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厚度檢測(cè)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12193540閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種厚度檢測(cè)裝置,其特征在于,包括:

公共電極(100)、檢測(cè)電極(200)和控制部(300);

所述控制部(300),與所述公共電極(100)連接,用于根據(jù)待測(cè)膜的檢測(cè)信息控制加載在所述公共電極(100)的電壓的電壓信息,并產(chǎn)生所述電壓信息對(duì)應(yīng)的電壓,其中,所述檢測(cè)信息用于指示所述待測(cè)膜的特征,所述電壓信息用于指示加載在所述公共電極(100)上的電壓的特征;

所述公共電極(100),用于加載所述電壓信息對(duì)應(yīng)的電壓;

所述檢測(cè)電極(200),與所述公共電極(100)對(duì)應(yīng)且相互間隔的設(shè)置,所述檢測(cè)電極(200)與所述公共電極(100)之間形成檢測(cè)通道,所述檢測(cè)電極(200)用于根據(jù)所述公共電極(100)上加載的電壓檢測(cè)所述待測(cè)膜的厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述控制部(300)包括:電壓時(shí)序控制部(302)和電壓產(chǎn)生部(304),其中,

所述電壓時(shí)序控制部(302),用于根據(jù)所述待測(cè)膜的所述檢測(cè)信息控制所述電壓信息,其中,所述電壓信息包括以下至少之一:電壓值、電壓時(shí)序;

所述電壓產(chǎn)生部(304),與所述電壓時(shí)序控制部(302)連接,用于產(chǎn)生所述電壓信息對(duì)應(yīng)的電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,所述電壓時(shí)序控制部(302)包括:檢測(cè)信息獲取部(3042)和電壓控制部(3044),其中,

所述檢測(cè)信息獲取部(3042),用于獲取所述檢測(cè)信息,其中,所述檢測(cè)信息包括以下至少之一:所述待測(cè)膜的材質(zhì)信息、所述待測(cè)膜的電容量;

所述電壓控制部(3044),與所述檢測(cè)信息獲取部(3042)連接,用于確定所述檢測(cè)信息對(duì)應(yīng)的所述電壓信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述檢測(cè)電極(200)包括:信號(hào)處理部(202),其中,

所述信號(hào)處理部(202),用于根據(jù)所述公共電極(100)上加載的電壓獲取有效信號(hào),根據(jù)所述有效信號(hào)確定所述待測(cè)膜的厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述信號(hào)處理部(202)包括:有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2021)、復(fù)位電壓產(chǎn)生電路(2022)、復(fù)位電壓時(shí)序控制電路(2023)、復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2024)、移位時(shí)序控制電路(2025)和差分放大電路(2026),其中,

所述有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2021),用于轉(zhuǎn)送所述檢測(cè)電極(200)上產(chǎn)生的有效信號(hào);

所述復(fù)位電壓產(chǎn)生電路(2022),用于產(chǎn)生復(fù)位電壓對(duì)所述檢測(cè)電極(200)進(jìn)行復(fù)位;

所述復(fù)位電壓時(shí)序控制電路(2023),與所述復(fù)位電壓產(chǎn)生電路(2022)連接,用于對(duì)所述復(fù)位電壓產(chǎn)生電路(2022)的時(shí)序進(jìn)行控制;

所述復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2024),用于轉(zhuǎn)送所述復(fù)位電壓產(chǎn)生電路(2022)對(duì)所述檢測(cè)電極(200)進(jìn)行復(fù)位后的所述檢測(cè)電極(200)上的電壓;

所述移位時(shí)序控制電路(2025),與所述有效信號(hào)電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2021)和所述復(fù)位電壓轉(zhuǎn)送時(shí)序電路(2024)連接,所述移位時(shí)序控制電路(2025)用于將所述有效信號(hào)和所述復(fù)位電壓傳輸至所述差分放大電路(2026);

所述差分放大電路(2026),與所述移位時(shí)序控制電路(2025)連接,用于將接收到的所述有效信號(hào)和所述復(fù)位電壓差分放大后進(jìn)行輸 出得到差分信號(hào),根據(jù)所述差分信號(hào)確定所述待測(cè)膜的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的裝置,其特征在于,所述厚度檢測(cè)裝置還包括:公共電極基板(10)和檢測(cè)電極基板(20),其中,

所述公共電極(100)設(shè)置在所述公共電極基板(10)的第一表面;

所述檢測(cè)電極(200)設(shè)置在所述檢測(cè)電極基板(20)的第二表面;

所述第一表面和所述第二表面與所述待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,所述厚度檢測(cè)裝置還包括:公共電極框體(11)與檢測(cè)電極框體(21),其中,

所述公共電極基板(10)設(shè)置在所述公共電極框體(11)上,所述檢測(cè)電極基板(20)設(shè)置在所述檢測(cè)電極框體(21)上;

所述檢測(cè)電極框體(11)與所述公共電極框體(21)在所述待測(cè)膜的所述移動(dòng)方向上間隔設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的裝置,其特征在于,所述厚度檢測(cè)裝置還包括:公共電極保護(hù)層(13)與檢測(cè)電極保護(hù)層(23),其中,

所述公共電極保護(hù)層(13)設(shè)置在所述公共電極(100)的表面上;所述檢測(cè)電極保護(hù)層(23)設(shè)置在所述檢測(cè)電極(200)的表面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置,其特征在于,所述厚度檢測(cè)裝置還包括:公共電極導(dǎo)電薄膜(14)與檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜(24),其中,

所述公共電極導(dǎo)電薄膜(14)設(shè)置在所述公共電極(100)與所述公共電極保護(hù)層(13)之間;

所述檢測(cè)電極導(dǎo)電薄膜(24)設(shè)置在所有檢測(cè)電極(200)與所述檢測(cè)電極保護(hù)層(23)之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的裝置,其特征在于,

所述公共電極(100)包括:一個(gè)或者多個(gè)第一電極(100-2);

所述檢測(cè)電極(200)包括:多個(gè)第二電極(200-2);

所述一個(gè)或者多個(gè)第一電極(100-2)與所述多個(gè)第二電極(200-2)形成預(yù)設(shè)數(shù)量的厚度檢測(cè)對(duì);

所述控制部(300)用于控制每個(gè)所述厚度檢測(cè)對(duì)對(duì)應(yīng)的加載在公共電極上的電壓。

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