專利名稱：收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)、制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于半導(dǎo)體制造，特別是有關(guān)于用以收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造過程中，會產(chǎn)生非常大量的制程數(shù)據(jù)。這些制程數(shù)據(jù)是用來描述在機臺中的制程狀況及機臺的運作狀況，及/或機臺本身的維修等記錄數(shù)據(jù)。制程數(shù)據(jù)也可以包含各種量測數(shù)據(jù)。
制程數(shù)據(jù)的傳送及接收等，一般是依據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(semiconductor equipmentcommunication standard，SECS)是為半導(dǎo)體/LCD廠機臺與CIM(Computer Integrated Manufacturing，計算機整合制造)所合作制訂的通訊協(xié)議。因此半導(dǎo)體機臺的開發(fā)，或是CIM系統(tǒng)的設(shè)計，以及監(jiān)控系統(tǒng)的研制等等，都必須依據(jù)SECS的規(guī)定來進(jìn)行制程數(shù)據(jù)的傳輸。
然而，由于機臺的即時監(jiān)控僅限于SECS中有界定的特定種類的制程數(shù)據(jù)，因此，在SECS中沒有界定的制程數(shù)據(jù)種類就沒有辦法進(jìn)行監(jiān)測。也因此，當(dāng)某些對于制程處理有明顯影響的制程事件發(fā)生時，往往無法通過SECS中界定的制程數(shù)據(jù)來加以偵測及處理。
據(jù)此，需要提供一個系統(tǒng)及方法，用以收集與處理非SECS制程數(shù)據(jù)，并能夠據(jù)以進(jìn)行機臺的即時監(jiān)控。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是有關(guān)于半導(dǎo)體制造，特別是有關(guān)于用以收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)和方法。
本發(fā)明提供一種用于收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其包括一數(shù)據(jù)收集裝置以及一處理器。上述數(shù)據(jù)收集裝置，其是用以透過網(wǎng)絡(luò)從一制程機臺收集制程數(shù)據(jù)，其中該制程數(shù)據(jù)是非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(semiconductor equipmentcommunication standard，SECS)界定的數(shù)據(jù)。該處理器，其是用以決定收集的該制程數(shù)據(jù)是否符合一預(yù)定條件，其中該預(yù)定條件是依據(jù)該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)而定。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)收集裝置使用一文件傳輸協(xié)議(FTP)，透過一網(wǎng)絡(luò)來收集該制程數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)收集裝置及該處理器是于該制程機臺執(zhí)行制程程序的空檔運作。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該處理器使用一統(tǒng)計方法，處理該制程數(shù)據(jù)的該歷史記錄，以決定該預(yù)定條件。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該處理器進(jìn)一步將不符合該預(yù)定條件的該制程數(shù)據(jù)界定為事件數(shù)據(jù)，并將該事件數(shù)據(jù)傳送至一外部系統(tǒng)。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該處理器進(jìn)一步將該事件數(shù)據(jù)傳送至用以控制該制程機臺的一制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。
本發(fā)明所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)收集裝置，是用以收集曝光機臺的光自動校正(illumination automatic calibration，ILAC)數(shù)據(jù)。
本發(fā)明并提供一種制造系統(tǒng)，其包括機臺、監(jiān)控裝置及控制器。該機臺，其是用以處理一工作件。該監(jiān)控裝置，其是與該機臺連接，用以收集該機臺于處理該工作件時，產(chǎn)生的非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(semiconductor equipment communicationstandard，SECS)界定的數(shù)據(jù)，并依據(jù)該機臺先前處理工作件時，產(chǎn)生的該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄，從收集的該數(shù)據(jù)中篩選預(yù)定的事件數(shù)據(jù)。該控制器，其是與該監(jiān)控裝置連接，以從該監(jiān)控裝置接收該事件數(shù)據(jù)，并依據(jù)該事件數(shù)據(jù)控制該機臺。
