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厚度檢測裝置的制作方法

文檔序號:12193540閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種厚度檢測裝置,其中,該裝置包括:公共電極100、檢測電極200和控制部300;控制部300,與公共電極100連接,用于根據(jù)待測膜的檢測信息控制加載在公共電極100的電壓的電壓信息,并產(chǎn)生電壓信息對應(yīng)的電壓,其中,檢測信息用于指示待測膜的特征,電壓信息用于指示加載在公共電極100上的電壓的特征;公共電極100,用于加載電壓信息對應(yīng)的電壓;檢測電極200,與公共電極100對應(yīng)且相互間隔的設(shè)置,檢測電極200與公共電極100之間形成檢測通道,檢測電極200用于根據(jù)公共電極100上加載的電壓檢測待測膜的厚度,解決了相關(guān)技術(shù)中厚度檢測的準(zhǔn)確性低的問題,提高了厚度檢測的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員:姜利;林永輝
受保護的技術(shù)使用者:威海華菱光電股份有限公司
文檔號碼:201621010021
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.31
技術(shù)公布日:2017.03.15

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