本發(fā)明涉及探針卡的測(cè)試裝置，具體為一種探針卡的測(cè)試裝置及測(cè)試方法。

背景技術(shù)：

1、探針卡的測(cè)試裝置是用于測(cè)試探針卡完好性的專用設(shè)備，探針卡是半導(dǎo)體測(cè)試中用于連接晶圓上焊盤(pán)或凸塊與測(cè)試設(shè)備的關(guān)鍵工具，因此測(cè)試裝置的主要功能是確保探針卡在進(jìn)行晶圓測(cè)試前沒(méi)有缺陷，能夠正確地接觸和測(cè)試半導(dǎo)體器件，這樣可以提高測(cè)試的準(zhǔn)確性，避免因探針卡問(wèn)題導(dǎo)致的測(cè)試失敗，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

2、目前，現(xiàn)有探針卡的測(cè)試裝置在進(jìn)行使用時(shí)，需要對(duì)沒(méi)有質(zhì)量問(wèn)題的探針卡進(jìn)行下料并且打包收納，此過(guò)程需要工人手動(dòng)操作，而工人在進(jìn)行工作時(shí)會(huì)身穿戴防靜電服裝以及防靜電手套，這些衣服的穿著無(wú)疑會(huì)給工作人員帶來(lái)不便，減少其手部的靈活度，因此當(dāng)對(duì)測(cè)試完畢的探針卡進(jìn)行下料時(shí)，很容易因工作人員手部靈活度不足而導(dǎo)致探針卡出現(xiàn)碰撞損壞的問(wèn)題。

3、結(jié)合上述的問(wèn)題就會(huì)發(fā)現(xiàn)，目前市場(chǎng)上現(xiàn)有探針卡的測(cè)試裝置，在進(jìn)行使用的時(shí)候，很難同時(shí)去規(guī)避上述提出的問(wèn)題，并且即便是能夠解決，也需要通過(guò)外部工具配合進(jìn)行解決，從而無(wú)法達(dá)到我們所期望的效果，故而，我們提出一種探針卡的測(cè)試裝置及測(cè)試方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種探針卡的測(cè)試裝置及測(cè)試方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種探針卡的測(cè)試裝置，包括底板，所述底板的上表面固定連接有兩個(gè)矩形板，其中一個(gè)所述矩形板的右側(cè)面固定連接有測(cè)試裝置，所述底板的上方設(shè)置有封裝機(jī)構(gòu)，所述底板的上方設(shè)置有置換機(jī)構(gòu)；

3、所述封裝機(jī)構(gòu)包括放置單元，所述放置單元設(shè)置于底板的上方，所述放置單元能夠?qū)y(cè)試完畢的探針卡放置到盒子的內(nèi)部；

4、所述封裝機(jī)構(gòu)還包括封蓋單元，所述封蓋單元設(shè)置于底板的上方，所述封蓋單元與放置單元配合使用，所述封蓋單元能夠?qū)ρb有探針卡的盒子進(jìn)行封蓋處理；

5、所述置換機(jī)構(gòu)設(shè)置于底板的上方，所述置換機(jī)構(gòu)與封裝機(jī)構(gòu)配合使用，所述置換機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑻结樋ㄖ車目諝馀懦?，并且使其附近充滿惰性氣體。