本發(fā)明所述的制造系統(tǒng)，其中該監(jiān)控裝置使用一文件傳輸協(xié)議(FTP)，透過一網(wǎng)絡(luò)來收集該制程數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的制造系統(tǒng)，其中該監(jiān)控裝置使用一統(tǒng)計方法，處理該制程數(shù)據(jù)的該歷史記錄，以決定一預(yù)定條件，并據(jù)以從收集的該數(shù)據(jù)中篩選預(yù)定的該事件數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的制造系統(tǒng)，其中該控制器是為用以控制該制程機臺的一制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。
本發(fā)明所述的制造系統(tǒng)，其中該機臺為一曝光機臺。
本發(fā)明所述的制造系統(tǒng)，其中該監(jiān)控裝置收集該曝光機臺的光自動校正(illumination automatic calibration，ILAC)數(shù)據(jù)。
本發(fā)明并提供一種用于收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的方法。上述方法首先收集一制程機臺執(zhí)行一制程程序時產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)，其中該制程數(shù)據(jù)是非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(semiconductor equipment communication standard，SECS)界定的數(shù)據(jù)。并決定收集的該制程數(shù)據(jù)是否符合一預(yù)定條件，其中該預(yù)定條件是依據(jù)該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)而定。
本發(fā)明所述的用于收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的方法，用以收集在制程程序執(zhí)行過程中產(chǎn)生的非SECS制程數(shù)據(jù)，并從中篩選及偵測出對應(yīng)于制程事件的事件數(shù)據(jù)，依據(jù)該事件數(shù)據(jù)進(jìn)行機臺的即時監(jiān)視與控制。


圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的制造系統(tǒng)的示意圖；圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的用于收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的方法的流程圖。
具體實施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖示圖1及圖2，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實施例來說明本發(fā)明不同實施方式的技術(shù)特征。其中，實施例中的各元件的配置是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實施例中圖式標(biāo)號的部分重復(fù)，是為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關(guān)聯(lián)性。
圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的制造系統(tǒng)的示意圖。制造系統(tǒng)10是用于處理半導(dǎo)體產(chǎn)品。制造系統(tǒng)10包括制程機臺11及13、監(jiān)控裝置15、制造執(zhí)行系統(tǒng)17及警示系統(tǒng)19。
其中，制程機臺11及13在一特定時間，均可處理至少一晶圓。制程機臺11及13可以是用以執(zhí)行一制程程序或測量程序的任何設(shè)備、機器或裝置。
制程機臺11及13均具有一設(shè)備接口，用以和網(wǎng)絡(luò)12連接。其中網(wǎng)絡(luò)12可以是一區(qū)域網(wǎng)絡(luò)(LAN)。例如，制程機臺11及13分別具有設(shè)備接口111和131。在制程機臺11及13運作期間產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)115a及135a是分別存放在儲存單元115和135。其中該儲存單元115和135分別設(shè)于制程機臺11及13。舉例而言，制程機臺11的中央處理單元113將制程機臺11在執(zhí)行制程程序時產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)115a先暫時儲存在儲存單元115中。同樣地，制程機臺13的中央處理單元133將制程機臺13在執(zhí)行制程程序時產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)135a先暫時儲存在儲存單元135中。當(dāng)制程機臺執(zhí)行一制程程序時，其所產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)就被存放在和該制程機臺對應(yīng)的儲存單元中。當(dāng)該制程程序執(zhí)行完畢時，儲存的制程數(shù)據(jù)(例如制程數(shù)據(jù)115a)就透過網(wǎng)絡(luò)12，傳送到監(jiān)控裝置15，以進(jìn)行進(jìn)一步處理。
