一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及藍(lán)寶石晶體制備工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石又稱(chēng)白寶石，是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料，由于具有優(yōu)良的物理、機(jī)械、化學(xué)及紅外透光性能，一直是微電子、航空航天、軍工等領(lǐng)域急需的材料，尤其是光學(xué)級(jí)大尺寸藍(lán)寶石材料，由于其具有性能穩(wěn)定、市場(chǎng)需求量大、綜合利用率及產(chǎn)品附加值高等特點(diǎn)，成為近年國(guó)內(nèi)外研究開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化熱點(diǎn)。
[0003]在藍(lán)寶石生長(zhǎng)過(guò)程中，對(duì)于藍(lán)寶石生長(zhǎng)設(shè)備的熱場(chǎng)，一直使用的都是循環(huán)水冷卻的方式來(lái)保證整個(gè)系統(tǒng)的溫度穩(wěn)定。水溫的波動(dòng)直接影響到整個(gè)長(zhǎng)晶過(guò)程的穩(wěn)定，嚴(yán)重影響藍(lán)寶石的質(zhì)量，那么設(shè)計(jì)一種用于藍(lán)寶石領(lǐng)域或者相似工作原理的長(zhǎng)晶領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室用的小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)成為一種亟需解決的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的在于提供一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)，以抑制水溫波動(dòng)，提尚晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種藍(lán)寶石實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，該冷卻水循環(huán)系統(tǒng)包括依次通過(guò)不銹鋼管道連接的軟水設(shè)備1、混水容器2、風(fēng)式冷水設(shè)備3和恒溫儲(chǔ)水容器4，其中:軟水設(shè)備I進(jìn)水口連接自來(lái)水管道，軟水設(shè)備I出水口連接至混水容器2側(cè)面上部的進(jìn)水口；混水容器2側(cè)面上部設(shè)置有一個(gè)連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的出水口，混水容器2側(cè)面底部設(shè)置有一個(gè)連接至風(fēng)式冷水設(shè)備3底部回水口 12的出水口 ；風(fēng)式冷水設(shè)備3底部設(shè)置有連接至混水容器2高位進(jìn)水口的出水口 13;混水容器2在側(cè)面底部還設(shè)置有一個(gè)出水口連接至恒溫儲(chǔ)水容器4的進(jìn)水口，恒溫儲(chǔ)水容器4的出水口連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的進(jìn)水口。
[0006]上述方案中，在混水容器2與恒溫儲(chǔ)水容器4之間設(shè)置有水栗8，用于將混水容器2中的水栗入恒溫儲(chǔ)水容器4。所述水栗8的進(jìn)水口連接至混水容器2的低位，所述水栗8的出水口連接至恒溫儲(chǔ)水容器4的高位。
[0007]上述方案中，在恒溫儲(chǔ)水容器4與藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備之間設(shè)置有冷凍水栗5，用于將恒溫儲(chǔ)水容器4中的水栗入藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備。所述恒溫儲(chǔ)水容器4底部出水口連接于冷凍水栗5的進(jìn)水口，冷凍水栗5的出水口連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備。
[0008]上述方案中，在混水容器2內(nèi)部低位設(shè)置有混水容器溫度傳感器6，用于監(jiān)測(cè)混水容器2內(nèi)部水的溫度。
[0009]上述方案中，在恒溫儲(chǔ)水容器4內(nèi)部低位設(shè)置有恒溫儲(chǔ)水容器溫度傳感器7，用于監(jiān)測(cè)恒溫儲(chǔ)水容器4內(nèi)部水的溫度。
[0010]上述方案中，在連接于軟水設(shè)備I出水口的混水容器2側(cè)面上部的進(jìn)水口還設(shè)置有混水容器液位計(jì)9，用于監(jiān)測(cè)混水容器2中的液面高度。
[0011]上述方案中，在連接于恒溫儲(chǔ)水容器4高位的水栗8的出水口還設(shè)置有恒溫儲(chǔ)水容器高位液位計(jì)10，用于監(jiān)測(cè)恒溫儲(chǔ)水容器4中的液面高度，進(jìn)而控制整個(gè)系統(tǒng)的制水時(shí)間，防止過(guò)量制水造成的水量溢出。
[0012]上述方案中，在混水容器2頂部還設(shè)置有攪拌設(shè)備11，攪拌設(shè)備11的攪拌子伸向混水容器2的內(nèi)部。
