手動探針結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種手動探針結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，TFT-1XD(薄膜晶體管)在顯示領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用，在液晶屏生產(chǎn)制造過程中，薄膜晶體管陣列基板的生產(chǎn)是非常重要的一環(huán)。薄膜晶體管陣列基板性能的優(yōu)劣，對顯示器最終的顯示效果有著重要的影響，薄膜晶體管陣列基板的檢測顯得尤為重要。
[0003]在陣列基板的檢測中，探針得到廣泛應(yīng)用。在檢測時，需要使用不同倍率的鏡頭進行檢測，現(xiàn)有技術(shù)需要手動探針結(jié)構(gòu)，需要使用者通過更換不同倍率的鏡頭進行檢測，檢測時費時費力，而且對位效果差，檢測不準(zhǔn)確。同時，廣泛應(yīng)用的探針為簡單金屬針狀結(jié)構(gòu)，由于陣列基板的一些固定測試點尺寸非常小，經(jīng)常出現(xiàn)探針與基板表面測試點很難接觸上，需要反復(fù)“扎針”嘗試，而且有時會因接觸狀況不佳影響測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。另外，探針與測試樣品表面直接接觸，會造成樣品表面的劃傷損壞，而且隨著使用時間的增長，由于探針的磨損，以及薄膜晶體管陣列基板表面金屬層較薄，基板表面測試點一般非常微小等原因，會導(dǎo)致探針與測試樣品之間無法良好接觸，造成測試誤差或錯誤。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]本發(fā)明的目的是提供一種能夠解決現(xiàn)有技術(shù)更換鏡頭費時費力的手動探針結(jié)構(gòu)。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種手動探針結(jié)構(gòu)，包括機架、可滑動地設(shè)于所述機架的桶架和可滑動地設(shè)于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器設(shè)有可三維調(diào)節(jié)的鏡頭懸臂和探針懸臂，所述鏡頭懸臂設(shè)有輪盤式倍率鏡頭模塊，所述輪盤式倍率鏡頭模塊包括固定于鏡頭懸臂的鏡頭座和可轉(zhuǎn)動地安裝于所述鏡頭座的鏡盤，所述鏡盤沿轉(zhuǎn)動中心的周向排布設(shè)有多個不同倍率的鏡頭；所述探針懸臂的前端設(shè)有針頭，所述針頭位于所述鏡盤的下方，且轉(zhuǎn)動鏡盤，多個鏡頭可分別與針頭相對應(yīng)。
[0008]其中，所述探針懸臂與所述輪盤式倍率鏡頭模塊之間設(shè)有彈性連接組件，所述彈性連接組件包括磁性定位盤和探針固定盤，所述磁性定位盤固定于所述鏡頭座，所述探針固定盤可與所述定位盤磁性吸合連接，所述探針固定盤通過彈性件與所述探針懸臂相連接，且所述彈性件的彈性力小于所述磁性定位盤與探針固定盤之間吸合力。
[0009]其中，所述彈性件為拉伸彈簧。
[0010]其中，所述針頭包括針體和滾珠，所述針體的下端設(shè)有容納腔，所述滾珠可滾動地嵌合于所述容納腔中，且部分外露于容納腔外；所述針體還設(shè)有與所述容納腔相連接的導(dǎo)液通道。
[0011]其中，所述鏡盤設(shè)有轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)把手。
[0012]其中，所述探針懸臂設(shè)有按壓旋鈕。
[0013]其中，所述鏡盤與所述鏡頭座之間設(shè)有定位機構(gòu)，用于對鏡盤起定位作用。
[0014]其中，所述定位機構(gòu)包括設(shè)于所述鏡盤的卡頭和設(shè)于所述鏡頭座設(shè)有卡槽，所述鏡盤設(shè)有卡頭盲孔，所述卡頭嵌裝于所述卡頭盲孔中，且所述卡頭與卡頭盲孔的底部之間設(shè)有頂持彈簧，所述卡頭具有一個球面，所述卡槽為半球面凹槽，在所述頂持彈簧的彈性作用下，所述卡頭的球面可部分卡入所述卡槽中。
[0015]其中，所述鏡頭為五個。
[0016]其中，所述鏡頭的中心涂有十字標(biāo)記，并設(shè)有刻度線。
[0017](三)有益效果
[0018]本發(fā)明提供的手動探針機構(gòu)，本發(fā)明在選擇鏡頭時，僅需要手動轉(zhuǎn)動鏡盤切換鏡頭，省時省力，方便快捷，定位準(zhǔn)確，可滿足不同倍率條件下的測試點尋找需求，提高檢測效率；使用本發(fā)明的針頭，解決現(xiàn)有技術(shù)的手動探針機構(gòu)的針頭在針尖磨損后會導(dǎo)致接觸不良的問題，避免反復(fù)“扎針”的情況，減少測試誤差或錯誤。同時也減少了針頭的磨損，延緩了針頭的更換周期，節(jié)約成本。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明實施例的針頭的剖視圖；