制程機臺11及13也可以包含一SECS接口(圖未顯示)。該SECS接口可以是一類似如RS-232串接端口的通訊端口，其依據(jù)SECS協(xié)議規(guī)范的方式傳送制程數(shù)據(jù)。SECS協(xié)議定義在制造系統(tǒng)10中，多個機臺和其他設(shè)備之間電子信息傳遞的細(xì)節(jié)。設(shè)于制程機臺的SECS接口，允許該制程機臺在運作時所產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)中的一部分，能夠通過該SECS接口，以電子數(shù)據(jù)的方式，傳送到其他設(shè)備。SECS協(xié)議所規(guī)范的制程數(shù)據(jù)是包含機臺識別數(shù)據(jù)、晶圓數(shù)據(jù)、晶圓批次號碼、模組識別數(shù)據(jù)、晶圓運輸匣識別號碼、制程程序(recipe)名稱及制程參數(shù)等。依據(jù)本發(fā)明實施例，未包含于SECS協(xié)議的制程數(shù)據(jù)被監(jiān)測裝置15收集與處理，而SECS協(xié)議中有規(guī)范的制程數(shù)據(jù)則由其他裝置加以處理。處理SECS規(guī)范的制程數(shù)據(jù)的裝置，并非本發(fā)明重點，在此不詳細(xì)敘述。
網(wǎng)絡(luò)12為制造系統(tǒng)10中的一通訊網(wǎng)絡(luò)的一部分。依據(jù)本發(fā)明另一實施例，網(wǎng)絡(luò)12可以讓制造系統(tǒng)10的各機臺及設(shè)備之間，使用以太封包來進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。
監(jiān)測裝置15是分別通過設(shè)備接口111及131，并透過網(wǎng)絡(luò)12和制程機臺11相連接。當(dāng)一制程程序完成時，暫時儲存在制程機臺中的制程數(shù)據(jù)115a即透過網(wǎng)絡(luò)12，被傳送到監(jiān)測裝置15，以進(jìn)行進(jìn)一步處理。依據(jù)本發(fā)明實施例，制程數(shù)據(jù)115a包含大量的非SECS數(shù)據(jù)，并以文件傳輸協(xié)議(FTP)的方式傳送到監(jiān)測裝置15。先前所執(zhí)行的多個制程程序所產(chǎn)生的制程數(shù)據(jù)的歷史記錄152是被儲存在儲存裝置151中。當(dāng)在一新的制程程序中產(chǎn)生制程數(shù)據(jù)115a時，制程數(shù)據(jù)的歷史記錄152被當(dāng)作用來決定制程數(shù)據(jù)115a是否包含制程事件數(shù)據(jù)的歷史數(shù)據(jù)。當(dāng)制程數(shù)據(jù)115a中偵測到事件數(shù)據(jù)時，該事件數(shù)據(jù)被傳送到制造執(zhí)行系統(tǒng)17，并被用于作為機臺控制的參考數(shù)據(jù)。該事件數(shù)據(jù)也被傳送到警示系統(tǒng)19，此時，警示系統(tǒng)19產(chǎn)生一警告數(shù)據(jù)，并透過電子郵件或電話數(shù)據(jù)等適合的方式，將該警告數(shù)據(jù)傳送給特定對象。
圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的用于收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的方法的流程圖。該方法用以收集在制程程序執(zhí)行過程中產(chǎn)生的非SECS制程數(shù)據(jù)，并從中篩選及偵測出對應(yīng)于制程事件的事件數(shù)據(jù)，并能夠依據(jù)該事件數(shù)據(jù)進(jìn)行機臺的即時監(jiān)視與控制。
參見圖2，在步驟S211中，開始一第一制程程序(processingrun)。當(dāng)該第一制程程序被制程機臺執(zhí)行時(步驟S212)，制程機臺即產(chǎn)生制程數(shù)據(jù)。并在步驟S213中，將該制程數(shù)據(jù)儲存在制程機臺的一近端儲存單元中。制程數(shù)據(jù)的產(chǎn)生和儲存可以同時執(zhí)行或依序執(zhí)行。在步驟S214中，當(dāng)該第一制程程序完成時，暫存于制程機臺近端儲存單元的該制程數(shù)據(jù)，即透過一網(wǎng)絡(luò)被傳送到一監(jiān)測裝置。其中，該網(wǎng)絡(luò)可以為TCP/IP網(wǎng)絡(luò)等。該制程數(shù)據(jù)包含大量的非SECS數(shù)據(jù)?？梢允褂靡晃募鬏攨f(xié)議(FTP)，透過一網(wǎng)絡(luò)來將該制程數(shù)據(jù)從該近端儲存單元傳送到該監(jiān)測裝置。制程機臺先前執(zhí)行的數(shù)次制程程序所產(chǎn)生的該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄152，是可以儲存于該監(jiān)測裝置或其所連接的一儲存裝置。