芯片測(cè)試分選方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件測(cè)試領(lǐng)域，特別是涉及一種多工位半導(dǎo)體封裝芯片測(cè)試分選方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體制作及檢測(cè)工藝的不斷發(fā)展，分選機(jī)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的檢測(cè)過程中，以對(duì)半導(dǎo)體封裝芯片(1C)進(jìn)行質(zhì)量品質(zhì)測(cè)試，分選出測(cè)試合格和不合格的成品。而隨著半導(dǎo)體封裝芯片的產(chǎn)能不斷提升，為了提高測(cè)試分選的效率，分選機(jī)通常具有多個(gè)工位，以對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體封裝芯片同時(shí)測(cè)試和分選。
[0003]圖1舉例說明現(xiàn)有的多工位分選機(jī)與測(cè)試儀(ATE)的電連接關(guān)系。分選機(jī)包括四個(gè)通信接口 1、2、3、4和與該四個(gè)通信接口——對(duì)應(yīng)的四個(gè)工位(本實(shí)施例中四個(gè)工位為四個(gè)機(jī)械手:機(jī)械手1、機(jī)械手2、機(jī)械手3、機(jī)械手4)，測(cè)試儀包括四個(gè)通信接口 1、2、3、4和與該四個(gè)通信接口——對(duì)應(yīng)的四個(gè)測(cè)試端口:TEST1、TEST2、TEST3、TEST4。
[0004]在使用分選機(jī)及測(cè)試儀進(jìn)行芯片測(cè)試分選時(shí)，測(cè)試儀的TEST1要通過測(cè)試電纜連接到機(jī)械手1，TEST2要通過測(cè)試電纜連接到機(jī)械手2，TEST3要通過測(cè)試電纜連接到機(jī)械手3，TEST4要通過測(cè)試電纜連接到機(jī)械手，分選機(jī)的四個(gè)通信接口和測(cè)試儀的四個(gè)通信接口也是通過通信電纜一一對(duì)應(yīng)連接。上述電纜的連接是由人工完成，同時(shí)機(jī)械手、TESTS和通信接口都是人工識(shí)別，因此測(cè)試電纜及通信電纜的連接關(guān)系容易出錯(cuò)，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果錯(cuò)誤。
[0005]例如圖2所示，分選機(jī)的四個(gè)通信接口和測(cè)試儀的四個(gè)通信接口通過四條通信電纜連接的連接關(guān)系正確，而四個(gè)測(cè)試端口與四個(gè)機(jī)械手的測(cè)試電纜連接關(guān)系接錯(cuò)。其中，第一工位機(jī)械手1的連到了 TEST2，第二工位機(jī)械手2的連到了 TEST1。假如TEST1測(cè)試是通過(PASS)，而TEST2測(cè)試是不通過(FAIL)，分選機(jī)會(huì)把第一工位機(jī)械手1的芯片分到PASS類中，把第二工位機(jī)械手2的芯片分到FAIL類中，但實(shí)際上TEST2測(cè)的是第一工位機(jī)械手1上的芯片，這樣就會(huì)導(dǎo)致PASS類中會(huì)有FAIL的產(chǎn)品。同樣，如果通信電纜接錯(cuò)而連接機(jī)械手與測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接正確也會(huì)產(chǎn)生這誤分類結(jié)果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]基于此，有必要針對(duì)上述因多工位分選機(jī)電纜連接錯(cuò)誤而導(dǎo)致的誤分類問題，提供一種避免誤分類的芯片測(cè)試分選方法。
[0007]一種芯片測(cè)試分選方法，包括步驟:
[0008]S1.提供具有多個(gè)測(cè)試端口和多個(gè)通信接口的測(cè)試儀、以及具有多個(gè)工位和多個(gè)通信接口的分選機(jī)；
[0009]S2.通過通信電纜將測(cè)試儀的通信接口與分選機(jī)的通信接口一對(duì)一連接，并通過測(cè)試電纜將測(cè)試儀的多個(gè)測(cè)試端口與分選機(jī)的多個(gè)工位一對(duì)一連接；
[0010]S3.保留分選機(jī)的尚未通過測(cè)試的一個(gè)工位并關(guān)閉分選機(jī)的其他工位；
[0011]S4.測(cè)試當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系是否正確，
[0012]若測(cè)試出連接關(guān)系正確則當(dāng)前保留的工位通過測(cè)試，再次進(jìn)行S3步驟，直至所有工位都通過測(cè)試；
[0013]若測(cè)試出連接關(guān)系不正確則調(diào)整當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及/或當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系，然后繼續(xù)重復(fù)S4步驟；