6、優(yōu)選的，所述放置單元包括兩個(gè)第一轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)所述第一轉(zhuǎn)軸的外表面共同轉(zhuǎn)動(dòng)連接于兩個(gè)矩形板的內(nèi)壁，每個(gè)所述第一轉(zhuǎn)軸的外表面均固定連接有第一齒軸，兩個(gè)所述第一齒軸的外表面共同嚙合有第一齒帶，所述第一齒帶的左側(cè)設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)的輸出端固定連接于其中一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸的左端，所述步進(jìn)電機(jī)的底面固定連接有支撐塊，所述支撐塊的右側(cè)面固定連接于其中一個(gè)矩形板的左側(cè)面，兩個(gè)所述矩形板相互靠近的一側(cè)面共同固定連接有固定架，所述固定架的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有十個(gè)滾筒，所述固定架的下方設(shè)置有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板的底面固定連接有四個(gè)第一連接板，每?jī)蓚€(gè)所述第一連接板的內(nèi)壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)筒，每個(gè)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)筒的外表面均與底板的上表面相接觸，所述移動(dòng)板的上表面固定連接有兩個(gè)第一復(fù)位彈簧，兩個(gè)所述第一復(fù)位彈簧的頂端共同固定連接有斜架，所述斜架的內(nèi)部卡接有卡塊，所述卡塊的頂端固定連接有擋板，所述擋板的背面固定連接有柔性墊，所述斜架的上方設(shè)置有放置盒，所述放置盒的底面與斜架的上表面相接觸，所述放置盒的正面與柔性墊的背面相接觸，所述放置盒的左側(cè)面和內(nèi)壁均固定連接有兩個(gè)固定塊，每個(gè)所述固定塊的外表面均固定連接有橡膠板，兩個(gè)所述橡膠板的右側(cè)面分別與放置盒的左側(cè)面和內(nèi)壁相接觸，所述放置盒的內(nèi)壁固定連接有透氣環(huán)，所述透氣環(huán)的內(nèi)壁固定連接有透氣棉，每個(gè)所述矩形板的正面均固定連接有施壓板，所述斜架的兩側(cè)面均固定連接有連接塊，每個(gè)所述連接塊的內(nèi)壁均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滾輪，每個(gè)所述滾輪的外表面均與施壓板的底面相接觸，另外一個(gè)所述第一轉(zhuǎn)軸的外表面分別固定連接有第一齒輪和第一傳動(dòng)齒輪，其中一個(gè)所述矩形板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一傳動(dòng)軸，另外一個(gè)所述矩形板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二傳動(dòng)軸，所述第一傳動(dòng)軸的外表面和第二傳動(dòng)軸的外表面共同固定連通有磁性聯(lián)軸器，所述第一傳動(dòng)軸的外表面固定連接有第二齒輪，所述第二齒輪的外表面和第一齒輪的外表面共同嚙合有第一傳動(dòng)齒帶，所述第二傳動(dòng)軸的外表面固定連接有滾動(dòng)齒輪，所述移動(dòng)板的背面固定連接有齒板，所述齒板的齒牙嚙合于滾動(dòng)齒輪的外表面，所述底板的上表面固定連接有受力塊，所述受力塊的上表面固定連接有支撐架，所述支撐架的正面固定連接有兩個(gè)第二復(fù)位彈簧，每個(gè)所述第二復(fù)位彈簧遠(yuǎn)離支撐架的一端均共同固定連接于移動(dòng)板的背面，所述齒板的底面與受力塊的上表面相接觸。

7、優(yōu)選的，所述受力塊的上表面固定連接有載板，所述載板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二傳動(dòng)軸的外表面，所述斜板的背面固定連接有兩個(gè)第二連接板，兩個(gè)所述第二連接板的內(nèi)壁共同轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)筒，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)筒的外表面與移動(dòng)板的正面相接觸。

8、優(yōu)選的，另外一個(gè)所述矩形板的背面固定連接有中轉(zhuǎn)箱，所述中轉(zhuǎn)箱的上表面固定連接于測(cè)試裝置的底面，所述中轉(zhuǎn)箱的內(nèi)部卡接有濾網(wǎng)。

9、優(yōu)選的，所述中轉(zhuǎn)箱的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)限位軸，每個(gè)所述限位軸遠(yuǎn)離第一傳動(dòng)齒輪的一端均固定連接有限位板，每個(gè)所述限位板的正面均與中轉(zhuǎn)箱的背面和濾網(wǎng)的背面相接觸。

