若否，則執(zhí)行步驟S4 ;
[0035] 步驟S4,查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許參數(shù) permit ;若是，則執(zhí)行步驟S6 ;若否，則執(zhí)行步驟S5 ;
[0036] 步驟S5,查詢第I路氣體通道是否已經(jīng)打開(kāi)；若是，則執(zhí)行步驟4 ;若否，則執(zhí)行步 驟S6 ;
[0037] 步驟S6,將I的值加 1，返回執(zhí)行步驟S2。
[0038] 優(yōu)選地，所述氣體通道為刻蝕設(shè)備的氣體通道。
[0039] 優(yōu)選地，所述方法，還包括：
[0040] 在所述配置頁(yè)中設(shè)置每路氣體通道的參數(shù)值，所述參數(shù)值包括：通氣種類、通氣 量、溫度、壓強(qiáng)和/或密度。
[0041] 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，所述系統(tǒng)，包括以下模塊：
[0042] 配置參數(shù)設(shè)置模塊，用于設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)?路氣體通道設(shè)置對(duì)應(yīng)的配置參數(shù)；
[0043] 判斷模塊，用于遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo) 路氣體通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)；并依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體 通道的配置參數(shù)，判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則調(diào)用打開(kāi)模塊，若否，則調(diào)用警報(bào)模塊； [0044] 打開(kāi)模塊，用于打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道；
[0045] 警報(bào)模塊，用于生成警報(bào)信息。
[0046] 優(yōu)選地，所述配置參數(shù)包括允許參數(shù)permit或禁止參數(shù)forbid。
[0047] 優(yōu)選地,所述預(yù)設(shè)條件，包括：
[0048] 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)；
[0049] 和 / 或，
[0050] 禁止所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)，并且，其它各路氣體通 道都未打開(kāi)；
[0051] 和 / 或，
[0052] 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它部分氣體通道打開(kāi)，禁止所述目標(biāo)路氣體通道與 剩余氣體通道打開(kāi)，并且，所述剩余氣體通道均未打開(kāi)。
[0053] 優(yōu)選地，所述判斷模塊，包括以下子模塊：
[0054] 禁止參數(shù)查詢子模塊，用于查詢與所述目標(biāo)路氣體通道的配置參數(shù)為禁止參數(shù) forbid的所有氣體通道，并標(biāo)記為待定氣體通道；
[0055] 關(guān)閉狀態(tài)判斷子模塊，用于依次判斷所有所述待定氣體通道是否均為關(guān)閉狀態(tài)； 若是，則調(diào)用打開(kāi)模塊，若否，則調(diào)用警報(bào)模塊。
[0056] 優(yōu)選地，所述氣體通道具有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述當(dāng)前目標(biāo)氣體 通道為第Ν路，其中，Μ、Ν為正整數(shù)；所述禁止參數(shù)查詢子模塊，包括以下子模塊：
[0057] 初始化子模塊，用于確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ;
[0058] 判斷子模塊，用于判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則調(diào)用等同判斷子模塊；否則， 調(diào)用退出子模塊；
[0059] 等同判斷子模塊，用于判斷I是否等于Ν ;若是，則則執(zhí)行1=1+1，返回所述判斷子 模塊；否則，調(diào)用查找子模塊；
[0060] 查找子模塊，用于查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許 參數(shù)permit ;若是，則執(zhí)行1=1+1，并調(diào)用判斷子模塊；否則，調(diào)用記錄子模塊，執(zhí)行1=1+1， 調(diào)用判斷子模塊；
[0061] 記錄子模塊，用于記錄第I路氣體通道為待定氣體通道。
[0062] 優(yōu)選地，所述氣體通道具有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)氣體通道 為第Ν路，其中，Μ、Ν為正整數(shù)；所述判斷模塊，包括以下模塊：
[0063] 初始化子模塊，用于確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ;
