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一種用于樣品固定面不規(guī)則的掃描電鏡樣品臺的制作方法

文檔序號:11211014閱讀:866來源:國知局
一種用于樣品固定面不規(guī)則的掃描電鏡樣品臺的制造方法與工藝

本實用新型涉及掃描電鏡樣品臺,特別是一種用于樣品固定面不規(guī)則的掃描電鏡樣品臺。



背景技術(shù):

掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器,它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來,掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。掃描電鏡的另一個重要特點是景深大,圖像富立體感,掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大,故所得掃描電子像富有立體感,具有三維形態(tài),能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息,這個特點對使用者很有價值。

樣品臺是掃描電子顯微鏡的關(guān)鍵部件之一,它用以承載樣品,并通過光學(xué)系統(tǒng)成像表征樣品的局部特征。然而,由于有些樣品的端面不規(guī)則,以致于無法穩(wěn)定地放置在普通的樣品臺上,因此,掃描電鏡樣品臺的創(chuàng)新和改進是急需解決的問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對上述情況,為解決現(xiàn)有技術(shù)之缺陷,本實用新型之目的就是提供一種用于樣品固定面不規(guī)則的掃描電鏡樣品臺,可有效解決端面不規(guī)則的樣品無法放置,或者放置不平穩(wěn)造成成像模糊,甚至是無法觀察的問題。

本實用新型解決的技術(shù)方案是,包括臺體,臺體上設(shè)置有互相交叉呈“井”字形的棱條,棱條將臺體分割成若干個區(qū)間,每個區(qū)間內(nèi)均設(shè)置有不規(guī)則溝槽,溝槽內(nèi)填充有橡皮泥。

本實用新型結(jié)構(gòu)新穎獨特,簡單合理,易加工,成本低,適用于多種掃描電鏡,便于固定樣品固定端面不規(guī)則的樣品,安裝方便簡單,樣品固定牢固且成像效果好,減小了樣品的制備難度,大大提高了掃描電鏡的工作效率,是掃描電鏡樣品臺上的創(chuàng)新。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)俯視圖。

圖2為本實用新型圖1的A-A向剖視圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細說明。

由圖1-2給出,本實用新型包括臺體,臺體1上設(shè)置有互相交叉呈“井”字形的棱條3,棱條3將臺體1分割成若干個區(qū)間,每個區(qū)間內(nèi)均設(shè)置有不規(guī)則溝槽2,溝槽2內(nèi)填充有橡皮泥4。

為了保證使用效果,所述的臺體為圓形或方形。

所述的溝槽2數(shù)量有9個,根據(jù)臺體1上呈“井”字形的棱條3分割而成。

所述的溝槽2具有一定深度,且溝槽的深度小于臺體1的厚度。

所述的溝槽2深度為臺體1厚度的1/4至3/4。

所述的溝槽2為高低不平、互相交叉的溝壑狀。

申請人要指出的是,本申請上述給出的僅僅是一種實施例,并不是用于限制本申請的保護范圍,凡是用等同或等效替代手段所做出與本申請本質(zhì)上相同的技術(shù)方案均屬于本申請的保護范圍。

本實用新型的使用情況是,首先在溝槽2中放置適量橡皮泥,接著將掃描樣品固定在橡皮泥上,并用導(dǎo)電膠連接樣品和臺體溝槽、棱條,使樣品觀察面處于水平。溝槽2由于是高低不平、互相交叉的具有一定深度的溝壑狀,所以對于一些不規(guī)則的小樣品,可以直接夾持固定,金屬樣品則可以直接插入橡皮泥中,不再需要導(dǎo)電膠,由上述結(jié)構(gòu)及工作情況可以看出,可通過用橡皮泥固定不規(guī)則掃描樣品端面的方式,有效地節(jié)省掃描過程中因固定樣品所需的時間,提高掃描電鏡的工作效率和減小樣品的制備難度。

本實用新型結(jié)構(gòu)新穎獨特,簡單合理,易加工,成本低,適用于多種掃描電鏡,用以將樣品進行分區(qū)整齊排列以快速準確地找到所要觀察的樣品,并對不規(guī)則的小樣品進行夾持固定,且對于金屬樣品的觀察不需要導(dǎo)電膠,使用方便,操作簡單,樣品固定牢固且成像效果好,減小了樣品的制備難度,大大提高了掃描電鏡的工作效率,是掃描電鏡樣品臺上的創(chuàng)新,具有良好的經(jīng)濟和社會效益。

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