10、優(yōu)選的，所述測(cè)試裝置的正面固定連接有第一抽氣泵，所述第一抽氣泵的輸入端固定連通有第一抽氣管，所述第一抽氣管遠(yuǎn)離第一傳動(dòng)齒輪的一端貫穿至中轉(zhuǎn)箱的內(nèi)部。

11、優(yōu)選的，所述第一抽氣泵的輸出端固定連通有第一排氣管，所述測(cè)試裝置的正面固定連接有安裝框，所述安裝框的內(nèi)壁固定連接于第一排氣管的外表面。

12、優(yōu)選的，所述封蓋單元包括兩個(gè)長(zhǎng)板，每個(gè)所述長(zhǎng)板的底面均固定連接于底板的上表面，兩個(gè)所述長(zhǎng)板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)第二轉(zhuǎn)軸，每個(gè)所述第二轉(zhuǎn)軸的外表面均固定連接有第二齒軸，兩個(gè)所述第二齒軸的外表面共同嚙合有第二齒帶，其中一個(gè)所述第二轉(zhuǎn)軸的外表面固定連接有第二傳動(dòng)齒輪，所述第二傳動(dòng)齒輪的外表面和第一傳動(dòng)齒輪的外表面共同嚙合有第二傳動(dòng)齒帶，兩個(gè)所述長(zhǎng)板的兩側(cè)面共同固定連接有固定框，所述固定框的內(nèi)壁固定連接有下料框，所述固定框的內(nèi)壁固定連接有兩個(gè)伸縮桿，每個(gè)所述伸縮桿的伸縮端均固定連接有移動(dòng)塊，兩個(gè)所述移動(dòng)塊相互靠近的一側(cè)面分別固定連接有第一攔截板和第二攔截板，所述第二攔截板的外表面與下料框的內(nèi)壁相接觸，所述第一攔截板的上表面與下料框的底面相接觸，所述下料框的內(nèi)部設(shè)置有蓋板，所述蓋板的外表面與下料框的內(nèi)壁相接觸，所述蓋板的底面分別固定連接有保護(hù)墊和四個(gè)圓形軸。

13、優(yōu)選的，所述置換機(jī)構(gòu)包括儲(chǔ)存箱，所述儲(chǔ)存箱的左側(cè)面固定連接于其中一個(gè)所述長(zhǎng)板的右側(cè)面，所述儲(chǔ)存箱的上表面固定連通有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的外表面螺紋連接有螺紋帽，所述儲(chǔ)存箱的上表面固定連接有第二抽氣泵，所述第二抽氣泵的輸入端固定連通有第二抽氣管，所述第二抽氣管的底端貫穿至儲(chǔ)存箱的內(nèi)部，所述第二抽氣泵的輸出端固定連通有第二排氣管，所述儲(chǔ)存箱的上表面固定連接有放置臺(tái)，所述放置臺(tái)的內(nèi)部卡接于第二排氣管的外表面，兩個(gè)所述長(zhǎng)板的上表面共同固定連接有放置平臺(tái)。

14、一種探針卡的測(cè)試裝置的測(cè)試方法，包括以下步驟：

15、s1：需要使用到本裝置時(shí)，首先將待測(cè)試的探針卡放置在第一齒帶的表面上，隨后控制步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行，利用步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力帶動(dòng)第一齒帶轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)?shù)谝积X帶經(jīng)過(guò)測(cè)試裝置的下方時(shí)，利用測(cè)試裝置即可對(duì)探針卡進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試裝置會(huì)記錄每個(gè)探針的測(cè)試結(jié)果，并對(duì)異常情況進(jìn)行診斷，如果發(fā)現(xiàn)開(kāi)路、短路或其他缺陷，測(cè)試裝置會(huì)標(biāo)記相應(yīng)的探針，因此完成測(cè)試的目的，當(dāng)測(cè)試完畢后，探針卡跟隨著第一齒帶繼續(xù)移動(dòng)，當(dāng)探針卡移動(dòng)至第一齒帶的末端時(shí)，探針卡會(huì)被推送至固定架的表面上，并且固定架的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)有十個(gè)滾筒，探針卡在滾筒以及重力勢(shì)能的作用下，探針卡會(huì)移動(dòng)至柔性墊的背面，配合滾動(dòng)齒輪與齒板的嚙合關(guān)系，可以推動(dòng)移動(dòng)板和斜架移動(dòng)，直至探針卡會(huì)掉落至放置盒的內(nèi)部；