[0013]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)，利用該冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，通過(guò)冷卻水系統(tǒng)中混水容器，將藍(lán)寶石系統(tǒng)回流的熱水與風(fēng)式冷水機(jī)中的冷水混合，在混水容器中把水溫控制在所需溫度，然后再把水輸送到恒溫儲(chǔ)水容器，保持水溫的穩(wěn)定，然后再將溫度穩(wěn)定的水輸送到藍(lán)寶石長(zhǎng)晶系統(tǒng)，可以使泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備冷卻水系統(tǒng)出水溫度變化控制在0.1度以?xún)?nèi)，減少了水溫波動(dòng)對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程的影響，提高了晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量。
[0014]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明提供的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記說(shuō)明
I軟水設(shè)備2混水容器
3風(fēng)式冷水設(shè)備4恒溫儲(chǔ)水容器
5冷凍水栗6混水容器溫度傳感器
7恒溫儲(chǔ)水容器溫度傳感器8水栗
9混水容器液位計(jì)10恒溫儲(chǔ)水容器液位計(jì)
11攪拌設(shè)備12回水口
13出水口14凍水回水管。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。需要指出的是，本發(fā)明所要求保護(hù)的結(jié)構(gòu)并不限于實(shí)施例及說(shuō)明書(shū)附圖中的具體結(jié)構(gòu)。對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他結(jié)構(gòu)形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
[0018]在本發(fā)明中，在未作用相反說(shuō)明的情況下，使用的方位詞如“上、下、左、右”通常是指如圖1所示的上下左右。“內(nèi)、外”是指具體輪廓上的內(nèi)與外。
[0019]如圖1所示，圖1是本發(fā)明提供的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提供的藍(lán)寶石實(shí)驗(yàn)室用小型微波動(dòng)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，包括依次通過(guò)不銹鋼管道連接的軟水設(shè)備1、混水容器2、風(fēng)式冷水設(shè)備3和恒溫儲(chǔ)水容器4，其中:軟水設(shè)備I進(jìn)水口連接自來(lái)水管道，軟水設(shè)備I出水口連接至混水容器2側(cè)面上部的進(jìn)水口 ；混水容器2側(cè)面上部設(shè)置有一個(gè)連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的出水口，混水容器2側(cè)面底部設(shè)置有一個(gè)連接至風(fēng)式冷水設(shè)備3底部回水口 12的出水口；風(fēng)式冷水設(shè)備3底部設(shè)置有連接至混水容器2高位進(jìn)水口的出水口 13;混水容器2在側(cè)面底部還設(shè)置有一個(gè)出水口連接至恒溫儲(chǔ)水容器4的進(jìn)水口，恒溫儲(chǔ)水容器4的出水口連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的進(jìn)水口。
[0020]在混水容器2與恒溫儲(chǔ)水容器4之間設(shè)置有水栗8，用于將混水容器2中的水栗入恒溫儲(chǔ)水容器4 ；水栗8的進(jìn)水口連接至混水容器2的低位，水栗8的出水口連接至恒溫儲(chǔ)水容器4的高位。在恒溫儲(chǔ)水容器4與藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備之間設(shè)置有冷凍水栗5，用于將恒溫儲(chǔ)水容器4中的水栗入藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備。恒溫儲(chǔ)水容器4底部出水口連接于冷凍水栗5的進(jìn)水口，冷凍水栗5的出水口連接至藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備。
[0021 ]在本發(fā)明的實(shí)施例中，在混水容器2內(nèi)部低位設(shè)置有混水容器溫度傳感器6，用于監(jiān)測(cè)混水容器2內(nèi)部水的溫度。在恒溫儲(chǔ)水容器4內(nèi)部低位設(shè)置有恒溫儲(chǔ)水容器溫度傳感器7，用于監(jiān)測(cè)儲(chǔ)水容器4內(nèi)部水的溫度。
[0022]在本發(fā)明的實(shí)施例中，在連接于軟水設(shè)備I出水口的混水容器2側(cè)面上部的進(jìn)水口，還設(shè)置有混水容器液位計(jì)9，用于監(jiān)測(cè)混水容器2中的液面高度。
[0023]在本發(fā)明的實(shí)施例中，在連接于恒溫儲(chǔ)水容器4高位的水栗8的出水口還設(shè)