本發(fā)明涉及一種壓力檢測元件、液體噴出頭以及液體噴出裝置。

背景技術：

1、已知一種被用于壓力以及加速度等物理量的測量中的傳感器。在專利文獻1中公開了一種以如下方式而構成的陶瓷傳感器，即，在金屬箔上形成壓電性陶瓷單晶薄膜，且在其表面上附設電極，并在金屬箔與電極間隔著檢測單元而形成電路。此外，在電極與金屬箔之間形成有電路。在所涉及的陶瓷傳感器中，在對壓電性陶瓷施加了機械性的刺激時，會出現(xiàn)電流或者電壓的變化。通過在電路上插設電流計和電壓計，從而作為傳感器來發(fā)揮功能。

2、但是，專利文獻1所記載的壓電性陶瓷為單層。壓電性陶瓷即使被施加較大的應力，其變形也較小。因此，介電常數(shù)的變化較小，從而難以提高檢測靈敏度。因此，在如專利文獻1所記載的那樣的單層的壓電性陶瓷中，難以提高檢測靈敏度。

3、專利文獻1：日本特開2002-55116號公報

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的優(yōu)選的方式所涉及的壓力檢測元件具有：壓力檢測室，其用于對內(nèi)部的壓力進行檢測；第一電極；第二電極；第一壓電體，其被配置于所述第一電極與所述第二電極之間，且該第一壓電體的靜電電容根據(jù)所述壓力檢測室的壓力而發(fā)生變化，所述第一壓電體包括位于所述第一電極側的第一壓電體層、和位于所述第二電極側的第二壓電體層，所述第二壓電體層為正方晶系、立方晶系、單斜晶系中的任意一種，所述第一壓電體層為菱面體晶系，所述第二壓電體層的厚度與所述第一壓電體層的厚度相比而較薄。

2、本發(fā)明的優(yōu)選的方式所涉及的壓力檢測元件具有：壓力檢測室，其用于對內(nèi)部的壓力進行檢測；第一電極；第二電極；第一壓電體，其被配置于所述第一電極與所述第二電極之間，且該第一壓電體的靜電電容根據(jù)所述壓力檢測室的壓力而發(fā)生變化，所述第一壓電體包括位于所述第一電極側的第一壓電體層、和位于所述第二電極側的第二壓電體層，所述第二壓電體層的楊氏模量與所述第一壓電體層的楊氏模量相比而較小，所述第二壓電體層的厚度與所述第一壓電體層的厚度相比而較薄。

3、本發(fā)明的優(yōu)選的方式所涉及的液體噴出頭具備：壓力檢測元件；噴嘴基板，其設置有噴出液體的噴嘴；壓力室基板，其具有向液體給予用于從所述噴嘴噴出液體的壓力的壓力室、和與所述壓力室鄰接的所述壓力檢測室；第二壓電體，其與所述壓力室被對應地設置，且通過被施加電壓從而向所述壓力室給予壓力，所述壓力檢測元件與所述壓力檢測室被對應地設置。

4、本發(fā)明的優(yōu)選的方式所涉及的液體噴出裝置具有：液體噴出頭；控制部，其對從所述液體噴出頭實施的噴出動作進行控制。

技術特征：

1.一種壓力檢測元件，其特征在于，具有：

2.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

3.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

4.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

5.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

6.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

7.如權利要求1所述的壓力檢測元件，其特征在于，

8.一種壓力檢測元件，其特征在于，具有：

9.一種液體噴出頭，其特征在于，具備：

10.如權利要求9所述的液體噴出頭，其特征在于，

11.如權利要求9所述的液體噴出頭，其特征在于，

12.如權利要求9所述的液體噴出頭，其特征在于，

13.一種液體噴出裝置，其特征在于，具有：

技術總結
本發(fā)明提供一種檢測靈敏度較高的壓力檢測元件、液體噴出頭以及液體噴出裝置。該壓力檢測元件具有：壓力檢測室，其用于對內(nèi)部的壓力進行檢測；第一電極；第二電極；第一壓電體，其被配置于所述第一電極與所述第二電極之間，且該第一壓電體的靜電電容根據(jù)所述壓力檢測室的壓力而發(fā)生變化，所述第一壓電體包括位于所述第一電極側的第一壓電體層和位于所述第二電極側的第二壓電體層，所述第二壓電體層為正方晶系、立方晶系、單斜晶系中的任意一種，所述第一壓電體層為菱面體晶系，所述第二壓電體層的厚度與所述第一壓電體層的厚度相比而較薄。

技術研發(fā)人員：高部本規(guī),塩沢優(yōu),富松慎吾
受保護的技術使用者：精工愛普生株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/9