本技術(shù)屬于藍寶石晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種藍寶石晶棒晶軸檢測定位裝置。

背景技術(shù)：

人造藍寶石晶體在結(jié)晶加工形成晶棒后，晶棒的幾何形狀的軸向與組成晶棒的晶體的軸向會略有偏差，這個偏差會導致后續(xù)加工出來的晶片晶軸方向不正，當平行光線穿過晶片時，晶軸不正會導致光的散射量增大，導致晶片的質(zhì)量下降。對于剛成形的晶棒，為配套后續(xù)加工工序，首先要進行粗加工，將晶棒的側(cè)面打磨成圓柱面，將晶棒的兩端切出與圓柱面垂直的端面；經(jīng)過粗磨加工的晶棒，為糾正晶棒圓柱的幾何軸向與晶軸方向的偏差，確保后續(xù)的晶棒切片加工中晶棒的晶軸方向與切出的晶片表面垂直，要對晶棒圓柱面進行精細地打磨，校正晶棒的圓柱形幾何軸向，使圓柱形晶棒的幾何軸線與晶棒的晶軸方向一致。

在進行晶棒圓柱面的精磨校正時，要將晶棒固定在可調(diào)節(jié)其圓柱形幾何軸線位置的裝置中，用光線照射晶棒的端面，用反射光接收裝置接收端面的反射光，在接收數(shù)據(jù)的同時，調(diào)節(jié)圓柱形晶棒軸線的空間位置，通過觀測接收到的數(shù)據(jù)變化，確定晶棒的晶體軸向，使晶體軸向與固定裝置的軸線一致，之后固定晶棒在位置調(diào)節(jié)裝置上的定位不動，將位置調(diào)整裝置拿到晶棒的粘接架上，將晶棒的一端端面粘接在固定座上，在粘接架上保持晶棒的晶軸方向與固定座的端面垂直；粘接完成后，將固定座安裝到晶棒的柱面精磨機上，沿晶棒的晶軸方向?qū)χ孢M行精磨校正，使圓柱形晶棒的幾何軸線與晶棒的晶體軸向重合。

精磨校正后即可對晶棒進行后續(xù)的切片加工，沿圓柱形晶棒的幾何軸線的垂直方向切出晶片，得到的晶片的表面即與其晶軸方向垂直。

現(xiàn)有技術(shù)中，本公司申請的專利《晶棒軸線定位裝置》，專利申請?zhí)?01420299150.2，公開了一種晶棒軸線定位裝置，該裝置由底座和安裝在底座上的活動座兩部分組成，活動座底面中部的左右兩側(cè)用轉(zhuǎn)軸螺釘活動固定在底座上，活動座底面中部的前后兩端安裝有晶棒的傾斜調(diào)節(jié)螺釘，活動座的上部設(shè)計有晶棒的弧形固定槽，弧形固定槽的內(nèi)側(cè)面的兩端軸線方向上，對稱安裝有晶棒的擺動調(diào)節(jié)條，固定螺釘上套裝有張緊彈簧，其前端穿過活動座的上邊固定在調(diào)節(jié)條的內(nèi)側(cè)，擺動調(diào)節(jié)螺釘前端穿過活動座的上邊頂在調(diào)節(jié)條的內(nèi)側(cè)前后兩端。使用時，將經(jīng)過粗加工的晶棒固定在該裝置的弧形固定槽上，將該裝置放在晶軸檢測裝置下，在晶棒端面一側(cè)照射入射光，在另一側(cè)接收反射光，通過觀察反射光的數(shù)據(jù)，調(diào)節(jié)傾斜調(diào)節(jié)螺釘和擺動調(diào)節(jié)螺釘，使晶棒的晶軸方向與底座的軸線方向重合，之后固定晶棒位置，將底座裝到晶棒粘接架上，在晶棒的一端端面固定粘接固定座，使晶軸方向與固定座的端面垂直。

使用上述晶棒軸線定位裝置，操作人員進行定位調(diào)節(jié)時需要單手使用內(nèi)六角工具，不斷調(diào)節(jié)多個不同的螺釘，調(diào)節(jié)點較多、晶棒定位固定困難；由于只能用傾斜調(diào)節(jié)螺釘和擺動調(diào)節(jié)螺釘在兩個相互垂直的固定方向調(diào)節(jié)晶棒位置，在調(diào)節(jié)過程中晶棒不能進行多角度的轉(zhuǎn)動檢測，調(diào)節(jié)后晶軸方向與底座軸向很容易出現(xiàn)微小的偏差，這個偏差會影響晶棒定位的準確性，影響晶片的切片質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種藍寶石晶棒晶軸檢測定位裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中，晶棒的晶軸方向在現(xiàn)有的檢測定位裝置中檢測定位時，存在調(diào)節(jié)點較多、定位固定困難、晶軸定位不準的問題。

