品的純度。
[0032]另一方面，激光器I輸出的激光經(jīng)過(guò)第一部分反射鏡M1，被反射的激光再經(jīng)過(guò)一個(gè)第二部分反射鏡M2 (安裝于第二反射鏡安裝機(jī)構(gòu))進(jìn)行分光。同樣，該實(shí)施例中的第二部分反射鏡M2與光軸成45°放置。其中，被該第二部分反射鏡M2反射的激光經(jīng)過(guò)一個(gè)第二可變衰減片A2進(jìn)行能量衰減。被能量衰減的激光進(jìn)入第二樣品室22中，第二樣品室中也放置有光學(xué)材料樣品，使得該光學(xué)材料樣品被入射到第二樣品室22的激光照射。通過(guò)調(diào)節(jié)第二可變衰減片A2，可以改變照射到樣品上的光強(qiáng)。
[0033]需要說(shuō)明的是，為了使照射到第二樣品室22中的光學(xué)材料樣品的激光均勻，該實(shí)施例中，可以在第二可變衰減片A2與第二樣品室22之間設(shè)置一個(gè)激光擴(kuò)束整形系統(tǒng)，用于對(duì)激光束進(jìn)行擴(kuò)束和整形。例如，當(dāng)激光器輸出的光斑為矩形光斑，長(zhǎng)寬比大于5時(shí)，如圖1所示，可以在光路中增加由第一透鏡LI和第二透鏡L2組成的擴(kuò)束整形系統(tǒng)，對(duì)激光的窄方向尺寸進(jìn)行擴(kuò)束，經(jīng)過(guò)擴(kuò)束后的光為一正方形光斑，尺寸與激光長(zhǎng)方向的尺寸相同，由此可以均勻照射到第二樣品室22的光學(xué)材料樣品上。
[0034]放置在第二樣品室22中的光學(xué)材料樣品可以進(jìn)行激光預(yù)輻照。經(jīng)過(guò)激光預(yù)輻照的光學(xué)樣品可以去除其表面吸附的H20、0)2和灰塵外，還可以對(duì)其表面起激光拋光作用，使其表面變的光潔、均勻、細(xì)致。更重要的是，使其表面的微觀結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化和對(duì)表面缺陷有修復(fù)作用。從而使樣品的表面結(jié)構(gòu)變的更加完整，因此提高了抗激光損傷的能力。
[0035]再一方面，激光器I輸出的且依次經(jīng)過(guò)第一部分反射鏡Ml的反射和第二部分反射鏡M2的透射的激光再經(jīng)過(guò)一個(gè)全反射鏡M(安裝于第三反射鏡安裝機(jī)構(gòu))而被反射。該實(shí)施例中，該全反射鏡M也與光軸成45°放置。被全反射鏡M反射的激光經(jīng)過(guò)一個(gè)第三可變衰減片A3進(jìn)行能量衰減。被第三可變衰減片A3能量衰減的激光再照射到一個(gè)第三部分反射鏡M3上進(jìn)行分光，從第三部分反射鏡M3透射的激光直接進(jìn)入樣品室3中。通過(guò)調(diào)節(jié)第三可變衰減片A3可以改變照射到第三樣品室23中的樣品上激光的能量密度。第三樣品室23中也放置有光學(xué)材料樣品，使得該光學(xué)材料樣品被入射到第三樣品室23的激光照射。照射到第三樣品室23中的樣品上激光用于進(jìn)行樣品損傷閾值測(cè)試。
[0036]經(jīng)過(guò)第三部分反射鏡M3反射的激光由一個(gè)能量計(jì)E接收，該能量計(jì)E用于測(cè)定從透鏡L4透射的激光中被部分反射鏡M3反射的能量，通過(guò)已知的部分反射鏡M3的反射率，從而可以計(jì)算得到照射到第三樣品室23中的樣品上的激光的能量密度。
[0037]同樣需要說(shuō)明的是，為了使照射到第三樣品室23中的光學(xué)材料樣品的激光尺寸變小從而提高其能量密度，該實(shí)施例中，可以在第三可變衰減片A3與第三樣品室23之間設(shè)置一個(gè)激光縮束整形系統(tǒng)，用于對(duì)激光進(jìn)行縮束和整形。例如，激光器輸出的光斑為矩形光斑，長(zhǎng)寬比大于5，所以在第三可變衰減片A3與第三樣品室23之間增加由第三透鏡L3和第四透鏡L4組成的縮束整形系統(tǒng)，對(duì)激光的寬方向尺寸進(jìn)行縮束，經(jīng)過(guò)縮束后的光為一正方形光斑，尺寸與激光窄方向的尺寸相同。
[0038]該實(shí)施例中的第一樣品室21、第二樣品室22和第三樣品室23具有類似的結(jié)構(gòu)，均具有激光入口和激光出口，并在激光入口和激光出口處通過(guò)光學(xué)鏡片密封，從樣品室透射出來(lái)的光由吸光材料或者擋光板BI?B3進(jìn)行接受，防止透射光對(duì)使用人員造成傷害。此夕卜，在各樣品室內(nèi)均可充入隊(duì)氣，用于防止樣品室內(nèi)的氣體經(jīng)過(guò)激光照射后產(chǎn)生臭氧，造成激光能量的衰減。
[0039]按照上面參照?qǐng)D2所描述的裝置，激光器輸出的激光通過(guò)分光的手段可以同時(shí)測(cè)量三個(gè)光學(xué)元件的參數(shù)，分別為檢測(cè)光學(xué)材料的純度、測(cè)試光學(xué)薄膜元件的損傷閾值及激光預(yù)輻照光學(xué)薄膜元件和材料提高其損傷閾值。激光器輸出的激光所分的三個(gè)光路中分別裝有可變衰減片A1、A2和A3，通過(guò)調(diào)節(jié)衰減片的透過(guò)率，可以連續(xù)調(diào)節(jié)三路激光的能量，方便了用戶的使用，提高了設(shè)備的適用范圍。