[0021]圖3為本發(fā)明實施例的輪盤式倍率鏡頭模塊的剖視圖。
[0022]圖中，1:機架；2:桶架；3:精密定位器；4:鏡頭懸臂；5:探針懸臂；6:輪盤式倍率鏡頭模塊;61:鏡頭座；611:卡槽；62:鏡盤；621:轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)把手；622:卡頭盲孔；623:卡珠；624:63:鏡頭；7:針頭；71:針體；72:滾珠；73:容納腔；74:導(dǎo)液通道；75:喇叭形敞口 ；8:薄膜晶體管陣列基板；9:磁性定位盤；10:探針固定盤；11:彈性件。
【具體實施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0024]如圖1所示，本發(fā)明的手動探針結(jié)構(gòu)，包括機架1、可滑動地設(shè)于機架I的桶架2和可滑動地設(shè)于桶架2上的精密定位器3。機架I設(shè)有滑軌，桶架2的兩端可滑動地安裝于滑軌。精密定位器3通過滑動塊可滑動地安裝于桶架2。精密定位器3設(shè)有可三維調(diào)節(jié)的鏡頭懸臂4和探針懸臂5。精密定位器3為現(xiàn)有技術(shù)的三維調(diào)節(jié)設(shè)備，該精密定位器3中設(shè)有鏡頭懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)和探針懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)，鏡頭懸臂4的后端連接于鏡頭懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)，旋動鏡頭懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)的調(diào)節(jié)旋鈕實現(xiàn)鏡頭懸臂的三維調(diào)節(jié)；探針懸臂5的后端連接于探針懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)，旋動探針懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)的調(diào)節(jié)旋鈕實現(xiàn)探針懸臂的三維調(diào)節(jié)。本發(fā)明采用康思德公司生產(chǎn)的精密定位器，鏡頭懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)和探針懸臂調(diào)節(jié)機構(gòu)共用調(diào)節(jié)旋鈕31，并設(shè)有鏡頭/探針調(diào)節(jié)切換鈕32實現(xiàn)切換，即當(dāng)需要調(diào)節(jié)探針懸臂時，將鏡頭/探針調(diào)節(jié)切換鈕32切換到探針調(diào)節(jié)模式，旋動調(diào)節(jié)旋鈕31時，實現(xiàn)對探針懸臂5的調(diào)節(jié)；反之，即實現(xiàn)對鏡頭懸臂4的調(diào)節(jié)。鏡頭懸臂4設(shè)有輪盤式倍率鏡頭模塊6，輪盤式倍率鏡頭模塊6包括固定于鏡頭懸臂的鏡頭座61和可轉(zhuǎn)動地安裝于鏡頭座的鏡盤62，鏡盤62沿轉(zhuǎn)動中心的周向排布設(shè)有多個不同倍率的鏡頭63。參照圖1所示，本實施例中，鏡頭63為5個，5個鏡頭的倍率分別為X 2、X 5、X 10、X 20和X 50，且由倍率從小到大的順序按時針方式均勻排列。探針懸臂5的前端設(shè)有針頭7，針頭7位于鏡盤62的下方，且轉(zhuǎn)動鏡盤62，多個鏡頭63可分別與針頭7相對應(yīng)。
[0025]本發(fā)明使用時，移動桶架2到需要檢測的位置，調(diào)節(jié)鏡頭懸臂4和探針懸臂5，使針頭7與薄膜晶體管陣列基板8的待檢測點相對應(yīng)。調(diào)節(jié)過程中，使用者通過眼睛透過鏡頭63觀察針頭7，同時調(diào)節(jié)精密定位器3的調(diào)節(jié)旋鈕31，實現(xiàn)對探針懸臂5和鏡頭懸臂4的調(diào)整，直致鏡頭63能夠準(zhǔn)確觀察到針頭7。同時。根據(jù)實際需要轉(zhuǎn)動鏡盤62選擇不同的鏡頭63，例如需要選用X 5倍率的鏡頭，轉(zhuǎn)動鏡盤62，使X 5倍率的鏡頭轉(zhuǎn)動至對應(yīng)針頭7的位置。當(dāng)X 5倍率的鏡頭不符合使用要求時，則再次轉(zhuǎn)動鏡盤62，直至找到合適的鏡頭63。本發(fā)明在選擇鏡頭時，僅需要手動轉(zhuǎn)