實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是：一種藍寶石晶棒晶軸檢測定位裝置，該裝置由移動基座、晶軸定位裝置和晶軸檢測裝置組成，該裝置的工作臺上方安裝有支架，晶軸檢測裝置安裝在支架上，移動基座安裝在工作臺上，晶軸定位裝置安裝在移動基座上，移動基座的縱移導軌安裝在工作臺面上，在縱移導軌上安裝有縱移臺，在縱移臺側(cè)面安裝有縱向絲桿，縱向絲桿一端安裝有搖柄，縱向絲桿上安裝有移動螺母，移動螺母用固定連桿安裝在縱移臺上，縱移臺上方安裝有圓形的支撐臺，支撐臺頂端的圓形導軌上安裝旋轉(zhuǎn)臺，圓形導軌內(nèi)安裝有磙珠，旋轉(zhuǎn)臺的側(cè)面安裝有轉(zhuǎn)動把手；晶軸定位裝置的圓形支架的底面固定在旋轉(zhuǎn)臺上，在圓形支架上口內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動套，縱向擺動套內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動筒；晶棒安裝在兩塊弧形夾塊中，兩塊弧形夾塊的側(cè)邊用螺釘連接，弧形夾塊的上折邊用螺釘固定在橫向擺動筒上口，圓形支架下段四個相互垂直的方向上安裝有四顆調(diào)節(jié)螺釘，調(diào)節(jié)螺釘?shù)募舛隧斣跈M向擺動筒下部；晶軸檢測裝置的升降架安裝在支架的滑道上，支架上方安裝有電機，電機的轉(zhuǎn)軸與豎向絲桿連接，升降架上的固定螺母套裝在豎向絲桿上，晶軸檢測裝置的紅外線發(fā)射器和紅外線接收器安裝在升降架下部兩側(cè)，數(shù)據(jù)顯示器與紅外線接收器連接，升降架下方中部安裝有紅外線入射點指示針，紅外線發(fā)射器的光線入射點，射在紅外線入射點指示針的下方晶棒端面中心。

采用本發(fā)明的技術(shù)方案，首先將晶棒固定在兩塊弧形夾塊中，再把夾塊安裝在晶軸定位裝置的圓形支架的橫向擺動筒中，把圓形支架安裝到位置移動基座的旋轉(zhuǎn)臺上，轉(zhuǎn)動縱向絲桿搖柄，使晶棒的中心移動到晶軸檢測裝置的升降架上的紅外線入射點指示針正下方，此時操作紅外線發(fā)射器，發(fā)射紅外線照射在晶棒端面中心，紅外光線經(jīng)過晶棒端面反射后進入紅外線接收器，紅外線接收器得到檢測信號并通過數(shù)據(jù)顯示器顯出，操作人員通過觀察信號數(shù)值，來判斷調(diào)整晶棒的晶軸方向。

在檢測調(diào)整過程中，操作人員用雙手同時調(diào)節(jié)頂在橫向擺動筒下部的調(diào)節(jié)螺釘，快速校正晶棒的晶軸方向。在調(diào)節(jié)過程中，操作人員用轉(zhuǎn)動把手轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)臺，快速實現(xiàn)對晶棒各個不同轉(zhuǎn)動角度上晶軸方向的觀測和調(diào)節(jié)，使晶軸與圓形支架的軸線形成一致。

晶棒在圓形支架上完成調(diào)節(jié)和定位后，與圓形支架一起安裝到晶棒的固定座粘接架上，粘接出來的晶棒的晶軸與固定座的表面垂直，確保后續(xù)加工出來的晶片的質(zhì)量。

使用本發(fā)明時，由于在圓形支架上口，用兩顆在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動套，在縱向擺動套內(nèi)，用兩顆在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動筒，在圓形支架下段四個方向用相互垂直的調(diào)節(jié)螺釘頂在橫向擺動筒下部，調(diào)節(jié)任意一對在一條直線上的調(diào)節(jié)螺釘，縱向擺動套或橫向擺動筒會在各自的固定方向上輕松擺動，調(diào)節(jié)定位工作快速、輕巧、準確。由于將晶軸檢測裝置設(shè)計安裝在升降架上，本發(fā)明可適應(yīng)不同規(guī)格的晶棒的檢測定位需要，通過升降晶軸檢測裝置，可以更好的控制光線的入射角度和反射角度，使檢測效果達到最佳。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明中晶軸定位裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

實施例，如圖1和圖2所示：一種藍寶石晶棒晶軸檢測定位裝置，該裝置由移動基座、晶軸定位裝置和晶軸檢測裝置組成，該裝置的工作臺1上方安裝有支架6，晶軸檢測裝置安裝在支架6上，移動基座安裝在工作臺1上，晶軸定位裝置安裝在移動基座上，移動基座的縱移導軌29安裝在工作臺1面上，在縱移導軌29上安裝有縱移臺28，在縱移臺28側(cè)面安裝有縱向絲桿5，縱向絲桿5一端安裝有搖柄4，縱向絲桿5上安裝有移動螺母3，移動螺母3用固定連桿2安裝在縱移臺28上，縱移臺28上方安裝有圓形的支撐臺27，支撐臺27頂端的圓形導軌上安裝旋轉(zhuǎn)臺25，圓形導軌內(nèi)安裝有磙珠26，旋轉(zhuǎn)臺25的側(cè)面安裝有轉(zhuǎn)動把手8；晶軸定位裝置的圓形支架24的底面固定在旋轉(zhuǎn)臺25上，在圓形支架24上口內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計在一條直線上的橫向螺釘20安裝縱向擺動套21，縱向擺動套21內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計在一條直線上的縱向螺釘19安裝橫向擺動筒23；晶棒9安裝在兩塊弧形夾塊22中，兩塊弧形夾塊22的側(cè)邊用螺釘連接，弧形夾塊的上折邊用螺釘固定在橫向擺動筒23上口，圓形支架24下段四個相互垂直的方向上安裝有四顆調(diào)節(jié)螺釘7，調(diào)節(jié)螺釘7的尖端頂在橫向擺動筒23下部；晶軸檢測裝置的升降架11安裝在支架6的滑道13上，支架6上方安裝有電機16，電機16的轉(zhuǎn)軸與豎向絲桿15連接，升降架11上的固定螺母14套裝在豎向絲桿15上，晶軸檢測裝置的紅外線發(fā)射器18和紅外線接收器12安裝在升降架11下部兩側(cè)，數(shù)據(jù)顯示器10與紅外線接收器12連接，升降架11下方中部安裝有紅外線入射點指示針17，紅外線發(fā)射器18的光線入射點，射在紅外線入射點指示針17的下方晶棒端面中心。