本申請涉及芯片測試領(lǐng)域，特別是涉及一種高精度測試信號輸出裝置及測試機。

背景技術(shù)：

1、芯片測試，指的是利用測試機輸出測試信號對被測器件的各項參數(shù)指標(biāo)進行檢測，剔除殘次品以控制半導(dǎo)體器件的出廠品質(zhì)。測試機包括測試信號輸出裝置，用于輸出測試信號。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，測試信號輸出裝置通常搭配一對切換開關(guān)和至少一路信號處理電路。切換開關(guān)有以下兩種：機械式繼電器和rf?mems開關(guān)。采用機械式繼電器存在體積大和樁線效應(yīng)的缺點。rf?mems開關(guān)的導(dǎo)通電阻典型值為1.6歐姆，雖然不存在機械式繼電器的缺點，但是由于rf?mems開關(guān)在某一段時間內(nèi)，它的電阻是不穩(wěn)定的，存在1.4歐姆的阻值漂移。在50歐姆的衰減電路中，將導(dǎo)致輸出的直流測試信號存在漂移的現(xiàn)象，而導(dǎo)致測試信號的精度降低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對上述技術(shù)問題，提供一種高精度測試信號輸出裝置及測試機。

2、第一方面，本實用新型實施例提出一種高精度測試信號輸出裝置，所述裝置包括：

3、對應(yīng)不同檔位的多個信號處理電路；各所述信號處理電路包括直流處理電路和交流處理電路；

4、連接在所述多個信號處理電路輸入端的第一切換開關(guān)，和連接在所述多個信號處理電路輸出端的第二切換開關(guān)，用于選擇其中一信號處理電路的接入；所述直流處理電路的阻值遠(yuǎn)大于所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)的阻值；

5、與所述第二切換開關(guān)連接的電阻選擇電路，所述電阻選擇電路包括第三切換開關(guān)、第一電阻電路和第二電阻電路；

6、在輸入信號為直流信號時，所述直流處理電路、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)以及所述第一電阻電路連通構(gòu)成第一分壓電路，將所述輸入信號分壓后輸出測試信號；在輸入信號為交流信號時，所述交流處理電路、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)以及所述第二電阻電路連通構(gòu)成第二分壓電路，將所述輸入信號分壓后輸出測試信號。

7、在一實施例中，所述直流處理電路包括連接在所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)之間的第一電阻。

8、在一實施例中，所述交流處理電路包括串聯(lián)連接在所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)之間的第一電容、衰減電路、第二電容。

9、在一實施例中，所述衰減電路包括第二電阻、第三電阻以及第四電阻，所述第二電阻連接在所述第一電容和所述第二電容之間，所述第三電阻的一端連接所述第二電阻與所述第一電容的中間節(jié)點，所述第三電阻的另一端連接公共地，所述第四電阻的一端連接所述第二電阻與所述第二電容的中間節(jié)點，所述第四電阻的另一端連接公共地。

10、在一實施例中，所述第一電阻電路包括連接在所述第三切換開關(guān)的一切換端和公共地之間的第五電阻；

11、所述第二電阻電路包括連接在所述第三切換開關(guān)的另一切換端和公共地之間的第六電阻。

12、在一實施例中，所述裝置還包括與所述第二切換開關(guān)和所述電阻選擇電路的中間節(jié)點連接的隔離電路。

13、在一實施例中，所述裝置還包括連接在所述隔離電路的輸出端的電壓轉(zhuǎn)換電路。

14、在一實施例中，所述第一切換開關(guān)、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)均為mems開關(guān)。

15、第二方面，本實用新型實施例提出一種高精度測試信號輸出裝置，所述裝置包括：

16、信號處理電路，包括直流處理電路和交流處理電路；

17、連接在所述信號處理電路輸入端的第一切換開關(guān)，和連接在所述信號處理電路輸出端的第二切換開關(guān)，用于控制所述信號處理電路的接入；所述直流處理電路的阻值遠(yuǎn)大于所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)的阻值；

18、與所述第二切換開關(guān)連接的電阻選擇電路，所述電阻選擇電路包括第三切換開關(guān)、第一電阻電路和第二電阻電路；

19、在輸入信號為直流信號時，所述直流處理電路、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)以及所述第一電阻電路連通構(gòu)成第一分壓電路，將所述輸入信號分壓后輸出測試信號；在輸入信號為交流信號時，所述交流處理電路、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)以及所述第二電阻電路連通構(gòu)成第二分壓電路，將所述輸入信號分壓后輸出測試信號。

20、第三方面，本實用新型實施例提出一種測試機，包括如第一方面或第二方面所述的高精度測試信號輸出裝置。

21、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)方案具有以下技術(shù)效果：

22、由于直流處理電路的阻值遠(yuǎn)大于第一切換開關(guān)和第二切換開關(guān)的阻值，因此可以避免輸入信號為直流信號時，輸出的測試信號存在漂移的現(xiàn)象，從而達(dá)到測試機在輸出直流信號時的高精度要求。

技術(shù)特征：

1.一種高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述直流處理電路包括連接在所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)之間的第一電阻。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述交流處理電路包括串聯(lián)連接在所述第一切換開關(guān)和所述第二切換開關(guān)之間的第一電容、衰減電路、第二電容。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述衰減電路包括第二電阻、第三電阻以及第四電阻，所述第二電阻連接在所述第一電容和所述第二電容之間，所述第三電阻的一端連接所述第二電阻與所述第一電容的中間節(jié)點，所述第三電阻的另一端連接公共地，所述第四電阻的一端連接所述第二電阻與所述第二電容的中間節(jié)點，所述第四電阻的另一端連接公共地。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述第一電阻電路包括連接在所述第三切換開關(guān)的一切換端和公共地之間的第五電阻；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述裝置還包括與所述第二切換開關(guān)和所述電阻選擇電路的中間節(jié)點連接的隔離電路。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述裝置還包括連接在所述隔離電路的輸出端的電壓轉(zhuǎn)換電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述第一切換開關(guān)、所述第二切換開關(guān)、所述第三切換開關(guān)均為mems開關(guān)。

9.一種高精度測試信號輸出裝置，其特征在于，所述裝置包括：

10.一種測試機，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項所述的高精度測試信號輸出裝置。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種高精度測試信號輸出裝置及測試機，該裝置包括：多個信號處理電路，包括直流處理電路和交流處理電路；第一切換開關(guān)和第二切換開關(guān)；直流處理電路的阻值遠(yuǎn)大于第一切換開關(guān)和第二切換開關(guān)的阻值；電阻選擇電路，包括第三切換開關(guān)、第一電阻電路和第二電阻電路；在輸入信號為直流信號時，直流處理電路、第二切換開關(guān)、第三切換開關(guān)以及第一電阻電路連通構(gòu)成第一分壓電路，將輸入信號分壓后輸出測試信號；在輸入信號為交流信號時，交流處理電路、第二切換開關(guān)、第三切換開關(guān)以及第二電阻電路連通構(gòu)成第二分壓電路，將輸入信號分壓后輸出測試信號。本申請可以避免輸入信號為直流信號時，輸出的測試信號存在漂移的現(xiàn)象。

技術(shù)研發(fā)人員：余益?zhèn)?于俊輝,葉金成
受保護的技術(shù)使用者：杭州長川科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240315
技術(shù)公布日：2025/1/9