一種空氣采樣泵裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及一種空氣采樣泵裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了能夠很好地監(jiān)控半導(dǎo)體工廠(Fab)環(huán)境的空氣污染物質(zhì)量，質(zhì)量工程師(QE)對(duì)于Fab需要每天進(jìn)行空氣取樣，每次需要多個(gè)空氣采樣泵裝置(pump)去抽取各個(gè)區(qū)域的環(huán)境空氣，并溶解于液體中，形成采樣溶液，采樣溶液統(tǒng)一由化學(xué)實(shí)驗(yàn)集成電路(ChemicalLab IC)機(jī)臺(tái)進(jìn)行分析。
[0003]現(xiàn)在質(zhì)量工程師使用較簡(jiǎn)易的取樣方式，人為的通過(guò)面板設(shè)定所需取樣的時(shí)間段，設(shè)定完成之后，在泵體抽取管道中的氣體形成負(fù)壓的情況下，空氣污染物會(huì)隨空氣通過(guò)取樣口進(jìn)入取樣瓶并溶解于取樣瓶?jī)?nèi)的液體中，多余的空氣經(jīng)過(guò)干燥管路被泵體繼續(xù)抽取，從而空氣源源不斷進(jìn)入取樣瓶中，使取樣瓶?jī)?nèi)內(nèi)體溶解足夠的空氣污染物。其中干燥管路可以防止泵體因潮氣損壞。經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間的取樣后，將取樣瓶?jī)?nèi)的液體樣品及時(shí)進(jìn)行分析。
[0004]由于取樣時(shí)空氣采樣泵裝置需要放在FAB里的機(jī)臺(tái)旁約一個(gè)小時(shí)，經(jīng)常會(huì)發(fā)生空氣采樣泵被人不小心撞倒的狀況，由于現(xiàn)有的干燥管路僅包括一個(gè)干燥管，其吸取液體能力有限，這時(shí)取樣瓶中的水會(huì)順著管道倒流而使采樣泵損壞，并且有可能將液體倒灌入機(jī)臺(tái)，導(dǎo)致機(jī)臺(tái)破損。
[0005]因此，提供一種新的空氣采樣泵裝置以防止采樣泵及機(jī)臺(tái)由于液體倒灌而損壞實(shí)屬必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種空氣采樣泵裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中空氣采樣泵裝置容易因意外發(fā)生液體倒流使得采樣泵損毀或?qū)е聶C(jī)臺(tái)破損的問(wèn)題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種空氣采樣泵裝置，包括采樣管及泵體，所述采樣管頂部設(shè)有空氣入口及管路接口，所述管路接口與所述泵體之間通過(guò)管路連接；所述管路包括第一防護(hù)段及第二防護(hù)段；
[0008]所述第一防護(hù)段包括一二通閥，所述二通閥的入口通過(guò)第一管道與所述管路接口連接、出口與第二管道連接；所述第一管道中放置有一能透過(guò)氣體而不能透過(guò)液體的單透膜，所述單透膜與所述二通閥之間設(shè)有移動(dòng)警報(bào)裝置；所述移動(dòng)警報(bào)裝置安裝于所述第一管道內(nèi)壁并與所述泵體及二通閥電連接，當(dāng)所述單透膜由于液體沖力與所述移動(dòng)警報(bào)裝置接觸并觸發(fā)所述移動(dòng)警報(bào)裝置，所述移動(dòng)警報(bào)裝置控制所述泵體停止抽氣，并控制所述二通閥使其關(guān)閉；
[0009]所述第二防護(hù)段包括入口與所述第二管道連接的三通閥，所述三通閥的兩個(gè)出口分別與第一分支管道及第二分支管道連接；所述第一分支管道與一內(nèi)壁設(shè)有吸水樹(shù)脂膜的第一干燥管的入口連接，所述第一干燥管的出口裝設(shè)有一封閉閥門(mén)；所述第二分支管道與一第二干燥管的入口連接，所述第二干燥管的出口通過(guò)第三管道與所述泵體連接；所述第二管道內(nèi)壁上裝設(shè)有與所述三通閥及所述封閉閥門(mén)電連接的液體傳感器，當(dāng)所述液體傳感器未檢測(cè)到液體時(shí)，所述第一分支管道關(guān)閉，所述第二分支管道開(kāi)啟，當(dāng)所述液體傳感器檢測(cè)到液體時(shí)，所述液體傳感器控制所述三通閥關(guān)閉所述第二分支管道并開(kāi)啟第一分支管道，并控制所述封閉閥門(mén)關(guān)閉所述第一干燥管的出口。
