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力平衡式諧振微機(jī)械陀螺的制作方法

文檔序號:12060591閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
力平衡式諧振微機(jī)械陀螺,包括靜電梳齒驅(qū)動器、質(zhì)量塊、雙端音叉諧振器和靜電梳齒力平衡器。在靜電梳齒驅(qū)動器上加驅(qū)動電壓時(shí),質(zhì)量塊作沿x軸方向的振蕩運(yùn)動,并在外部繞z軸的旋轉(zhuǎn)角速度作用下產(chǎn)生沿y方向的科氏力。靜電梳齒力平衡器用于平衡質(zhì)量塊在y方向上的科氏力,使質(zhì)量塊在y方向上處于平衡位置。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)形式提高了微機(jī)械陀螺的靈敏度、分辨率和動態(tài)范圍,實(shí)現(xiàn)了將陀螺敏感角速度產(chǎn)生的科氏力的變化轉(zhuǎn)換成諧振器諧振頻率的變化,進(jìn)而通過反饋回路調(diào)節(jié)達(dá)到新的平衡的力平衡式反饋系統(tǒng),并有效地抑制了非線性的影響。

技術(shù)研發(fā)人員:夏燊艷;何剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者:重慶藍(lán)陽船舶修造有限公司
文檔號碼:201510775483
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.15
技術(shù)公布日:2017.05.24

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