[0064] 第一判斷子模塊，用于判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則調(diào)用第二判斷子模塊；若 否，則調(diào)用打開(kāi)模塊；
[0065] 第二判斷子模塊，用于判斷I是否等于Ν ;若是，則調(diào)用增值子模塊；若否，則調(diào)用 第一查詢子模塊；
[0066] 第一查詢子模塊，用于查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是 允許參數(shù)permit ;若是，則調(diào)用增值子模塊；若否，則調(diào)用第二查詢子模塊；
[0067] 第二查詢子模塊，用于查詢第I路氣體通道是否已經(jīng)打開(kāi)；若是，則調(diào)用警報(bào)模 塊；若否，則調(diào)用增值子模塊；
[0068] 增值子模塊，用于將I的值加 1，返回調(diào)用第一判斷子模塊。
[0069] 優(yōu)選地，所述氣體通道為刻蝕設(shè)備的氣體通道。
[0070] 優(yōu)選地，所述系統(tǒng)，還包括：
[0071] 參數(shù)值設(shè)置模塊，用于在所述配置頁(yè)中設(shè)置每路氣體通道的參數(shù)值，所述參數(shù)值 包括：通氣種類、通氣量、溫度、壓強(qiáng)和/或密度。
[0072] 與【背景技術(shù)】相比，本發(fā)明實(shí)施例包括以下優(yōu)點(diǎn)：
[0073] 本發(fā)明實(shí)施例增加了氣體通道的配置參數(shù)，可以通過(guò)修改配置參數(shù)，然后應(yīng)用到 程序中，實(shí)現(xiàn)了在線編輯的功能。在線編輯配置參數(shù)和在線應(yīng)用，提高了應(yīng)用的靈活性，提 高了效率，減少了時(shí)間的浪費(fèi)。
[0074] 本發(fā)明實(shí)施例由于可以在線編輯配置參數(shù)進(jìn)行氣體的控制，因此不需要修改軟件 代碼、重啟軟件，避免了生產(chǎn)情況發(fā)生變化時(shí)，隨之反復(fù)修改代碼的情況，對(duì)于突發(fā)性、臨時(shí) 性的氣體變動(dòng)，具有良好的適應(yīng)性，更易于維護(hù)和管理。
[0075] 本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)氣體通道間接控制氣體的通入，在設(shè)置配置參數(shù)的時(shí)候，除了 可以考慮氣體的種類，還可以考慮氣體的流量、溫度等氣體工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了細(xì)顆粒度的氣 體控制。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0076] 圖1是本發(fā)明實(shí)施例的一種氣體通道的控制方法實(shí)施例的步驟流程圖；
[0077] 圖2是本發(fā)明實(shí)施例的一種氣體互鎖的配置參數(shù)的優(yōu)選示意圖；
[0078] 圖3是本發(fā)明實(shí)施例的氣體通道的控制方法中步驟102的一種優(yōu)選示例的邏輯關(guān) 系不意圖；
[0079] 圖4是本發(fā)明實(shí)施例的一種氣體通道的控制系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0080] 為使本發(fā)明實(shí)施例的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和

【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0081] 參照?qǐng)D1，示出了本發(fā)明實(shí)施例的一種氣體通道的控制方法實(shí)施例的步驟流程圖， 如圖1所示，所述一種氣體通道的控制方法，可以包括如下步驟：
[0082] 步驟1，設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)陕窔怏w通道設(shè)置對(duì) 應(yīng)的配置參數(shù)；
[0083] 步驟2,遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo)路氣體 通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)，依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道的配 置參數(shù)判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則執(zhí)行步驟3 ;否則，則執(zhí)行步驟4 ;
[0084] 步驟3,打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道；
[0085] 步驟4,生成警報(bào)信息。
[0086] 需要說(shuō)明的是，配置參數(shù)可以是對(duì)應(yīng)兩路氣體通道的運(yùn)行參數(shù)，該兩路氣體通道 可以依據(jù)該配置參數(shù)進(jìn)行開(kāi)啟、關(guān)閉等操作。本發(fā)明實(shí)施例增加了配置參數(shù)的設(shè)置，每?jī)陕?氣體通道之間都對(duì)應(yīng)一個(gè)配置參數(shù)，將配置參數(shù)放在配置的頁(yè)面里面，通過(guò)配置該頁(yè)，可以 修改配置參數(shù)，然后應(yīng)用到程序中，實(shí)現(xiàn)了在線編輯的功能。在線編輯配置參數(shù)和在線應(yīng) 用，提高了設(shè)備應(yīng)用的靈活性，提高了效率，減少了時(shí)間的浪費(fèi)。