[0014]S5.開啟分選機(jī)的所有工位，在分選機(jī)的多個(gè)工位上同時(shí)進(jìn)行芯片的批量測(cè)試分選。
[0015]由于電纜連接出錯(cuò)，只會(huì)在多工位分選機(jī)測(cè)試時(shí)才會(huì)出現(xiàn)，而單工位分選機(jī)中連接機(jī)械手的電纜和通信電纜連接關(guān)系都是唯一的，具有唯一性，因此單工位不會(huì)出現(xiàn)因電纜連接錯(cuò)誤而導(dǎo)致的誤分類問題。
[0016]上述芯片測(cè)試分選方法，在多工位測(cè)試開始時(shí)，先利用單工位的電纜連接關(guān)系唯一性，對(duì)分選機(jī)的各個(gè)工位依次進(jìn)行單工位芯片測(cè)試，來檢驗(yàn)電纜連接關(guān)系的正確性，待確保分選機(jī)所有工位對(duì)應(yīng)的電纜連接關(guān)系正確后，再同時(shí)利用多個(gè)工位進(jìn)行正式的芯片檢測(cè)分選，有效地避免因多工位分選機(jī)電纜連接錯(cuò)誤而導(dǎo)致的誤分類問題。
[0017]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述S2步驟是通過人工識(shí)別測(cè)試儀的測(cè)試端口和通信接口以及分選機(jī)的工位和通信接口，并通過人工將連接測(cè)試儀的通信接口與分選機(jī)的通信接口、以及測(cè)試儀的多個(gè)測(cè)試端口與分選機(jī)的多個(gè)工位一對(duì)一地連接。
[0018]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述S4步驟通過在當(dāng)前保留的工位上測(cè)試已測(cè)完好的芯片來判斷當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系是否正確，若所述完好的芯片通過測(cè)試，則當(dāng)前保留的工位通過測(cè)試，再次進(jìn)行S3步驟，直至所有工位都能使完好芯片通過測(cè)試后再進(jìn)行S5步驟；若所述完好的芯片沒有通過測(cè)試，則檢查并調(diào)整當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及/或當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系，然后繼續(xù)重復(fù)S4步驟。
[0019]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述S4步驟通過在當(dāng)前保留的工位上測(cè)試預(yù)定數(shù)量的未測(cè)芯片來判斷當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系是否正確，若所述預(yù)定數(shù)量的芯片中有芯片通過測(cè)試，則當(dāng)前保留的工位通過測(cè)試，再次進(jìn)行S3步驟，直至所有工位上都有芯片通過測(cè)試后再進(jìn)行S5步驟；若所述預(yù)定數(shù)量的芯片中沒有芯片通過測(cè)試，則檢查并調(diào)整當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及/或當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系，然后繼續(xù)重復(fù)S4步驟。
[0020]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述S4步驟測(cè)試每個(gè)芯片時(shí)包括步驟:在當(dāng)前保留的工位上放置待測(cè)芯片，分選機(jī)通過通信電纜向測(cè)試儀發(fā)送開始信號(hào)，測(cè)試儀接收到開始信號(hào)后通過測(cè)試電纜測(cè)試連接至測(cè)試端口的待測(cè)芯片，測(cè)試儀將測(cè)試結(jié)果通過通信電纜發(fā)送給分選機(jī)。
[0021]在其中一個(gè)實(shí)施例中，待測(cè)試儀將測(cè)試結(jié)果通過通信電纜發(fā)送給分選機(jī)后，所述分選機(jī)根據(jù)測(cè)試儀發(fā)送的測(cè)試結(jié)果判斷該待測(cè)芯片是否通過測(cè)試。
[0022]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分選機(jī)的每個(gè)工位為一個(gè)機(jī)械手，該機(jī)械手用于抓取待測(cè)芯片，該機(jī)械手通過測(cè)試電纜連接至測(cè)試儀的測(cè)試端口以達(dá)成被抓取的待測(cè)芯片與測(cè)試儀測(cè)試端口之間的電連接。
[0023]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述S5步驟在分選機(jī)的多個(gè)工位上同時(shí)進(jìn)行芯片的批量測(cè)試分選時(shí)包括步驟:在每個(gè)工位上放置一個(gè)待測(cè)芯片，分選機(jī)通過通信電纜向測(cè)試儀發(fā)送開始信號(hào)，測(cè)試儀接收到開始信號(hào)后通過測(cè)試電纜測(cè)試連接至各測(cè)試端口的各待測(cè)芯片，測(cè)試儀將各待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果通過通信電纜發(fā)送給分選機(jī)。
