提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，通過添加信號(hào)線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機(jī)臺(tái)的需求信號(hào)能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)能夠根據(jù)需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，同時(shí)輸入輸出控制盤也根據(jù)需求信號(hào)來控制閥門箱，并將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機(jī)臺(tái)。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號(hào)線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)的信號(hào)傳輸中斷問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)出的需求信號(hào)正常的為制程設(shè)備機(jī)臺(tái)提供所需化學(xué)物品。
【專利說明】提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明設(shè)計(jì)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，通常需要用到大量的具有劇毒性和高腐蝕性的化學(xué)物品來滿足生產(chǎn)需要，例如氫氟酸、磷酸等。在正常的生產(chǎn)過程中，制程設(shè)備機(jī)臺(tái)向廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)發(fā)出需求信號(hào)，廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)接受到需求信號(hào)后會(huì)做出相應(yīng)的反應(yīng)并且發(fā)出反應(yīng)信號(hào)，從而控制閥門打開，向制程設(shè)備機(jī)臺(tái)輸送所需的化學(xué)物品。
[0003]目前，半導(dǎo)體行業(yè)通常都是采用控制網(wǎng)線來傳遞需求信號(hào)，實(shí)現(xiàn)制程設(shè)備機(jī)臺(tái)和廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間的通訊。請(qǐng)參考圖1，現(xiàn)有的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)包括:制程設(shè)備機(jī)臺(tái)(POU) 10 ;與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10連接的閥門箱(VMB) 20 ;與所述閥門箱20連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel)30 ;與所述輸入輸出控制盤30連接的中央數(shù)據(jù)采集盤(DCP Master) 40 ;以及與所述中央數(shù)據(jù)采集盤40連接的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit)50，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50包括化學(xué)物品供應(yīng)單元(圖未示)和信號(hào)輸入單元(圖未示)。此外，所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10與閥門箱20之間設(shè)置有第一段管路61，所述閥門箱20與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50之間設(shè)置有第二段管路62。
[0004]所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10、閥門箱20、輸入輸出控制盤30、中央數(shù)據(jù)采集盤40以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50依次通過信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)連接。具體地說，所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10提出需求信號(hào)并傳輸至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20再將需求信號(hào)傳輸至所述輸入輸出控制盤30 ;所述輸入輸出控制盤30將需求信號(hào)傳輸至所述中央數(shù)據(jù)采集盤40 ;所述中央數(shù)據(jù)采集盤40將需求信號(hào)傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50中的信號(hào)輸入單元；所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)再根據(jù)所述需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路62向制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10供應(yīng)化學(xué)物品(例如是氫氟酸、磷酸等酸液);所述輸入輸出控制盤30會(huì)根據(jù)需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，再將反應(yīng)信號(hào)反饋至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20根據(jù)所述反應(yīng)信號(hào)來打開或者關(guān)閉所述閥門單元中的閥門，從而達(dá)到為所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10提供或不提供所需化學(xué)物品的效果。這樣便能夠?qū)崿F(xiàn)所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50的化學(xué)物品的傳輸。
[0005]但是在實(shí)際生產(chǎn)過程中，輸入輸出控制盤30與中央數(shù)據(jù)采集盤40之間的信號(hào)線、中央數(shù)據(jù)采集盤40與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50之間的信號(hào)線、或者中央數(shù)據(jù)采集盤40其中任何一處出現(xiàn)問題都將會(huì)導(dǎo)致信號(hào)傳輸?shù)闹袛啵瘜W(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50無法接受到需求信號(hào)，從而致使制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10無法獲得所需的化學(xué)物品。若制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10無法獲得化學(xué)物品，必須停止生產(chǎn)。此時(shí)不但需要花費(fèi)時(shí)間分別對(duì)各處信號(hào)線和中央數(shù)據(jù)采集盤40進(jìn)行故障排查，而且還將導(dǎo)致制程設(shè)備機(jī)臺(tái)10中正在生產(chǎn)的晶圓損傷甚至報(bào)廢。因此，如何避免此類問題的發(fā)生，便成了本領(lǐng)域亟需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號(hào)線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)故障時(shí)不能繼續(xù)為制程設(shè)備機(jī)臺(tái)提供化學(xué)物品的問題。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機(jī)臺(tái)(POU);與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)連接的閥門箱(VMB);與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel);以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit);所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)與閥門箱之間設(shè)置有第一段管路，所述閥門箱與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間設(shè)置有第二段管路；其中，所述輸入輸出控制盤直接通過信號(hào)線與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行信號(hào)連接。
