技術(shù)編號(hào)：6280010
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于半導(dǎo)體制造，特別是有關(guān)于用以收集及處理從制程機(jī)臺(tái)擷取的電子數(shù)據(jù)的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制造過程中，會(huì)產(chǎn)生非常大量的制程數(shù)據(jù)。這些制程數(shù)據(jù)是用來描述在機(jī)臺(tái)中的制程狀況及機(jī)臺(tái)的運(yùn)作狀況，及/或機(jī)臺(tái)本身的維修等記錄數(shù)據(jù)。制程數(shù)據(jù)也可以包含各種量測(cè)數(shù)據(jù)。制程數(shù)據(jù)的傳送及接收等，一般是依據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(semiconductor equipmentcommunication standard，SECS)是為半導(dǎo)體/LC...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。