[0024]在其中一個(gè)實(shí)施例中，待測(cè)試儀將各待測(cè)芯片的測(cè)試結(jié)果通過通信電纜發(fā)送給分選機(jī)后，所述分選機(jī)根據(jù)測(cè)試儀發(fā)送的測(cè)試結(jié)果判斷各待測(cè)芯片是否通過測(cè)試。
[0025]在其中一個(gè)實(shí)施例中，待分選機(jī)根據(jù)測(cè)試儀發(fā)送的測(cè)試結(jié)果判斷各待測(cè)芯片是否通過測(cè)試后，所述分選機(jī)根據(jù)各待測(cè)芯片是否通過測(cè)試而將各待測(cè)芯片分類放置。
【附圖說明】
[0026]圖1為現(xiàn)有的多工位分選機(jī)與測(cè)試儀的電連接關(guān)系圖。
[0027]圖2為現(xiàn)有的多工位分選機(jī)與測(cè)試儀的錯(cuò)誤電連接關(guān)系圖。
[0028]圖3為本發(fā)明提供的一種芯片測(cè)試分選方法的流程圖。
[0029]圖4為本發(fā)明提供的一種芯片測(cè)試分選方法的分選機(jī)與測(cè)試儀的電連接關(guān)系圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。
[0031]圖3是本發(fā)明提供的一種芯片測(cè)試分選方法的流程圖，該芯片測(cè)試分選方法包括以下S1-S5步驟。
[0032]S1.提供具有多個(gè)測(cè)試端口和多個(gè)通信接口的測(cè)試儀、以及具有多個(gè)工位和多個(gè)通信接口的分選機(jī)。
[0033]請(qǐng)一并參見圖4，本實(shí)施例中，S1提供的測(cè)試儀10包括四個(gè)測(cè)試端口 TEST1、TEST2、TEST3、TEST4以及多個(gè)通信接口 101、102、103、104 ；S1提供的分選機(jī)20包括四個(gè)通信接口 201、202、203、204以及四個(gè)工位。本實(shí)施例中，分選機(jī)20的每個(gè)工位為一個(gè)機(jī)械手以用于抓取待測(cè)芯片，分選機(jī)20的四個(gè)工位即機(jī)械手1、機(jī)械手2、機(jī)械手3、機(jī)械手4。
[0034]S2.通過通信電纜將測(cè)試儀的通信接口與分選機(jī)的通信接口一對(duì)一連接，并通過測(cè)試電纜將測(cè)試儀的多個(gè)測(cè)試端口與分選機(jī)的多個(gè)工位一對(duì)一連接。
[0035]本實(shí)施例中，通過人工識(shí)別測(cè)試儀的測(cè)試端口和通信接口以及分選機(jī)的工位和通信接口，并通過人工將連接測(cè)試儀的通信接口與分選機(jī)的通信接口、以及測(cè)試儀的多個(gè)測(cè)試端口與分選機(jī)的多個(gè)工位一對(duì)一地連接。具體的，如圖4所示通信電纜30將測(cè)試儀10的通信接口 101、102、103、104分別與分選機(jī)20的通信接口 201、202、203、204—對(duì)一連接，測(cè)試電纜40將測(cè)試儀10的測(cè)試端口 TEST1、TEST2、TEST3、TEST4分別與分選機(jī)20的機(jī)械手1、機(jī)械手2、、機(jī)械手3、機(jī)械手4 一對(duì)一連接。從而，所述機(jī)械手通過測(cè)試電纜40連接至測(cè)試儀10的測(cè)試端口以達(dá)成被抓取的待測(cè)芯片與測(cè)試儀測(cè)試端口之間的電連接。
[0036]S3.保留分選機(jī)的尚未通過測(cè)試的一個(gè)工位并關(guān)閉分選機(jī)的其他工位。
[0037]本實(shí)施例中，可從分選機(jī)20的四個(gè)工位中挑選任一個(gè)尚未通過測(cè)試的機(jī)械手并關(guān)閉分選機(jī)其他工位的機(jī)械手。
[0038]S4.測(cè)試當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系是否正確，
[0039]若測(cè)試出連接關(guān)系正確則當(dāng)前保留的工位通過測(cè)試，再次進(jìn)行S3，直至所有工位都通過測(cè)試后再進(jìn)行S5 ;
[0040]若測(cè)試出連接關(guān)系不正確則調(diào)整當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電纜連接關(guān)系以及/或當(dāng)前保留的工位對(duì)應(yīng)的分選機(jī)通信接口與相應(yīng)的測(cè)試儀通信接口之間的通信電纜連接關(guān)系，然后繼續(xù)重復(fù)S4。
[0041]本實(shí)施例中，S4步驟可以通過在當(dāng)前保留的工位上測(cè)試已事先經(jīng)過測(cè)試的完好芯片來判斷當(dāng)前保留的工位與測(cè)試儀測(cè)試端口的測(cè)試電