[0008]進(jìn)一步的，所述閥門箱包括信號(hào)單元和閥門單元；所述信號(hào)單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)通過所述第一段管路連接，所述信號(hào)單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
[0009]進(jìn)一步的，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)包括化學(xué)物品供應(yīng)單元和信號(hào)輸入單元，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號(hào)輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號(hào)線連接，所述信號(hào)輸入單元控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物
品O
[0010]進(jìn)一步的，還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號(hào)輸入單元連接。
[0011]進(jìn)一步的，所述輸入輸出控制盤包括數(shù)據(jù)輸出模塊和繼電器，所述數(shù)據(jù)輸出模塊與所述繼電器連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述繼電器與所述信號(hào)輸入單元的信號(hào)端口通過一根信號(hào)線連接，所述繼電器與所述信號(hào)輸入單元的公共端口通過另一根信號(hào)線連接。
[0013]進(jìn)一步的，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)還包括一硬線故障報(bào)警單元，所述硬線故障報(bào)警單元用以檢測(cè)所述輸入輸出控制盤和中央數(shù)據(jù)采集盤是否傳輸信號(hào)至所述信號(hào)輸入單
J Li ο
[0014]進(jìn)一步的，所述信號(hào)線為硬線(Hard cable)。
[0015]進(jìn)一步的，所述硬線為24V的信號(hào)線。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的主要有益效果在于:提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，通過添加信號(hào)線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機(jī)臺(tái)的需求信號(hào)能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)能夠根據(jù)需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，同時(shí)輸入輸出控制盤也根據(jù)需求信號(hào)來控制閥門箱，并將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機(jī)臺(tái)。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號(hào)線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)的信號(hào)傳輸中斷問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)出的需求信號(hào)正常的為制程設(shè)備機(jī)臺(tái)提供所需化學(xué)物品。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明實(shí)施例一中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明實(shí)施例一中輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)連線的結(jié)構(gòu)示意圖；[0020]圖4為本發(fā)明實(shí)施例二中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為了便于理解，下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0022]實(shí)施例一
[0023]請(qǐng)參考圖2，一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機(jī)臺(tái)(POU) 100 ;與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100連接的閥門箱(VMB) 200 ;與所述閥門箱200連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel) 300 ;以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit) 500 ;所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100與閥門箱200之間設(shè)置有第一段管路610，所述閥門箱200與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500之間設(shè)置有第二段管路620 ;其中，所述輸入輸出控制盤300直接通過信號(hào)線700與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500進(jìn)行信號(hào)連接。
[0024]其中，所述閥門箱200包括信號(hào)單元和閥門單元(圖未示);所述信號(hào)單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100與所述輸入輸出控制盤300連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100通過所述第一段管路610連接，所述信號(hào)單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
[0025]在本實(shí)施例中，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500包括化學(xué)物品供應(yīng)單元(圖未示)和信號(hào)輸入單元510，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱300通過所述第二段管路620連接，所述信號(hào)輸入單元510與輸入輸出控制盤300通過信號(hào)線700連接，所述信號(hào)輸入單元510控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物品。
[0026]在本實(shí)施例中，所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提出需求信號(hào)，并傳輸至所述閥門箱200 ；所述閥門箱200再將需求信號(hào)傳輸至所述輸入輸出控制盤300 ;所述輸入輸出控制盤300再將需求信號(hào)傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500 ;化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500根據(jù)所述需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路620向閥門箱200供應(yīng)化學(xué)物品；所述輸入輸出控制盤300會(huì)根據(jù)需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，再將反應(yīng)信號(hào)反饋至所述閥門箱200 ;所述閥門箱200根據(jù)所述反應(yīng)信號(hào)來打開所述閥門單元的閥門，從而達(dá)到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)通過第二段管路620和第一段管路610為所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提供所需化學(xué)物品的效果。
[0027]請(qǐng)參考圖3，在本實(shí)施例中，所述輸入輸出控制盤300包括數(shù)據(jù)輸出模塊310和繼電器320，所述數(shù)據(jù)輸出模塊310與所述繼電器320連接。所述繼電器320與所述信號(hào)輸入單元510的信號(hào)端口通過一根信號(hào)線700連接，所述繼電器320與所述信號(hào)輸入單元510的公共端口(即接地端)通過另一根信號(hào)線700連接，從而實(shí)現(xiàn)信號(hào)的傳輸。
[0028]其中，所述信號(hào)線700可以為硬線(Hard cable)，其規(guī)格為24V。
