表面增強拉曼散射單元和拉曼光譜分析方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及表面增強拉曼散射單元和拉曼光譜分析方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為現(xiàn)有的表面增強拉曼散射單元，已知的有將具有產(chǎn)生表面增強拉曼散射(SERS:Surface Enhanced Raman Scattering)的光學功能部的表面增強拉曼散射元件固定于載玻片上者(例如，參照非專利文獻I)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]非專利文獻
[0005]非專利文獻1:“Q-SERSTM GISubstrate”，[online]，Optoscience 股份有限公司，[2013 年3月 21 日檢索]，因特網(wǎng)< URL: http://www.0ptoscience.com/maker/nanova/pdf/Q-SERS_Gl.pdf >

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題
[0007]如上所述的表面增強拉曼散射單元以單元的狀態(tài)(即，表面增強拉曼散射元件固定于載玻片上的狀態(tài))設(shè)置于拉曼光譜分析裝置，但是存在將以獨立體準備的表面增強拉曼散射元件配置于另外準備的基板上后設(shè)置于拉曼光譜分析裝置、或者以單獨體的狀態(tài)設(shè)置于拉曼光譜分析裝置的情況。在這樣的情況時，必須將表面增強拉曼散射元件以獨立體進行搬運，若為了防止表面增強拉曼散射元件的破損而使表面增強拉曼散射元件粘接于凝膠袋或者膠帶等進行搬運，則有由凝膠袋所含的成分或者膠帶的粘接部的成分等引起的光學功能部的劣化的擔憂。另一方面，例如在載置在IC晶片托盤并蓋上托盤蓋進行搬運的情況下，有因搬運時的振動等而導致表面增強拉曼散射元件產(chǎn)生碎肩或破損的擔憂。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠抑制搬運時的表面增強拉曼散射元件的破損和光學功能部的劣化的表面增強拉曼散射單元、以及使用這樣的表面增強拉曼散射單元的拉曼光譜分析方法。
[0009]解決問題的技術(shù)手段
[0010]本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元具備:表面增強拉曼散射元件，其包含基板、以及形成在基板上并且產(chǎn)生表面增強拉曼散射的光學功能部；搬運用基板，其在搬運時支撐表面增強拉曼散射元件，在測定時卸下表面增強拉曼散射元件；以及保持部，其具有與搬運用基板一起夾持表面增強拉曼散射元件的夾持部，并且將表面增強拉曼散射元件可裝卸地保持于搬運用基板。
[0011]在該表面增強拉曼散射單元中，通過保持部將表面增強拉曼散射元件可裝卸地保持于搬運用基板。在使表面增強拉曼散射元件粘接于凝膠袋或者膠帶等進行搬運的情況下，在表面增強拉曼散射元件的搬運時，由凝膠袋所含的成分或者膠帶的粘接部的成分等引起的光學功能部的劣化發(fā)展。然而，根據(jù)該表面增強拉曼散射單元，由于不使用凝膠袋或者膠帶的粘接劑或粘合劑，因此能夠抑制光學功能部的劣化。而且，表面增強拉曼散射元件由搬運用基板和夾持部夾持。由此，能夠謀求將表面增強拉曼散射元件確實地保持于搬運用基板。由此，根據(jù)上述表面增強拉曼散射單元，能夠抑制搬運時的表面增強拉曼散射元件的破損和光學功能部的劣化。
[0012]在本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元中，保持部也可以與搬運用基板分別地形成，并且機械性地固定于搬運用基板。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠謀求搬運用基板的構(gòu)造的簡化。而且，例如與通過粘接劑或粘合劑將保持部固定于搬運用基板的情況相比，能夠抑制由粘接劑或粘合劑所含的成分引起的光學功能部的劣化。
[0013]在本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元中，保持部也可以與搬運用基板一體形成。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠減少表面增強拉曼散射單元的部件個數(shù)。而且，例如與通過粘接劑或粘合劑將保持部固定于搬運用基板的情況相比，能夠抑制由粘接劑或粘合劑所含的成分引起的光學功能部的劣化。
[0014]在本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元中，夾持部也可以在從基板的厚度方向觀察的情況下以包圍光學功能部的方式形成為環(huán)狀，或者，夾持部也可以在光學功能部的周圍配置有多個。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，能夠謀求將表面增強拉曼散射元件穩(wěn)定地保持于搬運用基板。