16、s2：控制步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行，步進(jìn)電機(jī)運(yùn)行再次產(chǎn)生動(dòng)力，利用第二傳動(dòng)齒輪、第一傳動(dòng)齒輪和第二傳動(dòng)齒帶的共同傳動(dòng)下，會(huì)帶動(dòng)第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)第二齒帶移動(dòng)，當(dāng)放置盒移動(dòng)至下料框的下方時(shí)，控制伸縮桿伸出，伸縮桿伸出會(huì)帶動(dòng)第一攔截板和第二攔截板橫向移動(dòng)，此時(shí)第一攔截板便會(huì)伸出至下料框的內(nèi)部，而第二攔截板會(huì)深入到下料框的內(nèi)部，因此第二攔截板能夠阻擋上方的蓋板向下掉落，而當(dāng)?shù)谝粩r截板完全伸出后，最下方的蓋板便會(huì)掉落至放置盒的內(nèi)部，由此可以完成自動(dòng)為放置盒蓋盒的目的；

17、s3：隨著第二齒帶移動(dòng)，蓋好蓋的放置盒會(huì)移動(dòng)至第二排氣管的左側(cè)，隨后手動(dòng)將第二排氣管引導(dǎo)至放置盒的右側(cè)面開(kāi)口處，控制第二抽氣泵運(yùn)行，在第二抽氣泵和第二抽氣管的共同作用下，可以將儲(chǔ)存箱內(nèi)部的惰性氣體抽出，直至抽入到放置盒的內(nèi)部，氣體在進(jìn)行放置盒的內(nèi)部時(shí)，氣體會(huì)吹動(dòng)放置盒內(nèi)部的橡膠板向放置盒的左側(cè)移動(dòng)，但是在固定塊的作用下，橡膠板并不會(huì)完全脫離放置盒的一側(cè)，而是以一側(cè)橡膠板搖擺的情況下任由惰性氣體進(jìn)入到放置盒的內(nèi)部。

18、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

19、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置放置單元，利用放置單元能夠?qū)⒁呀?jīng)測(cè)試完畢的探針卡放置到放置盒的內(nèi)部，從而避免工人與探針卡進(jìn)行直接接觸時(shí)，會(huì)因工人穿戴手套，而導(dǎo)致手部靈活性不強(qiáng)，探針卡容易出現(xiàn)碰撞損壞的問(wèn)題。

20、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置封蓋單元，利用封蓋單元能夠?qū)σ呀?jīng)放置在放置盒內(nèi)部的探針卡進(jìn)行封蓋，避免外界壓力會(huì)作用在探針卡上，封蓋單元與放置單元配合使用，能夠保證測(cè)試完畢的探針卡在進(jìn)行封裝時(shí)，工作人員的手部不會(huì)與探針卡直接接觸，從而減少探針卡因工作人員手部靈活性不高而導(dǎo)致碰撞損壞的問(wèn)題。

21、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置置換機(jī)構(gòu)，利用置換機(jī)構(gòu)能夠向封裝后的探針卡周圍充入惰性氣體，通過(guò)設(shè)置放置單元、封蓋單元和置換機(jī)構(gòu)，能夠有效避免探針卡在測(cè)試完畢后，會(huì)因工作人員等外界原因而導(dǎo)致探針卡碰撞損壞的問(wèn)題。