顯微鏡標(biāo)記裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種顯微鏡標(biāo)記裝置，包括通過一固定結(jié)構(gòu)固定于顯微鏡上的標(biāo)記結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)位置對應(yīng)于顯微鏡視野區(qū)域內(nèi)、以對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記。本發(fā)明的有益效果是：可快速、準(zhǔn)確的對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
【專利說明】
顯微鏡標(biāo)記裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯微鏡標(biāo)記裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體測試和不良分析過程中，經(jīng)常是在顯微鏡鏡下快速找到缺陷點(diǎn)，然后再到其他更高分辨率或者成分分析等設(shè)備上進(jìn)行進(jìn)一步分析，這時(shí)就需要對缺陷點(diǎn)進(jìn)行位置標(biāo)記，從而方便為后續(xù)其他設(shè)備制作尺寸更小的樣品，并方便樣品進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部后快速找到缺陷點(diǎn)。目前常用標(biāo)記方法有Mark筆直接探入顯微鏡鏡頭下標(biāo)記和利用鐳射打標(biāo)標(biāo)記。Mark筆直接探入顯微鏡鏡頭下的方法由于物鏡一般離樣品比較近，操作極其不方便，且容易失誤。鐳射打標(biāo)的方法設(shè)備造價(jià)昂貴，而且遇到部分有機(jī)材料又無法用鐳射打標(biāo)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種顯微鏡標(biāo)記裝置，操作方便、成本低。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種顯微鏡標(biāo)記裝置，包括通過一固定結(jié)構(gòu)固定于顯微鏡上的標(biāo)記結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)位置對應(yīng)于顯微鏡視野區(qū)域內(nèi)、以對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記。
[0005]進(jìn)一步的，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)包括:
[0006]標(biāo)記頭，用于對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記；
[0007]連接件，用于將所述標(biāo)記頭固定于所述固定結(jié)構(gòu)上；
[0008]調(diào)節(jié)件，連接于所述連接件上，調(diào)節(jié)所述連接件在與顯微鏡鏡面垂直的方向和與顯微鏡鏡面水平的方向上移動(dòng)以使得所述標(biāo)記頭移動(dòng)以進(jìn)行標(biāo)記。
[0009]進(jìn)一步的，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結(jié)構(gòu)，所述中空管狀結(jié)構(gòu)包括與顯微鏡鏡面垂直的第一部分，以及與所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分連接呈L型結(jié)構(gòu)。
[0010]進(jìn)一步的，所述標(biāo)記頭包括與所述第二部分相連通的中空連接部，以及與所述中空連接部連接的環(huán)形框架，所述環(huán)形框架平行于所述第二部分設(shè)置，且所述環(huán)形框架的底部設(shè)有與所述中空連接部連通的凹槽，所述凹槽內(nèi)嵌裝有可吸收有色液體的海綿。
[0011 ]進(jìn)一步的，所述標(biāo)記頭還包括定位針，所述定位針的一端設(shè)于環(huán)形框架的內(nèi)側(cè)，所述定位針的另一端向所述環(huán)形框架的中心延伸。
[0012]進(jìn)一步的，所述凹槽的底部設(shè)有第一通孔，該第一通孔向內(nèi)延伸形成與所述中空連接部連通的通道。
[0013]進(jìn)一步的，所述固定結(jié)構(gòu)包括固定于顯微鏡上的固定板，以及具有供所述中空結(jié)構(gòu)穿過的第二通孔的連接部。
[0014]進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)件包括:
[0015]按壓頭，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述標(biāo)記頭的一端；
[0016]彈性部件，設(shè)置于所述中空管狀結(jié)構(gòu)上、位于所述連接部兩側(cè)的位置；
[0017]限位部件，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)靠近所述標(biāo)記頭的一側(cè)，用于限定相應(yīng)的所述彈性部件的位置。
[0018]進(jìn)一步的，所述按壓頭螺接于所述中空管狀結(jié)構(gòu)的一端。
[0019]進(jìn)一步的，所述連接部包括具有供所述中空管狀結(jié)構(gòu)穿過的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分兩側(cè)的框架結(jié)構(gòu)。
[0020]本發(fā)明的有益效果是:可快速、準(zhǔn)確的對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
【附圖說明】
[0021]圖1表示本發(fā)明實(shí)施例中顯微鏡標(biāo)記裝置使用狀態(tài)示意圖；
[0022]圖2表示本發(fā)明實(shí)施例中顯微鏡標(biāo)記裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3表示本發(fā)明實(shí)施例中中空管狀結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4表示本發(fā)明實(shí)施例中標(biāo)記頭結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5表示本發(fā)明實(shí)施例中標(biāo)記頭俯視圖；