[0087] 例如，當(dāng)某路氣體通道的氣體被換走后，則相應(yīng)修改該路氣體通道與其他各路氣 體通道的配置參數(shù)即可，無(wú)需修改軟件代碼、重啟軟件，保障生產(chǎn)的有序進(jìn)行。
[0088] 本發(fā)明實(shí)施例可以通過(guò)控制氣體通道去控制對(duì)應(yīng)氣體的通入，而氣體通道與對(duì)應(yīng) 氣體不存在必然的關(guān)聯(lián)關(guān)系。在設(shè)置配置參數(shù)的時(shí)候，所述配置參數(shù)由本領(lǐng)域技術(shù)人員根 據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定，諸如氣體的種類、流量、溫度等參數(shù)，可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員在設(shè)置 配置參數(shù)的時(shí)候進(jìn)行考慮，本發(fā)明實(shí)施例在此不加以詳述。這樣，本發(fā)明實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了細(xì)顆 粒度的氣體控制。
[0089] 例如，在某些特殊工藝下，某兩路氣體通道準(zhǔn)備通入lsccm的氫氣和200sccm的氧 氣，則將該兩路氣體通道的配置參數(shù)設(shè)置為允許同時(shí)打開(kāi)的參數(shù)，即允許上述兩種氣體同 時(shí)通入，及對(duì)應(yīng)修改該兩路氣體通道與其他各路氣體通道的配置參數(shù)即可，亦無(wú)需修改軟 件代碼、重啟軟件，很好地適應(yīng)了某些特殊工藝要求。
[0090] 為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明實(shí)施例，在本說(shuō)明書中，將半導(dǎo)體刻蝕工 藝中的氣體互鎖的應(yīng)用作為氣體通道的控制方法一種示例進(jìn)行說(shuō)明。
[0091] 那么，在本發(fā)明實(shí)施例中，所述氣體通道為刻蝕設(shè)備的氣體通道。
[0092] 為了實(shí)現(xiàn)互鎖，在本發(fā)明實(shí)施例中，所述配置參數(shù)可以包括允許參數(shù)permit或禁 止參數(shù)forbid。
[0093] 可以理解，允許參數(shù)permit可以代表對(duì)應(yīng)的兩路氣體通道允許同時(shí)打開(kāi)，允許同 時(shí)通入該兩路氣體通道的氣體；禁止參數(shù)forbid可以代表對(duì)應(yīng)的兩路氣體通道禁止同時(shí) 打開(kāi)，禁止同時(shí)通入該兩路氣體通道的氣體。
[0094] 參照?qǐng)D2,示出了本發(fā)明實(shí)施例的一種氣體互鎖的配置參數(shù)的優(yōu)選示意圖。如圖所 示，"參數(shù)名"是配置參數(shù)的名稱，"參數(shù)信息"則是配置參數(shù)的具體參數(shù)值，最小值為0,代 表禁止參數(shù)forbid，最大值為1，代表允許參數(shù)permit，除此外并無(wú)其他值。
[0095] 在設(shè)置配置參數(shù)時(shí)，例如，GaslGas2的當(dāng)前的值為permit，表示允許氣體通道 Gas 1和氣體通道Gas2同時(shí)打開(kāi)，如果想禁止氣體通道Gas 1和氣體通道Gas2同時(shí)打開(kāi)，則 操作該頁(yè)面，把"設(shè)置值"設(shè)置為forbid，然后點(diǎn)擊"應(yīng)用"按鈕，則"當(dāng)前值"，"當(dāng)前配置值"， "設(shè)置值"都變?yōu)閒orbid。
[0096] 此外，在本發(fā)明實(shí)施例中，可以將當(dāng)前每?jī)陕窔怏w通道的配置參數(shù)保存至預(yù)設(shè)位 置，在需要的時(shí)候，再導(dǎo)入已保存的每?jī)陕窔怏w通道的配置參數(shù)，作為當(dāng)前每?jī)陕窔怏w通道 的配置參數(shù)。
[0097] 可以理解，在工業(yè)化生產(chǎn)中，一種產(chǎn)品的制作工藝是相對(duì)穩(wěn)定的，那么刻蝕工藝中 每?jī)陕窔怏w通道的配置參數(shù)也可以是相對(duì)穩(wěn)定的，本發(fā)明實(shí)施例可以按照實(shí)際需要導(dǎo)入已 保存的每?jī)陕窔怏w通道的配置參數(shù)，減少重復(fù)的設(shè)置配置參數(shù)過(guò)程，保證生產(chǎn)的高效進(jìn)行。
[0098] 綜合以上，對(duì)刻蝕設(shè)備氣體互鎖的配置參數(shù)舉例說(shuō)明如下：
[0099]

【權(quán)利要求】