[0040]為了滿足用戶不同的使用情況，該裝置可以通過(guò)將部分反射鏡Ml和M2更換成全反射鏡的方式來(lái)設(shè)置三路分光中的哪一路處于非工作狀態(tài)。例如，把Ml更換為全反射鏡，光路中只有B2和B3兩路分光可用；如果把M2更換為全反射鏡，光路中只有BI和B2兩路分光可用；如果把Ml和M2全更換為全反射鏡，光路中只有B2—路光可用；如果去掉M1，光路將不再分光，光路中只有BI —路光可用；如果將Ml更換為全反射鏡同時(shí)去掉M2，光路中只有B3—路光可用。因此用戶可根據(jù)需要靈活調(diào)整光路，完成所需要的測(cè)試目的。另外，該裝置還具有擴(kuò)展功能，可根據(jù)用戶需求，將M換成部分反射鏡，繼續(xù)將輸出激光分成四路甚至五路，同時(shí)用于測(cè)試光學(xué)材料的純度、損傷閾值等參數(shù)，從而大大提高該裝置的使用效率，降低用戶的使用成本。
[0041]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，包括激光器、第一部分反射鏡、第一樣品室、第二部分反射鏡、第二樣品室、全反射鏡和第三樣品室，其中， 所述激光器輸出的激光首先經(jīng)過(guò)所述第一部分反射進(jìn)行分光，透射的激光入射到第一樣品室中，反射的激光入射到第二部分反射鏡； 所述第二部分反射鏡對(duì)從所述第一部分反射鏡反射的激光進(jìn)行分光，反射的激光入射到第二樣品室，透射的激光入到全反射鏡； 全反射鏡用于將從第二部分反射鏡透射的激光反射到第三樣品室。2.如權(quán)利要求1所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，所述光學(xué)材料測(cè)試裝置還包括第一可變衰減片、第二可變衰減片和第三可變衰減片，其分別設(shè)置于第一部分反射鏡和第一樣品室之間、第二部分反射鏡與第二樣品室之間、全反射鏡與第三樣品室之間，各可變衰減片用于調(diào)節(jié)入射到各樣品室的激光的能量。3.如權(quán)利要求2所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，所述第一樣品室的內(nèi)部連接到一個(gè)光譜儀，由此，該第一樣品室中的光學(xué)材料樣品在激光照射下產(chǎn)生的熒光能被傳送到光譜議；所述光譜儀用于顯示并存儲(chǔ)檢測(cè)到的熒光的光譜信息，通過(guò)將所獲得光譜信息與已知的標(biāo)準(zhǔn)光譜信息進(jìn)行對(duì)比，由此測(cè)定所測(cè)光學(xué)材料樣品的純度。4.如權(quán)利要求2所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，在第二樣品室和與第二可變衰減片之間設(shè)置一個(gè)激光擴(kuò)束整形系統(tǒng)，該激光擴(kuò)束整形系統(tǒng)用于對(duì)激光束進(jìn)行擴(kuò)束和整形；放置在該第二樣品室中的光學(xué)材料樣品能夠進(jìn)行激光預(yù)輻照。5.如權(quán)利要求2所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，在第三可變衰減片和第三樣品室之間設(shè)置一個(gè)激光縮束整形系統(tǒng)，該激光縮束整形系統(tǒng)用于對(duì)激光進(jìn)行縮束和整形，照射到該第三樣品室中的樣品的激光用于進(jìn)行該樣品進(jìn)行損傷閾值測(cè)試。6.如權(quán)利要求5所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，在與所述第三可變衰減片和第三樣品室之間還設(shè)置一個(gè)第三部分反射鏡，其用于部分反射入射到第三樣品室的激光到一個(gè)能量計(jì)，該能量計(jì)用于測(cè)定被該第三部分反射鏡反射的能量，通過(guò)已知第三部分反射鏡的反射率，從而可以計(jì)算得到照射到第三樣品室中的樣品上的激光的能量密度。7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，所述第一部分反射鏡和第二部分反射鏡均與光軸成45°放置。8.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，所述各樣品室具有激光入口和激光出口，并在激光入口和激光出口處通過(guò)光學(xué)鏡片密封。9.如權(quán)利要求8所述的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置，其特征在于，從所述各樣品室透射出來(lái)的光由吸光材料或者擋光板進(jìn)行接收。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置包括激光器、第一部分反射鏡、第一樣品室、第二部分反射鏡、第二樣品室、全反射鏡和第三樣品室，其中，所述激光器輸出的激光首先經(jīng)過(guò)所述第一部分反射進(jìn)行分光，透射的激光入射到第一樣品室中，反射的激光入射到第二部分反射鏡；所述第二部分反射鏡對(duì)從所述第一部分反射鏡反射的激光進(jìn)行分光，反射的激光入射到第二樣品室，透射的激光入到全反射鏡。全反射鏡用于將從第二部分反射鏡透射的激光反射到第三樣品室。本實(shí)用新型的多功能光學(xué)材料測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)新穎，實(shí)現(xiàn)了一機(jī)多用的功能，方便用戶并且降低了成本。
【IPC分類】G01N21/64
【公開號(hào)】CN204758482
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520073076
【發(fā)明人】沙鵬飛, 周翊, 趙江山, 單耀瑩, 彭卓君, 丁金濱, 宋興亮, 范元媛, 李慧
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院光電研究院
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年2月2日