[0029]綜上所述，本實(shí)施例通過添加信號(hào)線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機(jī)臺(tái)的需求信號(hào)能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)再根據(jù)所述需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路向閥門箱供應(yīng)化學(xué)物品，閥門箱依據(jù)來自輸入輸出控制盤的反應(yīng)信號(hào)的指示，將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機(jī)臺(tái)。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的信號(hào)傳輸出現(xiàn)中斷的問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)出的需求信號(hào)正常的為制程設(shè)備機(jī)臺(tái)提供所需化學(xué)物品。
[0030]實(shí)施例二[0031]參考圖4，本實(shí)施例的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)與實(shí)施例一相比，還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤400，所述中央數(shù)據(jù)采集盤400與輸入輸出控制盤300和信號(hào)輸入單元510連接。本實(shí)施例中，當(dāng)制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100發(fā)出的需求信號(hào)通過所述閥門箱200傳輸至所述輸入輸出控制盤300之后，分成兩路，一路傳輸至所述中央數(shù)據(jù)采集盤400，所述中央數(shù)據(jù)采集盤400再將需求信號(hào)傳輸至所述信號(hào)輸入單元510，另一路直接傳輸至所述信號(hào)輸入單元510。同理，所述信號(hào)輸入單元510依據(jù)接收到的需求信號(hào)做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路向所述閥門箱200供應(yīng)化學(xué)物品，所述閥門箱200再依據(jù)來自輸入輸出控制盤的相應(yīng)反應(yīng)信號(hào)打開所述閥門單元內(nèi)的閥門并給所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提供所需化學(xué)物品。
[0032]在本實(shí)施例中，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500還包括一硬線故障報(bào)警單元(圖未示)，所述硬線故障報(bào)警單元用以檢測(cè)所述輸入輸出控制盤300和中央數(shù)據(jù)采集盤400是否傳輸信號(hào)至所述信號(hào)輸入單元510。所述硬線故障報(bào)警單元與所述信號(hào)輸入單元510相連，用于檢測(cè)所述信號(hào)線700是否正常工作或出現(xiàn)故障。當(dāng)所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提出需求信號(hào)，經(jīng)過所述閥門箱200和所述輸入輸出控制盤300之后，需求信號(hào)會(huì)有兩條支路傳輸至所述信號(hào)輸入單元510，一條支路是經(jīng)由所述信號(hào)線700直接傳輸至所述信號(hào)輸入單元510，另一條支路是經(jīng)由所述中央數(shù)據(jù)采集盤400傳輸至所述信號(hào)輸入單元510。若所述信號(hào)輸入單元510只接收到經(jīng)由所述中央數(shù)據(jù)采集盤400傳輸?shù)男盘?hào)，那么就說明所述信號(hào)線700出現(xiàn)了故障。此時(shí)所述硬線故障報(bào)警單元?jiǎng)t會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
[0033]在本實(shí)施例中，當(dāng)輸入輸出控制盤300與中央數(shù)據(jù)采集盤400之間的信號(hào)線、中央數(shù)據(jù)采集盤400與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500之間的信號(hào)線、或者中央數(shù)據(jù)采集盤400其中任何一處出現(xiàn)故障時(shí)，制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提出的需求信號(hào)可以通過所述信號(hào)線700傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500，從而化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500依舊可以接收信號(hào)并為所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)100提供所需的化學(xué)物品。由此可見，本實(shí)施例不僅僅可以有效的避免現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，還能檢測(cè)信號(hào)線700或數(shù)據(jù)收集器400是否處于正常狀態(tài)，起到雙重保護(hù)的作用。
[0034]本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0035]以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機(jī)臺(tái)；與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)連接的閥門箱；與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤；以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)；所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)與閥門箱之間設(shè)置有第一段管路，所述閥門箱與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間設(shè)置有第二段管路；其特征在于，所述輸入輸出控制盤直接通過信號(hào)線與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行信號(hào)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述閥門箱包括信號(hào)單元和閥門單元；所述信號(hào)單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機(jī)臺(tái)通過所述第一段管路連接，所述信號(hào)單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
3.如權(quán)利要求1所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)包括化學(xué)物品供應(yīng)單元和信號(hào)輸入單元，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號(hào)輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號(hào)線連接，所述信號(hào)輸入單元控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物品。
4.如權(quán)利要求3所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號(hào)輸入單元連接。
5.如權(quán)利要求4所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述輸入輸出控制盤包括數(shù)據(jù)輸出模塊和繼電器，所述數(shù)據(jù)輸出模塊與所述繼電器連接。
6.如權(quán)利要求5所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述繼電器與所述信號(hào)輸入單元的信號(hào)端口通過一根信號(hào)線連接，所述繼電器與所述信號(hào)輸入單元的公共端口通過另一根信號(hào)線連接。
7.如權(quán)利要求4所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)還包括一硬線故障報(bào)警單元，所述硬線故障報(bào)警單元用以檢測(cè)所述輸入輸出控制盤和中央數(shù)據(jù)采集盤是否傳輸信號(hào)至所述信號(hào)輸入單元。
8.如權(quán)利要求3中所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述信號(hào)線為硬線。
9.如權(quán)利要求7所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述硬線為24V的信號(hào)線。
【文檔編號(hào)】G05B19/04GK103792856SQ201210434971
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月2日
【發(fā)明者】張文武, 朱江寧, 刁春華, 周鵬 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司