1. 一種工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述方法，包括以下步驟： 步驟1，設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)陕窔怏w通道設(shè)置對(duì)應(yīng)的 配置參數(shù)； 步驟2,遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo)路氣體通道 與其它各路氣體通道的配置參數(shù)，依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道的配置參 數(shù)判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則執(zhí)行步驟3 ;否則，執(zhí)行步驟4 ; 步驟3,打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道； 步驟4,生成警報(bào)信息。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述配置參數(shù)包括 允許參數(shù)permit或禁止參數(shù)forbid。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體通道的控制方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)條件包括： 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)；和/或， 禁止所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)，并且，其它各路氣體通道都 未打開(kāi)；和/或， 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它部分氣體通道打開(kāi)，禁止所述目標(biāo)路氣體通道與剩余 氣體通道打開(kāi)，并且所述剩余氣體通道均未打開(kāi)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述步驟2,包括下 列步驟： 步驟21，查詢與所述目標(biāo)路氣體通道的配置參數(shù)為禁止參數(shù)forbid的所有氣體通道， 并標(biāo)記為待定氣體通道； 步驟22,依次判斷所有所述待定氣體通道是否均為關(guān)閉狀態(tài)，若是，則執(zhí)行步驟3 ;否 貝1J，執(zhí)行步驟4。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述氣體通道具有 預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)路氣體通道為第N路，其中，Μ、N為正整數(shù)；所 述步驟21，包括下列步驟： 步驟211，確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ; 步驟212,判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則執(zhí)行步驟213 ;否則，執(zhí)行步驟22 ; 步驟213,判斷I是否等于Ν ;若是，則執(zhí)行1=1+1，返回步驟212 ;否則，執(zhí)行步驟214 ; 步驟214,查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許參數(shù)permit ; 若是，則執(zhí)行1=1+1，返回步驟212 ;否則，標(biāo)記第I路氣體通道為待定氣體通道，執(zhí)行 1=1+1，返回步驟212。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述氣體通道具 有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)氣體通道為第N路，其中，Μ、N為正整數(shù)；所 述步驟2,包括下列步驟： 步驟S1，確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ; 步驟S2,判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則執(zhí)行步驟S3 ;若否，則執(zhí)行步驟3 ; 步驟S3,判斷I是否等于Ν ;若是，則執(zhí)行步驟S6 ;若否，則執(zhí)行步驟S4 ; 步驟S4,查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許參數(shù)permit ; 若是，則執(zhí)行步驟S6 ;若否，則執(zhí)行步驟S5 ; 步驟S5,查詢第I路氣體通道是否已經(jīng)打開(kāi)；若是，則執(zhí)行步驟4 ;若否，則執(zhí)行步驟 S6 ； 步驟S6,將I的值加1，返回執(zhí)行步驟S2。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述氣體通道為刻 蝕設(shè)備的氣體通道。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝氣體互鎖的控制方法，其特征在于，所述方法，還包括： 在所述配置頁(yè)中設(shè)置每路氣體通道的參數(shù)值，所述參數(shù)值包括：通氣種類、通氣量、溫 度、壓強(qiáng)和/或密度。