[0010]可選地，所述第一干燥管入口處放置有色度指示劑卡片。
[0011]可選地，所述吸水樹(shù)脂膜包括一基板及連接于所述基板表面的若干魚(yú)鱗狀樹(shù)脂片。
[0012]可選地，所述魚(yú)鱗狀樹(shù)脂片外端朝向所述第一干燥管入口方向。
[0013]可選地，所述移動(dòng)警報(bào)裝置包括壓力傳感器。
[0014]可選地，所述移動(dòng)警報(bào)裝置包括一與所述壓力傳感器連接的蜂鳴器、發(fā)光二極管或聲光裝置。
[0015]可選地，所述吸水樹(shù)脂薄膜采用聚丙乙烯材料。
[0016]可選地，所述第一管道與所述管路接口之間還設(shè)置有一緩沖容器，所述緩沖容器包括進(jìn)氣端口及出氣端口，所述進(jìn)氣端口通過(guò)第四管道與所述管路接口連接，所述出氣端口與所述第一管道連接。
[0017]可選地，所述進(jìn)氣端口設(shè)置于所述緩沖容器頂部，所述出氣端口設(shè)置于所述緩沖容器側(cè)壁上部且與所述進(jìn)氣端口垂直。
[0018]可選地，所述泵體及采樣管均放置于一承載框體內(nèi)。
[0019]如上所述，本實(shí)用新型的空氣采樣泵裝置，具有以下有益效果:本實(shí)用新型的空氣采樣泵裝置形成采樣泵的多重防護(hù)，從而確保泵的使用和正常取樣，防止采樣泵或機(jī)臺(tái)意外損壞，延長(zhǎng)采樣泵的使用壽命，且結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更為緊湊。當(dāng)發(fā)生異常狀況時(shí)，首先通過(guò)單透膜的設(shè)計(jì)可以初步阻礙水流的侵入，但是無(wú)法避免氣路通過(guò)時(shí)或者水流過(guò)大時(shí)可能導(dǎo)致的膜層移位，所以在設(shè)計(jì)上加入了移動(dòng)警報(bào)裝置，其一旦被移位的單透膜觸發(fā)，將控制采樣泵停止工作，并關(guān)閉二通閥，取樣自動(dòng)停止，并報(bào)警引發(fā)工程師的注意。但是二通閥關(guān)閉前可能有水流透過(guò)并可能繼續(xù)沿管路流動(dòng)，所以加入分支管路設(shè)計(jì)，包括異常通道及正常通道，當(dāng)有液體進(jìn)入管道時(shí)，通過(guò)第一干燥管(異常通道)吸收異常情況下的水流，同時(shí)可以根據(jù)色度卡指示劑作出初步判斷，并且發(fā)生異常情況時(shí)，第二干燥管(正常通道)入口關(guān)閉，將泵口完全堵住，從而形成了對(duì)采樣泵的多重防護(hù)。正常情況下，第一干燥管入口關(guān)閉，第二干燥管入口開(kāi)啟，進(jìn)行正常采樣。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1顯示為本實(shí)用新型的空氣采樣泵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0022]101采樣管
[0023]102泵體
[0024]103空氣入口
[0025]104管路接口
[0026]105二通閥
[0027]106第一管道
[0028]107第二管道
[0029]108單透膜
[0030]109移動(dòng)警報(bào)裝置
[0031]110三通閥
[0032]111第一分支管道
[0033]112第二分支管道
[0034]113吸水樹(shù)脂膜
[0035]114第一干燥管
[0036]115封閉閥門(mén)
[0037]116第二干燥管
[0038]117第三管道
[0039]118液體傳感器
[0040]119色度指示劑卡片
[0041]120緩沖容器