[0026]圖6表示本發(fā)明實(shí)施例中海綿結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖7表示本發(fā)明實(shí)施例中固定結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所舉實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并非以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0029]如圖1和圖2所示，本實(shí)施例提供一種顯微鏡標(biāo)記裝置，包括通過一固定結(jié)構(gòu)10固定于顯微鏡I上的標(biāo)記結(jié)構(gòu)20，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)20位置對應(yīng)于顯微鏡I視野區(qū)域內(nèi)、以對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記。
[0030]標(biāo)記結(jié)構(gòu)20固定于顯微鏡I上，可快速、準(zhǔn)確的對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記，且適用范圍廣，操作簡單，成本低。
[0031 ] 本實(shí)施例中，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)20包括:
[0032]標(biāo)記頭9，用于對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記；
[0033]連接件，用于將所述標(biāo)記頭9固定于所述固定結(jié)構(gòu)10上；
[0034]調(diào)節(jié)件，連接于所述連接件上，調(diào)節(jié)所述連接件在與顯微鏡I鏡面垂直的方向和與顯微鏡I鏡面水平的方向上移動(dòng)以使得所述標(biāo)記頭9移動(dòng)以進(jìn)行標(biāo)記。
[0035]標(biāo)記頭9的位置對應(yīng)于顯微鏡I的視野區(qū)域，優(yōu)選的，標(biāo)記頭9的位置位于顯微鏡I的視野中心，對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記時(shí)，通過調(diào)節(jié)件控制標(biāo)記頭9向下移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)位置的標(biāo)記。
[0036]進(jìn)一步的，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結(jié)構(gòu)8，所述中空管狀結(jié)構(gòu)8包括與顯微鏡I鏡面垂直的第一部分81，以及與所述第一部分81相垂直的第二部分82，所述第一部分81和所述第二部分82連接呈L型結(jié)構(gòu)，如圖3所示。
[0037]進(jìn)一步的，所述標(biāo)記頭9包括與所述第二部分82相連通的中空連接部95，以及與所述中空連接部95連接的環(huán)形框架91，所述環(huán)形框架91平行于所述第二部分82設(shè)置，且所述環(huán)形框架91的底部設(shè)有與所述中空連接部95連通的凹槽92，所述凹槽92內(nèi)嵌裝有可吸收有色液體的海綿30。
[0038]連接件為L型的中空管狀結(jié)構(gòu)8，標(biāo)記頭9連接于中空管狀結(jié)構(gòu)8的第二部分82，從中空管狀結(jié)構(gòu)8注入有色液體，嵌入環(huán)形框架91的海綿吸收該有色液體，從而在中空管狀結(jié)構(gòu)8向靠近目標(biāo)位置的方向移動(dòng)以至海綿30接觸目標(biāo)位置，快速、便捷。
[0039]L型的中空管狀結(jié)構(gòu)8設(shè)計(jì)，使得在不需要進(jìn)行標(biāo)記時(shí)，可轉(zhuǎn)動(dòng)中空管狀結(jié)構(gòu)8，使得第二部分82遠(yuǎn)離顯微鏡I視野范圍，即將標(biāo)記頭9移動(dòng)至顯微鏡I視野范圍外，以免影響顯微鏡I的正常使用；當(dāng)需要對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記時(shí)，即可轉(zhuǎn)動(dòng)中空管狀結(jié)構(gòu)8以將標(biāo)記頭9轉(zhuǎn)動(dòng)至顯微鏡I視野范圍，L型結(jié)構(gòu)可以很好克服普通標(biāo)記筆與顯微鏡I干涉的缺點(diǎn)，且利于找到顯微鏡I視野中心，或需要標(biāo)記的點(diǎn)。
[0040]為了更準(zhǔn)確的對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記，進(jìn)行標(biāo)記時(shí)，標(biāo)記頭9能夠隨著中空管狀結(jié)構(gòu)8的轉(zhuǎn)動(dòng)至顯微鏡I視野中心。
[0041]為了進(jìn)一步的保證標(biāo)記位置的準(zhǔn)確性，本實(shí)施例中，所述標(biāo)記頭9還包括定位針93，所述定位針93的一端設(shè)于環(huán)形框架91的內(nèi)側(cè)，所述定位針93的另一端向所述環(huán)形框架91的中心延伸，如圖4和圖5所示。
[0042]如圖4所示，所述環(huán)形框架91可以為圓形、半圓形、方形等，凹槽92的形狀由環(huán)形框架91的形狀決定，海綿30嵌入凹槽92，海綿30的形狀由凹槽92的形狀決定，即標(biāo)記形狀的形狀由凹槽92的形狀決定，本實(shí)施例中，環(huán)形框架91為方形，海綿30的形狀也為方形，如圖6所不O
[0043]本實(shí)施例中，有色液體為墨水。
[0044]本實(shí)施例中，為了便于海綿30吸收從中空管狀結(jié)構(gòu)8注入的有色液體，所述凹槽92的底部設(shè)有第一通孔94，該第一通孔94向內(nèi)延伸形成與所述中空連接部連通的通道。
[0045]所述固定結(jié)構(gòu)10的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要將標(biāo)記結(jié)構(gòu)20固定于顯微鏡I上即可，本實(shí)施例中，所述固定結(jié)構(gòu)10包括固定于顯微鏡I上的固定板2，以及具有供所述中空管狀結(jié)構(gòu)8穿過的第二通孔510的連接部5。
[0046]所述固定板2上設(shè)有供螺栓穿過的第三通孔21。