[0015]在本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元中，也可以在搬運用基板設(shè)置有容納表面增強拉曼散射元件的至少基板側(cè)的一部分并且限制表面增強拉曼散射元件向與基板的厚度方向垂直的方向的移動的凹部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒈砻嬖鰪娎⑸湓鄬τ诎徇\用基板定位。此外，能夠更確實地抑制表面增強拉曼散射元件相對于搬運用基板偏移而在搬運時導致表面增強拉曼散射元件破損。
[0016]在本發(fā)明的一個側(cè)面的表面增強拉曼散射單元中，搬運用基板也可以由樹脂一體形成。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于變得不易產(chǎn)生碎肩，因此能夠更確實地抑制由碎肩片的附著引起的光學功能部的劣化。
[0017]本發(fā)明的一個側(cè)面的拉曼光譜分析方法具備:第I工序，其準備上述表面增強拉曼散射單元，從搬運用基板卸下表面增強拉曼散射元件；第2工序，其在第I工序之后，在表面增強拉曼散射元件的光學功能部上配置試樣；以及第3工序，其在第2工序之后，將表面增強拉曼散射元件設(shè)定于拉曼光譜分析裝置，對配置在光學功能部上的試樣照射激勵光，并且檢測來自試樣的拉曼散射光，由此進行拉曼光譜分析。
[0018]在該拉曼光譜分析方法中，由于使用作為上述表面增強拉曼散射單元搬運的表面增強拉曼散射元件，因此能夠精度良好地進行拉曼光譜分析。
[0019]發(fā)明的效果
[0020]根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種能夠抑制搬運時的表面增強拉曼散射元件的破損和光學功能部的劣化的表面增強拉曼散射單元、以及使用這樣的表面增強拉曼散射單元的拉曼光譜分析方法。
【附圖說明】
[0021]圖1是本發(fā)明的第I實施方式的表面增強拉曼散射單元的平面圖。
[0022]圖2是沿著圖1的表面增強拉曼散射單元的I1-1I的截面圖。
[0023]圖3是沿著圖1的表面增強拉曼散射單元的I1-1I的局部放大截面圖。
[0024]圖4是圖1的表面增強拉曼散射單元的光學功能部的SEM照片。
[0025]圖5是表示使用圖1的表面增強拉曼散射單元的拉曼光譜分析的順序的圖。
[0026]圖6是表示使用圖1的表面增強拉曼散射單元的拉曼光譜分析的順序的圖。
[0027]圖7是設(shè)置有圖1的表面增強拉曼散射單元的拉曼光譜分析裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖8(a)、(b)是圖1的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大截面圖。
[0029]圖9(a)、(b)是圖1的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大截面圖。
[0030]圖10 (a)、(b)是圖1的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大平面圖和局部放大截面圖。
[0031]圖11 (a)、(b)是圖1的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大平面圖和局部放大截面圖。
[0032]圖12是圖1的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大平面圖。
[0033]圖13是本發(fā)明的第2實施方式的表面增強拉曼散射單元的平面圖。
[0034]圖14是圖13的表面增強拉曼散射單元的沿著XIV-XIV線的截面圖。
[0035]圖15(a)?(C)是圖13的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大平面圖。
[0036]圖16 (a)、(b)是圖13的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大平面圖和局部放大截面圖。
[0037]圖17(a)、(b)是圖13的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大截面圖。
[0038]圖18 (a)、(b)是本發(fā)明的第3實施方式的表面增強拉曼散射單元的局部放大截面圖。
[0039]圖19(a)?(C)是圖18的表面增強拉曼散射單元的變化例的局部放大截面圖。
[0040]圖20(a)?(C)是圖18的表面