[0042]121進(jìn)氣端口
[0043]122出氣端口
[0044]123第四管道
[0045]124空氣
[0046]125液體
【具體實(shí)施方式】
[0047]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0048]請(qǐng)參閱圖1。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0049]本實(shí)用新型提供一種空氣采樣泵裝置，請(qǐng)參閱圖1，顯示為該裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括采樣管101及泵體102，所述采樣管101頂部設(shè)有空氣入口 103及管路接口 104，所述管路接口 104與所述泵體101之間通過(guò)管路連接；所述管路包括第一防護(hù)段及第二防護(hù)段；
[0050]所述第一防護(hù)段包括一二通閥105，所述二通閥105的入口通過(guò)第一管道106與所述管路接口 104連接、出口與第二管道107連接；所述第一管道106中放置有一能透過(guò)氣體而不能透過(guò)液體的單透膜108，所述單透膜108與所述二通閥105之間設(shè)有移動(dòng)警報(bào)裝置109 ;所述移動(dòng)警報(bào)裝置109安裝于所述第一管道106內(nèi)壁并與所述泵體102及二通閥105電連接，當(dāng)所述單透膜108由于液體沖力與所述移動(dòng)警報(bào)裝置109接觸并觸發(fā)所述移動(dòng)警報(bào)裝置109，所述移動(dòng)警報(bào)裝置109控制所述泵體102停止抽氣，并控制所述二通閥105使其關(guān)閉；
[0051]所述第二防護(hù)段包括入口與所述第二管道107連接的三通閥110，所述三通閥110的兩個(gè)出口分別與第一分支管道111及第二分支管道112連接；所述第一分支管道111與一內(nèi)壁設(shè)有吸水樹(shù)脂膜113的第一干燥管114的入口連接，所述第一干燥管114的出口裝設(shè)有一封閉閥門(mén)115 ;所述第二分支管道112與一第二干燥管116的入口連接，所述第二干燥管116的出口通過(guò)第三管道117與所述泵體102連接；所述第二管道107內(nèi)壁上裝設(shè)有與所述三通閥110及所述封閉閥門(mén)115電連接的液體傳感器118，當(dāng)所述液體傳感器118未檢測(cè)到液體時(shí)，所述第一分支管道111關(guān)閉，所述第二分支管道112開(kāi)啟，當(dāng)所述液體傳感器118檢測(cè)到液體時(shí)，所述液體傳感器118控制所述三通閥110關(guān)閉所述第二分支管道112并開(kāi)啟第一分支管道111，并控制所述封閉閥門(mén)115關(guān)閉所述第一干燥管115的出口。
[0052]進(jìn)一步的，所述第一管道106與所述管路接口 124之間還可以設(shè)置有一緩沖容器120，所述緩沖容器120包括進(jìn)氣端口 121及出氣端口 122，所述進(jìn)氣端口 121通過(guò)第四管道123與所述管路接口 104連接，所述出氣端口 122與所述第一管道106連接。所述緩沖容器120的作用是緩沖氣體，使得氣流穩(wěn)定。所述緩沖容器120可采用玻璃容器，所述進(jìn)氣端口 121設(shè)置于所述緩沖容器120頂部，所述出氣端口 122設(shè)置于所述緩沖容器120側(cè)壁上部且與所述進(jìn)氣端口 121垂直。
[0053]本實(shí)用新型的空氣采樣泵裝置可進(jìn)一步包括一承載框體，所述泵體及采樣管均放置于該承載框體內(nèi)(未圖示)，使得空氣采樣泵裝置結(jié)構(gòu)緊湊，便于整體移動(dòng)。
[0054]具體的，連接各部件如所述采樣瓶101、緩沖容器120、二通閥105、三通閥110、第一干燥管114、第二干燥管116及泵體102之間的管道采用塑料軟管，優(yōu)選采用高壓聚氯乙烯([-CH(Cl)CH2-)]η)材質(zhì)，該材質(zhì)具有