[0047]所述連接部5包括具有供所述中空管狀結(jié)構(gòu)8穿過的第二通孔510的第一部分51，以及位于所述第一部分51兩側(cè)的框架結(jié)構(gòu)52。框架結(jié)構(gòu)52的設(shè)置起到減重的作用。
[0048]本實(shí)施例中，所述調(diào)節(jié)件包括:
[0049]按壓頭3，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)8遠(yuǎn)離所述標(biāo)記頭9的一端；
[0050]彈性部件，設(shè)置于所述中空管狀結(jié)構(gòu)8上、位于所述連接部5兩側(cè)的位置；
[0051]限位部件7，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)8靠近所述標(biāo)記頭9的一側(cè)，用于限定相應(yīng)的所述彈性部件的位置。
[0052]進(jìn)一步的，所述按壓頭3螺接于所述中空管狀結(jié)構(gòu)8的一端。
[0053]優(yōu)選的，所述彈性部件為彈簧，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)8靠近所述標(biāo)記頭9的一側(cè)的彈簧為第一彈簧6，靠近按壓頭3的彈簧為第二彈簧4，向遠(yuǎn)離顯微鏡I鏡面的方向按壓按壓頭3，第一彈簧6壓縮，對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記后，松開按壓頭3，第一彈簧6回彈，標(biāo)記頭9自動(dòng)復(fù)位。
[0054]第二彈簧4的位置通過按壓頭3限定，且第二彈簧4的主要作用為緩沖第一彈簧6回彈產(chǎn)生的回彈力，起到保護(hù)標(biāo)記結(jié)構(gòu)20的作用，提高標(biāo)記結(jié)構(gòu)20的工作穩(wěn)定性。
[0055]本發(fā)明顯微鏡I輔助標(biāo)記裝置在組裝時(shí)，首先將第一彈簧6套在中空管狀結(jié)構(gòu)8上，卡在限位部件7處。然后中空管狀結(jié)構(gòu)8的第一部分81穿裝入連接部5的第二通孔510內(nèi)，然后在中空管狀結(jié)構(gòu)8的第一部分81套入第二彈簧4，擰上按壓頭3從而固定第二彈簧4的位置。在標(biāo)記頭9的環(huán)形框架91上安裝海綿，將標(biāo)記頭9與中空管狀結(jié)構(gòu)8連接(標(biāo)記頭9與所述中空管狀結(jié)構(gòu)8可為一體結(jié)構(gòu))，組裝完成后的標(biāo)記結(jié)構(gòu)20如圖1所示。
[0056]以上所述為本發(fā)明較佳實(shí)施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，包括通過一固定結(jié)構(gòu)固定于顯微鏡上的標(biāo)記結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)位置對應(yīng)于顯微鏡視野區(qū)域內(nèi)、以對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述標(biāo)記結(jié)構(gòu)包括: 標(biāo)記頭，用于對目標(biāo)位置進(jìn)行標(biāo)記； 連接件，用于將所述標(biāo)記頭固定于所述固定結(jié)構(gòu)上； 調(diào)節(jié)件，連接于所述連接件上，調(diào)節(jié)所述連接件在與顯微鏡鏡面垂直的方向和與顯微鏡鏡面水平的方向上移動(dòng)以使得所述標(biāo)記頭移動(dòng)以進(jìn)行標(biāo)記。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述連接件為一可容納有色液體的中空管狀結(jié)構(gòu)，所述中空管狀結(jié)構(gòu)包括與顯微鏡鏡面垂直的第一部分，以及與所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分連接呈L型結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述標(biāo)記頭包括與所述第二部分相連通的中空連接部，以及與所述中空連接部連接的環(huán)形框架，所述環(huán)形框架平行于所述第二部分設(shè)置，且所述環(huán)形框架的底部設(shè)有與所述中空連接部連通的凹槽，所述凹槽內(nèi)嵌裝有可吸收有色液體的海綿。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述標(biāo)記頭還包括定位針，所述定位針的一端設(shè)于環(huán)形框架的內(nèi)側(cè)，所述定位針的另一端向所述環(huán)形框架的中心延伸。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述凹槽的底部設(shè)有第一通孔，該第一通孔向內(nèi)延伸形成與所述中空連接部連通的通道。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)包括固定于顯微鏡上的固定板，以及具有供所述中空管狀結(jié)構(gòu)穿過的第二通孔的連接部。8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件包括: 按壓頭，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述標(biāo)記頭的一端； 彈性部件，設(shè)置于所述中空管狀結(jié)構(gòu)上、位于所述連接部兩側(cè)的位置； 限位部件，設(shè)于所述中空管狀結(jié)構(gòu)靠近所述標(biāo)記頭的一側(cè)，用于限定相應(yīng)的所述彈性部件的位置。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述按壓頭螺接于所述中空管狀結(jié)構(gòu)的一端。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯微鏡標(biāo)記裝置，其特征在于，所述連接部包括具有供所述中空管狀結(jié)構(gòu)穿過的第二通孔的第一部分，以及位于所述第一部分兩側(cè)的框架結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK105891216SQ201610224020
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月12日
【發(fā)明人】劉超, 薛金祥, 張玉軍
【申請人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司