本發(fā)明涉及微細(xì)流路設(shè)備。
背景技術(shù):
1、已知有被稱為電感帶法(庫爾特原理)的粒度分布測定法。在該測定法中,使包含粒子的電解液通過被稱為納米孔的細(xì)孔。當(dāng)粒子通過細(xì)孔時,細(xì)孔中的電解液減少與粒子的體積相當(dāng)?shù)牧?,使?xì)孔的電阻增加。因此,通過測定細(xì)孔的電阻,能夠測定粒子的體積(即粒徑)。
2、圖1是使用了電感帶法的微粒測定系統(tǒng)1r的框圖。微粒測定系統(tǒng)1r具備孔隙設(shè)備100r、計測裝置200r以及數(shù)據(jù)處理裝置300。
3、孔隙設(shè)備100r的內(nèi)部充滿包含檢測對象的粒子4的電解液2。孔隙設(shè)備100r的內(nèi)部被孔隙芯片102隔成兩個空間,在兩個空間內(nèi)設(shè)置有電極106和電極108。在孔隙芯片102設(shè)置有細(xì)孔(孔隙)104。當(dāng)在電極106與電極108之間產(chǎn)生電位差時,在電極間流動離子電流,并且通過電泳,粒子4經(jīng)由細(xì)孔104從一方的空間向另一方的空間移動。
4、計測裝置200r使電極對106、108之間產(chǎn)生電位差,并且取得與電極對之間的電阻值rp具有相關(guān)的信息。計測裝置200r包含跨阻放大器210、電壓源220、數(shù)字轉(zhuǎn)換器230。電壓源220使電極對106、108之間產(chǎn)生電位差vb。該電位差vb是電泳的驅(qū)動源,并且成為用于測定電阻值rp的偏置信號。
5、在電極對106、108之間流動與細(xì)孔104的電阻成反比例的微小電流is。
6、is=vb/rp…(1)
7、跨阻放大器(trans-impedance?amplifier)210將微小電流is轉(zhuǎn)換成電壓信號vs。在將轉(zhuǎn)換增益設(shè)為r時,以下的式子成立。
8、vs=-r×is…(2)
9、在將式(1)代入到式(2)時,得到式(3)。
10、vs=-vb×r/rp…(3)
11、數(shù)字轉(zhuǎn)換器230將電壓信號vs轉(zhuǎn)換成數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)ds。這樣,通過計測裝置200r,能夠得到與細(xì)孔104的電阻值rp成反比例的電壓信號vs。
12、圖2是由計測裝置200r測定的例示的微小電流is的波形圖。需要說明的是,在本說明書中參照的波形圖、時序圖的縱軸和橫軸適當(dāng)進行了放大、縮小,使得容易理解,并且所示的各波形也為了容易理解而被簡化,或者被夸大或強調(diào)。
13、在粒子通過的短期間內(nèi),細(xì)孔104的電阻值rp增大。因此,每次粒子通過時,電流is呈脈沖狀減少。各個脈沖電流的振幅與粒徑具有相關(guān)。數(shù)據(jù)處理裝置300對數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)ds進行處理,解析電解液2中包含的粒子4的個數(shù)、粒徑分布等。數(shù)據(jù)處理裝置300的一部分也可以是服務(wù)器或云。
14、現(xiàn)有技術(shù)文獻
15、專利文獻
16、專利文獻1:日本特開2009-014702號公報
17、專利文獻2:日本特開2017-120257號公報
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的問題
2、現(xiàn)有的孔隙芯片104具有在膜片(membrane)形成了開口(孔隙)的構(gòu)造,厚度t相對于孔隙直徑(開口直徑)d足夠小(t<d)。本發(fā)明人針對這樣的低縱橫(aspect)比的孔隙設(shè)備進行研究,認(rèn)識到以下的問題。
3、在低縱橫比的孔隙設(shè)備中,孔隙內(nèi)的電場強度在直徑方向上具有較大的依賴性。因此,在粒子通過了孔隙的中心的情況下和通過了孔隙的外周的情況下,測定出不同的信號,測定精度下降。
4、本發(fā)明是在上述狀況下完成的,其某個方案的例示目的之一在于,提供一種能夠改善測定精度的設(shè)備。
5、用于解決問題的方案
6、本發(fā)明的某個方案的微細(xì)流路設(shè)備具備微細(xì)流路芯片。微細(xì)流路芯片具有在該微細(xì)流路芯片的面內(nèi)方向上形成的流路。流路具有寬度窄的通道部、以及被通道部隔開的第一部分和第二部分。在將通道部的長度設(shè)為l并將通道部的寬度設(shè)為w時,滿足1≤l/w<2的關(guān)系。
7、需要說明的是,將以上的構(gòu)成要素任意組合而得到的方案、將構(gòu)成要素或表述在方法、裝置、系統(tǒng)等之間相互置換而得到的方案作為本發(fā)明或本公開的方案仍是有效的。此外,該項目(用于解決問題的方案)的記載并非說明本發(fā)明的不可或缺的所有特征,因此,所記載的這些特征的子組合也可以作為本發(fā)明。
8、發(fā)明效果
9、根據(jù)本發(fā)明的某個方案,能夠改善測定精度。
1.一種微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的微細(xì)流路設(shè)備,其特征在于,
8.一種微粒測定系統(tǒng),其特征在于,