當(dāng)監(jiān)測裝置15接收該第一制程程序所產(chǎn)生的該制程數(shù)據(jù)時(步驟S221)，該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄152被用于決定收集的該制程數(shù)據(jù)是否包含符合一預(yù)定條件的事件數(shù)據(jù)(步驟S222)。亦即，其中該預(yù)定條件是依據(jù)該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)而定。若該制程數(shù)據(jù)中偵測到事件數(shù)據(jù)，則將該事件數(shù)據(jù)傳送到控制裝置(例如制造執(zhí)行系統(tǒng))(步驟S223)。在步驟S231中，控制裝置接收該事件數(shù)據(jù)，并利用該事件數(shù)據(jù)來進(jìn)行機臺的控制。在步驟S232中，將該事件數(shù)據(jù)傳送到警示系統(tǒng)19。此時，警示系統(tǒng)19產(chǎn)生一警告數(shù)據(jù)，并透過電子郵件或電話數(shù)據(jù)等適合的方式，將該警告數(shù)據(jù)傳送給特定對象。在步驟S233中，該機臺的新的制程設(shè)定產(chǎn)生，并將該機臺依據(jù)該新的制程設(shè)定進(jìn)行設(shè)定。在步驟S215中，使用制程設(shè)定經(jīng)過調(diào)整的該制程機臺，進(jìn)行一第二制程程序。
以下以一曝光機臺為例，說明上述機臺監(jiān)控的方法。就一曝光機臺而言，曝光劑量是攸關(guān)生產(chǎn)良率的一個重要制程參數(shù)。曝光劑量受到曝光機臺一能量感應(yīng)器及點感應(yīng)器的運作狀況的影響。能量感應(yīng)器及點感應(yīng)器的運作狀況的相關(guān)記錄數(shù)據(jù)通常會被記錄在該曝光機臺的光自動校正(illumination automaticcalibration，ILAC)數(shù)據(jù)中。有許多種類的曝光機臺都可以記錄ILAC數(shù)據(jù)，并通常會儲存在該曝光機臺所設(shè)置的近端硬盤中。然而，很多曝光機臺不能透過SECS協(xié)議，將ILAC數(shù)據(jù)傳送到一外部裝置。在曝光程序執(zhí)行的過程中，曝光機臺產(chǎn)生該次曝光程序執(zhí)行時的ILAC數(shù)據(jù)，并將該ILAC數(shù)據(jù)暫存在一近端硬盤中。當(dāng)該次曝光程序執(zhí)行完畢時，該曝光機臺所暫存的ILAC數(shù)據(jù)即透過一網(wǎng)絡(luò)(例如TCP/IP網(wǎng)絡(luò)等)，使用文件傳輸?shù)姆绞奖粋魉偷揭槐O(jiān)測裝置。曝光機臺先前執(zhí)行的數(shù)次曝光程序所產(chǎn)生的ILAC數(shù)據(jù)的歷史記錄傳送到監(jiān)測裝置時，該ILAC數(shù)據(jù)的歷史記錄被用于決定收集的該ILAC數(shù)據(jù)是否包含符合一預(yù)定條件的事件數(shù)據(jù)。例如，其中該預(yù)定條件是依據(jù)先前執(zhí)行的40次某一曝光模式的曝光程序所產(chǎn)生的該ILAC數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)，將該歷史記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析，得出ILAC數(shù)據(jù)的一平均值。當(dāng)該次曝光程序的ILAC數(shù)據(jù)和該ILAC數(shù)據(jù)平均值的差異超過一預(yù)定范圍時，該次曝光程序的ILAC數(shù)據(jù)即被視為是異常的制程數(shù)據(jù)，并代表該次曝光程序中發(fā)生了一制程事件。當(dāng)該ILAC數(shù)據(jù)中偵測到事件數(shù)據(jù)，則將該事件數(shù)據(jù)傳送到制造執(zhí)行系統(tǒng)，并將該事件數(shù)據(jù)傳送到警示系統(tǒng)。此時，警示系統(tǒng)產(chǎn)生一警告數(shù)據(jù)，并透過電子郵件或電話數(shù)據(jù)等適合的方式，將該警告數(shù)據(jù)傳送給特定對象。當(dāng)該曝光機臺被視為有制程事件發(fā)生時，預(yù)定要在該曝光機臺進(jìn)行處理的晶圓先被暫緩處理，直到該制造執(zhí)行系統(tǒng)完成該曝光機臺的制程設(shè)定調(diào)整時，再處理該晶圓。同時，上述事件數(shù)據(jù)并不加入該ILAC數(shù)據(jù)的歷史記錄中。亦即，該事件數(shù)據(jù)即使也被儲存，也并不會加入該歷史數(shù)據(jù)作為判斷后續(xù)事件數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)。
雖然本發(fā)明已通過較佳實施例說明如上，但該較佳實施例并非用以限定本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對該較佳實施例做出各種更改和補充，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號的簡單說明如下制造系統(tǒng)10制程機臺11、13監(jiān)控裝置15制造執(zhí)行系統(tǒng)17警示系統(tǒng)19網(wǎng)絡(luò)12設(shè)備接口111、131制程數(shù)據(jù)115a、135a儲存單元115、135中央處理單元113、133制程數(shù)據(jù)歷史記錄15權(quán)利要求
