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一種空氣采樣泵裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8562061

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為了能夠很好地監(jiān)控半導(dǎo)體工廠(Fab)環(huán)境的空氣污染物質(zhì)量,質(zhì)量工程師(QE)對(duì)于Fab需要每天進(jìn)行空氣取樣,每次需要多個(gè)空氣采樣泵裝置(pump)去抽取各個(gè)區(qū)域的環(huán)境空氣,并溶解于液體中,形成采樣溶液,采樣溶液統(tǒng)一由化學(xué)實(shí)驗(yàn)集成電路(ChemicalLab IC)機(jī)臺(tái)進(jìn)行分析?,F(xiàn)在質(zhì)量工程師使用較簡(jiǎn)易的取樣方式,人為的通過(guò)面板設(shè)定所需取樣的時(shí)間段,設(shè)定完成之后,在泵體抽取管道中的氣體形成負(fù)壓的情況下,空氣污染物會(huì)隨空氣通過(guò)取樣口進(jìn)入取樣瓶并溶解于取樣瓶?jī)?nèi)...
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