9. 一種工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)，包括以下模塊： 配置參數(shù)設(shè)置模塊，用于設(shè)置獨(dú)立配置頁(yè)，并在所述獨(dú)立配置頁(yè)中分別針對(duì)每?jī)陕窔?體通道設(shè)置對(duì)應(yīng)的配置參數(shù)； 判斷模塊，用于遍歷所述配置頁(yè)，針對(duì)目標(biāo)路氣體通道的打開(kāi)操作，查詢所述目標(biāo)路氣 體通道與其它各路氣體通道的配置參數(shù)；并依據(jù)所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道 的配置參數(shù)，判斷是否滿足預(yù)設(shè)條件；若是，則調(diào)用打開(kāi)模塊，若否，則調(diào)用警報(bào)模塊； 打開(kāi)模塊，用于打開(kāi)所述目標(biāo)路氣體通道； 警報(bào)模塊，用于生成警報(bào)信息。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述配置參數(shù)包括 允許參數(shù)permit或禁止參數(shù)forbid。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)條件，包 括： 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)； 和/或， 禁止所述目標(biāo)路氣體通道與其它各路氣體通道均為打開(kāi)，并且，其它各路氣體通道都 未打開(kāi)； 和/或， 允許所述目標(biāo)路氣體通道與其它部分氣體通道打開(kāi)，禁止所述目標(biāo)路氣體通道與剩余 氣體通道打開(kāi)，并且，所述剩余氣體通道均未打開(kāi)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷模塊，包 括以下子模塊： 禁止參數(shù)查詢子模塊，用于查詢與所述目標(biāo)路氣體通道的配置參數(shù)為禁止參數(shù)forbid 的所有氣體通道，并標(biāo)記為待定氣體通道； 關(guān)閉狀態(tài)判斷子模塊，用于依次判斷所有所述待定氣體通道是否均為關(guān)閉狀態(tài)；若是， 則調(diào)用打開(kāi)模塊，若否，則調(diào)用警報(bào)模塊。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體通道具 有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述當(dāng)前目標(biāo)氣體通道為第N路，其中，M、N為正整數(shù)； 所述禁止參數(shù)查詢子模塊，包括以下子模塊： 初始化子模塊，用于確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ; 判斷子模塊，用于判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則調(diào)用等同判斷子模塊；否則，調(diào)用 退出子模塊； 等同判斷子模塊，用于判斷I是否等于N ;若是，則則執(zhí)行1=1+1，返回所述判斷子模塊； 否則，調(diào)用查找子模塊； 查找子模塊，用于查詢第I路氣體通道與第N路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許參數(shù) permit ;若是，則執(zhí)行1=1+1，并調(diào)用判斷子模塊；否則，調(diào)用記錄子模塊，執(zhí)行1=1+1，調(diào)用 判斷子模塊； 記錄子模塊，用于記錄第I路氣體通道為待定氣體通道。
14. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體通 道具有預(yù)置序列，當(dāng)前共有Μ路氣體通道，所述目標(biāo)氣體通道為第N路，其中，M、N為正整數(shù)； 所述判斷模塊，包括以下模塊： 初始化子模塊，用于確定第I路氣體通道為當(dāng)前的氣體通道；其中，I的值為1 ; 第一判斷子模塊，用于判斷I是否小于或等于Μ ;若是，則調(diào)用第二判斷子模塊；若否， 則調(diào)用打開(kāi)模塊； 第二判斷子模塊，用于判斷I是否等于Ν ;若是，則調(diào)用增值子模塊；若否，則調(diào)用第一 查詢子模塊； 第一查詢子模塊，用于查詢第I路氣體通道與第Ν路氣體通道的配置參數(shù)是否是允許 參數(shù)permit ;若是，則調(diào)用增值子模塊；若否，則調(diào)用第二查詢子模塊； 第二查詢子模塊，用于查詢第I路氣體通道是否已經(jīng)打開(kāi)；若是，則調(diào)用警報(bào)模塊；若 否，則調(diào)用增值子模塊； 增值子模塊，用于將I的值加1，返回調(diào)用第一判斷子模塊。
15. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體通道為刻 蝕設(shè)備的氣體通道。
16. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝氣體互鎖的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)，還包括： 參數(shù)值設(shè)置模塊，用于在所述配置頁(yè)中設(shè)置每路氣體通道的參數(shù)值，所述參數(shù)值包括： 通氣種類、通氣量、溫度、壓強(qiáng)和/或密度。
【文檔編號(hào)】G05B19/43GK104281141SQ201310279777
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2013年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月4日
【發(fā)明者】馬平 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司