1.一種收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，包括一數(shù)據(jù)收集裝置，其是用以透過網(wǎng)絡(luò)從一制程機臺收集制程數(shù)據(jù)，其中該制程數(shù)據(jù)是非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)界定的數(shù)據(jù)；以及一處理器，其是用以決定該收集的該制程數(shù)據(jù)是否符合一預(yù)定條件，其中該預(yù)定條件是依據(jù)該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)而定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該數(shù)據(jù)收集裝置使用一文件傳輸協(xié)議，透過一網(wǎng)絡(luò)來收集該制程數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該數(shù)據(jù)收集裝置及該處理器是于該制程機臺執(zhí)行制程程序的空檔運作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器使用一統(tǒng)計方法，處理該制程數(shù)據(jù)的該歷史記錄，以決定該預(yù)定條件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器進(jìn)一步將不符合該預(yù)定條件的該制程數(shù)據(jù)界定為事件數(shù)據(jù)，并將該事件數(shù)據(jù)傳送至一外部系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該處理器進(jìn)一步將該事件數(shù)據(jù)傳送至用以控制該制程機臺的一制造執(zhí)行系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，該數(shù)據(jù)收集裝置，是用以收集曝光機臺的光自動校正數(shù)據(jù)。
8.一種制造系統(tǒng)，包括一機臺，其是用以處理一工作件；一監(jiān)控裝置，其是與該機臺連接，用以收集該機臺于處理該工作件時，產(chǎn)生的非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)界定的數(shù)據(jù)，并依據(jù)該機臺先前處理工作件時，產(chǎn)生的該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄，從收集的該數(shù)據(jù)中篩選預(yù)定的事件數(shù)據(jù)；以及一控制器，其是與該監(jiān)控裝置連接，以從該監(jiān)控裝置接收一事件數(shù)據(jù)，并依據(jù)該事件數(shù)據(jù)控制該機臺。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控裝置使用一文件傳輸協(xié)議，透過一網(wǎng)絡(luò)來收集該制程數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控裝置使用一統(tǒng)計方法，處理該制程數(shù)據(jù)的該歷史記錄，以決定一預(yù)定條件，并據(jù)以從收集的該數(shù)據(jù)中篩選預(yù)定的該事件數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，該控制器是為用以控制該制程機臺的一制造執(zhí)行系統(tǒng)。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，該機臺為一曝光機臺。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，該監(jiān)控裝置收集該曝光機臺的光自動校正數(shù)據(jù)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種收集及處理從制程機臺擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)、制造系統(tǒng)，其包括一數(shù)據(jù)收集裝置以及一處理器。上述數(shù)據(jù)收集裝置，其是用以透過網(wǎng)絡(luò)從一制程機臺收集制程數(shù)據(jù)，其中該制程數(shù)據(jù)是非半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)界定的數(shù)據(jù)。該處理器，其是用以決定收集的該制程數(shù)據(jù)是否符合一預(yù)定條件，其中該預(yù)定條件是依據(jù)該制程數(shù)據(jù)的歷史記錄數(shù)據(jù)而定。本發(fā)明可收集在制程程序執(zhí)行過程中產(chǎn)生的非SECS制程數(shù)據(jù)，并從中篩選及偵測出對應(yīng)于制程事件的事件數(shù)據(jù)，進(jìn)而依據(jù)該事件數(shù)據(jù)進(jìn)行機臺的即時監(jiān)視與控制。
文檔編號G05B19/048GK1892522SQ20061009015
公開日2007年1月10日 申請日期2006年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月7日
發(fā)明者周志明 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司